JPWO2017090143A1 - 基板収納容器 - Google Patents

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Abstract

基板収納容器のシール部材4は、シール部材取付部303に固定される基部41と、開口周縁部に当接する本体当接部431を有する容器当接先端部43と、基部41と容器当接先端部43とを連結し、基部41に対して容器当接先端部43を揺動可能に弾性変形可能な基部側変形部42と、基部側変形部42に接続されている容器当接先端部43の部分に存在し、容器当接先端部43の外面から突出する突起部44と、を有する。容器当接先端部43の揺動方向において、容器当接先端部43の厚さは、基部側変形部42の厚さよりも厚く構成されている。

Description

本発明は、半導体ウェーハ等からなる基板を収納、保管、搬送、輸送等する際に使用される基板収納容器に関する。
半導体ウェーハからなる基板を収納して搬送するための基板収納容器としては、容器本体と蓋体とを備える構成のものが、従来より知られている。
容器本体の一端部は、容器本体開口部が形成された開口周縁部を有する。容器本体の他端部は、閉塞された筒状の壁部を有する。容器本体内には基板収納空間が形成されている。基板収納空間は、壁部により取り囲まれて形成されており、複数の基板を収納可能である。蓋体は、開口周縁部に対して着脱可能であり、シール部材取付部を有し、容器本体開口部を閉塞可能である。シール部材は、蓋体のシール部材取付部に取り付けられ、開口周縁部に当接可能であり、開口周縁部と蓋体との間に介在して開口周縁部に密着して当接することにより、蓋体と共に容器本体開口部を気密状態で閉塞する(例えば、特許文献1参照)。
蓋体の部分であって容器本体開口部を閉塞しているときに基板収納空間に対向する部分には、フロントリテーナが設けられている。フロントリテーナは、蓋体によって容器本体開口部が閉塞されているときに、複数の基板の縁部を支持可能である。また、フロントリテーナと対をなすようにして、奥側基板支持部が壁部に設けられている。奥側基板支持部は、複数の基板の縁部を支持可能である。奥側基板支持部は、蓋体によって容器本体開口部が閉塞されているときに、フロントリテーナと協働して複数の基板を支持することにより、隣接する基板同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板を保持する。
特開2005−256958号公報
基板収納容器においては、基板収納容器の容器本体に基板が収納され、容器本体の容器本体開口部が蓋体によって閉塞されているときに、シール部材におけるガス透過量が少ないことが好ましい。例えば、容器本体の外部から基板収納空間へ、窒素等の不活性ガスあるいは水分を除去(1%以下)したドライエア(以下、パージガスという)が流入され、基板収納容器内が加圧されて、ガスパージが行われる。基板収納容器内におけるこのような加圧状態は、極力長い時間維持されることが好ましく、また、基板収納容器内における湿度の上昇が極力長い時間抑えられることが好ましい。このため、より長い時間、加圧状態を維持できることや、より長い時間、基板収納容器内における湿度の上昇を抑えることができることが要求されている。
本発明は、基板収納容器内において、より長い時間、加圧状態を維持でき、基板収納容器内における湿度の上昇を抑えることができる基板収納容器を提供することを目的とする。
本発明は、一端部に容器本体開口部が形成された開口周縁部を有し、他端部が閉塞された筒状の壁部を備え、前記壁部の内面によって、複数の基板を収納可能であり前記容器本体開口部に連通する基板収納空間が形成された容器本体と、前記容器本体開口部に対して着脱可能であり、シール部材取付部を有し、前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、前記蓋体の前記シール部材取付部に取り付けられ、前記開口周縁部に当接可能であり、前記開口周縁部と前記蓋体との間に介在して前記開口周縁部に密着して当接することにより、前記蓋体と共に前記容器本体開口部を気密状態で閉塞するシール部材と、を備え、前記シール部材は、前記シール部材取付部に固定される基部と、前記開口周縁部に当接する本体当接部を有する容器当接先端部と、前記基部と前記容器当接先端部とを連結し、前記基部に対して前記容器当接先端部を揺動可能に弾性変形可能な基部側変形部と、前記基部側変形部に接続されている前記容器当接先端部の部分に存在し、前記容器当接先端部の外面から突出する突起部と、を有し、前記容器当接先端部の揺動方向において、前記容器当接先端部の厚さは、前記基部側変形部の厚さよりも厚く構成されている基板収納容器に関する。
また、前記容器当接先端部の揺動方向において、前記容器当接先端部の厚さは、少なくとも前記基部側変形部の一部の厚さよりも厚く構成されていることが好ましい。また、前記容器当接先端部は、前記突起部から前記本体当接部へ向った所定の部分において、前記本体当接部が当接する前記開口周縁部の部分へ向って屈曲する屈曲部を有することが好ましい。また、前記シール部材は、フッ素ゴムにより構成されていることが好ましい。
本発明によれば、基板収納容器内において、より長い時間、加圧状態を維持でき、基板収納容器内における湿度の上昇を抑えることができる基板収納容器を提供することができる。
本発明の第1実施形態に係る基板収納容器1に基板Wが収納された様子を示す分解斜視図である。 本発明の第1実施形態に係る基板収納容器1の容器本体開口部21が閉塞される前のシール部材4と、蓋体3と、開口周縁部28とを示す拡大断面図である。 本発明の第1実施形態に係る基板収納容器1の容器本体開口部21が閉塞されたときのシール部材4と、蓋体3と、開口周縁部28とを示す拡大断面図である。 本発明の第2実施形態に係る基板収納容器1のシール部材4Aを示す拡大断面図である。
以下、第1実施形態による基板収納容器1について、図面を参照しながら説明する。
図1は、本発明の第1実施形態に係る基板収納容器1に基板Wが収納された様子を示す分解斜視図である。図2は、本発明の第1実施形態に係る基板収納容器1の容器本体開口部21が閉塞される前のシール部材4と、蓋体3と、開口周縁部28とを示す拡大断面図である。図3は、本発明の第1実施形態に係る基板収納容器1の容器本体開口部21が閉塞されたときのシール部材4と、蓋体3と、開口周縁部28とを示す拡大断面図である。
ここで、説明の便宜上、後述の容器本体2から蓋体3へ向かう方向(図1における右上から左下へ向かう方向)を前方向D11と定義し、その反対の方向を後方向D12と定義し、これらをあわせて前後方向D1と定義する。また、後述の下壁24から上壁23へと向かう方向(図1における上方向)を上方向D21と定義し、その反対の方向を下方向D22と定義し、これらをあわせて上下方向D2と定義する。また、後述する第2側壁26から第1側壁25へと向かう方向(図1における右下から左上へ向かう方向)を左方向D31と定義し、その反対の方向を右方向D32と定義し、これらをあわせて左右方向D3と定義する。図面には、これらの方向を示す矢印を図示している。
また、基板収納容器1に収納される基板W(図1参照)は、円盤状のシリコンウェーハ、ガラスウェーハ、サファイアウェーハ等であり、産業に用いられる薄いものである。本実施形態における基板Wは、直径300mmのシリコンウェーハである。
図1に示すように、基板収納容器1は、上述のようなシリコンウェーハからなる基板Wを収納して、工場内の工程において搬送する工程内容器として用いられるものであり、容器本体2と、蓋体3とから構成され、容器本体2は基板支持板状部5と奥側基板支持部(図示せず)とを、蓋体3はフロントリテーナ(図示せず)を備えている。
容器本体2は、一端部に容器本体開口部21が形成され、他端部が閉塞された筒状の壁部20を有する。容器本体2内には基板収納空間27が形成されている。基板収納空間27は、壁部20により取り囲まれて形成されている。壁部20の部分であって基板収納空間27を形成している部分には、基板支持板状部5が配置されている。基板収納空間27には、図1に示すように、複数の基板Wを収納可能である。
基板支持板状部5は、基板収納空間27内において対をなすように壁部20に設けられている。基板支持板状部5は、蓋体3によって容器本体開口部21が閉塞されていないときに、複数の基板Wの縁部に当接することにより、隣接する基板W同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板Wの縁部を支持可能である。基板支持板状部5の奥側には、奥側基板支持部(図示せず)が設けられている。
奥側基板支持部(図示せず)は、基板収納空間27内において後述するフロントリテーナ(図示せず)と対をなすように壁部20に設けられている。奥側基板支持部(図示せず)は、蓋体3によって容器本体開口部21が閉塞されているときに、複数の基板Wの縁部に当接することにより、複数の基板Wの縁部の後部を支持可能である。
蓋体3は、容器本体開口部21を形成する開口周縁部28(図1等)に対して着脱可能であり、容器本体開口部21を閉塞可能である。フロントリテーナ(図示せず)は、蓋体3の部分であって蓋体3によって容器本体開口部21が閉塞されているときに基板収納空間27に対向する部分に設けられている。フロントリテーナ(図示せず)は、基板収納空間27の内部において奥側基板支持部(図示せず)と対をなすように配置されている。
フロントリテーナ(図示せず)は、蓋体3によって容器本体開口部21が閉塞されているときに、複数の基板Wの縁部に当接することにより複数の基板Wの縁部の前部を支持可能である。フロントリテーナ(図示せず)は、蓋体3によって容器本体開口部21が閉塞されているときに、奥側基板支持部(図示せず)と協働して複数の基板Wを支持することにより、隣接する基板W同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板Wを保持する。
基板収納容器1は、プラスチック材等の樹脂で構成されており、特に説明が無い場合には、その材料の樹脂としては、たとえば、ポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリエーテルイミド、ポリエーテルケトン、ポリブチルテレフタレート、ポリエーテルエーテルケトン、液晶ポリマーといった熱可塑性樹脂やこれらのアロイ等が上げられる。これらの成形材料の樹脂には、導電性を付与する場合には、カーボン繊維、カーボンパウダー、カーボンナノチューブ、導電性ポリマー等の導電性物質が選択的に添加される。また、剛性を上げるためにガラス繊維や炭素繊維等を添加することも可能である。
以下、各部について、詳細に説明する。
図1に示すように、容器本体2の壁部20は、奥壁22と上壁23と下壁24と第1側壁25と第2側壁26とを有する。奥壁22、上壁23、下壁24、第1側壁25、及び第2側壁26は、上述した材料により構成されており、一体成形されて構成されている。
第1側壁25と第2側壁26とは対向しており、上壁23と下壁24とは対向している。上壁23の後端、下壁24の後端、第1側壁25の後端、及び第2側壁26の後端は、全て奥壁22に接続されている。上壁23の前端、下壁24の前端、第1側壁25の前端、及び第2側壁26の前端は、奥壁22に対向する位置関係を有し、略長方形状をした容器本体開口部21を形成する開口周縁部28を構成する。
開口周縁部28は、容器本体2の一端部に設けられており、奥壁22は、容器本体2の他端部に位置している。壁部20の外面により形成される容器本体2の外形は箱状である。壁部20の内面、即ち、奥壁22の内面、上壁23の内面、下壁24の内面、第1側壁25の内面、及び第2側壁26の内面は、これらによって取り囲まれた基板収納空間27を形成している。開口周縁部28に形成された容器本体開口部21は、壁部20により取り囲まれて容器本体2の内部に形成された基板収納空間27に連通している。基板収納空間27には、最大で25枚の基板Wを収納可能である。
図1に示すように、上壁23及び下壁24の部分であって、開口周縁部28の近傍の部分には、基板収納空間27の外方へ向かって窪んだラッチ係合凹部40A、40B、41A、41Bが形成されている。ラッチ係合凹部40A、40B、41A、41Bは、上壁23及び下壁24の左右両端部近傍に1つずつ、計4つ形成されている。
図1に示すように、上壁23の外面においては、リブ235が、上壁23と一体成形されて設けられている。リブ235は、容器本体2の剛性を高める。
また、上壁23の中央部には、トップフランジ236が固定される。トップフランジ236は、AMHS(自動ウェーハ搬送システム)、PGV(ウェーハ基板搬送台車)等において基板収納容器1を吊り下げる際に、基板収納容器1において掛けられて吊り下げられる部分となる部材である。
下壁24の四隅には、通気路として、2種類の貫通孔である給気孔(図示せず)と排気孔46が形成されている。本実施形態においては、下壁24の前方向D11の端部の2箇所、即ち、下壁24における容器本体開口部21寄りの部分の2箇所の貫通孔は、容器本体2内部の気体を排出するための排気孔46であり、後方向D12の端部の2箇所、即ち、下壁24における奥壁22寄りの部分の2箇所の貫通孔は、容器内部に気体を給気するための給気孔(図示せず)である。給気孔(図示せず)と排気孔46との貫通孔には、それぞれ給気用フィルタ部(図示せず)と排気用フィルタ部81とが配置されている。
給気用フィルタ部(図示せず)及び排気用フィルタ部81の内部の気体の流路は、基板収納空間27と容器本体2の外部の空間とを連通可能な通気路の一部を構成する。また、給気用フィルタ部(図示せず)と排気用フィルタ部81とは、下壁24を有する壁部20に配置されており、給気用フィルタ部(図示せず)と排気用フィルタ部81とにおいては、フィルタ(図示せず)を通して容器本体2の外部の空間と基板収納空間27との間で気体が通過可能である。給気用フィルタ部(図示せず)は、容器本体2の外部の空間から基板収納空間27へ、毎分20L(リットル)以上の、窒素等の不活性ガスあるいは水分を除去(1%以下)したドライエア(以下、パージガスという)を通過可能である。同様に、排気用フィルタ部81は、基板収納空間27から容器本体2の外部の空間へ、エアやパージガスを通過可能である。
蓋体3は、図1等に示すように、容器本体2の開口周縁部28の形状と略一致する略長方形状を有している。蓋体3は容器本体2の開口周縁部28に対して着脱可能であり、開口周縁部28に蓋体3が装着されることにより、蓋体3は、容器本体開口部21を閉塞可能である。蓋体3の内面301(図1に示す蓋体3の裏側の面。図2等参照)であって、蓋体3が容器本体開口部21を閉塞しているときの開口周縁部28のすぐ後方向D12の位置に形成された段差の部分の面(シール面281)に対向する面には、蓋体3の内面301において蓋体3の周囲を一周するように形成された環状溝304(図2等参照)が形成されており、環状溝304を形成する蓋体3の部分は、シール部材取付部303を構成する。シール部材取付部303には、環状のシール部材4が取り付けられている。シール部材4は、弾性変形可能なポリエステル系、ポリオレフィン系など各種熱可塑性エラストマー、フッ素ゴム製、シリコンゴム製等により構成されることが好ましく、本実施形態では、シール部材4は、フッ素ゴム製である。シール部材4は、蓋体3の外周縁部を一周するように配置されている。
蓋体3が開口周縁部28に装着されたときに、シール部材4は、開口周縁部28に当接可能であり、開口周縁部28に密着して当接し、シール面281と蓋体3の内面301とにより挟まれて弾性変形し、蓋体3は、シール部材4と共に、容器本体開口部21を密閉した状態(気密状態)で閉塞する。開口周縁部28から蓋体3が取り外されることにより、容器本体2内の基板収納空間27に対して、基板Wを出し入れ可能となる。
シール部材4は、基部41と、基部側変形部42と、容器当接先端部43と、突起部44と、を有している。基部41、基部側変形部42、容器当接先端部43、及び、突起部44は、フッ素ゴムにより一体成形されて構成されている。基部41は、図2に示すように、蓋体3の周方向に直交する断面では、略長方形状を有しており、後方向D12における端部は、蓋体3の中心から周縁302へ向う方向(図2における左方向)に切り欠いた形状を有しており、左右方向D3における基部41の厚さが薄く構成された薄肉部を有している。薄肉部よりも上側の基部41の部分は、シール部材取付部303の環状溝304に嵌め込まれて固定されている。
基部側変形部42は、図2に示すように、蓋体3の周方向に直交する断面では、蓋体3の内面301に沿って蓋体3の中心から周縁302へ向う方向へ、基部41の下端部から延びている。基部側変形部42の延出端部は、容器当接先端部43に接続されている。即ち、基部側変形部42は、基部41と容器当接先端部43とを連結し、弾性変形することにより、図2、図3に示すように、蓋体3の周方向に直交する断面において、突起部44の先端部を支点として、基部41に対して容器当接先端部43を揺動可能である。
図2等に示すように、基部側変形部42の延出方向に直交する方向且つ蓋体3の内面301に直交する方向、即ち、後述する容器当接先端部43の揺動方向における、容器当接先端部43の厚さaは、同方向おける基部側変形部42の厚さbよりも厚く構成されている。具体的には、同方向おける基部側変形部42の厚さbは、0.8mmであるのに対して、同方向おける容器当接先端部43の厚さaは、0.95mmである。基部側変形部42のこの厚さbは、基部41に接続されている基部側変形部42の基端部から容器当接先端部43に接続されている先端側の端部に至るまで、一定である。また、容器当接先端部43のこの厚さaは、基部側変形部42に接続されている容器当接先端部43の基端部から容器当接先端部43の自由端部である先端部に至るまで、一定である。従って、容器当接先端部43の揺動方向における、開口周縁部28に当接する容器当接先端部43の本体当接部431の厚さaは、同方向おける基部側変形部42bの厚さよりも厚く構成されている。
容器当接先端部43は、基部側変形部42に接続され突起部44が存在する基端部側から、蓋体3の内面301に沿って蓋体3の中心から周縁302へ向う方向へ所定位置まで延び、その位置において折れ曲がることにより屈曲し、開口周縁部28の方向、より具体的には、蓋体3の中心から周縁302へ向う方向で且つ斜め後方向D12へ向って直線状に延びている。当該屈曲する部分は、屈曲部432を構成し、容器当接先端部43の延出端部は、図3に示すように、開口周縁部28に当接する本体当接部431を構成する。
突起部44は、基部側変形部42に接続されている容器当接先端部43の部分に存在する。突起部44は、蓋体3の内面301に対向する容器当接先端部43の外面から、蓋体3の内面301へ向って前方向D11へ突出している。突起部44の突出方向における容器当接先端部43の外面からの突起部44の高さは、0.6mmである。突起部44の突出方向に直交する方向における突起部44の厚さは0.6mmである。突起部44の先端部は、半球形状を有しており、先端部の半径は、0.3mmである。
蓋体3においては、ラッチ機構が設けられている。ラッチ機構は、蓋体3の左右両端部近傍に設けられており、図1に示すように、蓋体3の上辺から上方向D21へ突出可能な2つの上側ラッチ部32A、32Bと、蓋体3の下辺から下方向D22へ突出可能な2つの下側ラッチ部(図示せず)と、を備えている。2つの上側ラッチ部32A、32Bは、蓋体3の上辺の左右両端近傍に配置されており、2つの下側ラッチ部は、蓋体3の下辺の左右両端近傍に配置されている。
蓋体3の外面においては操作部33が設けられている。操作部33を蓋体3の前側から操作することにより、上側ラッチ部32A、32B、下側ラッチ部(図示せず)を蓋体3の上辺、下辺から突出させることができ、また、上辺、下辺から突出させない状態とすることができる。上側ラッチ部32A、32Bが蓋体3の上辺から上方向D21へ突出して、容器本体2のラッチ係合凹部40A、40Bに係合し、且つ、下側ラッチ部(図示せず)が蓋体3の下辺から下方向D22へ突出して、容器本体2のラッチ係合凹部41A、41Bに係合することにより、蓋体3は、容器本体2の開口周縁部28に固定される。
蓋体3の内側(図1に表れている蓋体3の外面に対する反対側)においては、基板収納空間27の外方へ窪んだ凹部(図示せず)が形成されている。凹部(図示せず)及び凹部の外側の蓋体3の部分には、フロントリテーナ(図示せず)が固定されて設けられている。
フロントリテーナ(図示せず)は、フロントリテーナ基板受け部(図示せず)を有している。フロントリテーナ基板受け部(図示せず)は、左右方向D3に所定の間隔で離間して対をなすようにして2つずつ配置されている。このように対をなすようにして2つずつ配置されたフロントリテーナ基板受け部は、上下方向D2に25対並列した状態で設けられている。基板収納空間27内に基板Wが収納され、蓋体3が閉じられることにより、フロントリテーナ基板受け部は、基板Wの縁部の端縁を挟持して支持する。
次に、蓋体3及びシール部材4による容器本体開口部21の閉塞について説明する。
先ず、蓋体3の内面301を基板収納空間27に対向させ、前後方向D1で見て蓋体3を容器本体開口部21に一致する位置関係とさせる。そして、図2に示すように、蓋体3を後方向D12へ移動させて容器本体開口部21へ近づけてゆき、シール部材4の容器当接先端部43の本体当接部431を開口周縁部28に当接させる。
そして更に、蓋体3を後方向D12へ移動させることにより、容器当接先端部43の本体当接部431が開口周縁部28に押しつけられる。このとき、前述のように容器当接先端部43は、基部側変形部42よりも厚く構成されているため、弾性変形しにくく、基部側変形部42が弾性変形する。この弾性変形により容器当接先端部43は、図2、図3に示すように、突起部44を支点(中心)として略前後方向D1(揺動方向)に揺動する。この状態で、蓋体3によって容器本体開口部21は閉塞される。
このように蓋体3によって容器本体開口部21が閉塞されているときには、基板収納空間27と基板収納容器1の外部との連通を遮断するシール部材4の厚さは、図3における矢印Aに沿った、容器当接先端部43の厚さそのものであるか、又は、図3における矢印Bに沿った、突起部44の厚さと基部側変形部42の厚さとの和となる。
上記構成の実施形態に係る基板収納容器1によれば、以下のような効果を得ることができる。
上述のように基板収納容器1は、一端部に容器本体開口部21が形成された開口周縁部28を有し、他端部が閉塞された筒状の壁部20を備え、壁部20の内面によって、複数の基板Wを収納可能であり容器本体開口部21に連通する基板収納空間27が形成された容器本体2と、容器本体開口部21に対して着脱可能であり、シール部材取付部303を有し、容器本体開口部21を閉塞可能な蓋体3と、蓋体3のシール部材取付部303に取り付けられ、開口周縁部28に当接可能であり、開口周縁部28と蓋体3との間に介在して開口周縁部28に密着して当接することにより、蓋体3と共に容器本体開口部21を気密状態で閉塞するシール部材4と、を備える。
シール部材4は、シール部材取付部303に固定される基部41と、開口周縁部28に当接する本体当接部431を有する容器当接先端部43と、基部41と容器当接先端部43とを連結し、基部41に対して容器当接先端部43を揺動可能に弾性変形可能な基部側変形部42と、基部側変形部42に接続されている容器当接先端部43の部分に存在し、容器当接先端部43の外面から突出する突起部44と、を有する。容器当接先端部43の揺動方向において、容器当接先端部43の厚さは、基部側変形部42の厚さよりも厚く構成されている。
この構成により、シール部材4の容器当接先端部43を変形しにくくすることができるとともに、基部側変形部42を変形しやすくすることができ、シール部材4の弾性力を小さくすることができる。この結果、シール部材4の開口周縁部28への当接の当たり(面圧)を強くすることができ、且つ、蓋体3で容器本体開口部21を閉塞する際に必要な力を所定の範囲に抑えて、シール部材4の開口周縁部28への当接の当たり(面圧)を所定の範囲とすることができる。
更に、蓋体3によって容器本体開口部21が閉塞されているときには、基板収納空間27と基板収納容器1の外部との連通を遮断するシール部材4の容器当接先端部43の厚さを十分に確保することができる。そして、基部側変形部42が容器当接先端部43よりも薄く構成されるため、十分に厚さが確保された容器当接先端部43を基部41に対して揺動可能とすることができる。
これらの結果、基板収納容器1の容器本体2に基板Wが収納され、容器本体2の容器本体開口部21が蓋体3によって閉塞されているときの、シール部材4におけるガス透過量を少なくすることができる。これにより、基板収納容器1内が加圧されてガスパージが行われる際の、基板収納容器1内における加圧状態を長い時間維持することができ、基板収納容器1内における湿度の上昇を、長い時間抑えられることができる。
また、容器当接先端部43の揺動方向において、容器当接先端部43の厚さは、少なくとも基部側変形部42の一部の厚さよりも厚く構成されている。この構成により、基部側変形部42において確実に弾性変形できるようにすることができるため、容器当接先端部43を基部41に対して揺動可能とすることができ、容器当接先端部43の本体当接部431を確実に開口周縁部28に当接した状態とすることができる。
また、容器当接先端部43は、突起部44から本体当接部431へ向った所定の部分において、本体当接部431が当接する開口周縁部28の部分へ向って屈曲する屈曲部432を有する。この構成により、基部側変形部42よりも変形しにくい容器当接先端部43の部分に屈曲部432を有する構成とすることができ、容器当接先端部43の本体当接部431を開口周縁部28に当接しやすい構成とすることができる。
また、シール部材4は、フッ素ゴムにより構成されている。この構成により、シール部材4における水分の透過量を抑えることができる。
次に、本発明の第2実施形態による基板収納容器について図4を参照しながら説明する。図4は、本発明の第2実施形態に係る基板収納容器のシール部材4Aを示す拡大断面図である。
第2実施形態による基板収納容器においては、シール部材4Aの構成が第1実施形態による基板収納容器1におけるシール部材4の構成とは異なる。これ以外の構成については、第1実施形態による基板収納容器1の構成と同様であるため、第1実施形態における各構成と同様の構成については、同様の符号を付して説明を省略する。
容器当接先端部43Aは、開口周縁部28(図3等参照)に当接可能な本体当接部431Aを有している。本体当接部431Aよりも容器当接先端部43Aの先端部寄りの部分は、本体当接部431Aが当接する開口周縁部28の表面から離間する方向へ湾曲して、容器当接先端部43Aの先端433Aは、基部41の方向に指向し、容器当接先端部43Aの先端部分432Aは、蓋体3の周方向に直交する断面では半円形状を有している。この構成においても、第1実施形態におけるシール部材4と同様の効果を得ることができる。
次に、本実施形態による効果を試す試験を行なった。試験では、第1実施形態による基板収納容器1を本発明品とした。また、従来の特許文献1の実施形態のシール部材と同一の形状を有するシール部材であって、フッ素ゴムにより構成されたシール部材を有する基板収納容器を比較品1とした。また、従来の特許文献1の実施形態のシール部材4と同一の形状を有するシール部材であって、ポリエステルエラストマー(PEE)により構成されたシール部材を有する基板収納容器を比較品2とした。試験においては、蓋体3によって容器本体開口部21を閉塞した状態とし、給気用フィルタ部(図示せず)を通して不活性であるNガスを10L(リットル)/min〜30L/min程度の範囲内の所定量で所定時間注入して、相対湿度を0%とした後に、Nガスの注入を停止する。そして、Nガスの注入を停止してから4時間後の相対湿度の値を求めた。試験結果は以下の表1に示すとおりである。
Figure 2017090143
表1に示すように、本発明品では、相対湿度の値は低い値になっており、シール部材4におけるガス透過量(水分の透過量)が低いことが分かる。これに対して、本発明品とシール部材を構成する材質は同一であっても、シール部材の形状が異なる比較品1では、相対湿度の値は、本発明品の値の2倍以上の高い値になっており、シール部材におけるガス透過量(水分の透過量)が高いことが分かる。更に、比較品1と形状は同一であってもシール部材を構成する材質が異なる比較品2では、相対湿度の値は、比較品1の値よりも30%以上高い値になっており、また、本発明品の値の2.7倍以上の高い値になっている。以上より、同一形状を有するシール部材であれば、ポリエステルエラストマー(PEE)により構成されるシール部材よりもフッ素ゴムにより構成されるシール部材の方が、ガス透過量(水分の透過量)が低いことが分かる。そして、第1実施形態の形状を有するシール部材4は、極めてガス透過量(水分の透過量)が低いことが分かる。
本発明は、上述した実施形態に限定されることはなく、特許請求の範囲に記載された技術的範囲において変形が可能である。
例えば、基部側変形部42の厚さは、基部41に接続されている基部側変形部42の基端部から容器当接先端部43に接続されている先端側の端部に至るまで、一定であったが、これに限定されない。容器当接先端部の揺動方向において、容器当接先端部の厚さは、少なくとも基部側変形部の一部の厚さよりも厚く構成されていてもよい。従って、例えば、基部側変形部は、蓋体の周方向に直交する断面において、部分的に厚い部分や薄い部分を有していてもよい。
また、シール部材を構成する基部、容器当接先端部、基部側変形部、突起部等の構成は、本実施形態のシール部材4、4Aを構成する基部41、容器当接先端部43、43A、基部側変形部42、突起部44等の構成に限定されない。
また、容器本体及び蓋体の形状、容器本体に収納可能な基板Wの枚数や寸法は、本実施形態における容器本体2及び蓋体3の形状、容器本体2に収納可能な基板Wの枚や寸法に限定されない。また、基板収納容器1は、基板Wを収納して、工場内の工程において搬送する工程内容器であったが、これに限定されない。例えば、基板収納容器は、基板Wを収納して、陸運手段・空運手段・海運手段等の輸送手段により基板Wを輸送するための出荷容器であってもよい。
1 基板収納容器
2 容器本体
3 蓋体
4、4A シール部材
7 溝部材(当接部)
20 壁部
21 容器本体開口部
27 基板収納空間
28 開口周縁部
41 基部
42 基部側変形部
43、43A 容器当接先端部
44 突起部
303 シール部材取付部
431、431A 本体当接部
432 屈曲部
W 基板
a 容器当接先端部の厚さ
b 基部側変形部の厚さ

Claims (4)

  1. 一端部に容器本体開口部が形成された開口周縁部を有し、他端部が閉塞された筒状の壁部を備え、前記壁部の内面によって、複数の基板を収納可能であり前記容器本体開口部に連通する基板収納空間が形成された容器本体と、
    前記容器本体開口部に対して着脱可能であり、シール部材取付部を有し、前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、
    前記蓋体の前記シール部材取付部に取り付けられ、前記開口周縁部に当接可能であり、前記開口周縁部と前記蓋体との間に介在して前記開口周縁部に密着して当接することにより、前記蓋体と共に前記容器本体開口部を気密状態で閉塞するシール部材と、を備え、
    前記シール部材は、
    前記シール部材取付部に固定される基部と、
    前記開口周縁部に当接する本体当接部を有する容器当接先端部と、
    前記基部と前記容器当接先端部とを連結し、前記基部に対して前記容器当接先端部を揺動可能に弾性変形可能な基部側変形部と、
    前記基部側変形部に接続されている前記容器当接先端部の部分に存在し、前記容器当接先端部の外面から突出する突起部と、を有し、
    前記容器当接先端部の揺動方向において、前記容器当接先端部の厚さは、前記基部側変形部の厚さよりも厚く構成されている基板収納容器。
  2. 前記容器当接先端部の揺動方向において、前記容器当接先端部の厚さは、少なくとも前記基部側変形部の一部の厚さよりも厚く構成されている請求項1に記載の基板収納容器。
  3. 前記容器当接先端部は、前記突起部から前記本体当接部へ向った所定の部分において、前記本体当接部が当接する前記開口周縁部の部分へ向って屈曲する屈曲部を有する、請求項1又は請求項2に記載の基板収納容器。
  4. 前記シール部材は、フッ素ゴムにより構成されている、請求項1〜請求項3のいずれかに記載の基板収納容器。
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