KR102359312B1 - 기판 수납 용기 - Google Patents

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미라이얼 가부시키가이샤
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Abstract

기판 수납 용기는, 용기 본체; 용기 본체 개구부에 대하여 탈부착 가능하고, 용기 본체 개구부를 폐색 가능한 뚜껑체; 뚜껑체와 함께 용기 본체 개구부를 폐색하는 밀봉 부재;를 구비하고, 급기용 필터부를 통하여 용기 본체의 외부의 공간에서 기판 수납 공간으로 공급되는 기체의 공급량이 매분 22 L 이하인 경우에, 기판 수납 공간에 공급된 기체의 50% 이상의 기체를 배기용 필터부로부터 배기 가능하도록, 기판 수납 공간의 기밀성이 높아진 기판 수납 용기이다.

Description

기판 수납 용기
본 발명은, 반도체 웨이퍼 등으로 이루어지는 기판을 수납, 보관, 반송(搬送), 수송 등을 할 때에 사용되는 기판 수납 용기에 관한 것이다.
반도체 웨이퍼로 이루어지는 기판을 수납하여, 공장 내의 공정에 있어서 반송하기 위한 기판 수납 용기로는, 용기 본체와 뚜껑체를 구비하는 구성의 것이 종래부터 알려져 있다(예를 들어, 특허문헌 1 ~ 특허문헌 3 참조).
용기 본체의 일단부는, 용기 본체 개구부가 형성된 개구 둘레부(周緣部)를 갖는다. 용기 본체의 타단부는, 폐색된 통형상의 벽부를 갖는다. 용기 본체 내에는 기판 수납 공간이 형성되어 있다. 기판 수납 공간은, 벽부에 의해 둘러싸여 형성되어, 복수의 기판을 수납 가능하다. 뚜껑체는, 개구 둘레부에 대하여 탈부착 가능하고, 용기 본체 개구부를 폐색 가능하다. 측방 기판 지지부는, 기판 수납 공간 내에서 쌍을 이루도록 벽부에 설치되어 있다. 측방 기판 지지부는, 뚜껑체에 의해 용기 본체 개구부가 폐색되어 있지 않을 때에, 인접하는 기판끼리를 소정 간격으로 이간시켜 병렬시킨 상태로, 복수의 기판의 가장자리부(緣部)를 지지 가능하다.
뚜껑체의 부분으로서 용기 본체 개구부를 폐색하고 있을 때에 기판 수납 공간에 대향하는 부분에는, 프론트 리테이너가 설치되어 있다. 프론트 리테이너는, 뚜껑체에 의해 용기 본체 개구부가 폐색되어 있을 때에, 복수의 기판의 가장자리부를 지지 가능하다. 또한, 프론트 리테이너와 쌍을 이루도록 하여, 안측(奧側) 기판 지지부가 벽부에 설치되어 있다. 안측 기판 지지부는, 복수의 기판의 가장자리부를 지지 가능하다. 안측 기판 지지부는, 뚜껑체에 의해 용기 본체 개구부가 폐색되어 있을 때에, 프론트 리테이너와 협동하여 복수의 기판을 지지함으로써, 인접하는 기판끼리를 소정 간격으로 이간시켜 병렬시킨 상태로, 복수의 기판을 유지한다.
일본 등록특허공보 제5213440호 일본 등록특허공보 제4204302호 일본 등록특허공보 제6293771호
종래의 기판 수납 용기에는, 기판 수납 공간과 용기 본체의 외부의 공간을 연통(連通) 가능한 통기로가 형성되어 있다. 통기로를 통하여, 용기 본체의 외부에서 기판 수납 공간으로, 질소 등의 불활성 가스 혹은 수분을 제거(1% 이하)한 드라이 에어(이하, 퍼지 가스라고 한다)가 유입되어, 가스 퍼지가 수행된다.
보다 구체적으로, 기판 수납 용기에는, 통기로로서의 급기공(給氣孔)과 배기공(排氣孔)이 형성되는 것이 일반적이다. 또한, 퍼지 가스를 장시간 용기 내에 유지시키기 위해, 급기공과 배기공에는 역지 밸브가 설치된다. 기판 수납 용기 내로의 퍼지 가스의 주입은, 프로세스 처리 중이나 스토커(stocker)에서의 보관 시에 수행된다.
그러나, 실제로는, 배기공의 역지 밸브에 설치되어 있는 막의 저항이나, 역지 밸브 해방까지의 저항, 배기공에 연통하는 통기로로서의 배기 유로의 저항 등에 의해, 배기공에서 배출되는 퍼지 가스의 양은 극히 미량이 되어 있다. 퍼지 가스의 주입에 대해, 배기가 정상적으로 수행되지 않는 경우, 뚜껑체에 장착되어 있는 밀봉 부재로서의 개스킷부에서 퍼지 가스가 누출되어, 설비의 오염이나 인적 피해가 발생할 우려가 있다.
본 발명은, 기판 수납 공간에서의 기체의 주입에 대하여 배기를 확실하게 수행하는 것이 가능한 기판 수납 용기를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은, 복수의 기판을 수납 가능한 기판 수납 공간이 내부에 형성되고, 일단부에 상기 기판 수납 공간에 연통하는 용기 본체 개구부가 형성된 개구 둘레부를 갖는 용기 본체; 상기 개구 둘레부에 대하여 탈부착 가능하고, 상기 개구 둘레부에 의해 둘러싸이는 위치 관계로 상기 용기 본체 개구부를 폐색 가능한 뚜껑체; 및 상기 뚜껑체에 장착되고, 상기 뚜껑체 및 상기 개구 둘레부에 맞닿을 수 있고, 상기 개구 둘레부와 상기 뚜껑체 사이에 개재하여 상기 개구 둘레부 및 상기 뚜껑체에 밀착하여 맞닿음으로써, 상기 뚜껑체와 함께 상기 용기 본체 개구부를 폐색 하는 밀봉 부재;를 구비하고, 상기 기판 수납 공간과 상기 용기 본체의 외부의 공간을 연통 가능한 통기로와, 상기 통기로에 배치된 필터와, 상기 통기로를 형성하는 필터부 하우징을 갖고, 상기 용기 본체에 배치되고, 상기 필터를 통하여 상기 용기 본체의 외부의 공간과 상기 기판 수납 공간 사이에서 기체가 통과 가능한 필터부를 구비하며, 상기 필터부는, 상기 기판 수납 공간에서 상기 용기 본체의 외부의 공간으로 기체를 유통 가능한 배기용 필터부와, 상기 용기 본체의 외부의 공간에서 상기 기판 수납 공간으로 기체를 유통 가능한 급기용 필터부를 갖고, 상기 급기용 필터부를 통하여 상기 용기 본체의 외부의 공간에서 상기 기판 수납 공간으로 공급되는 기체의 공급량이 매분 22 L 이하인 경우에, 상기 기판 수납 공간에 공급된 기체의 50% 이상의 기체를 상기 배기용 필터부로부터 배기 가능하도록, 상기 기판 수납 공간의 기밀성이 높여진 기판 수납 용기에 관한 것이다.
또한, 상기 급기용 필터부를 통하여 상기 용기 본체의 외부의 공간에서 상기 기판 수납 공간으로 기체가 공급되어 있을 때에, 상기 기판 수납 공간에서의 용기 내 양압이 0.15 kpa 이상으로 하는 것이 가능하도록, 상기 밀봉 부재는 상기 개구 둘레부와 상기 뚜껑체 사이를 밀봉하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 배기용 필터부는, 기체를 상기 기판 수납 공간에서 상기 용기 본체의 외부의 공간으로 유통시키는 배기용의 상기 통기로의 연통과 차단을 전환하는 밸브체와, 배기용의 상기 통기로를 차단하는 방향으로 상기 밸브체를 미는 스프링을 구비하고, 상기 스프링의 스프링 정수는 0.05 kgf/mm 이하인 것이 바람직하다.
또한, 상기 필터는, 기체를 상기 기판 수납 공간에서 상기 용기 본체의 외부의 공간으로 유통시키는 배기용의 상기 통기로에 설치되어, 상기 통기로를 상류측과 하류측으로 구분하고, 상기 필터에 있어서 기체가 유통 가능한 배기 필터막 유효 총면적이 200 mm2 이상인 것이 바람직하다.
또한, 본 발명은, 복수의 기판을 수납 가능한 기판 수납 공간이 내부에 형성되고, 일단부에 상기 기판 수납 공간에 연통하는 용기 본체 개구부가 형성된 개구 둘레부를 갖는 용기 본체; 상기 개구 둘레부에 대하여 탈부착 가능하고, 상기 개구 둘레부에 의해 둘러싸이는 위치 관계로 상기 용기 본체 개구부를 폐색 가능한 뚜껑체; 및 상기 뚜껑체에 장착되고, 상기 뚜껑체 및 상기 개구 둘레부에 맞닿을 수 있고, 상기 개구 둘레부와 상기 뚜껑체 사이에 개재하여 상기 개구 둘레부 및 상기 뚜껑체에 밀착하여 맞닿음으로써, 상기 뚜껑체와 함께 상기 용기 본체 개구부를 폐색하는 밀봉 부재;를 구비하고, 상기 기판 수납 공간과 상기 용기 본체의 외부의 공간을 연통 가능한 통기로와, 상기 통기로에 배치된 필터와, 상기 통기로를 형성하는 필터부 하우징을 갖고, 상기 용기 본체에 배치되고, 상기 필터를 통하여 상기 용기 본체의 외부의 공간과 상기 기판 수납 공간 사이에서 기체가 통과 가능한 필터부를 구비하며, 상기 필터부는, 상기 기판 수납 공간에서 상기 용기 본체의 외부의 공간으로 기체를 유통 가능한 배기용 필터부와, 상기 용기 본체의 외부의 공간에서 상기 기판 수납 공간으로 기체를 유통 가능한 급기용 필터부를 갖고, 상기 급기용 필터부를 통하여 상기 용기 본체의 외부의 공간에서 상기 기판 수납 공간으로 공급되는 기체의 공급량이 매분 22 L 이하인 경우에, 상기 기판 수납 공간에 공급된 기체의 50% 이상의 기체를 상기 배기용 필터부로부터 배기 가능하도록, 상기 필터는, 가압식 여과 장치를 이용하여 500 mL의 IPA가 98 kPa의 압력 하에서 배기 필터막 유효 총면적 13.8 cm2의 시료를 통과하는데 필요한 시간을 측정하는 IPA Flow법으로, 15 sec 이하의 유량 성능을 갖는 기판 수납 용기에 관한 것이다.
또한, 상기 필터는, 기체를 상기 기판 수납 공간에서 상기 용기 본체의 외부의 공간으로 유통시키는 배기용의 상기 통기로에 설치되어, 상기 통기로를 상류측과 하류측으로 구분하고, 상기 필터에 있어서 기체가 유통 가능한 배기 필터막 유효 총면적이 200 mm2 이상인 것이 바람직하다.
또한, 본 발명은, 복수의 기판을 수납 가능한 기판 수납 공간이 내부에 형성되고, 일단부에 상기 기판 수납 공간에 연통하는 용기 본체 개구부가 형성된 개구 둘레부를 갖는 용기 본체; 상기 개구 둘레부에 대하여 탈부착 가능하고, 상기 개구 둘레부에 의해 둘러싸이는 위치 관계로 상기 용기 본체 개구부를 폐색 가능한 뚜껑체; 및 상기 뚜껑체에 장착되고, 상기 뚜껑체 및 상기 개구 둘레부에 맞닿을 수 있고, 상기 개구 둘레부와 상기 뚜껑체 사이에 개재하여 상기 개구 둘레부 및 상기 뚜껑체에 밀착하여 맞닿음으로써, 상기 뚜껑체와 함께 상기 용기 본체 개구부를 폐색 하는 밀봉 부재;를 구비하고, 상기 기판 수납 공간과 상기 용기 본체의 외부의 공간을 연통 가능한 통기로와, 상기 통기로를 형성하는 필터부 하우징을 갖고, 상기 용기 본체에 배치되고, 상기 용기 본체의 외부의 공간과 상기 기판 수납 공간 사이에서 기체가 통과 가능한 필터부를 구비하며, 상기 필터부는, 상기 기판 수납 공간에서 상기 용기 본체의 외부의 공간으로 기체를 유통 가능한 배기용 필터부와, 상기 용기 본체의 외부의 공간에서 상기 기판 수납 공간으로 기체를 유통 가능한 급기용 필터부를 갖고, 상기 급기용 필터부를 통하여 상기 용기 본체의 외부의 공간에서 상기 기판 수납 공간으로 공급되는 기체의 공급량이 매분 22 L 이하인 경우에, 상기 기판 수납 공간에 공급된 기체의 50% 이상의 기체를 상기 배기용 필터부로부터 배기 가능하도록, 가압식 여과 장치를 이용하여 500 mL의 IPA가 98 kPa의 압력 하에서 배기 필터막 유효 총면적 13.8 cm2인 시료를 통과하는데 필요한 시간을 측정하는 IPA Flow법으로 측정된 유량 성능이, 상기 배기용 필터부는, 상기 급기용 필터부보다 높은 기판 수납 용기에 관한 것이다.
또한, 상기 배기용 필터부의 유량 성능은, 상기 급기용 필터부의 유량 성능의 5배 이상인 것이 바람직하다. 또한, 상기 배기용 필터부는, 상기 기판 수납 공간에서 상기 용기 본체의 외부의 공간으로 향하는 한 방향으로만 기체를 유통 가능한 역지 밸브를 갖고 있는 것이 바람직하다.
또한, 상기 배기용 필터부는, 상기 통기로에 배치된 필터를 구비하고, 상기 급기용 필터부는, 상기 통기로에 배치된 필터를 구비하고, 상기 배기용 필터부의 필터의 유량 성능은, 상기 급기용 필터부의 필터의 유량 성능보다 높은 것이 바람직하다.
또한, 상기 필터는, 기체를 상기 기판 수납 공간에서 상기 용기 본체의 외부의 공간으로 유통시키는 배기용의 상기 통기로에 설치되어, 상기 통기로를 상류측과 하류측으로 구분하고, 상기 필터에 있어서 기체가 유통 가능한 배기 필터막 유효 총면적이, 상기 급기용 필터부보다 상기 배기용 필터부가 큰 것이 바람직하다.
또한, 상기 배기용 필터부의 상기 통기로에는 필터는 배치되어 있지 않고, 상기 급기용 필터부는, 상기 통기로에 배치된 필터를 구비하는 것이 바람직하다. 또한, 상기 급기용 필터부는, 상기 용기 본체의 외부의 공간에서 상기 기판 수납 공간으로 향하는 한 방향으로만 기체를 유통 가능한 역지 밸브를 갖고 있는 것이 바람직하다.
본 발명에 의하면, 기판 수납 공간에서의 기체의 주입에 대하여 배기를 확실하게 수행하는 것이 가능한 기판 수납 용기를 제공할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시형태에 따른 기판 수납 용기(1)에 복수의 기판(W)이 수납된 모습을 나타내는 분해 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시형태에 따른 기판 수납 용기(1)의 용기 본체(2)를 나타내는 상방 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시형태에 따른 기판 수납 용기(1)의 용기 본체(2)를 나타내는 하방 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시형태에 따른 기판 수납 용기(1)의 용기 본체(2)를 나타내는 측방 단면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시형태에 따른 기판 수납 용기(1)의 배기용 필터부(90A)를 나타내는 상방 분해 사시도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시형태에 따른 기판 수납 용기(1)의 배기용 필터부(90A)를 나타내는 하방 분해 사시도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시형태에 따른 기판 수납 용기(1)의 배기용 필터부(90A)를 나타내는 단면도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시형태에 따른 기판 수납 용기(1)의 뚜껑체(3)를 나타내는 단면도이다.
도 9는 본 발명의 일 실시형태에 따른 기판 수납 용기(1)의 밀봉 부재(4)를 나타내는 사시도이다.
도 10은 본 발명의 일 실시형태에 따른 기판 수납 용기(1)의 밀봉 부재(4)를 나타내는 측면도이다.
도 11은 본 발명의 일 실시형태에 따른 기판 수납 용기(1)에서의 배기용 필터부(90A)에서 배출되는 퍼지 가스의 배출량을 나타내는 그래프이다.
도 12는 본 발명의 일 실시형태에 따른 기판 수납 용기(1)에서의 배기용 필터부(90A)에서 배출되는 퍼지 가스의 배출량에 대한, 급기용 필터부(90)로부터 흡기(吸氣)되는 퍼지 가스의 주입량의 비율인 배출률을 나타내는 그래프이다.
이하, 제1 실시형태에 의한 기판 수납 용기(1)에 대하여, 도면을 참조하면서 설명한다.
도 1은, 기판 수납 용기(1)에 복수의 기판(W)이 수납된 모습을 나타내는 분해 사시도이다. 도 2는, 기판 수납 용기(1)의 용기 본체(2)를 나타내는 상방 사시도이다. 도 3은, 기판 수납 용기(1)의 용기 본체(2)를 나타내는 하방 사시도이다. 도 4는, 기판 수납 용기(1)의 용기 본체(2)를 나타내는 측방 단면도이다.
그리고 도 4에서는 편의상, 급기용 필터부(90), 리브(235), 및, 탑 플랜지(236)의 도시를 생략하고 있다.
여기서, 설명의 편의상, 후술하는 용기 본체(2)에서 뚜껑체(3)로 향하는 방향(도 1에서의 우상에서 좌하로 향하는 방향)을 전방향(D11)으로 정의하고, 그 반대의 방향을 후방향(D12)으로 정의하고, 이들을 아울러 전후 방향(D1)으로 정의한다. 또한, 후술하는 하벽(24)에서 상벽(23)으로 향하는 방향(도 1에서의 상방향)을 상방향(D21)으로 정의하고, 그 반대의 방향을 하방향(D22)으로 정의하고, 이들을 아울러 상하 방향(D2)으로 정의한다. 또한, 후술하는 제2 측벽(26)에서 제1 측벽(25)으로 향하는 방향(도 1에서의 우하에서 좌상으로 향하는 방향)을 좌방향(D31)으로 정의하고, 그 반대의 방향을 우방향(D32)으로 정의하고, 이들을 아울러 좌우 방향(D3)으로 정의한다. 주요한 도면에는, 이들의 방향을 나타내는 화살표를 도시하고 있다.
또한, 기판 수납 용기(1)에 수납되는 기판(W)(도 1 참조)은, 원반형 실리콘 웨이퍼, 유리 웨이퍼, 사파이어 웨이퍼 등으로, 산업에 이용되는 얇은 것이다. 본 실시형태에서의 기판(W)은, 직경 300 mm의 실리콘 웨이퍼이다.
도 1에 나타내는 바와 같이, 기판 수납 용기(1)는, 상술과 같은 실리콘 웨이퍼로 이루어지는 기판(W)을 수납하여, 공장 내의 공정에 있어서 반송하는 공정 내용기로 이용되거나 육상 운송 수단·항공 운송 수단·해상 운송 수단 등의 수송 수단에 의해 기판을 수송하기 위한 출하 용기로 이용되는 것으로, 용기 본체(2)와 뚜껑체(3)로 구성된다. 용기 본체(2)는, 측방 기판 지지부로서의 기판 지지 판형상부(5)와 안측 기판 지지부(6)(도 2 등 참조)를 구비하고 있고, 뚜껑체(3)는, 뚜껑체측 기판 지지부로서의 미도시의 프론트 리테이너를 구비하고 있다.
용기 본체(2)는, 일단부에 용기 본체 개구부(21)가 형성되고, 타단부가 폐색 된 통형상의 벽부(20)를 갖는다. 용기 본체(2) 내에는 기판 수납 공간(27)이 형성되어 있다. 기판 수납 공간(27)은, 벽부(20)에 의해 둘러싸여 형성되어 있다. 벽부(20)의 부분으로서 기판 수납 공간(27)을 형성하고 있는 부분에는, 기판 지지 판형상부(5)가 설치되어 있다. 기판 수납 공간(27)에는, 도 1에 나타내는 바와 같이, 복수의 기판(W)을 수납 가능하다.
기판 지지 판형상부(5)는, 기판 수납 공간(27) 내에서 쌍을 이루도록 벽부(20)에 설치되어 있다. 기판 지지 판형상부(5)는, 뚜껑체(3)에 의해 용기 본체 개구부(21)가 폐색되어 있지 않을 때에, 복수의 기판(W)의 가장자리부에 맞닿음(當接)으로써, 인접하는 기판(W)끼리를 소정 간격으로 이간시켜 병렬시킨 상태로, 복수의 기판(W)의 가장자리부를 지지 가능하다. 기판 지지 판형상부(5)의 안측에는, 안측 기판 지지부(6)가 기판 지지 판형상부(5)와 일체 성형되어 설치되어 있다.
안측 기판 지지부(6)(도 2 등 참조)는, 기판 수납 공간(27) 내에서 후술하는 미도시의 프론트 리테이너와 쌍을 이루도록 벽부(20)에 설치되어 있다. 안측 기판 지지부(6)는, 뚜껑체(3)에 의해 용기 본체 개구부(21)가 폐색되어 있을 때에, 복수의 기판(W)의 가장자리부에 맞닿음으로써, 복수의 기판(W)의 가장자리부의 후부를 지지 가능하다.
뚜껑체(3)는, 용기 본체 개구부(21)를 형성하는 개구 둘레부(28)(도 1 등)에 대하여 탈부착 가능하고, 용기 본체 개구부(21)를 폐색 가능하다. 미도시의 프론트 리테이너는, 뚜껑체(3)의 부분으로서 뚜껑체(3)에 의해 용기 본체 개구부(21)가 폐색되어 있을 때에 기판 수납 공간(27)에 대향하는 부분에 설치되어 있다. 미도시의 프론트 리테이너는, 기판 수납 공간(27)의 내부에서 안측 기판 지지부(6)와 쌍을 이루도록 배치되어 있다.
미도시의 프론트 리테이너는, 뚜껑체(3)에 의해 용기 본체 개구부(21)가 폐색되어 있을 때에, 복수의 기판(W)의 가장자리부에 맞닿음으로써 복수의 기판(W)의 가장자리부의 전부(前部)를 지지 가능하다. 미도시의 프론트 리테이너는, 뚜껑체(3)에 의해 용기 본체 개구부(21)가 폐색되어 있을 때에, 안측 기판 지지부(6)와 협동하여 복수의 기판(W)을 지지함으로써, 인접하는 기판(W)끼리를 소정 간격으로 이간시켜 병렬시킨 상태로 유지한다.
기판 수납 용기(1)는, 플라스틱재 등의 수지로 구성되어 있고, 특별히 설명이 없는 경우에는, 그 재료의 수지로는, 예를 들어, 폴리카보네이트, 사이클로올레핀 폴리머, 폴리에테르이미드, 폴리에테르케톤, 폴리부틸렌테레프탈레이트, 폴리에테르에테르케톤, 액정 폴리머와 같은 열가소성 수지나 이들의 합금 등을 들 수 있다. 이들 성형 재료의 수지에는, 도전성을 부여하는 경우에는, 카본 섬유, 카본 파우더, 카본 나노 튜브, 도전성 폴리머 등의 도전성 물질이 선택적으로 첨가된다. 또한, 강성을 올리기 위해 유리 섬유나 탄소섬유 등을 첨가하는 것도 가능하다.
이하, 각 부에 대하여, 상세하게 설명한다.
도 1에 나타내는 바와 같이, 용기 본체(2)의 벽부(20)는, 안벽(22)과 상벽(23)과 하벽(24)과 제1 측벽(25)과 제2 측벽(26)을 갖는다. 안벽(22), 상벽(23), 하벽(24), 제1 측벽(25), 및 제2 측벽(26)은, 상술한 재료에 의해 구성되어 있고, 일체 성형되어 구성되어 있다.
제1 측벽(25)과 제2 측벽(26)은 대향하고 있고, 상벽(23)과 하벽(24)은 대향하고 있다. 상벽(23)의 후단(後端), 하벽(24)의 후단, 제1 측벽(25)의 후단, 및 제2 측벽(26)의 후단은, 모두 안벽(22)에 접속되어 있다. 상벽(23)의 전단(前端), 하벽(24)의 전단, 제1 측벽(25)의 전단, 및 제2 측벽(26)의 전단은, 대략 직사각 형상을 한 용기 본체 개구부(21)를 형성하는 개구 둘레부(28)를 구성한다.
개구 둘레부(28)는, 용기 본체(2)의 일단부에 설치되어 있고, 안벽(22)은, 용기 본체(2)의 타단부에 위치하고 있다. 벽부(20)의 외면에 의해 형성되는 용기 본체(2)의 외형은 상자 형상이다. 벽부(20)의 내면, 즉, 안벽(22)의 내면, 상벽(23)의 내면, 하벽(24)의 내면, 제1 측벽(25)의 내면, 및 제2 측벽(26)의 내면은, 이들에 의해 둘러싸인 기판 수납 공간(27)을 형성하고 있다. 개구 둘레부(28)에 형성된 용기 본체 개구부(21)는, 벽부(20)에 의해 둘러싸여 용기 본체(2)의 내부에 형성된 기판 수납 공간(27)에 연통하고 있다. 기판 수납 공간(27)에는, 최대 25장의 기판(W)을를 수납 가능하다.
도 1에 나타내는 바와 같이, 상벽(23) 및 하벽(24)의 부분으로서, 개구 둘레부(28) 근방의 부분에는, 기판 수납 공간(27)의 바깥쪽을 향해 움푹 팬 래치 계합(係合) 오목부(231A, 231B, 241A, 241B)가 형성되어 있다. 래치 계합 오목부(231A, 231B, 241A, 241B)는, 상벽(23) 및 하벽(24)의 좌우 양단부 근방에 1개씩, 총 4개 형성되어 있다.
도 1에 나타내는 바와 같이, 상벽(23)의 외면에 있어서는, 리브(235)가, 상벽(23)과 일체 성형되어 설치되어 있다. 리브(235)는, 용기 본체(2)의 강성을 높인다. 또한, 상벽(23)의 중앙부에는, 탑 플랜지(236)가 고정된다. 탑 플랜지(236)는, AMHS(자동 웨이퍼 반송 시스템), PGV(웨이퍼 기판 반송 대차) 등에 있어서 기판 수납 용기(1)를 매달 때에, 기판 수납 용기(1)에 있어서 걸려져 매달리는 부분이 되는 부재이다.
도 3에 나타내는 바와 같이, 하벽(24)의 네 귀퉁이에는, 통기로(210)(도 4 참조)로, 2 종류의 관통공인 급기공(242)과 배기공(243)(도 1 참조)이 형성되어 있다. 본 실시형태에 있어서는, 하벽(24)의 전부의 2군데의 관통공은, 용기 본체(2)의 내부의 기체를 배출하기 위한 배기공(243)이며, 후부의 2군데의 관통공은, 용기 본체(2)의 내부에 기체를 급기하기 위한 급기공(242)이다. 급기공(242)으로서의 관통공에는, 급기용 필터부(90)가 배치되어 있고, 배기공(243)으로서의 관통공에는, 배기용 필터부(90A)가 배치되어 있다. 따라서, 급기용 필터부(90) 및 배기용 필터부(90A) 내부의 기체의 유로는, 기판 수납 공간(27)과 용기 본체(2)의 외부의 공간을 연통 가능한 통기로(210)의 일부를 구성한다. 또한, 급기용 필터부(90)와 배기용 필터부(90A)는, 벽부(20)에 배치되어 있고, 급기용 필터부(90)와 배기용 필터부(90A)에 있어서는, 용기 본체(2)의 외부의 공간과 기판 수납 공간(27) 사이에서 기체가 통과 가능하다.
기판 지지 판형상부(5)는, 제1 측벽(25) 및 제2 측벽(26)에 각각 설치되어 있고, 좌우 방향(D3)에 있어서 쌍을 이루도록 하여 기판 수납 공간(27) 내에 배치된 내장 부품이다. 구체적으로, 도 4 등에 나타내는 바와 같이, 기판 지지 판형상부(5)는, 판부(51)와 판부 지지부로서의 지지벽(52)을 갖고 있다. 판부(51)와 지지벽(52)은, 수지 재료가 일체 성형되어 구성되어 있고, 판부(51)는, 지지벽(52)에 의해 지지되고 있다.
판부(51)는, 판형상의 대략 호(弧)형상을 갖고 있다. 판부(51)는, 제1 측벽(25), 제2 측벽(26) 각각에, 상하 방향(D2)으로 25장씩 총 50장 설치되어 있다. 인접하는 판부(51)는, 상하 방향(D2)에 있어서 10 mm ~ 12 mm 간격으로 서로 이간되어 평행한 위치 관계로 배치되어 있다. 그리고 가장 위에 위치하는 판부(51)의 상방에는, 또 한장의 판부(51)와 평행하게 판형상의 부재(59)가 배치되어 있지만, 이것은, 가장 위에 위치하여 기판 수납 공간(27) 내로 삽입되는 기판(W)에 대하여, 해당 삽입 시의 가이드 역할을 하는 부재이다.
또한, 제1 측벽(25)에 설치된 25장의 판부(51)와 제2 측벽(26)에 설치된 25장의 판부(51)는, 서로 좌우 방향(D3)에 있어서 대향하는 위치 관계를 갖고 있다. 또한, 50장의 판부(51), 및, 판부(51)와 평행한 판형상의 가이드 역할을 하는 부재(59)는, 하벽(24)의 내면에 평행한 위치 관계를 갖고 있다. 판부(51)의 상면에는, 볼록부(511, 512)가 설치되어 있다. 판부(51)에 지지된 기판(W)은, 볼록부(511, 512)의 돌출단(突出端)에만 접촉하고, 면으로 판부(51)에 접촉하지 않는다.
지지벽(52)은, 상하 방향(D2) 및 대략 전후 방향(D1)으로 연장되는 판형상을 갖고 있다. 지지벽(52)은, 도 4에 나타내는 바와 같이, 판부(51)의 길이 방향에 있어서 소정 길이를 갖고 있고, 판부(51)의 옆끝가장자리(側端緣)에 접속되어 있다. 판형상의 지지벽(52)는, 판부(51)의 외측 끝가장자리(端緣)를 따라 기판 수납 공간(27)으로 만곡되어 있다.
즉, 제1 측벽(25)에 설치된 25장의 판부(51)는, 제1 측벽(25)측에 설치된 지지벽(52)에 접속되어 있다. 마찬가지로, 제2 측벽(26)에 설치된 25장의 판부(51)는, 제2 측벽(26)측에 설치된 지지벽(52)에 접속되어 있다. 지지벽(52)은, 제1 측벽(25), 제2 측벽(26)에 각각 고정된다.
이러한 구성의 기판 지지 판형상부(5)는, 복수의 기판(W) 중의 인접하는 기판(W)끼리를, 소정 간격으로 이간한 상태이면서 서로 평행한 위치 관계로 한 상태로, 복수의 기판(W)의 가장자리부를 지지 가능하다.
도 4에 나타내는 바와 같이, 안측 기판 지지부(6)는, 안측 끝가장자리 지지부(60)를 갖고 있다. 안측 끝가장자리 지지부(60)는, 기판 지지 판형상부(5)의 판부(51)의 후단부에, 판부(51) 및 지지벽(52)과 일체 성형되어 구성되어 있다. 따라서, 측방 기판 지지부로서의 기판 지지 판형상부(5)와 안측 기판 지지부(6)는, 용기 본체(2)의 내부에 있어서 용기 본체(2)에 대하여 고정되는 결합된 1개의 내장 부품을 구성한다. 그리고 안측 기판 지지부(6)는, 기판 지지 판형상부(5)와 별개체, 즉, 안측 끝가장자리 지지부(60)는, 기판 지지 판형상부(5)의 판부(51)와 별개체로 구성되어 있을 수도 있다.
안측 끝가장자리 지지부(60)는, 기판 수납 공간(27)에 수납 가능한 기판(W)의 한 장마다 대응된 개수, 구체적으로, 25개 설치되어 있다. 제1 측벽(25) 및 제2 측벽(26)에 배치된 안측 끝가장자리 지지부(60)는, 전후 방향(D1)에 있어서, 후술하는 미도시의 프론트 리테이너와 쌍을 이루는 것 같은 위치 관계를 갖고 있다. 기판 수납 공간(27) 내에 기판(W)가 수납되고, 뚜껑체(3)가 닫혀짐으로써, 안측 끝가장자리 지지부(60)는, 기판(W)의 가장자리부의 끝가장자리를 협지하여 지지한다.
도 2 등에 나타내는 바와 같이, 안벽(22)은, 기체 분출 노즐부로서의 돌출부(8)를 갖고 있다. 돌출부(8)는, 2개로 쌍을 이루고 있고, 리브형으로 용기 본체 개구부(21)로 향해 돌출되고, 평행하게 안벽(22)의 상단부에서 하단부에 이를때 까지 연장되어 있다. 즉, 돌출부(8)는 중공의 기둥 형상을 갖고 있다. 돌출부(8)의 내부 공간은, 격벽부(81)에 의해 전측의 공간과 후측의 공간으로 구분되어 있다.
전측의 공간은, 기체 유출전 유지실(803)을 구성하고, 후측의 공간은, 기판 수납 공간(27)과 용기 본체(2)의 외부의 공간을 연통 가능한 통기로(210)(도 4 등 참조)에 연통하는 기체 체류실(801)을 구성한다.
도 5는, 기판 수납 용기(1)의 배기용 필터부(90A)를 나타내는 상방 분해 사시도이다. 도 6은, 기판 수납 용기(1)의 배기용 필터부(90A)를 나타내는 하방 분해 사시도이다. 도 7은, 기판 수납 용기(1)의 배기용 필터부(90A)를 나타내는 단면도이다.
돌출부(8)는, 통기로(210)에 유입된 기체를 기판 수납 공간(27)에 공급하는 복수의 개구부(802)를 갖는다. 기체 체류실(801)은, 퍼지 가스가 일시적으로 모여 가압됨으로써, 통기로(210)와 돌출부(8)의 개구부(802) 사이에 있어서, 통기로(210)로부터의 기체를 소정 양으로 균일하게 유지 가능한 기체 균일 유지부로서, 복수의 개구부(802)로부터 균일화된 유량으로 퍼지 가스를 유출 가능하게 하는 기체 유량 균일화부를 구성하는 기체 균일 유지부를 구성한다.
통기로(210)에는, 기체로서의 질소 등의 불활성 가스 혹은 수분을 제거(1% 이하)한 드라이 에어(이하, 퍼지 가스라고 한다) 등이 통과 가능하다. 통기로(210)는, 도 4에 나타내는 바와 같이, 기체 유입부(211)와 수평 방향 연장부(212)를 갖고 있고, 수평 방향 연장부(212)에는, 기체 체류실(801)의 하단부가 접속되어 있다.
기체 유입부(211)는, 하벽(24)의 후단부에 형성되어 하방향(D22)으로 돌출하여 급기공(242)을 형성하는 원통형의 기체 공급 장치 접속부(202)의 내부 공간에 의해 구성되어 있다. 수평 방향 연장부(212)는, 하벽(24)의 외면(하면)을 따라 하벽(24)의 외측에 있어서, 기체 유입부(211)의 상단부에서 후방향(D12)(도 4의 우방향)으로 연장되어 있고, 하벽(24)의 외면과 하벽(24)보다 하측으로 돌출되어 있는 하측 유로 형성부(203) 사이의 공간에 의해 구성되어 있다. 그리고, 수평 방향 연장부(212)에 접속되어 있는 기체 체류실(801)은, 상술한 바와 같이 돌출부(8)의 후측의 공간에 의해 구성되어 있고, 수평 방향 연장부(212)의 후단부에서 상방향(D21)으로 안벽(22)의 상단부에 이를때 까지 연장되어 있다.
격벽부(81)에는, 기체 체류실(801)로부터 퍼지 가스가 유입되는 미소한 유입구(811)가 형성되어 있다. 유입구(811)는, 다수 형성되어 있고, 유입구(811)의 총면적은, 개구부(802)의 총면적보다 작다.
기체 공급 장치 접속부(202)의 하단부의 개구는, 급기공(242)을 구성한다. 기체 공급 장치 접속부(202)에는, 급기용 필터부(90)가 고정되어 있다. 배기공(243)은, 하벽(24)의 관통공에 의해 구성되어 있고, 해당 관통공에는, 배기용 필터부(90A)가 고정되어 있다. 배기용 필터부(90A)에 있어서는, 급기용 필터부(90)에서의 후술하는 밸브체(971)와 스프링(972)의 상하 관계가 반대로 되어 있는 한편, 밸브체(971)의 자세의 상하 관계가 반대로 되어 있을 뿐, 다른 구성은 공통적이다. 그러므로, 아래의 설명에서는, 배기용 필터부(90A)에 대해서만 설명하고, 급기용 필터부(90)에 대한 설명을 생략한다.
도 5, 도 6에 나타내는 바와 같이, 배기용 필터부(90A)는, 필터 하우징(91), 필터링(95), 통기막(96), 역지 밸브 부재(97), 밀착 패드(98), O링(99)을 갖고 있다. 필터 하우징(91)은, 상부 제1 하우징(92)과 하부 제1 하우징(93)으로 이루어지고, 상부 제1 하우징(92)과 하부 제1 하우징(93) 사이에 통기막(96)이 협지되어 있다. 상부 제1 하우징(92)과 하부 제1 하우징(93)은, 초음파에 의해 용착 고정되어 있다.
배기용 필터부(90A)는, 용기 본체(2)의 하벽(24)에, 상부 제1 하우징(92)이 수납 공간(27)측이 되도록 배치되어 있다. 배기용 필터부(90A)는, 하벽(24)에 장착되는 것에 한정되지 않는다. 배기용 필터부(90A)는, 하벽(24) 이외의 벽부, 뚜껑체에 장착할 수도 있고, 하벽과 뚜껑체 양쪽 모두에 장착할 수도 있다.
배기용 필터부(90A)의 수납 공간(27)측에 배치되는 상부 제1 하우징(92)에는, 도 5에 나타내는 바와 같이, 수납 공간측 개구(921)가 형성되고, 배기용 필터부(90A)의 수납 용기(1)의 외부의 공간측에는, 도 6에 나타내는 바와 같이, 필터링(95)에 있어서 수납 공간 외측 개구(951)가 형성되어 있다. 이들 개구는 배기용 필터부(90A)의 내부에 형성된 통기 공간(상부 통기 공간(922), 하부 통기 공간(933))을 통해, 수납 용기(1)의 내부와 외부의 공간을 연통시키고 있다. 수납 공간 외측 개구(951)는, 후술하는 퍼지 가스를 통기 공간으로 공급하는 퍼지 포트의 가스 유통로보다, 훨씬 큰 직경으로 구성되어 있다. 이것에 의해, 통기막(96)의 막 유효 총면적이, 후술하는 값이 되도록 충분히 넓게 확보되는 동시에, 기판 수납 공간(27)의 용기 내 양압(陽壓)을 받는 후술하는 밸브체(971)의 상면의 면적이 넓게 구성되어, 넓은 면적으로 밸브체(971)의 상면이 용기 내 양압을 받는 것이 가능해진다.
상기 구성에 의해, 배기용 필터부(90A)는, 통기막(96)을 통하여 용기 본체(2)의 외부의 공간에서 수납 공간(27)으로의 방향(이하, 「수납 공간(27)의 내측 방향」으로 정의한다), 혹은 수납 공간(27)에서 용기 본체(2)의 외부의 공간으로의 방향(이하, 「수납 공간(27)의 외측 방향」으로 정의한다)으로 기체를 통과 가능하다. 그 때, 통기막(96)은, 기체에 포함되는 파티클 등을 통과하는 것을 저지하고, 기체의 여과를 수행한다.
통기막(96)은, 가압식 여과 장치를 이용하여 500 mL의 IPA가 98 kPa의 압력 하에서 배기 필터막 유효 총면적 13.8 cm2의 시료를 통과하는데 필요한 시간을 측정하는 IPA Flow법으로, 15 sec 이하의 유량 성능을 갖고 있고, 본 실시형태에서는, 4 sec ~ 10 sec의 유량 성능을 갖고 있다. 유량 성능이 15 sec를 초과하는 경우에는, 충분한 양의 퍼지 가스를, 통기막(96)을 통해 배기용 필터부(90A)에서 배출할 수 없기 때문이다. 상부 통기 공간(922) 및 수납 공간측 개구(921)에 의해 통기막(96)을 기체가 유통하여 통과할 수 있는 막 유효 총면적은, 200 mm2 이상이 되도록, 상부 통기 공간(922) 및 수납 공간측 개구(921)가 형성되어 있고, 본 실시형태에서의 막 유효 총면적은, 450 mm2이다. 막 유효 총면적이, 200 mm2 미만에서는, 충분한 양의 퍼지 가스를, 통기막(96)을 통해 배기용 필터부(90A)에서 배출할 수 없기 때문이다.
도 5 등에 나타내는 바와 같이, 상부 제1 하우징(92)에는, 수납 공간측 개구(921)에 연통된 상부 통기 공간(922)이 설치되어 있다. 하부 제1 하우징(93)에는, 나사부(934)가 형성되어 있다. 나사부(934)는, 대략 환형 통형상을 갖고 있고, 나사부(934)의 외주면에는, 나사(935)가 형성되어 있다. 나사부(934)의 상단부는, 나사부(934)의 내경이 작아져 있고, 이것에 의해 단부(段部)가 형성되고, 나사부(934)의 내면으로서 이 단부에서의 수평한 면은, 평탄면에 의해 구성되는 밀착면(9341)(도 7 참조)을 갖고 있다. 하부 제1 하우징(93)에는, 상부 통기 공간(922)과 접속되어 나사부(934)에 의해 형성된 하부 통기 공간(933)이 형성되어 있다. 따라서, 상부 통기 공간(922)과 하부 통기 공간(933)에 의해 구성되는 통기로에 의해, 배기용 필터부(90A)의 수납 공간측 개구(921)(도 7 참조)와 수납 공간 외측 개구(951)를 연통하는 통기 공간이 형성되어 있다.
역지 밸브 부재(97)는, 밸브체(971)와, 밸브체(971)를 일정 방향으로 밀기 위한 스프링(972)에 의해 구성되어 있다. 밸브체(971)는, 하부 제1 하우징(93)의 내부에서의 통기 공간에, 수납 공간(27)의 외측 방향으로 배치되어 있다. 스프링(972)은, 밸브체(971)와 필터링(95) 사이에 배치되어 있고, 필터링(95)에 대하여 밸브체(971)를 수납 공간(27)의 내측 방향으로서 상방향으로 미는 압축 스프링을 구성한다. 밸브체(971)는, 통기로를 유통하는 기체의 압력으로 개폐 가능하다. 즉, 원통 형상을 갖는 밸브체(971)의 둘레면(周面)에는, 도 5 등에 나타내는 바와 같이, 밸브체(971)의 반경 방향 바깥방향으로 돌출하는 밸브체 둘레면 볼록부(9713)가 복수 설치되어 있다. 밸브체 둘레면 볼록부(9713)는, 밸브체(971)의 원주 방향(周方向)에 있어서, 원호 형상을 갖는 동시에, 옆에서 봤을 때 직사각 형상을 갖는다. 밸브체 둘레면 볼록부(9713)의 돌출 단면(端面)은, 나사부(934)의 내주면에 맞닿는다. 밸브체(971)의 둘레면으로서, 밸브체 둘레면 볼록부(9713)가 설치되어 있지 않은 부분(9714)이나 노치(notch)가 형성되어 있는 부분(9716)은, 나사부(934)의 내주면에 맞닿지 않고, 나사부(934)의 내주면과의 사이에, 통기로를 형성한다. 밸브체(971)는, 통기로를 유통하는 퍼지 가스 등의 기체에 의해 하방향으로 눌리면, 나사부(934)의 밀착면(9341)으로부터 이간되어, 밸브체(971)가 열릴 수 있도록, 스프링(972)의 스프링 정수가 설정되어 있다. 기체의 누르는 힘이 밸브체(971)에 작용하고 있지 않을 때에는, 스프링(972)의 미는 힘에 의해 밸브체(971)는 닫은 상태가 된다.
역지 밸브 부재(97)의 스프링(972)의 스프링 정수는, 0.05 kgf/mm 이하이며, 폴리에테르에테르케톤, 폴리카보네이트, 폴리아세탈 중 적어도 어느 하나에 의해 구성되는, 비교적 내구성이 높은 수지인 고성능 열가소성 수지가 성형되어 구성되고, 본 실시형태에 있어서는, 역지 밸브 부재(97)의 스프링(972)의 스프링 정수는, 0.005 kgf/mm이며, 스프링(972)은, 폴리에테르에테르케톤이 성형되어 구성되어 있다. 역지 밸브 부재(97)의 스프링(972)의 스프링 정수가, 0.05 kgf/mm를 초과하면, 역지 밸브 부재(97)의 밸브체(971)가 열기 어려워져, 충분한 양의 퍼지 가스를, 배기용 필터부(90A)를 통하여 배출할 수 없게 되기 때문이다.
필터링(95)은, 수납 공간(27)의 외측 방향의 단부가 작은 직경으로 구성된 대략 원통 형상을 갖고 있다. 필터링(95)의 내경면(內徑面)에는, 하부 제1 하우징(93)의 나사(935)와 계합하는 나사(953)가 설치되어 있다.
필터링(95)을 나사부(934)에 밀어 넣음으로써, 나사부(934)의 선단(하단)과, 필터링(95)의, 수납 공간(27)의 외측 방향의 저면(954)이, 서로 맞닿아 밀착함으로써, 나사부(934)의 내측에 형성된 통기로의 기밀성은 확보된다.
필터링(95)의 외부의 수납 공간(27)의 외측 방향의 선단부(도 5에서의 하단부)는, 밀착 패드(98)를 장착하기 위한 홈(956)을 갖고 있다. 밀착 패드(98)는, 수납 공간 외측 개구(951)와 동일 축 같은 위치 관계를 갖는 환형으로 형성되어 있고, 필터링(95)의, 수납 공간(27)의 외측 방향의 선단부(도 7에서의 필터링(95)의 최하단)와, 밀착 패드(98)의 외측 방향의 선단부의 표면(도 7에서의 밀착 패드(98)의 최하면)은, 상하 방향에 있어서, 거의 동일한 위치 관계를 갖고 있다. 밀착 패드(98)의, 수납 공간(27)의 외측 방향의 선단부(도 7에서의 밀착 패드(98)의 최하면)는, 후술하는 퍼지 포트(기체 주입 포트)와 밀착하는 밀봉면(981)을 구성한다. 또한, 밀착 패드(98)가 장착되어 있는 상태의 홈(956)에는, 밀착 패드(98)의 일부가 하방으로 움푹 패어 형성된 오목부(958)에 의해, 홈(956)을 구성하는 공간(955)이 형성되어 있다. 밀착 패드(98)는, 미도시의 퍼지 포트와 밀봉면(981) 사이의 기체 누출을 방지한다.
배기용 필터부(90A)의 하벽(24)으로의 고정은, 하부 제1 하우징(93)의 측면에 형성된 홈에 장착된 O링(99)을 통해 수행된다. 배기용 필터부(90A)가 하벽(24)에 고정될 때에는 , 배기용 필터부(90A)와 하벽(24)의 기체 공급 장치 접속부(202) 사이에 O링(99)이 이용되어, 하벽(24)의 기체 공급 장치 접속부(202)와 하부 제1 하우징(93) 사이가 밀봉된다.
필터 하우징(91), 필터링(95)의 재료로는, 아웃 가스(outgas) 발생량이 적은, 폴리카보네이트가 이용된다. 필터 하우징(91), 필터링(95)의 재료로 폴리카보네이트 이외에는, 소정 아웃 가스 발생량 이하의 열가소성 수지이면 되고, 예를 들어, 사이클로올레핀 폴리머나 폴리에테르미드, 폴리에테르에테르케톤 등의 수지를 이용할 수 있다. 또한, 밀착 패드(98)의 재료로는, 탄성 부재로서 폴리올레핀 엘라스토머를 이용했다. 밀착 패드(98)의 재료로 폴리올레핀 엘라스토머 이외에는, 폴리부틸렌테레프탈레이트나 폴리에틸렌 등의 수지나 폴리에틸렌 엘라스토머 등의 엘라스토머, 실리콘 고무나 불소 고무 등의 고무재를 이용할 수 있다.
도 8은, 기판 수납 용기(1)의 뚜껑체(3)를 나타내는 단면도이다.
뚜껑체(3)는, 도 1 등에 나타내는 바와 같이, 용기 본체(2)의 개구 둘레부(28)의 형상과 대략 일치하는 대략 직사각 형상을 갖고 있다. 뚜껑체(3)는 용기 본체(2)의 개구 둘레부(28)에 대하여 탈부착 가능하고, 개구 둘레부(28)에 뚜껑체(3)가 장착됨으로써, 뚜껑체(3)는, 용기 본체 개구부(21)를 폐색 가능하다. 뚜껑체(3)의 내면(도 1에 나타내는 뚜껑체(3)의 안쪽의 면)으로서, 뚜껑체(3)가 용기 본체 개구부(21)를 폐색하고 있을 때의 개구 둘레부(28)의 바로 후방향(D12)의 위치에 형성된 단차 부분의 면(밀봉면(281))에 대향하는 면에는, 환형의 밀봉 부재(4)가 장착되어 있다. 밀봉 부재(4)는, 탄성 변형 가능한 폴리에스테르계, 폴리올레핀계 등 각종 열가소성 엘라스토머, 불소 고무제, 실리콘 고무제 등에 의해 구성되어 있다. 밀봉 부재(4)는, 뚜껑체(3)의 바깥 둘레부를 한바퀴 돌도록 배치되어 있다.
뚜껑체(3)가 개구 둘레부(28)에 장착되었을 때에, 밀봉 부재(4)는, 밀봉면(281)과 뚜껑체(3)의 내면에 끼어 탄성 변형되고, 뚜껑체(3)는, 용기 본체 개구부(21)를 밀폐한 상태로 폐색한다. 개구 둘레부(28)에서 뚜껑체(3)가 분해됨으로써, 용기 본체(2) 내의 기판 수납 공간(27)에 대하여, 기판(W)을 넣고 빼는 것이 가능해진다.
도 9는, 기판 수납 용기(1)의 밀봉 부재(4)를 나타내는 사시도이다. 도 10은, 기판 수납 용기(1)의 밀봉 부재(4)를 나타내는 측면도이다.
보다 구체적으로, 밀봉 부재(4)는, 도 8 ~ 도 10에 나타내는 바와 같이, 베이스부(基部)(41)와 베이스부 측부(42)와 용기 맞닿음 선단부(43)를 갖고 있다. 베이스부(41), 베이스부 측부(42), 및, 용기 맞닿음 선단부(43)는, 불소 고무에 의해 일체 성형되어 구성되어 있다. 베이스부(41)는, 밀봉 부재 부착부(303)의 환형 홈(304)에 끼워넣어져 고정되어 있다.
베이스부 측부(42)는, 도 8에 나타내는 바와 같이, 뚜껑체(3)의 원주 방향에 직교하는 단면에서는, 뚜껑체(3)의 내면(301)을 따라 뚜껑체(3)의 중심으로부터 둘레(302)를 향하는 방향으로, 베이스부(41)의 후단부(도 8에서의 우단부)로부터 연장되어 있다. 베이스부 측부(42)의 연장(延出) 단부는, 용기 맞닿음 선단부(43)에 접속되어 있다. 즉, 베이스부 측부(42)는, 베이스부(41)와 용기 맞닿음 선단부(43)를 연결하고, 탄성 변형됨으로써, 뚜껑체(3)의 원주 방향에 직교하는 단면에 있어서, 베이스부(41)에 대하여 용기 맞닿음 선단부(43)를 요동(搖動) 가능하다.
용기 맞닿음 선단부(43)는, 도 8에 나타내는 바와 같이, 베이스부 측부(42)의 단부로부터, 뚜껑체(3)의 바깥쪽으로 향함에 따라 후방향(도 8의 우방향)으로 향하도록 경사져서 연장되어 있다. 용기 맞닿음 선단부(43)가 연장되는 방향에서의 용기 맞닿음 선단부(43)의 길이는, 통상적인 기판 수납 용기의 용기 맞닿음 선단부의 길이와 동등하게 형성되어 있다. 또한, 베이스부 측부(42) 및 용기 맞닿음 선단부(43)의 두께는, 통상적인 기판 수납 용기의 베이스부 측부 및 용기 맞닿음 선단부의 두께의 약 2배 정도로 두껍게 구성되어 있다. 이것에 의해, 뚜껑체(3)와 개구 둘레부(28) 사이의 밀봉 부재(4)에 의한 밀봉성이 높아져 있고, 뚜껑체(3)와 개구 둘레부(28) 사이에서 퍼지 가스가 누출되는 것이 억제된다. 이 결과, 밀봉 부재(4)에 의한 높은 밀봉성에 의해, 기판 수납 공간(27)으로 퍼지 가스를 급기했을 때에, 기판 수납 공간(27)의 용기 내 양압을, 0.15 kpa 이상이 될 때까지 상승시키는 것이 가능하다. 기판 수납 공간(27)의 용기 내 양압이, 0.15 kpa 미만에서는, 역지 밸브 부재(97)의 밸브체(971)를 열기 어려워져, 충분한 양의 퍼지 가스를, 배기용 필터부(90A)를 통하여 배출할 수 없게 되기 때문이다.
뚜껑체(3)에는 래치 기구가 설치되어 있다. 래치 기구는, 뚜껑체(3)의 좌우 양단부 근방에 설치되어 있고, 도 1에 나타내는 바와 같이, 뚜껑체(3)의 상변에서 상방향(D21)으로 돌출 가능한 2개의 상측 래치부(32A)와, 뚜껑체(3)의 하변에서 하방향(D22)으로 돌출 가능한 2개의 하측 래치부(32B)를 구비하고 있다. 2개의 상측 래치부(32A)는, 뚜껑체(3)의 상변의 좌우 양단 근방에 배치되어 있고, 2개의 하측 래치부(32B)는, 뚜껑체(3)의 하변의 좌우 양단 근방에 배치되어 있다.
뚜껑체(3)의 외면에는 조작부(33)가 설치되어 있다. 조작부(33)를 뚜껑체(3)의 전측에서 조작함으로써, 상측 래치부(32A), 하측 래치부(32B)를 뚜껑체(3)의 상변, 하변으로부터 돌출시킬 수 있고, 또한, 상변, 하변으로부터 돌출시키지 않는 상태로 할 수 있다. 상측 래치부(32A)가 뚜껑체(3)의 상변에서 상방향(D21)으로 돌출하여, 용기 본체(2)의 래치 계합 오목부(231A, 231B)에 계합하는 한편, 하측 래치부(32B)가 뚜껑체(3)의 하변에서 하방향(D22)으로 돌출하여, 용기 본체(2)의 래치 계합 오목부(241A, 241B)에 계합함으로써, 뚜껑체(3)는, 용기 본체(2)의 개구 둘레부(28)에 고정된다.
뚜껑체(3)의 내측에 있어서는, 기판 수납 공간(27)의 바깥쪽으로 움푹 팬 오목부(미도시)가 형성되어 있다. 오목부(미도시) 및 오목부 외측의 뚜껑체(3)의 부분에는, 프론트 리테이너(미도시)가 고정되어 설치되어 있다.
프론트 리테이너(미도시)는, 프론트 리테이너 기판 수용부(미도시)를 갖고 있다. 프론트 리테이너 기판 수용부(미도시)는, 좌우 방향(D3)으로 소정 간격으로 이간하여 쌍을 이루도록 하여 2개씩 배치되어 있다. 이와 같이 쌍을 이루도록 하여 2개씩 배치된 프론트 리테이너 기판 수용부는, 상하 방향(D2)으로 25쌍 병렬된 상태로 설치되어 있다. 기판 수납 공간(27) 내에 기판(W)이 수납되어 뚜껑체(3)가 닫혀짐으로써, 프론트 리테이너 기판 수용부는, 기판(W)의 가장자리부의 끝가장자리를 협지하여 지지한다.
상술과 같은 기판 수납 용기(1)에 있어서, 퍼지 가스에 의한 가스 퍼지(기체의 치환)는 아래와 같이 수행된다. 먼저, 기체 공급 장치 접속부(202)(도 4 참조)에 설치된 급기용 필터부(90)(도 3 등 참조)를, 기체로서의 퍼지 가스를 공급하는 미도시의 기체 공급 장치의 급기 노즐에 접속시킨다. 그 다음, 기체 공급 장치의 급기 노즐로부터 통기로(210)로 퍼지 가스를 매분 22 L(리터) 이하로 공급한다. 이것에 의해 퍼지 가스는, 통기로(210)의 기체 유입부(211), 수평 방향 연장부(212)를 거쳐, 기체 체류실(801)의 하단부로부터 기체 체류실(801)의 내부로 유입되어, 기체 체류실(801)의 상단부를 향해 힘차게 흐른다. 그리고, 퍼지 가스는, 기체 체류실(801)에 있어서 일차적으로 모여 압력이 높아지면, 그 다음, 격벽부(81)의 유입구(811)로부터 기체 유출전 유지실(803)로 유입된다.
이 때, 유입구(811)는 작기 때문에, 퍼지 가스는, 유입구(811)로부터 약하게 기체 유출전 유지실(803)로 유입된다. 그리고 퍼지 가스는, 기체 유출전 유지실(803)에 일차적으로 모인다. 그리고, 이와 같이 일차적으로 모여 가압된 퍼지 가스는, 서서히 개구부(802)로부터 기판 수납 공간(27)으로 유출된다. 기판 수납 공간(27)의 용기 내 양압은, 기판 수납 공간(27)으로 유출된 퍼지 가스에 의해 상승된다.
또한, 이 때, 밀봉 부재(4)에 의한 높은 밀봉성에 의해, 기판 수납 공간(27)으로 유출된 퍼지 가스에 의해, 기판 수납 공간(27)의 용기 내 양압은, 0.15 kpa 이상이 될 때까지 계속해서 상승된다. 이 상승 중에, 배기용 필터부(90A)의 밸브체(971)는, 스프링(972)의 미는 힘에 저항하여 하방향으로 밀어내려져 열리고, 수납 공간 외측 개구(951)로부터 배기되기 시작한다.
또한, 배기용 필터부(90A)의 스프링(972)의 스프링 정수는, 0.05 kgf/mm 이하이며, 본 실시형태에 있어서는, 역지 밸브 부재(97)의 스프링(972)의 스프링 정수는, 0.005 kgf/mm로 되어 있으므로, 퍼지 가스는, 밸브체(971)를 용이하게 열 수 있고, 기판 수납 공간(27)에서 유출된다. 그러므로, 퍼지 가스를 매분 22 L 이하로 공급하고 있을 때에, 기판 수납 공간(27)에 공급된 퍼지 가스의 50% 이상이, 배기용 필터부(90A)로부터 배기된다.
그 다음, 본 실시형태에 의한 기판 수납 용기를 이용하여, 기체 공급 장치의 급기 노즐로부터 통기로(210)로 퍼지 가스를 공급하는 양의 값을 여러가지로 바꾸었을 경우에 있어서, 배기용 필터부(90A)로부터의 배출량을 조사하는 시험을 수행했다. 그리고, 해당 배출량을 기록하는 동시에, 주입량에 대하여 어느 정도의 비율로 배출될지에 대한 값인 배출률을 기록했다. 시험의 결과는, 표 1 및 도 11, 도 12에 나타내는 대로이다.
도 11은, 기판 수납 용기(1)에서의 배기용 필터부(90A)에서 배출되는 퍼지 가스의 배출량을 나타내는 그래프이다. 도 12는, 기판 수납 용기(1)에서의 배기용 필터부(90A)에서 배출되는 퍼지 가스의 배출량에 대한, 급기용 필터부(90)로부터 흡기되는 퍼지 가스의 주입량의 비율인 배출률을 나타내는 그래프이다.
Figure 112020105735850-pct00001
도 11에 나타내는 바와 같이, 퍼지 가스의 주입량을 많게 해 가면, 그것에 따라, 퍼지 가스의 배출량도 증가해 간다. 그러나, 배출량은, 주입량에 비례하지 않고, 매분 22 L(리터) 전후의 양으로부터 주입량을 증가시켜도, 거의 증가하지 않는다. 따라서, 배출률에 대해서는, 도 12에 나타내는 바와 같이, 주입량이 적을 때에는, 90%가까운 값을 얻을 수 있지만, 주입량을 많게 해 가면 값이 작아진다. 그리고, 주입량을 매분 22 L(리터)를 초과하는 주입량으로 하면, 배출률은 50%를 밑도는 것을 알 수 있다.
이와 같이 배출률이 50% 미만이 되면, 밀봉 부재(4)의 밀봉성이 높음에도 불구하고, 뚜껑체(3)와 용기 본체(2) 사이에서 퍼지 가스가 누출되어, 설비의 오염이나 인적 피해가 발생할 우려가 있다. 따라서, 기체 공급 장치의 급기 노즐로부터 통기로(210)로 퍼지 가스를 매분 22 L(리터) 이하로 공급하고 있을 때에, 배출률이 50% 이상이 되는 기판 수납 용기가, 퍼지 가스 누출에 의한 설비의 오염이나 인적 피해의 발생을 막기 위해서는 바람직하고, 또한, 현실적인 퍼지 가스의 공급량에 대하여, 바람직한 배출률을 얻을 수 있는 것이, 이 실험으로부터 알 수 있다.
상기 구성의 본 실시형태에 따른 기판 수납 용기(1)에 의하면, 아래와 같은 효과를 얻을 수 있다.
상술한 바와 같이, 기판 수납 용기(1)는, 일단부에 용기 본체 개구부(21)가 형성된 개구 둘레부(28)를 갖고, 타단부가 폐색된 통형상의 벽부(20)를 구비하고, 벽부(20)의 내면에 의해, 복수의 기판(W)을 수납 가능하고 용기 본체 개구부(21)에 연통하는 기판 수납 공간(27)이 형성된 용기 본체(2)와, 용기 본체 개구부(21)에 대하여 탈부착 가능하고, 용기 본체 개구부(21)를 폐색 가능한 뚜껑체(3)와, 뚜껑체(3)에 장착되어 뚜껑체(3) 및 개구 둘레부(28)에 맞닿을 수 있고, 개구 둘레부(28)와 뚜껑체(3) 사이에 개재하여 개구 둘레부(28) 및 뚜껑체(3)에 밀착하여 맞닿음으로써, 뚜껑체(3)와 함께 용기 본체 개구부(21)를 폐색하는 밀봉 부재(4)와, 기판 수납 공간(27)과 용기 본체(2)의 외부의 공간을 연통 가능한 통기로(210)와, 통기로(210)에 배치된 필터인 통기막(96)과, 통기로(210)를 형성하는 필터 하우징(91)을 갖고, 용기 본체(2)에 배치되고, 통기막(96)을 통하여 용기 본체(2)의 외부의 공간과 기판 수납 공간(27) 사이에서 기체로서의 퍼지 가스가 통과 가능한 급기용 필터부(90), 배기용 필터부(90A)를 구비하고 있다.
급기용 필터부(90)를 통하여 용기 본체(2)의 외부의 공간으로부터 기판 수납 공간(27)으로 공급되는 기체의 공급량이 매분 22 L 이하인 경우에, 기판 수납 공간(27)으로 공급된 기체의 50% 이상의 기체를 배기용 필터부(90A)로부터 배기 가능하도록, 기판 수납 공간(27)의 기밀성이 높아져 있다.
상기 구성에 의해, 급기용 필터부(90)를 통해 기판 수납 공간(27)으로 공급되는 퍼지 가스의 공급량이 매분 22 L 이하로 배기율 50% 이상을 실현하는 것이 가능해진다. 이 결과, 뚜껑체(3)에 장착되어 있는 밀봉 부재(4)에서 퍼지 가스가 누출되는 것을 억제할 수 있어, 설비의 오염이나 인적 피해가 발생하는 것을 방지하는 것이 가능해진다.
또한, 급기용 필터부(90)를 통하여 용기 본체(2)의 외부의 공간으로부터 기판 수납 공간(27)으로 기체가 공급되어 있을 때에, 기판 수납 공간(27)에서의 용기 내 양압이 0.15 kpa 이상으로 하는 것이 가능하도록, 밀봉 부재(4)는 개구 둘레부(28)와 뚜껑체(3) 사이를 밀봉한다.
상기 구성에 의해, 기판 수납 공간(27)에서의 용기 내 양압이 0.15 kpa 이상으로 적당히 높은 압력으로 하는 것이 가능하기 때문에, 배기용 필터부(90A)의 밸브체(971)를 여는 것이 용이해져, 용이하게 배기량을 확보하는 것이 가능해진다.
또한, 배기용 필터부(90A)는, 기체로서의 퍼지 가스를 기판 수납 공간(27)에서 용기 본체(2)의 외부의 공간으로 유통시키는 배기용 통기로(210)의 연통과 차단을 전환하는 밸브체(971)와, 배기용 통기로(210)를 차단하는 방향으로 밸브체(971)를 미는 스프링(972)을 구비하고 있다. 스프링(972)의 스프링 정수는 0.05 kgf/mm 이하이다. 상기 구성에 의해, 밸브체(971)를 용이하게 여는 것이 가능해져, 용이하게 배기량을 확보하는 것이 가능해진다.
또한, 필터로서의 통기막(96)은, 기체로서의 퍼지 가스를 기판 수납 공간(27)에서 용기 본체(2)의 외부의 공간으로 유통시키는 배기용 통기로에 설치되어, 통기로를 상류측과 하류측으로 구분한다. 통기막(96)에 있어서 기체가 유통 가능한 배기 필터막 유효 총면적은 200 mm2 이상이다. 상기 구성에 의해, 배기 필터막 유효 총면적을 충분히 확보하는 것이 가능해져, 통기막(96)을 통과하는 퍼지 가스의 유량을 확보하는 것이 가능해진다. 그 결과, 용이하게 배기량을 확보하는 것이 가능해진다.
또한, 필터로서의 통기막(96)은, 가압식 여과 장치를 이용하여 500 mL의 IPA가 98 kPa의 압력 하에서 배기 필터막 유효 총면적 13.8 cm2인 시료를 통과하는데 필요한 시간을 측정하는 IPA Flow법으로, 15 sec 이하의 유량 성능을 갖는다. 상기 구성에 의해, 충분한 유량 성능을 확보하는 것이 가능해져, 배기용 필터부(90A)의 통기막(96)을 통과하는 퍼지 가스의 유량을 확보하는 것이 가능해진다. 그 결과, 용이하게 배기량을 확보하는 것이 가능해진다.
본 발명은, 상술한 실시형태에 한정되지 않고, 특허 청구 범위에 기재된 기술적 범위에 있어서 변형이 가능하다.
예를 들어, 기판 수납 용기에 있어서, 급기용 필터부, 배기용 필터부의 구성을 여러가지로 바꿈으로써, 급기용 필터부를 통하여 용기 본체의 외부의 공간으로부터 기판 수납 공간으로 공급되는 기체의 공급량이 매분 22 L 이하인 경우에, 기판 수납 공간으로 공급된 기체의 50% 이상의 기체를 배기용 필터부로부터 배기 가능하게 할 수도 있다.
구체적으로, 예를 들어, 배기용 필터부의 유량 성능을, 급기용 필터부의 유량 성능보다 높은 구성으로 할 수도 있다. 유량 성능으로는, 가압식 여과 장치를 이용하여 500 mL의 IPA가 98 kPa의 압력 하에서 배기 필터막 유효 총면적 13.8 cm2의 시료를 통과하는데 필요한 시간을 측정하는 IPA Flow법으로 측정된 유량 성능의 값을 이용한다. 보다 바람직하게는, 배기용 필터부의 유량 성능은, 급기용 필터부의 유량 성능의 5배 이상인 것이 바람직하다. 이것에 의해, 배기용 필터부의 유량 성능을 충분히 담보하는 것이 가능해져, 확실하게, 급기용 필터부를 통하여 용기 본체의 외부의 공간에서 기판 수납 공간으로 공급되는 기체의 공급량이 매분 22 L 이하인 경우에, 기판 수납 공간으로 공급된 기체의 50% 이상의 기체를 배기용 필터부로부터 배기 가능하게 할 수 있다. 그 결과, 기판 수납 공간에 주입된 퍼지 가스를 적절한 장소에 회수하는 것이 가능해져, 안전한 작업 환경을 유지하는 것이 가능해진다.
상기 유량 성능에 대해서는, 예를 들어, 급기용 필터부, 배기용 필터부가 각각 갖고 있는 통기막에 의해 구성되는 필터의 유량 성능을 소정 값으로 설정함으로써 얻을 수 있다. 즉, 구체적으로, 배기용 필터부의 통기막의 유량 성능을, 급기용 필터부의 통기막의 유량 성능보다 높은 구성으로 한다.
또한, 본 실시형태와 같이, 배기용 필터부가 역지 밸브(예를 들어, 역지 밸브 부재(97))를 갖고 있는 경우에는, 배기용 필터부는 필터(통기막)를 구비하지 않아도 된다. 이 경우, 배기용 필터부는 필터를 구성하는 통기막을 갖지 않지만, 설명의 편의상 「배기용 필터부」라 하기로 한다. 이것에 의해, 배기용 필터부의 유량 성능은, 급기용 필터부의 유량 성능보다 높게 구성된다. 이것에 의해, 배기용 필터부의 구성을 간단하게 하는 것이 가능해진다.
또한, 급기용 필터부를 통하여 용기 본체의 외부의 공간에서 기판 수납 공간으로 공급되는 기체의 공급량이 매분 22 L 이하인 경우에, 기판 수납 공간으로 공급된 기체의 50% 이상의 기체를 배기용 필터부로부터 배기 가능하게 하기 위해서, 예를 들어, 필터(통기막)에 있어서 기체가 유통 가능한 필터막 유효 총면적에 대해서는, 급기용 필터부보다 배기용 필터부가 큰 구성으로 할 수도 있다. 구체적으로, 예를 들어, 배기용 필터부의 필터막 유효 총면적은, 200 mm2 ~ 1000 mm2이며, 급기용 필터부의 필터막 유효 총면적은, 150 mm2 ~ 750 mm2이다. 이것에 의해, 급기용 필터부를 통하여 용기 본체의 외부의 공간으로부터 기판 수납 공간으로 공급되는 기체의 공급량이 매분 22 L 이하인 경우에, 기판 수납 공간으로 공급된 기체의 50% 이상의 기체를 배기용 필터부로부터 배기 가능하게 할 수 있다. 이 구성과 상술한 배기용 필터부의 필터(통기막)의 유량 성능을 급기용 필터부의 필터(통기막)의 유량 성능보다 높게 하는 구성을 조합할 수도 있고, 이 구성을 단독으로 이용할 수도 있다.
또한, 배기용 필터부, 급기용 필터부가 각각 필터(통기막)를 갖고 있는 경우에는, 배기용 필터부, 급기용 필터부 중 적어도 어느 하나가, 역지 밸브를 갖고 있지 않아도 된다. 구체적으로, 예를 들어, 본 실시형태에 있어서 급기용 필터부(90), 배기용 필터부(90A)가 구비하고 있던 역지 밸브 부재(97)를, 급기용 필터부, 배기용 필터부 중 적어도 어느 하나가, 구비하지 않은 구성으로 할 수도 있다. 이것에 의해, 배기용 필터부의 구성을 간단하게 하는 것이 가능해진다.
또한, 용기 본체 및 뚜껑체의 형상, 용기 본체에 수납 가능한 기판(W)의 개수나 치수는, 본 실시형태에서의 용기 본체(2) 및 뚜껑체(3)의 형상, 용기 본체(2)에 수납 가능한 기판(W)의 개수나 치수에 한정되지 않는다. 또한, 본 실시형태에서의 기판(W)은, 직경 300 mm의 실리콘 웨이퍼였지만, 이 값에 한정되지 않는다.
또한, 안측 기판 지지부는, 본 실시형태에서는 안측 기판 지지부(6)에 의해 구성되었지만, 이 구성에 한정되지 않는다. 예를 들어, 용기 본체에 일체 성형되어 구성된 리어 리테이너에 의해, 안측 기판 지지부가 구성될 수도 있다.
또한, 본 실시형태에 있어서는, 하벽(24)의 전부에 2개의 배기용 필터부(90A)가 설치되고, 하벽(24)의 후부에 2개의 급기용 필터부(90)가 설치되었지만, 이 구성에 한정되지 않는다. 예를 들어, 하벽(24)의 후부에 2개의 배기용 필터부(90A)가 설치되고, 하벽(24)의 전부에 2개의 급기용 필터부(90)가 설치될 수도 있다. 또한, 배기용 필터부와 급기용 필터부가 2개씩 설치되어 있지 않을 수도 있다.
1: 기판 수납 용기
2: 용기 본체
3: 뚜껑체
4: 밀봉 부재
20: 벽부
21: 용기 본체 개구부
27: 기판 수납 공간
28: 개구 둘레부
90: 급기용 필터부
90A: 배기용 필터부
91: 필터 하우징(필터부 하우징)
96: 통기막(필터)
210: 통기로
971: 밸브체
972: 스프링
W: 기판

Claims (13)

  1. 복수의 기판을 수납 가능한 기판 수납 공간이 내부에 형성되고, 일단부에 상기 기판 수납 공간에 연통하는 용기 본체 개구부가 형성된 개구 둘레부를 갖는 용기 본체;
    상기 개구 둘레부에 대하여 탈부착 가능하고, 상기 개구 둘레부에 의해 둘러싸이는 위치 관계로 상기 용기 본체 개구부를 폐색 가능한 뚜껑체; 및
    상기 뚜껑체에 장착되고, 상기 뚜껑체 및 상기 개구 둘레부에 맞닿을 수 있고, 상기 개구 둘레부와 상기 뚜껑체 사이에 개재하여 상기 개구 둘레부 및 상기 뚜껑체에 밀착하여 맞닿음으로써, 상기 뚜껑체와 함께 상기 용기 본체 개구부를 폐색하는 밀봉 부재;를 구비하고,
    상기 기판 수납 공간과 상기 용기 본체의 외부의 공간을 연통 가능한 통기로와, 상기 통기로에 배치된 필터와, 상기 통기로를 형성하는 필터부 하우징을 갖고, 상기 용기 본체에 배치되고, 상기 필터를 통하여 상기 용기 본체의 외부의 공간과 상기 기판 수납 공간 사이에서 기체가 통과 가능한 필터부를 구비하며,
    상기 필터부는, 상기 기판 수납 공간에서 상기 용기 본체의 외부의 공간으로 기체를 유통 가능한 배기용 필터부와, 상기 용기 본체의 외부의 공간에서 상기 기판 수납 공간으로 기체를 유통 가능한 급기용 필터부를 갖고,
    상기 필터는, 기체를 상기 기판 수납 공간에서 상기 용기 본체의 외부의 공간으로 유통시키는 배기용의 상기 통기로에 설치되어, 상기 통기로를 상류측과 하류측으로 구분하고,
    상기 필터에 있어서 기체가 유통 가능한 배기 필터막 유효 총면적이 200 mm2 이상이며,
    상기 급기용 필터부를 통하여 상기 용기 본체의 외부의 공간에서 상기 기판 수납 공간으로 공급되는 기체의 공급량이 매분 22 L 이하인 경우에, 상기 기판 수납 공간에 공급된 기체의 50% 이상의 기체를 상기 배기용 필터부로부터 배기 가능하도록, 상기 기판 수납 공간의 기밀성이 높아진 기판 수납 용기.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 급기용 필터부를 통하여 상기 용기 본체의 외부의 공간에서 상기 기판 수납 공간으로 기체가 공급되어 있을 때에, 상기 기판 수납 공간에서의 용기 내 양압이 0.15 kpa 이상으로 하는 것이 가능하도록, 상기 밀봉 부재는 상기 개구 둘레부와 상기 뚜껑체 사이를 밀봉하는 기판 수납 용기.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 배기용 필터부는, 기체를 상기 기판 수납 공간에서 상기 용기 본체의 외부의 공간으로 유통시키는 배기용의 상기 통기로의 연통과 차단을 전환하는 밸브체와, 배기용의 상기 통기로를 차단하는 방향으로 상기 밸브체를 미는 스프링을 구비하고,
    상기 스프링의 스프링 정수는 0.05 kgf/mm 이하인 기판 수납 용기.
  4. 삭제
  5. 복수의 기판을 수납 가능한 기판 수납 공간이 내부에 형성되고, 일단부에 상기 기판 수납 공간에 연통하는 용기 본체 개구부가 형성된 개구 둘레부를 갖는 용기 본체;
    상기 개구 둘레부에 대하여 탈부착 가능하고, 상기 개구 둘레부에 의해 둘러싸이는 위치 관계로 상기 용기 본체 개구부를 폐색 가능한 뚜껑체; 및
    상기 뚜껑체에 장착되고, 상기 뚜껑체 및 상기 개구 둘레부에 맞닿을 수 있고, 상기 개구 둘레부와 상기 뚜껑체 사이에 개재하여 상기 개구 둘레부 및 상기 뚜껑체에 밀착하여 맞닿음으로써, 상기 뚜껑체와 함께 상기 용기 본체 개구부를 폐색하는 밀봉 부재;를 구비하고,
    상기 기판 수납 공간과 상기 용기 본체의 외부의 공간을 연통 가능한 통기로와, 상기 통기로에 배치된 필터와, 상기 통기로를 형성하는 필터부 하우징을 갖고, 상기 용기 본체에 배치되고, 상기 필터를 통하여 상기 용기 본체의 외부의 공간과 상기 기판 수납 공간 사이에서 기체가 통과 가능한 필터부를 구비하며,
    상기 필터부는, 상기 기판 수납 공간에서 상기 용기 본체의 외부의 공간으로 기체를 유통 가능한 배기용 필터부와, 상기 용기 본체의 외부의 공간에서 상기 기판 수납 공간으로 기체를 유통 가능한 급기용 필터부를 갖고,
    상기 급기용 필터부를 통하여 상기 용기 본체의 외부의 공간에서 상기 기판 수납 공간으로 공급되는 기체의 공급량이 매분 22 L 이하인 경우에, 상기 기판 수납 공간에 공급된 기체의 50% 이상의 기체를 상기 배기용 필터부로부터 배기 가능하도록, 상기 필터는, 가압식 여과 장치를 이용하여 500 mL의 IPA가 98 kPa의 압력 하에서 배기 필터막 유효 총면적 13.8 cm2의 시료를 통과하는데 필요한 시간을 측정하는 IPA Flow법으로, 15 sec 이하의 유량 성능을 갖는 기판 수납 용기.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 필터는, 기체를 상기 기판 수납 공간에서 상기 용기 본체의 외부의 공간으로 유통시키는 배기용의 상기 통기로에 설치되어, 상기 통기로를 상류측과 하류측으로 구분하고,
    상기 필터에 있어서 기체가 유통 가능한 배기 필터막 유효 총면적이 200 mm2 이상인 기판 수납 용기.
  7. 복수의 기판을 수납 가능한 기판 수납 공간이 내부에 형성되고, 일단부에 상기 기판 수납 공간에 연통하는 용기 본체 개구부가 형성된 개구 둘레부를 갖는 용기 본체;
    상기 개구 둘레부에 대하여 탈부착 가능하고, 상기 개구 둘레부에 의해 둘러싸이는 위치 관계로 상기 용기 본체 개구부를 폐색 가능한 뚜껑체; 및
    상기 뚜껑체에 장착되고, 상기 뚜껑체 및 상기 개구 둘레부에 맞닿을 수 있고, 상기 개구 둘레부와 상기 뚜껑체 사이에 개재하여 상기 개구 둘레부 및 상기 뚜껑체에 밀착하여 맞닿음으로써, 상기 뚜껑체와 함께 상기 용기 본체 개구부를 폐색하는 밀봉 부재;를 구비하고,
    상기 기판 수납 공간과 상기 용기 본체의 외부의 공간을 연통 가능한 통기로와, 상기 통기로를 형성하는 필터부 하우징을 갖고, 상기 용기 본체에 배치되고, 상기 용기 본체의 외부의 공간과 상기 기판 수납 공간 사이에서 기체가 통과 가능한 필터부를 구비하며,
    상기 필터부는, 상기 기판 수납 공간에서 상기 용기 본체의 외부의 공간으로 기체를 유통 가능한 배기용 필터부와, 상기 용기 본체의 외부의 공간에서 상기 기판 수납 공간으로 기체를 유통 가능한 급기용 필터부를 갖고,
    상기 급기용 필터부를 통하여 상기 용기 본체의 외부의 공간에서 상기 기판 수납 공간으로 공급되는 기체의 공급량이 매분 22 L 이하인 경우에, 상기 기판 수납 공간에 공급된 기체의 50% 이상의 기체를 상기 배기용 필터부로부터 배기 가능하도록, 가압식 여과 장치를 이용하여 500 mL의 IPA가 98 kPa의 압력 하에서 배기 필터막 유효 총면적 13.8 cm2인 시료를 통과하는데 필요한 시간을 측정하는 IPA Flow법으로 측정된 유량 성능이, 상기 배기용 필터부는, 상기 급기용 필터부보다 높은 기판 수납 용기.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 배기용 필터부의 유량 성능은, 상기 급기용 필터부의 유량 성능의 5배 이상인 기판 수납 용기.
  9. 제7항 또는 제8항에 있어서,
    상기 배기용 필터부는, 상기 기판 수납 공간에서 상기 용기 본체의 외부의 공간으로 향하는 한 방향으로만 기체를 유통 가능한 역지 밸브를 갖고 있는 기판 수납 용기.
  10. 제7항에 있어서,
    상기 배기용 필터부는, 상기 통기로에 배치된 필터를 구비하고,
    상기 급기용 필터부는, 상기 통기로에 배치된 필터를 구비하고,
    상기 배기용 필터부의 필터의 유량 성능은, 상기 급기용 필터부의 필터의 유량 성능보다 높은 기판 수납 용기.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 필터는, 기체를 상기 기판 수납 공간에서 상기 용기 본체의 외부의 공간으로 유통시키는 배기용의 상기 통기로에 설치되어, 상기 통기로를 상류측과 하류측으로 구분하고,
    상기 필터에 있어서 기체가 유통 가능한 배기 필터막 유효 총면적이, 상기 급기용 필터부보다 상기 배기용 필터부가 큰 기판 수납 용기.
  12. 제9항에 있어서,
    상기 배기용 필터부의 상기 통기로에는 필터는 배치되어 있지 않고, 상기 급기용 필터부는, 상기 통기로에 배치된 필터를 구비하는 기판 수납 용기.
  13. 제7항에 있어서,
    상기 급기용 필터부는, 상기 용기 본체의 외부의 공간에서 상기 기판 수납 공간으로 향하는 한 방향으로만 기체를 유통 가능한 역지 밸브를 갖고 있는 기판 수납 용기.
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