KR102524025B1 - 가스 퍼지용 포트 - Google Patents

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치아키 마츠토리
쿠이치 니시자카
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미라이얼 가부시키가이샤
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Abstract

일단부에 용기 본체 개구부를 가진 용기 본체와 용기 본체 개구부에 대하여 착탈 가능하고 용기 본체 개구부를 폐색 가능한 덮개체에 의해 내부에 수납 공간이 형성된 수납 용기에 장착되어 통기로 형성부(831), 또는, 통기로 형성부(831) 및 상기 역지 밸브 부재 이외의 가스 퍼지용 포트의 부분(85) 중 적어도 한쪽에 설치되어, 기체 주입 포트와 밀착하는 밀봉면(852)을 구비하고, 밀봉면(852)에는, 기체 주입 포트와 밀봉면(852) 사이의 기체 누출을 방지하기 위한 탄성체에 의해 구성되는 밀착 패드를 구비하는 가스 퍼지용 포트이다.

Description

가스 퍼지용 포트
본 발명은, 반도체 웨이퍼 등으로 이루어지는 기판을 수납, 보관, 반송, 수송 등을 할 때에 사용되는 수납 용기에 이용되는 가스 퍼지용 포트에 관한 것이다.
반도체 웨이퍼로 이루어지는 기판을 수납하여, 공장 내의 공정 및, 육상 운송 수단·항공 운송 수단·해상 운송 수단 등의 수송 수단에 의해 기판을 수송·반송하기 위한 수납 용기로는, 용기 본체와 덮개체를 구비하는 구성인 것이, 종래부터 알려져 있다.
용기 본체는, 일단부에 용기 본체 개구부가 형성되고, 타단부가 폐색된 통형상의 벽부를 갖는다. 덮개체는, 용기 본체 개구부에 대하여 착탈 가능하고, 용기 본체 개구부를 폐색 가능하다. 용기 본체를 덮개체에 의해 폐색함으로써, 수납 용기 내에는 기판 등을 수납하는 수납 공간이 형성되어 있다. 수납 공간은, 용기 본체의 벽부와 덮개체의 내면에 의해 둘러싸여 형성되어 있고, 복수의 기판을 수납 할 수 있다.
덮개체의 부분으로서 용기 본체 개구부를 폐색하고 있을 때에 수납 공간에 대향하는 부분에는, 프론트 리테이너가 설치되어 있다. 프론트 리테이너는, 덮개체에 의해 용기 본체 개구부가 폐색되어 있을 때, 복수의 기판의 가장자리부를 지지 가능하다. 또한, 프론트 리테이너와 쌍을 이루도록 하여, 안측 기판 지지부가 벽부에 설치되어 있다. 안측 기판 지지부는, 복수의 기판의 가장자리부를 지지 가능하다. 안측 기판 지지부는, 덮개체에 의해 용기 본체 개구부가 폐색되어 있을 때에, 프론트 리테이너와 협동하여 복수의 기판을 지지함으로써, 인접하는 기판끼리를 소정 간격으로 이간시켜 병렬시킨 상태로, 복수의 기판을 유지한다(특허문헌 1, 특허문헌 2 참조).
또한, 용기 본체 및 덮개에는, 필터가 설치되어 있다. 필요에 따라 필터 내부에는, 역지(逆止) 밸브가 설치되어 있다. 필터를 통하여, 수납 용기의 외부로부터 수납 공간에 대하여, 질소 등의 불활성 가스 혹은 수분을 제거(1% 이하)한 예비 드라이 에어(이하, 퍼지 가스라고 한다)에 의해, 가스 퍼지가 수행된다. 역지 밸브는, 가스 퍼지에 의해 수납 공간에 충전된 가스가, 빠져 나오는 것을 방지한다(특허문헌 3 참조).
특허문헌 1 : 일본 특허 제4204302호 특허문헌 2 : 일본 특허 제4201583호 특허문헌 3 : 일본 특허 제5241607호
최근, 반도체 공정의 미세화나 반도체 칩의 수율 향상이 요구되고 있다. 그러므로, 반도체 웨이퍼를 수납하는 수납 용기에도, 수납 용기를 구성하는 재질로부터의 유기 가스나 염소 가스 등의 아웃 가스, 금속 성분, 용기 내부의 습도를 극한까지 저하시키는 것이 요구되고 있다.
그러므로, 퍼지 가스에서의 가스 퍼지가 수행되고 있지만, 금속제 스프링이 설치된 역지 밸브 부재에서의 통기 공간을 퍼지 가스가 통과하기 때문에, 금속제 스프링에 포함되는 금속 성분이 퍼지 가스에 포함되고, 또 부식에 의해 금속이 탈락되고, 파티클 부착도 염려되어, 수납 용기의 내부의 환경을 깨끗한 상태로 유지할 수 없게 된다는 문제가 있었다. 이 문제 때문에, 반도체 칩의 수율이 저하된다는 문제가 있었다.
본 발명은, 수납 용기의 수납 공간 내의 기체를 퍼지 가스로 효율적으로 치환하면서 동시에 수납 용기 내부의 청정도를 유지할 수 있는 가스 퍼지용 포트를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은, 일단부에 용기 본체 개구부를 갖는 용기 본체와, 상기 용기 본체 개구부에 대하여 착탈 가능하고 상기 용기 본체 개구부를 폐색 가능한 덮개체에 의해 내부에 수납 공간이 형성된 수납 용기에, 상기 용기 본체 혹은 상기 덮개체 중 적어도 어느 한쪽에 형성되어, 상기 수납 용기의 외부의 공간과 상기 수납 공간을 연통 가능한 액세스 개구에 장착되는 가스 퍼지용 포트로서, 상기 수납 용기의 외부와 상기 수납 공간을 통기 가능한 통기로가 형성된 관 형상의 통기로 형성부; 수지에 의해 성형되어 가스에 의한 부식이 방지되는 스프링과, 상기 스프링에 의해 밀리는 밸브체를 갖고, 상기 통기로에서의 기체의 유통 방향을 일정 방향으로 제한하는 역지 밸브 부재; 상기 통기로 형성부, 또는, 상기 통기로 형성부 및 상기 역지 밸브 부재 이외의 상기 가스 퍼지용 포트의 부분 중 적어도 한쪽에 설치되어, 기체 주입 포트와 밀착하는 밀봉면;을 구비하고, 상기 밀봉면에는, 상기 기체 주입 포트와 상기 밀봉면 사이의 기체 누출을 방지하기 위한 탄성체에 의해 구성되는 밀착 패드를 구비하는, 가스 퍼지용 포트에 관한 것이다.
또한, 상기 스프링은, 영률로 나타나는 인장 탄성률이 2000 Mpa를 초과하는 열가소성 수지에 의해 성형되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 열가소성 수지는, 폴리에테르에테르케톤, 폴리카보네이트, 폴리아세탈 중 적어도 1개에 의해 구성되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 밸브체는, 상기 통기로를 유통하는 기체의 압력으로 개폐 가능한 것이 바람직하다. 또한, 상기 밀착 패드는, 환형으로 형성되어 있는 것이 바람직하다. 또한, 상기 밀착 패드는, 상기 기체 주입 포트에 대하여 추종 가능하게 중공부가 형성되어 있는 것이 바람직하다. 또한, 상기 통기로 형성부는, 상기 통기로와 상기 통기로의 외부 사이를 밀봉하기 위한 테이퍼형의 면을 갖는 것이 바람직하다.
또한, 상기 밸브체는, 테이퍼 형상을 갖고, 상기 역지 밸브 부재의 테이퍼형의 변좌에 맞닿음으로써 상기 역지 밸브 부재는 통기로를 닫아 밀봉하는 것이 바람직하다. 또한, 가스 퍼지용 포트는, 여과용 통기막을 구비하고 있는 것이 바람직하다.
본 발명에 의하면, 퍼지 가스에 의한 수납 용기의 수납 공간 내의 기체의 치환을 효율적으로 수행하면서 동시에 수납 용기 내부의 청정도를 유지할 수 있는 가스 퍼지용 필터를 제공할 수 있다. 그러므로, 반도체 웨이퍼가 불활성 가스나 드라이 에어에 노출되어 있는 비율을 길게 할 수 있으므로, 반도체 웨이퍼 상에 제작되는 반도체 칩의 수율을 향상시킬 수 있다. 또한, 단시간에 효율적으로 퍼지 가스에 의한 기체 치환을 수행할 수 있으므로, 공정 시간을 단축시켜, 비용 삭감에도 기여한다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시 형태에 따른 가스 퍼지용 필터(80)가 수납 용기(1)에 장착되고, 기판(W)이 수납된 모습을 도시한 분해 사시도이다.
도 2는 본 발명의 제 1 실시 형태에 따른 가스 퍼지용 필터(80)가 수납 용기(1)에 장착된 모습을 도시한 하방 사시도이다.
도 3a는 본 발명의 제 1 실시 형태에 따른 가스 퍼지용 필터(80)를 도시한 상방 사시도이다.
도 3b는 본 발명의 제 1 실시 형태에 따른 가스 퍼지용 필터(80)를 도시한 하방 사시도이다.
도 4는 급기공(給氣孔)에 설치된 본 발명의 제 1 실시 형태에 따른 가스 퍼지용 필터(80)를 도시한 분해 사시도이다.
도 5는 본 발명의 제 1 실시 형태에 따른 가스 퍼지용 필터(80)를 도시한 단면도이다.
도 6은 본 발명의 제 3 실시 형태에 따른 가스 퍼지용 필터(80A)를 도시한 단면도이다.
도 7은 본 발명의 제 4 실시 형태에 따른 가스 퍼지용 필터(80B)를 도시한 단면도이다.
도 8은 본 발명의 제 5 실시 형태에 따른 가스 퍼지용 필터(80C)를 도시한 단면도이다.
도 9는 본 발명의 제 6 실시 형태에 따른 가스 퍼지용 필터(80D)를 도시한 단면도이다.
[제 1 실시 형태]
이하, 본 발명의 제 1 실시 형태에 의한 가스 퍼지용 포트를 구성하는 가스 퍼지용 필터(80)에 대하여, 도면을 참조하면서 설명한다.
도 1은, 가스 퍼지용 필터(80)가 수납 용기(1)에 장착되고, 기판(W)이 수납된 모습을 도시한 분해 사시도이다. 도 2는, 가스 퍼지용 필터(80)가 수납 용기(1)에 장착된 모습을 도시한 하방 사시도이다. 도 3a는, 가스 퍼지용 필터(80)를 도시한 상방 사시도이다. 도 3b는, 가스 퍼지용 필터(80)를 도시한 하방 사시도이다. 도 4는, 급기공에 설치된 가스 퍼지용 필터(80)를 도시한 분해 사시도이다. 도 5는, 가스 퍼지용 필터(80)를 도시한 단면도이다.
여기서, 설명의 편의상, 후술하는 용기 본체(2)에서 덮개체(3)로 향하는 방향(도 1에서의 우상에서 좌하로 향하는 방향)을 전방향이라고 정의하고, 그 반대의 방향을 후방향이라고 정의하고, 이들을 아울러 전후방향이라고 정의한다. 또한, 후술하는 하벽(24)에서 상벽(23)으로 향하는 방향(도 1에서의 상방향)을 상방향이라고 정의하고, 그 반대의 방향을 하방향이라고 정의하고, 이들을 아울러 상하방향이라고 정의한다. 또한, 후술하는 제 2 측벽(26)에서 제 1 측벽(25)으로 향하는 방향(도 1에서의 우하에서 좌상으로 향하는 방향)을 좌방향이라고 정의하고, 그 반대의 방향을 우방향이라고 정의하고, 이들을 아울러 좌우 방향이라고 정의한다.
또한, 수납 용기(1)에 수납되는 기판(W)(도 1 참조)은, 원반형의 실리콘 웨이퍼, 유리 웨이퍼, 사파이어 웨이퍼 등으로, 산업에 이용되는 얇은 것이다. 본 실시 형태에서의 기판(W)은, 직경 300 mm~450 mm의 실리콘 웨이퍼이다.
도 1에 나타낸 바와 같이, 수납 용기(1)는, 상술과 같은 실리콘 웨이퍼로 이루어지는 기판(W)이 수납되어, 공장 내의 공정에 있어서 반송하는 공정 내 용기로 이용되거나 육상 운송 수단·항공 운송 수단·해상 운송 수단 등의 수송 수단에 의해 기판을 수송하기 위한 출하 용기로 이용되는 것으로, 용기 본체(2); 덮개체(3); 측방 기판 지지부로서의 기판 지지판 형상부(5); 안측 기판 지지부(미도시); 덮개체측 기판 지지부로서의 프론트 리테이너(미도시);를 갖고 있다.
용기 본체(2)는, 일단부에 용기 본체 개구부(21)가 형성되고, 타단부가 폐색된 통형상의 벽부(20)를 갖는다. 용기 본체(2) 내에는 수납 공간(27)이 형성되어 있다. 수납 공간(27)은, 벽부(20)에 의해 둘러싸여 형성되어 있다. 벽부(20)의 부분으로서 수납 공간(27)을 형성하고 있는 부분에는, 기판 지지판 형상부(5)가 배치되어 있다. 수납 공간(27)에는, 도 1에 도시된 바와 같이, 복수의 기판(W)을 수납 가능하다.
기판 지지판 형상부(5)는, 수납 공간(27) 내에 있어서 쌍을 이루도록 벽부(20)에 설치되어 있다. 기판 지지판 형상부(5)는, 덮개체(3)에 의해 용기 본체 개구부(21)가 폐색되어 있지 않을 때에, 복수의 기판(W)의 가장자리부에 맞닿음으로써, 인접하는 기판(W)끼리를 소정 간격으로 이간시켜 병렬시킨 상태로, 복수의 기판(W)의 가장자리부를 지지 가능하다. 기판 지지판 형상부(5)의 안측에는, 안측 기판 지지부(미도시)가 설치되어 있다.
안측 기판 지지부(미도시)는, 수납 공간(27) 내에 있어서 프론트 리테이너(미도시)와 쌍을 이루도록 벽부(20)에 설치되어 있다. 안측 기판 지지부(미도시)는, 덮개체(3)에 의해 용기 본체 개구부(21)가 폐색되어 있을 때에, 복수의 기판(W)의 가장자리부에 맞닿음으로써, 복수의 기판(W)의 가장자리부의 후부(後部)를 지지 가능하다.
덮개체(3)는, 용기 본체 개구부(21)를 형성하는 개구 주연부(31)(도 1 등)에 대하여 착탈 가능하고, 용기 본체 개구부(21)를 폐색 가능하다. 프론트 리테이너(미도시)는, 덮개체(3)의 부분으로서 덮개체(3)에 의해 용기 본체 개구부(21)가 폐색되어 있을 때 수납 공간(27)에 대향하는 부분에 설치되어 있다. 프론트 리테이너(미도시)는, 수납 공간(27)의 내부에 있어서 안측 기판 지지부(미도시)와 쌍을 이루도록 배치되어 있다.
프론트 리테이너(미도시)는, 덮개체(3)에 의해 용기 본체 개구부(21)가 폐색되어 있을 때에, 복수의 기판(W)의 가장자리부에 맞닿음으로써 복수의 기판(W)의 가장자리부의 전부(前部)를 지지 가능하다. 프론트 리테이너(미도시)는, 덮개체(3)에 의해 용기 본체 개구부(21)가 폐색되어 있을 때에, 안측 기판 지지부(미도시)와 협동하여 복수의 기판(W)을 지지함으로써, 인접하는 기판(W)끼리를 소정 간격으로 이간시켜 병렬시킨 상태로, 복수의 기판(W)을 유지한다.
수납 용기(1)는, 플라스틱재 등의 수지로 구성되어 있고, 특별히 설명이 없는 경우에는, 그 재료의 수지로는, 예를 들어, 폴리카보네이트, 사이클로올레핀 폴리머, 폴리에테르이미드, 폴리에테르케톤, 폴리부틸렌테레프탈레이트, 폴리에테르에테르케톤, 액정 폴리머와 같은 열가소성 수지나 이들의 알로이 등을 들 수 있다. 이들의 성형 재료의 수지에는, 도전성을 부여하는 경우에는, 카본 섬유, 카본 파우더, 카본 나노 튜브, 도전성 폴리머 등의 도전성 물질이 선택적으로 첨가된다. 또한, 강성을 올리기 위해 유리 섬유나 탄소 섬유 등을 첨가하는 것도 가능하다.
이하, 각 부에 대하여, 상세하게 설명한다.
도 1 등에 도시된 바와 같이, 용기 본체(2)의 벽부(20)는, 안벽(22), 상벽(23), 하벽(24), 제 1 측벽(25)과 제 2 측벽(26)을 갖는다. 안벽(22), 상벽(23), 하벽(24), 제 1 측벽(25), 및 제 2 측벽(26)은, 상술한 재료에 의해 구성되어 있고, 일체 성형되어 구성되어 있다.
제 1 측벽(25)과 제 2 측벽(26)은 대향하고 있고, 상벽(23)과 하벽(24)은 대향하고 있다. 상벽(23)의 후단(後端), 하벽(24)의 후단, 제 1 측벽(25)의 후단, 및 제 2 측벽(26)의 후단은, 모두 안벽(22)에 접속되어 있다. 상벽(23)의 전단, 하벽(24)의 전단, 제 1 측벽(25)의 전단, 및 제 2 측벽(26)의 전단(前端)은, 안벽(22)에 대향하는 위치 관계를 갖고, 대략 직사각형상을 한 용기 본체 개구부(21)를 형성하는 개구 주연부(31)를 구성한다.
개구 주연부(31)는, 용기 본체(2)의 일단부에 설치되어 있고, 안벽(22)은, 용기 본체(2)의 타단부에 위치하고 있다. 벽부(20)의 외면에 의해 형성되는 용기 본체(2)의 외형은 상자형이다. 벽부(20)의 내면, 즉, 안벽(22)의 내면, 상벽(23)의 내면, 하벽(24)의 내면, 제 1 측벽(25)의 내면, 및 제 2 측벽(26)의 내면은, 이들에 의해 둘러싸인 수납 공간(27)을 형성하고 있다. 개구 주연부(31)에 형성된 용기 본체 개구부(21)는, 벽부(20)에 의해 둘러싸여 용기 본체(2)의 내부에 형성된 수납 공간(27)에 연통하고 있다. 수납 공간(27)에는, 최대 25장의 기판(W)이 수납 가능하다.
도 1에 도시된 바와 같이, 상벽(23) 및 하벽(24)의 부분으로서, 개구 주연부(31) 근방의 부분에는, 수납 공간(27)의 바깥쪽을 향해 함몰된 래치 계합 오목부(40A, 40B, 41A, 41B)가 형성되어 있다. 래치 계합 오목부(40A, 40B, 41A, 41B)는, 상벽(23) 및 하벽(24)의 좌우 양단부 근방에 1개씩, 총 4개가 형성되어 있다.
도 1에 도시된 바와 같이, 상벽(23)의 외면에 있어서는, 리브(28)가, 상벽(23)과 일체 성형되어 설치되어 있다. 이 리브(28)는, 용기 본체의 강성을 높이기 위해 설치되어 있다.
또한, 상벽(23)의 중앙부에는, 탑 플랜지(29)가 고정된다. 탑 플랜지(29)는, AMHS(자동 웨이퍼 반송 시스템), PGV(웨이퍼 기판 반송 대차) 등에 있어서 수납 용기(1)를 매달 때에, 수납 용기(1)에 있어서 걸려져 매달리는 부분이 되는 부재이다.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 하벽(24)의 네 귀퉁이에는, 통기로로 액세스 개구인 관통공(45)이 형성되어 있다. 본 실시 형태에 있어서는, 하벽(24)의 전방의 2군데의 관통공(45)은, 용기 내부의 기체를 배출하기 위한 배기공이며, 후방의 2군데의 관통공(45)은, 용기 내부에 기체를 급기하기 위한 급기공이다. 급기공과 배기공의 관통공(45)에는, 각각 가스 퍼지용 필터(80)가 배치되어 있다.
도 3a, 도 3b, 도 4, 도 5에 도시된 바와 같이, 가스 퍼지용 필터(80)는, 필터 하우징(81), 필터 링(85), 통기막(86), 역지 밸브 부재(87), 밀착 패드(88), O링(89, 91)을 갖고 있다. 필터 하우징(81)은, 상부 제 1 하우징(82)과 하부 제 1 하우징(83)으로 이루어지고, 상부 제 1 하우징(82)과 하부 제 1 하우징(83) 사이에 통기막(86)이 협지되어 있다. 상부 제 1 하우징(82)과 하부 제 1 하우징(83)은, 초음파에 의해 용착 고정되어 있다.
도 1이나 도 2에 도시된 바와 같이, 본 실시 형태에 있어서, 가스 퍼지용 필터(80)는, 용기 본체(2)의 하벽(24)에, 상부 제 1 하우징(82)이 수납 공간(27)측이 되도록 배치되어 있다. 가스 퍼지용 필터(80)는, 하벽(24)에 장착되는 것에 한정되지 않는다. 가스 퍼지용 필터(80)는, 하벽(24) 이외의 벽부, 덮개체에 장착될 수도 있고, 하벽과 덮개체 양쪽 모두에 장착할 수도 있다.
가스 퍼지용 필터(80)의 수납 공간(27)측에 배치되는 상부 제 1 하우징(82)에는, 도 3a에 도시된 바와 같이, 수납 공간측 개구(821)가 형성되고, 가스 퍼지용 필터(80)의 수납 용기(1)의 외부의 공간측에는, 도 3b에 도시된 바와 같이, 필터 링(85)에 있어서 수납 공간 외측 개구(851)가 형성되어 있다. 이들 개구는 가스 퍼지용 필터(80)의 내부에 형성된 통기 공간(상부 통기 공간(822), 하부 통기 공간(833))을 통해, 수납 용기(1)의 내부와 외부의 공간을 연통시키고 있다. 수납 공간 외측 개구(851)는, 후술하는 퍼지 가스를 통기 공간에 공급하는 퍼지 포트의 가스 유통로보다, 큰 직경으로 구성되어 있다.
상기 구성에 의해, 가스 퍼지용 필터(80)는, 통기막(86)을 통하여 용기 본체(2)의 외부의 공간에서 수납 공간(27)으로의 방향(이하, 「수납 공간(27)의 내측 방향」이라고 정의한다), 혹은 수납 공간(27)에서 용기 본체(2)의 외부의 공간으로의 방향(이하, 「수납 공간(27)의 외측 방향」이라고 정의한다)으로 기체를 통과 가능하다. 그 때, 통기막(86)은, 기체에 포함되는 파티클 등이 통과하는 것을 저지하여, 기체의 여과를 수행한다.
도 3a에 도시된 바와 같이, 상부 제 1 하우징(82)에는, 수납 공간측 개구(821)에 연통된 상부 통기 공간(822)이 설치되어 있다. 하부 제 1 하우징(83)에는, 수납 공간(27)의 외측 방향(도 5에서는 하방향)을 향해 돌출하여 형성된 통기로 형성부(831)가 형성되어 있다. 통기로 형성부(831)의 수납 공간(27)의 외측 방향의 선단부(도 5에서의 통기로 형성부(831)의 하단부)는, O링(91)이 장착되는 홈(832)을 갖고 있다. 또한, 하부 제 1 하우징(83)에는, 상부 통기 공간(822)과 접속되어 통기로 형성부(831)에 의해 형성된 하부 통기 공간(833)이 형성되어 있다. 따라서, 상부 통기 공간(822)과 하부 통기 공간(833)에 의해 구성되는 통기로에 의해, 가스 퍼지용 필터(80)의 수납 공간측 개구(821)(도 3a 참조)와 수납 공간 외측 개구(851)(도 3b 참조)를 연통하는 통기 공간이 형성되어 있다.
또한, 하부 제 1 하우징(83)에는, 통기로 형성부(831)의 반경 방향 외측에 환형으로 덮도록 나사부(834)가 형성되어 있다. 나사부(834)는, 통기로 형성부(831)와 동일축 상의 위치 관계를 갖는 대략 환형 통형상을 갖고 있고, 나사부(834)의 외주면에는, 나사(835)가 형성되어 있다.
역지 밸브 부재(87)는, 밸브체(871)와, 밸브체(871)를 일정 방향으로 밀기(付勢) 위한 스프링(872)에 의해 구성되어 있다. 밸브체(871)는, 하부 제 1 하우징(83)의 내부에서의 통기 공간에, 수납 공간(27)의 외측 방향으로 배치되어 있다. 스프링(872)은, 밸브체(871)와 하부 제 1 하우징(83) 사이에 배치되어 있고, 하부 제 1 하우징(83)에 대하여 밸브체(871)를 수납 공간(27)의 외측 방향으로서 하방향으로 미는 압축 스프링을 구성한다. 밸브체(871)는, 통기로를 유통하는 기체의 압력으로 개폐 가능하다. 즉, 원통 형상을 갖는 밸브체(871)의 둘레면에는, 도 4에 도시된 바와 같이, 밸브체(871)의 반경 방향 바깥방향으로 돌출하는 밸브체 둘레면 볼록부(8713)가 복수 설치되어 있다. 밸브체 둘레면 볼록부(8713)는, 밸브체(871)의 둘레 방향에 있어서, 사다리꼴 형상을 갖는 동시에, 밸브체(871)의 축심 방향(도 4에서의 상하 방향)에 있어서, 사다리꼴 형상을 갖는다. 밸브체 둘레면 볼록부(8713)의 돌출 단면(端面)은, 통기로 형성부(831)의 내주면에 맞닿는다. 밸브체(871)의 둘레면으로서, 밸브체 둘레면 볼록부(8713)가 설치되지 않은 부분(8714)은, 통기로 형성부(831)의 내주면에 맞닿지 않고, 통기로 형성부(831)의 내주면과의 사이에, 통기로를 형성한다. 밸브체(871)는, 통기로를 유통하는 퍼지 가스 등의 기체에 의해 상방향으로 눌리면, 필터 링(85)의 후술하는 밀착면(854)에서 이간하여, 밸브체(871)가 열릴 수 있도록, 스프링(872)의 스프링 상수가 설정되어 있다. 기체의 누르는 힘이 밸브체(871)에 작용하고 있지 않을 때에는, 스프링(872)의 미는 힘에 의해 밸브체(871)는 닫힌 상태가 된다.
역지 밸브 부재(87)의 스프링(872)은, 영률로 나타나는 인장 탄성률이 2000 Mpa를 초과하는 폴리에테르에테르케톤, 폴리카보네이트, 폴리아세탈 중 적어도 1개에 의해 구성되는, 비교적 내구성이 높은 수지인 고성능 열가소성 수지가 성형되어 구성되고, 본 실시 형태에 있어서는, 영률로 나타나는 인장 탄성률이 2000 Mpa를 초과하는 폴리에테르에테르케톤이 이용되고 있다.
필터 링(85)은, 수납 공간(27)의 외측 방향이 폐색된 대략 원통 형상을 갖고 있다. 필터 링(85)의 내경면(內徑面)에는, 하부 제 1 하우징(83)의 나사(835)와 계합하는 나사(853)가 설치되고, 필터 링(85)의 내면으로서 수납 공간(27)의 외측 방향의 부분(필터 링(85)의 하부)의 상면은, 평탄면에 의해 구성되는 밀착면(854)을 갖고 있다.
필터 링(85)을 나사부(834)에 밀어 넣음으로써, 하부 제 1 하우징(83) 내의 통기로 형성부(831)의 선단의 O링(91)과, 역지 밸브 부재(87)의 밸브체(871)의, 수납 공간(27)의 외측 방향의 저면(873)이, 각각 필터 링(85) 내부의 수납 공간(27)의 밀착면(854)에 맞닿아 밀착함으로써, 통기로 형성부(831)의 내측에 형성된 통기로의 기밀성은 확보된다. 즉, 하부 제 1 하우징(83) 내의 통기로 형성부(831)의 선단이, 필터 링(85)의 밀착면(854)에 맞닿는 맞닿음부에는, O링(91)이 이용되어, 통기로 형성부(831)의 내측에 형성된 통기로의 기밀성은 확보된다.
필터 링(85)의 외부의 수납 공간(27)의 외측 방향의 선단부(도 5에서의 하단부)에는, 밀착 패드(88)를 장착하기 위한 홈(856)을 갖고 있다. 밀착 패드(88)는, 수납 공간 외측 개구(851)와 동일축 상의 위치 관계를 갖는 환형으로 형성되어 있고, 필터 링(85)의 외부의 수납 공간(27)의 외측 방향의 선단부(도 5에서의 필터 링(85)의 최하면)와, 밀착 패드(88)의 외측 방향의 선단부의 표면(도 5에서의 밀착 패드(88)의 최하면)은, 상하 방향에 있어서, 거의 동일한 위치 관계를 갖고 있다. 필터 링(85) 외부의 수납 공간(27)의 외측 방향의 선단부(도 5에서의 필터 링(85)의 최하면)는, 후술하는 퍼지 포트(기체 주입 포트)와 밀착하는 밀봉면(852)을 구성한다. 또한, 밀착 패드(88)가 장착되어 있는 상태의 홈(856)에는, 밀착 패드(88)의 일부가 아래쪽으로 함몰되어 형성된 오목부(858)에 의해, 홈(856)을 구성하는 공간(855)이 형성되어 있다. 밀착 패드(88)는, 미도시의 퍼지 포트와 밀봉면(852) 사이의 기체 누출을 방지한다.
가스 퍼지용 필터(80)의 하벽(24)에 대한 고정은, 하부 제 1 하우징(83)의 측면에 형성된 홈(837)에 장착된 O링(89)을 통해 수행된다. 가스 퍼지용 필터(80)가 하벽(24)에 고정될 때에는, 가스 퍼지용 필터(80)와 하벽(24)의 관통공(45) 사이에 O링(89)이 이용되어, 하벽(24)과 하부 제 1 하우징(83) 사이가 실링된다.
필터 하우징(81), 필터 링(85)의 재료로는, 아웃 가스 발생량이 적은, 폴리카보네이트가 이용된다. 필터 하우징(81), 필터 링(85)의 재료로 폴리카보네이트 이외에는, 소정 아웃 가스 발생량 이하의 열가소성 수지이면 되고, 예를 들어, 사이클로올레핀 폴리머나 폴리에테르이미드, 폴리에테르에테르케톤 등의 수지를 이용할 수 있다. 또한, 밀착 패드(88)의 재료로는, 탄성 부재로 폴리올레핀 엘라스토머를 이용했다. 밀착 패드(88)의 재료로 폴리올레핀 엘라스토머 이외에는, 폴리부틸렌테레프탈레이트나 폴리에틸렌 등의 수지나 폴리에틸렌 엘라스토머 등의 엘라스토머, 실리콘 고무나 불소 고무 등의 고무재를 이용할 수 있다.
덮개체(3)는, 도 1 등에 도시된 바와 같이, 용기 본체(2)의 개구 주연부(31)의 형상과 대략 일치하는 대략 직사각형상을 갖고 있다. 덮개체(3)는 용기 본체(2)의 개구 주연부(31)에 대하여 착탈 가능하고, 개구 주연부(31)에 덮개체(3)가 장착됨으로써, 덮개체(3)는, 용기 본체 개구부(21)를 폐색 가능하다. 덮개체(3)의 내면(도 1에 도시된 덮개체(3)의 뒷쪽의 면)으로서, 덮개체(3)가 용기 본체 개구부(21)를 폐색하고 있을 때의 개구 주연부(31)의 바로 후방향의 위치에 형성된 단차 부분의 면(실링면(30))에 대향하는 면에는, 환형의 실링 부재(4)가 장착되어 있다. 실링 부재(4)는, 탄성 변형 가능한 폴리에스테르계, 폴리올레핀계 등 각종 열가소성 엘라스토머, 불소 고무제, 실리콘 고무제 등에 의해 구성되어 있다. 실링 부재(4)는, 덮개체(3)의 바깥 가장자리 둘레부를 한바퀴 돌도록 배치되어 있다.
덮개체(3)가 개구 주연부(31)에 장착되었을 때에, 실링 부재(4)는, 실링면(30)과 덮개체(3)의 내면 사이에 끼어 탄성 변형되고, 덮개체(3)는, 용기 본체 개구부(21)를 밀폐한 상태로 폐색한다. 개구 주연부(31)에서 덮개체(3)가 분리됨으로써, 용기 본체(2)내의 수납 공간(27)에 대하여, 기판(W)을 넣고 빼는 것이 가능해진다.
덮개체(3)에 있어서는, 래치 기구가 설치되어 있다. 래치 기구는, 덮개체(3)의 좌우 양단부 근방에 설치되어 있고, 도 1에 도시된 바와 같이, 덮개체(3)의 윗변에서 상방향으로 돌출 가능한 2개의 상측 래치부(32A, 32B)와, 덮개체(3)의 아랫변에서 하방향으로 돌출 가능한 2개의 미도시의 하측 래치부를 구비하고 있다. 2개의 상측 래치부(32A, 32B)는, 덮개체(3)의 윗변의 좌우 양단 근방에 배치되어 있고, 2개의 하측 래치부는, 덮개체(3)의 아랫변의 좌우 양단 근방에 배치되어 있다.
덮개체(3)의 외면에 있어서는 조작부(33)가 설치되어 있다. 조작부(33)를 덮개체(3)의 전측에서 조작함으로써, 상측 래치부(32A, 32B), 미도시의 하측 래치부를 덮개체(3)의 윗변, 아랫변에서 돌출시킬 수 있고, 또한, 윗변, 아랫변에서 돌출시키지 않는 상태로 할 수 있다. 상측 래치부(32A, 32B)가 덮개체(3)의 윗변에서 상방향으로 돌출하여, 용기 본체(2)의 래치 계합 오목부(40A, 40B)에 계합하면서, 미도시의 하측 래치부가 덮개체(3)의 아랫변에서 하방향으로 돌출하여, 용기 본체(2)의 래치 계합 오목부(41A, 41B)에 계합함으로써, 덮개체(3)는, 용기 본체(2)의 개구 주연부(31)에 고정된다.
덮개체(3)의 내측에 있어서는, 수납 공간(27)의 바깥쪽으로 함몰된 오목부(미도시)가 형성되어 있다. 오목부(미도시) 및 오목부의 외측의 덮개체(3) 부분에는, 프론트 리테이너(미도시)가 고정되어 설치되어 있다.
프론트 리테이너(미도시)는, 프론트 리테이너 기판 받이부(미도시)를 갖고 있다. 프론트 리테이너 기판 받이부(미도시)는, 좌우 방향으로 소정 간격으로 이간하여 쌍을 이루도록 하여 2개씩 배치되어 있다. 이와 같이 쌍을 이루도록 하여 2개씩 배치된 프론트 리테이너 기판 받이부는, 상하 방향으로 25쌍 병렬된 상태로 설치되어 있다. 수납 공간(27) 내에 기판(W)이 수납되고, 덮개체(3)가 닫힘으로써, 프론트 리테이너 기판 받이부는, 기판(W)의 가장자리부의 끝 가장자리(端緣)를 협지하여 지지한다.
상술과 같은 가스 퍼지용 필터(80)에 있어서, 가스 퍼지 장치에 의한 기체의 치환(가스 퍼지)은, 아래와 같이 수행된다.
공장 내의 공정에 있어서 수납 용기(1)가 공정 내 용기로 이용되고 있을 때에는, 용기 본체(2)에 있어서 하벽(24)은 하부에 위치하고 상벽(23)은 상부에 위치하고 있다. 이 수납 용기(1)의 가스 퍼지용 필터(80)를 이용한 가스 퍼지의 방법은, 덮개체(3)로 용기 본체(2)의 용기 본체 개구부(21)를 막아 수행하는 경우와, 수납 용기(1)에서 덮개체(3)를 제거한 상태로 수행하는 경우의 2가지가 있다. 이하, 덮개체(3)로 용기 본체(2)를 막은 상태에서의 설명을 수행한다.
덮개체(3)에 의해 용기 본체(2)의 용기 본체 개구부가 닫혀진 상태로, 용기 본체(2)의 하벽(24)의 관통공(45)에 설치된 가스 퍼지용 필터(80)의 하단부에, 미도시의 가스 퍼지 장치의 퍼지 포트의 퍼지 포트 선단부가 맞닿는다. 이 때, 필터 링(85)의 외부의 수납 공간(27)의 외측 방향의 선단부(도 5에서의 가스 퍼지용 필터(80)의 하단부)에는, 탄성체에 의해 구성된 밀착 패드(88)가 설치되어 있다. 그러므로, 미도시의 퍼지 포트가 밀착 패드(88)에 맞닿았을 때에, 퍼지 포트의 선단부와 가스 퍼지용 필터의 하단부 사이의 기밀성(실링)은, 확실하게 수행된다.
그 후, 퍼지 가스가 미도시의 가스 퍼지 장치로부터 공급된다. 미도시의 가스 퍼지 장치의 퍼지 가스 유통로로부터 공급된 퍼지 가스는, 하벽(24)의 후방 2군데의 관통공(45)(용기 내부에 기체를 급기하기 위한 급기공)에 설치된 가스 퍼지용 필터(80)에 있어서, 도 5에서의 하측으로부터 밸브체(871)를 눌러, 퍼지 가스의 압력으로 밸브체(871)를 열고, 밸브체(871)의 둘레면으로서 밸브체 둘레면 볼록부(8713)가 설치되지 않은 부분(8714)(도 4 참조)과 통기로 형성부(831)의 내주면 사이에 형성된 통기로를 통과하고, 통기 공간을 구성하는 하부 통기 공간(833), 상부 통기 공간(822)을 통과하여, 수납 용기(1)의 수납 공간(27)에 공급된다. 그 때, 퍼지 가스가 통기막(86)을 통과함으로써, 불필요한 파티클이 수납 공간(27)에 들어가지 않도록, 퍼지 가스는 여과된다. 수납 용기(1) 내부의 기체는, 하벽(24)의 전방 2군데의 관통공(45)(용기 내부의 기체를 배출하기 위한 배기공)에 설치된 다른 가스 퍼지용 필터(80)에서 수납 용기(1)의 외부로 배출되어, 가스 퍼지가 실시된다. 그리고, 이 배기공에 설치된 다른 가스 퍼지용 필터(80)에 대해서는, 제 2 실시 형태로 이후에 설명한다.
상술한 가스 퍼지가 수행될 때, 미도시의 퍼지 포트의 가스 유통로의 지름이 가스 퍼지용 필터(80)의 수납 공간 외측 개구(851)보다 작다. 그러므로, 퍼지 가스 유통로에서 방출되는 퍼지 가스는, 가스 퍼지용 필터(80)의 내부의 통기로를 통하여, 수납 용기에 형성되어 있는 노즐부 통기 공간에 모두 공급되어, 가스 퍼지가 수행된다.
상기 구성의 제 1 실시 형태에 따른 가스 퍼지용 필터(80)에 의하면, 이하와 같은 효과를 얻을 수 있다.
일단부에 용기 본체 개구부(21)를 가진 용기 본체(2)와, 용기 본체 개구부(21)에 대하여 착탈 가능하고 용기 본체 개구부(21)를 폐색 가능한 덮개체(3)에 의해 내부에 수납 공간(27)이 형성된 수납 용기(1)에, 용기 본체(2)에 형성되고, 수납 용기(1)의 외부의 공간과 수납 공간(27)을 연통 가능한 액세스 개구로서의 관통공(45)에 장착되는 가스 퍼지용 포트로서의 가스 퍼지용 필터(80)는, 수납 용기(1)의 외부와 수납 공간(27)을 통기 가능한 통기로가 형성된 관 형상의 통기로 형성부(831), 수지에 의해 성형되고 가스에 의한 부식이 방지되는 스프링(872), 스프링(872)에 의해 밀리는 밸브체(871)를 갖고, 통기로에서의 기체의 유통 방향을 일정 방향으로 제한하는 역지 밸브 부재(87), 통기로 형성부(831) 및 역지 밸브 부재(87) 이외의 가스 퍼지용 필터(80) 부분인 필터 링(85)에 설치되어, 기체 주입 포트로서의 퍼지 포트와 밀착하는 밀봉면(852)을 구비한다.
밀봉면(852)에는, 퍼지 포트와 밀봉면(852) 사이의 기체 누출을 방지하기 위한 탄성체에 의해 구성되는 밀착 패드(88)를 구비한다.
상기 구성에 의해, 밀착 패드(88)의 탄성 변형에 의해 밀착 패드(88)와 미도시의 퍼지 포트 사이를 확실하게 밀봉하는 것이 가능해진다.
또한, 스프링(872)은, 영률로 나타나는 인장 탄성률이 2000 Mpa를 초과하는 열가소성 수지에 의해 성형되고, 보다 구체적으로, 열가소성 수지는, 폴리에테르에테르케톤, 폴리카보네이트, 폴리아세탈 중 적어도 1개에 의해 구성된다. 이 구성에 의해, 스프링(872)에서의 금속 성분이 퍼지 가스에 포함되고, 또 부식에 의해 금속이 탈락되고, 수납 용기(1)의 내부에 파티클이 부착되어, 수납 용기(1)의 내부의 환경을 깨끗한 상태로 유지할 수 없게 되는 것을 방지할 수 있다. 이 결과, 반도체 칩의 수율 저하를 억제하는 것이 가능해진다.
또한, 밸브체(871)는, 통기로를 유통하는 기체인 퍼지 가스의 압력으로 개폐 가능하다. 이 구성에 의해, 퍼지 가스에 의한 가스 퍼지를 수행할 때에, 퍼지 가스가 용이하게 밸브체(871)를 열고, 가스 퍼지용 필터(80) 내부의 통기로를 유통하여 수납 공간(27) 내에 유입할 수 있다.
또한, 밀착 패드(88)는, 환형으로 형성되어 있다. 이 구성에 의해, 환형 밀착 패드(88)의 전체 둘레에서 미도시의 퍼지 포트에 맞닿는 것이 가능하고, 이것에 의해, 퍼지 포트와 밀착 패드(88) 사이의 밀봉을 확실하게 할 수 있다.
또한, 가스 퍼지용 필터(80)는 여과용 통기막(86)을 구비하고 있다. 이 구성에 의해, 퍼지 가스에 포함되는 파티클 등이 통기막(86)을 통과하는 것을 저지할 수 있고, 퍼지 가스 등의 기체의 여과를 수행할 수 있다.
또한, 밀착면(854)과 밸브체(871)의 하방향에서의 단면이 면으로 맞닿기 때문에, 밸브체(871)가 기우는 것이 억제되고, 역지 밸브 부재(87)의 외면과 통기로 형성부(831)의 내면의 슬라이딩에 의한 마찰이 억제되어, 파티클의 발생을 억제할 수 있다.
그 다음, 본 발명의 제 2 실시 형태에 따른 가스 퍼지용 필터(80)에 대하여 설명한다. 제 2 실시 형태에서는, 밸브체(871)과 스프링(872)의 위치 관계가 반대인 점에서, 제 1 실시 형태와 상이하다. 이것 이외의 구성에 대해서는, 제 1 실시 형태의 구성과 동일하기 때문에, 동일한 부재에 대해서는 설명을 생략한다.
밸브체(871)는, 상하 반대로 되어 있다. 즉, 원통 형상을 갖는 밸브체(871)의 폐색되어 있는 단부가, 도 4, 도 5에 도시된 밸브체(871)와는 상하 반대로 되어 상측이 되고, 스프링(872)의 상단부가 밸브체(871)에 맞닿아, 스프링(872)의 하단부가 필터 링(85)의 밀착면(854)에 맞닿도록 배치된다. 이와 같이 배치된 밸브체(871)에 있어서는, 수납 공간(27)에서 수납 용기(1)의 외부로 유출하는 공기에 의해 밸브체(871)가 스프링(872)의 미는 힘에 저항하여 하방향으로 이동되어져 밸브가 열린다. 반대로, 수납 용기(1)의 외부에서 수납 공간(27)으로 유입하려고 하는 공기 등의 가스의 흐름, 및, 스프링(872)의 미는 힘에 의해, 밸브체(871)는, 상방향으로 이동되어져, 하부 제 1 하우징(83)의 상부에 맞닿아 밸브가 닫힌다. 본 실시 형태에서의 가스 퍼지용 포트로서의 가스 퍼지용 필터(80)는, 하벽(24)의 전방 2군데의 배기공으로서의 관통공(45)에 고정되어 사용된다.
그 다음, 본 발명의 제 3 실시 형태에 따른, 가스 퍼지용 필터(80A)에 대하여, 도면을 참조하면서 설명한다. 도 6은, 가스 퍼지용 필터(80A)를 도시한 단면도이다.
제 3 실시 형태에서는, O링(91)이 설치되지 않은 점에서, 제 1 실시 형태와 상이하다. 그 이외의 구성에 대해서는, 제 1 실시 형태와 동일하기 때문에, 동일한 부재에 대해서는, 동일한 부호로 도시하고, 설명을 생략한다.
통기로 형성부(831A)의 하단부는, 도 6에 나타낸 바와 같이, 측방에서 볼 때 단면에서 상방향을 향해 끝이 오므라지는 경사면(837A)인 테이퍼 형상부(836A)를 갖고 있다. 상하 방향에 있어서 통기로 형성부(831A)의 테이퍼 형상부에 대향하는 필터 링(85A)의 밀착면(854A)의 부분에는, 상방향으로 돌출하는 환상 볼록부(857A)가 설치되어 있다. 환상 볼록부(857A)는, 통기로 형성부(831A)의 하단부의 전체 둘레에 대향하는 위치 관계에서, 환형으로 설치되어 있다. 필터 링(85A)을 나사부(834)에 밀어 넣음으로써, 테이퍼 형상부(836A)가 환상 볼록부(857A)에 맞닿아, 환상 볼록부(857A)가 도 6에 나타낸 바와 같이 변형되어 테이퍼 형상부(836A)에 밀착하고, 이것에 의해, 통기로 형성부(831A)의 내부에 형성된 통기로와 통기로 형성부(831A)의 외부 사이의 기밀성이 확보된다.
상술과 같이, 통기로 형성부(831A)는, 통기로 형성부(831A)와 통기로 형성부(831A)의 외부 사이를 밀봉하기 위한 테이퍼형의 경사면(837A)을 갖는 테이퍼 형상부(836A)를 구비하기 때문에, 이러한 밀봉을 위해, O링 등을 갖는 구성으로 할 필요가 없어져, 적은 부품 점수로 통기로 형성부(831A)의 내부의 통기로를 통기로 형성부(831A)의 외부에 대하여 밀봉하는 것이 가능해진다.
그 다음, 본 발명의 제 4 실시 형태에 따른, 가스 퍼지용 필터(80B)에 대하여, 도면을 참조하면서 설명한다. 도 7은, 가스 퍼지용 필터(80B)를 도시한 단면도이다.
제 4 실시 형태에서는, 밸브체(871B), 하부 제 1 하우징(83B), 통기로 형성부(831B), 및 필터 링(85B)의 형상이, 제 1 실시 형태에서의 밸브체(871), 하부 제 1 하우징(83), 통기로 형성부(831), 및 필터 링(85)의 형상과 상이하다. 그 이외의 구성에 대해서는, 제 1 실시 형태와 동일하기 때문에, 동일한 부재에 대해서는, 동일한 부호로 도시하고, 설명을 생략한다.
통기로 형성부(831B)는, 하부 제 1 하우징(83B)과 개별체로 구성되어 있다. 구체적으로, 통기로 형성부(831B)는, 양단이 개구된 원통 형상을 갖고 있고, 통기로 형성부(831B)의 상단부의 일부는, 하부 제 1 하우징(83B)의 상부의 하면에 형성된 오목부에 배치된 O링(92B)을 통해 맞닿고, 또한, 통기로 형성부(831B)의 상단부의 다른 부분은, 하부 제 1 하우징(83B)의 상부의 하면에 직접 맞닿아 있다. 스프링(872)의 상단부는, 직접 하부 제 1 하우징(83B)의 상부의 중앙 부분에 지지되어 있다.
밸브 시트를 구성하는 필터 링(85B)의 밀착면(854B)의 중앙부는, 하방향을 향해 끝이 오므라지는 테이퍼면(8541B)을 갖는 테이퍼 형상부(8542B)를 갖고 있다. 또한, 테이퍼 형상부(8542B)에 대향하는 밸브체(871B)의 하면은, 하방향을 향해 끝이 오므라지는 밸브체 테이퍼면(8711B)을 갖는 밸브체 테이퍼 형상부(8712B)를 갖고 있다. 테이퍼면(8541B)과 밸브체 테이퍼면(8711B)은 동일한 형상으로, 면으로 맞닿는 것이 가능한 형상을 갖고 있다. 이와 같이 면으로 서로 맞닿음으로써, 통기로가 밸브체(871B)에 의해 닫혀 밀봉되도록 구성되어 있다.
상술과 같이, 밸브체(871B)는, 테이퍼 형상을 갖고, 역지 밸브 부재(87B)의 테이퍼형의 변좌를 구성하는 밀착면(854B)에 맞닿음으로써 역지 밸브 부재(87)는 통기로를 닫아 밀봉하기 때문에, 테이퍼면(8541B)과 밸브체 테이퍼면(8711B)은 면으로 맞닿는 것이 가능하다. 그러므로, 통기로를 밸브체(871B)에 의해 확실하게 밀봉할 수 있다.
그 다음, 본 발명의 제 5 실시 형태에 따른, 가스 퍼지용 필터(80C)에 대하여, 도면을 참조하면서 설명한다. 도 8은, 가스 퍼지용 필터(80C)를 도시한 단면도이다.
제 5 실시 형태에서는, 하부 제 1 하우징(83C), 필터 링(85C), 및, 통기로 형성부(831C)의 형상이, 제 1 실시 형태에서의 하부 제 1 하우징(83), 필터 링(85), 및, 통기로 형성부(831)의 형상과 상이하다. 그 이외의 구성에 대해서는, 제 1 실시 형태와 동일하기 때문에, 동일한 부재에 대해서는, 동일한 부호로 도시하고, 설명을 생략한다.
통기로 형성부(831C)는, 제 4 실시 형태와 마찬가지로, 하부 제 1 하우징(83C)과 개별체로 구성되어 있다. 구체적으로, 통기로 형성부(831C)는, 상단부가 폐색된 원통 형상을 갖고 있다. 통기로 형성부(831C)의 상단부의 일부는, 하부 제 1 하우징(83C)의 상부의 하면에 형성된 오목부에 배치된 O링(92C) 및 통기막(86)을 통해 맞닿고, 또한, 통기로 형성부(831C)의 상단부의 다른 부분은, 하부 제 1 하우징(83C)의 상부의 하면에 통기막(86)을 통해 맞닿아 있다. 스프링(872)의 상단부는, 통기로 형성부(831C)의 상부의 중앙 부분의 하면에 맞닿아 있다.
필터 링(85C)의 하단부는, 상하 방향으로 직교하는 방향으로 퍼지는 플랜지부(859C)를 갖고 있다. 또한, 하부 제 1 하우징(83C)의 상단부는, 상하 방향으로 직교하는 방향으로 퍼지는 플랜지부(838C)를 갖고 있다.
그 다음, 본 발명의 제 6 실시 형태에 따른, 가스 퍼지용 필터(80D)에 대하여, 도면을 참조하면서 설명한다. 도 9는, 가스 퍼지용 필터(80D)를 도시한 단면도이다.
제 6 실시 형태에서는, 밀착 패드(88D)의 구성이 제 1 실시 형태에서의 밀착 패드(88)의 구성과 상이하다. 그 외의 구성에 대해서는, 제 1 실시 형태와 동일하기 때문에, 동일한 부재에 대해서는, 동일한 부호로 도시하고, 설명을 생략한다.
밀착 패드(88D)는, 도 9에 도시된 바와 같이, 내부에 공간이 형성된 중공부(883D)를 갖고 있다. 이 구성에 의해 밀착 패드(88)는, 용이하게 신축하는 것이 가능해져, 미도시의 퍼지 포트에 대하여, 더욱(또는, 보다) 용이하게 추종 가능하다. 그 결과, 미도시의 퍼지 포트와 밀착 패드(88D) 사이는, 확실하게 밀봉된 상태로 할 수 있다.
본 발명은, 상술한 실시 형태에 한정되지 않고, 특허 청구 범위에 기재된 기술적 범위에서 변형이 가능하다.
예를 들어, 본 실시 형태에서는, 밀봉면(852)은, 통기로 형성부(831) 이외의 역지 밸브 부재(87)의 부분인 필터 링(85)에 형성된 홈(856)에 설치되었지만, 이 구성에 한정되지 않는다. 예를 들어, 통기로 형성부가 가스 퍼지용 필터의 하단부까지 연장되어 있는 경우에는, 밀봉면은, 통기로 형성부에 설치되어 있을 수도 있고, 이 경우라도, 밀봉면에 밀착 패드가 설치되어 있으면 된다.
또한, 스프링(872)은, 폴리에테르에테르케톤, 폴리카보네이트, 폴리아세탈 중 적어도 1개에 의해 구성되었지만, 이 구성에 한정되지 않는다. 스프링(872)은, 영률로 나타나는 인장 탄성률이 2000 Mpa를 초과하는 열가소성 수지에 의해 성형되어 있으면 된다.
또한, 본 실시 형태에 있어서는, 하벽(24)의 전방 2군데의 관통공(45)은, 용기 내부의 기체를 배출하기 위한 배기공이며, 후방 2군데의 관통공(45)은, 용기 내부에 기체를 급기하기 위한 급기공이지만, 이 구성에 한정되지 않는다. 예를 들어, 하벽(24)의 전방의 관통공(45)이, 용기 내부의 수납 공간(27)에 기체를 급기하기 위한 급기공이며, 그 앞쪽의 관통공(45)에 설치된 제 1 실시 형태에서의 가스 퍼지용 필터(80)에 맞닿는 가스 퍼지 장치의 퍼지 포트는 퍼지 가스를 공급할 수도 있고, 또한, 후방의 관통공(45)이, 용기 내부의 기체를 배출하기 위한 배기공이며, 이 후방의 관통공(45)에 설치된 제 2 실시 형태에서의 가스 퍼지용 필터(80)에 맞닿는 가스 퍼지 장치의 퍼지 포트에 있어서는, 수납 공간(27)에서의 공기를 배기할 수도 있다.
또한, 본 실시 형태에 있어서는, 밀착면(854)과 밸브체(871)의 하방향에서의 단면(저면(873))과 면으로 맞닿아 실링되어 있었지만, 밸브체의 저면과 밀착면은, O링으로 실링될 수도 있다.
또한, 가스 퍼지용 포트, 용기 본체 및 덮개체의 형상, 용기 본체에 수납 가능한 기판(W)의 장수나 치수는, 본 실시 형태에서의 가스 퍼지용 필터(80, 80A, 80B, 80C, 80D), 용기 본체(2) 및 덮개체(3)의 형상, 용기 본체(2)에 수납 가능한 기판(W)의 장수나 치수에 한정되지 않는다. 즉, 예를 들어, 통기로 형성부, 스프링, 밸브체, 역지 밸브 부재, 밀봉면, 밀착 패드 등의 각 부의 구성은, 본 실시 형태에서의 통기로 형성부(831), 스프링(872), 밸브체(871), 역지 밸브 부재(87), 밀봉면(852), 밀착 패드(88) 등의 각 부의 구성에 한정되지 않는다. 마찬가지로 측방 기판 지지부, 덮개체측 기판 지지부, 안측 기판 지지부 등의 구성은, 기판 지지판 형상부(5), 프론트 리테이너(7), 미도시의 안측 기판 지지부 등의 구성에 한정되지 않는다. 또한, 본 실시 형태에서의 기판(W)는, 직경 300 mm~450 mm의 실리콘 웨이퍼였지만, 이 값에 한정되지 않는다.
1: 수납 용기
2: 용기 본체
3: 덮개체
21: 용기 본체 개구부
27: 수납 공간
45: 관통공
80, 80A, 80B, 80C, 80D: 가스 퍼지용 필터
85: 필터 링
86: 통기막
87: 역지 밸브 부재
88: 밀착 패드
831: 통기로 형성부
852: 밀봉면
871: 밸브체
872: 스프링

Claims (9)

  1. 일단부에 용기 본체 개구부를 갖는 용기 본체와, 상기 용기 본체 개구부에 대하여 착탈 가능하고 상기 용기 본체 개구부를 폐색 가능한 덮개체에 의해 내부에 수납 공간이 형성된 수납 용기에, 상기 용기 본체 혹은 상기 덮개체 중 적어도 어느 한쪽에 형성되어, 상기 수납 용기의 외부의 공간과 상기 수납 공간을 연통 가능한 액세스 개구에 장착되는 가스 퍼지용 포트로서,
    상기 수납 용기의 외부와 상기 수납 공간을 통기 가능한 통기로가 형성된 관 형상의 통기로 형성부;
    수지에 의해 성형되어 가스에 의한 부식이 방지되는 스프링과, 상기 스프링에 의해 밀리는 밸브체를 갖되 상기 밸브체는 상기 스프링을 둘러싸도록 상기 스프링의 반경 방향 외측에 배치되고, 상기 통기로에서의 기체의 유통 방향을 일정 방향으로 제한하는 역지 밸브 부재;
    상기 통기로 형성부, 또는, 상기 통기로 형성부 및 상기 역지 밸브 부재 이외의 상기 가스 퍼지용 포트의 부분 중 적어도 한쪽에 설치되어, 기체 주입 포트와 밀착하는 밀봉면;을 구비하고,
    상기 밀봉면에는, 상기 기체 주입 포트와 상기 밀봉면 사이의 기체 누출을 방지하기 위한 탄성체에 의해 구성되는 밀착 패드를 구비하고,
    상기 통기로 형성부의 선단부와, 상기 통기로를 상기 기체 주입 포트의 가스 유통로에 연통시키는 수납 공간 외측 개구가 형성된 필터 링과의 맞닿음에 의해, 상기 통기로 형성부의 선단과 상기 필터 링과의 사이가 기밀되는, 가스 퍼지용 포트.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 스프링은, 영률로 나타나는 인장 탄성률이 2000 Mpa를 초과하는 열가소성 수지에 의해 성형되는, 가스 퍼지용 포트.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 열가소성 수지는, 폴리에테르에테르케톤, 폴리카보네이트 및 폴리아세탈 중 적어도 1개에 의해 구성되는, 가스 퍼지용 포트.
  4. 제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 밸브체는, 상기 통기로를 유통하는 기체의 압력으로 개폐 가능한, 가스 퍼지용 포트.
  5. 제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 밀착 패드는, 환형으로 형성되어 있는, 가스 퍼지용 포트.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 밀착 패드는, 상기 기체 주입 포트에 대하여 추종 가능하게 중공부가 형성되어 있는, 가스 퍼지용 포트.
  7. 제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 통기로 형성부는, 상기 통기로와 상기 통기로의 외부 사이를 밀봉하기 위한 테이퍼형의 면을 갖는, 가스 퍼지용 포트.
  8. 제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 밸브체는, 테이퍼 형상을 갖고, 상기 필터 링의 테이퍼형의 밸브 시트에 맞닿음으로써 상기 역지 밸브 부재는 통기로를 닫아 밀봉하는, 가스 퍼지용 포트.
  9. 제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서,
    여과용 통기막을 구비하고 있는, 가스 퍼지용 포트.
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