JP2005256958A

JP2005256958A - シール部材

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Publication number: JP2005256958A
Application number: JP2004069520A
Authority: JP
Inventors: Chiaki Matsudori; 千明松鳥; Takaharu Oyama; 貴立小山
Original assignee: Miraial Co Ltd
Current assignee: Miraial Co Ltd
Priority date: 2004-03-11
Filing date: 2004-03-11
Publication date: 2005-09-22
Anticipated expiration: 2024-03-11
Also published as: JP4664610B2

Abstract

【課題】密着性を高めてシール性を向上させる。
【解決手段】
互いに嵌合する容器本体２３及び蓋体２４の間に介在してこれらの間をシールするシール部材２５である。蓋体２４に設けられた嵌合溝２９に嵌合されるエンドレス部３１と、このエンドレス部３１から他方へ延ばして形成されてその先端部が他方のシール面に当接してシールする突片３２とを備えた。突片３２は、肉薄に形成されシール面に密着する先端薄肉部３４と、肉厚に形成され先端薄肉部３４を支持してこの先端薄肉部３４をシール面に押し付ける中間厚肉部３５と、中間厚肉部３５を弾性的に支持する基端弾性支持部３６と、基端弾性支持部３６に掛かる荷重をその中間位置に集中させる基端凸条３７とを備えた。
【選択図】図１

Description

この発明は、互いに嵌合する嵌合体及び被嵌合体の間をシールするためのシール部材に関し、特に半導体ウエハ、マスクガラス等の、塵挨等の侵入を嫌う薄板を輸送、保管等するために、内部をクリーンな状態に保つ必要のある薄板収納容器に用いて好適なシール部材に関する。

半導体ウエハ等の薄板を輸送、保管する際に使用する薄板収納容器は、例えば特許文献１のように、キャリヤ、容器本体、蓋体、押え部材、シール部材などを備えて構成されたものである。そして、シール部材は、図２に示すように構成されている。

このシール部材１は、エンドレス部２と、突片３と、嵌合リブ４と位置決め用突起５とから構成されている。シール部材１のエンドレス部２は、蓋体６の嵌合保持溝７に嵌合されて支持されている。このエンドレス部２で突片３が容器本体８側へ延出して支持され、突片３の先端が容器本体８に当接して支持されている。
特開２００２−６８３６４号公報

しかしながら、上記特許文献１のシール部材１の場合は、エンドレス部２が嵌合保持溝７内嵌合され、このエンドレス部２で支持された突片３が容器本体８側へ延出して当接しているが、この突片３の弾性が問題になる。経年劣化や熱等によって突片３の弾力性が弱くなると、シール性が低下してしまうという問題点がある。

本発明は、上述の点に鑑みてなされたもので、経年劣化や熱等によるシール性の低下を効率的に抑えることができるシール部材を提供することを目的とする。

本発明は、上記課題を解決するために為されたものである。本発明に係るシール部材は、互いに嵌合する嵌合体及び被嵌合体の間に介在してこれらの間をシールするシール部材であって、上記嵌合体又は被嵌合体のいずれか一方に設けられた嵌合溝に嵌合されるエンドレス部と、当該エンドレス部から他方へ延ばして形成されてその先端部が他方のシール面に当接することでその当接部分をシールする突片とを備え、上記突片が、肉薄に形成され上記シール面に密着する先端薄肉部と、肉厚に形成され当該先端薄肉部を支持してこの先端薄肉部を上記シール面に押し付ける中間厚肉部と、当該中間厚肉部を弾性的に支持する基端弾性支持部とを備えたことを特徴とする。

上記構成により、中間厚肉部が先端薄肉部を支持してシール面に押し付けることで、肉薄の先端薄肉部がシール面に密着する。このとき、中間厚肉部が先端薄肉部をあまり強い力でシール面に押し付けないように、中間厚肉部を基端弾性支持部が弾性的に支持する。

上記基端弾性支持部には、その基端弾性支持部に掛かる荷重をその中間位置に集中させる基端突部を備えることが望ましい。

これにより、基端突部が直接的に押されることで間接的に基端弾性支持部の中間部が押されてこの基端弾性支持部が柔軟に撓み、中間厚肉部を弾性的に支持することができる。

上記先端薄肉部は、柔軟に撓んでシール面の凹凸に追従して変形できる厚さに設定することが望ましい。

これにより、先端薄肉部がシール面の凹凸に沿って柔軟に撓んでシール面に密着し、シール性が向上する。

上記先端薄肉部の先端部は、３０度から６０度の角度で傾斜させてカットされたカット面を備えることが望ましい。

これにより、先端薄肉部の先端部がシール面との摩擦で欠けたり、金型成型時に樹脂の充填が不十分になって先端薄肉部の先端部が欠けたりするのを防止できる。

上記中間厚肉部は、上記先端薄肉部の基端からテーパ状に次第に肉厚を増して形成することが望ましい。

これにより、先端薄肉部をシール面に水平に支持することができると共に、いわゆるコシの強い支持部材とすることができる。

上記先端薄肉部から中間厚肉部に亘るシール面側の接触面は、その全面に亘って段差のない直線的な平坦面で形成することが望ましい。

これにより、接触面をシール面に対して密着させることができる。

以上詳述したように、本発明の薄板収納容器によれば、次のような効果を奏する。

先端薄肉部がシール面に密着し、この先端薄肉部を中間厚肉部が支持し、この中間厚肉部を基端弾性支持部が弾性的に支持し、この基端弾性支持部をその中間位置で基端突部が押して弾性的に撓ませるため、先端薄肉部がシール面に密着して容器本体内を密封することができる。

以下、本発明の実施形態を添付図面に基づいて説明する。本発明のシール部材は、互いに嵌合する嵌合体及び被嵌合体の間に介在してこれらの間をシールするためのシール部材である。特に、内部をクリーンな状態に保つ必要のある薄板収納容器等に用いて好適なシール部材である。また、薄板収納容器は、半導体ウエハ、記憶ディスク、液晶ガラス基板、マスクガラス等の、塵挨等の侵入を嫌う薄板を収納して、保管、輸送等における使用に供するための容器である。ここでは、半導体ウエハを収納する薄板収納容器に、本発明のシール部材を用いた例を説明する。

まず、本発明のシール部材を使用した薄板収納容器について、図３及び図４に基づいて
説明する。

本実施形態の薄板収納容器２１は主に、溝板２２、容器本体２３、蓋体２４、シール部材２５を備えて構成されている。

溝板２２は、容器本体２３内に収納された半導体ウエハを両側から支持するための部材である。溝板２２は、容器本体２３内の対向する側壁にそれぞれ設けられている。この溝板２２に並列に多数の半導体ウエハが支持される。

容器本体２３は、半導体ウエハを複数枚収納するための容器である。この容器本体２３内に複数の半導体ウエハが収納された状態で内部が密封されて、外部からの塵挨等の侵入が防止される。即ち、容器本体２３内に２つの溝板２２が取り付けられ、複数の半導体ウエハがこれら２つの溝板２２間に支持されて容器本体２３内に収納された状態で内部が密封されて、外部からの塵挨等の侵入が防止される。

容器本体２３の上端部（図３中の左端部）には、蓋体２４が嵌合するための蓋体受け部２７が設けられている。この蓋体受け部２７は容器本体２３の上端部を、蓋体２４の寸法まで広げて形成されている。これにより、蓋体２４は、蓋体受け部２７の垂直板部２７Ａの内側に嵌合し、水平板部２７Ｂに当接することで、蓋体受け部２７に取り付けられるようになっている。水平板部２７Ｂは、蓋体２４に取り付けられたシール部材２５が当接して薄板収納容器２１の内部を密封するためのシール面となっている。

蓋体２４は、容器本体２３を塞ぐための部材である。蓋体２４は、容器本体２３内に半導体ウエハが収納された状態で、容器本体２３を塞いでその内部を密封する。蓋体２４内には、蓋体２４を容器本体２３に固定する簡易着脱機構（図示せず）が設けられている。この簡易着脱機構は、蓋体２４の周縁部から突出する蓋体係上爪（図示せず）を備えている。蓋体２４の内側面（容器本体２３側の面）には、容器本体２３内で２つの溝板２２内に支持された半導体ウエハを蓋体側から支持するための押え部材（図示せず）が設けられている。

蓋体２４の容器本体２３側端部には、その全周に亘って環状の嵌合溝２９（図５参照）が設けられている。この環状溝２９は、蓋体２４の下端縁部に全周に亘って設けられている。環状溝２９の端部にはフランジ部２９Ａ（図５参照）が設けられている。このフランジ部２９Ａは、蓋体２４から、蓋体受け部２７の水平板部２７Ｂに平行に張り出して形成され、後述するシール部材２５の基端凸条３７を押圧する部材となっている。

シール部材２５は、容器本体２３と蓋体２４との間に介在してこれらの間をシールすることで容器本体２３内を密封するための部材である。このシール部材２５は具体的には図１に示すように、蓋体２４側の環状の嵌合溝２９に嵌合されるエンドレス部３１と、エンドレス部３１から他方（容器本体２３側の蓋体受け部２７の水平板部２７Ｂであるシール面）へ延ばして形成されてその先端部がシール面に当接することでその当接部分をシールする突片３２とを備えて構成されている。このシール部材２５は、合成樹脂等の弾性部材で構成され、全体が柔軟に撓むことができるようになっている。

エンドレス部３１は、蓋体２４側の環状の嵌合溝２９に嵌合される帯状部材として構成されている。エンドレス部３１の奥側（嵌合溝２９の奥側）には膨出部３１Ａが形成されている。この膨出部３１Ａは、嵌合溝２９の奥に圧入されてエンドレス部３１を嵌合溝２９に安定して支持するための部分である。

突片３２は、容器本体２３のシール面（水平板部２７Ｂ）に当接して、容器本体２３とシール部材２５との間をシールするための部材である。突片３２は、エンドレス部３１から他方（容器本体２３側の水平板部２７Ｂ）へ延ばして形成されて、その先端部がシール面に当接することでその当接部分をシールするようになっている。突片３２は、シール部材２５の一部であり、上述のように、弾性部材で構成されて全体が柔軟に撓むことができるようになっている。この突片３２は具体的には、先端薄肉部３４と、中間厚肉部３５と、基端弾性支持部３６と、基端凸条３７とから構成されている。

先端薄肉部３４は、接触部分である蓋体受け部２７のシール面（水平板部２７Ｂ）に密着するための部分である。先端薄肉部３４は、その肉厚を他の部分よりも薄くして形成されている。具体的には先端薄肉部３４は、柔軟に撓んで、シール面の凹凸に追従して変形できる厚さに設定されている。シール部材２５に使用される材料によって柔軟性が異なるので、使用される材料に応じてその厚さが設定される。先端薄肉部３４の全体はほぼ同じ厚さで、先端に向けて僅かに薄くなるように僅かなテーパが付けられている。なお、テーパを設けずに全体に同じ厚さにしてもよい。このように構成されることにより、シール面に凹凸があっても、先端薄肉部３４が柔軟に撓んで凹凸に沿って変形することで当該凹凸を吸収し、シール面に密着するようになっている。先端薄肉部３４の先端部は、４５度程度の角度で傾斜させてカットされたカット面３４Ａとなっている。このカット面３４Ａは、先端薄肉部３４の先端部があまり薄くならないようにするためである。仮に、先端部の断面形状を薄く尖った形状にすると、蓋体２４の着脱に伴って先端薄肉部３４の先端部とシール面とが何度も摩擦することで尖った先端が欠けたり、金型成型時に狭い隙間に樹脂が完全に回り込むことができずに尖った先端が欠けたりして、シール面との密着性の低下の原因になる。これを解消するために、先端薄肉部３４にカット面３４Ａを設けて、先端部が過度に薄くならないようにしている。このカット面３４Ａの角度は、３０度から６０度程度の範囲で設定する。カット亜３４Ａは、外気圧を受けて先端薄肉部３４の先端部をシール面に押し付ける機能も備えているため、その機能を有効に発揮する範囲で、かつ上記欠損を防止できる範囲で、傾斜角度が設定される。

中間厚肉部３５は、先端薄肉部３４を支持してこの先端薄肉部３４をシール面に押し付けるための部分である。中間厚肉部３５は、先端薄肉部３４の基端からテーパ状に次第に肉厚を増して形成されている。これにより、中間厚肉部３５は、その先端側（先端薄肉部３４との接続部分）が基端側よりも比較的大きく撓むようになっている。これにより、中間厚肉部３５の先端側から基端側へ行くに従って徐々に撓み量が減少し、即ち、中間厚肉部３５の先端側から基端側へ行くに従って曲率半径次第に大きくなって、先端薄肉部３４をシール面に平行に支持した状態で強く押し付けることができるようになっている。これにより、全体としてあまり撓まずに、先端薄肉部３４をシール面に強く押し付ける強さを備えている。上記テーパの角度は、中間厚肉部３５に要求される、先端薄肉部３４をシール面に強く押し付ける力に応じて設定される。より強い力が要求される場合は、中間厚肉部３５がさらに肉厚になるように上記テーパの角度を設定する。

先端薄肉部３４と中間厚肉部３５との境は、角度を持たせて形成されているが、大きな、曲率半径で、なだらかに連続した面になるように形成してもよい。

先端薄肉部３４と中間厚肉部３５とのシール面側（蓋体受け部２７の水平板部２７Ｂ側）の接触面３８は、先端薄肉部３４から中間厚肉部３５まで、段差のない直線的な平坦面となっている。これは、接触面３８が蓋体受け部２７のシール面に接触するときに、段差等があると、その部分でシール面との間に隙間ができやすくなるためである。接触面３８を段差のない平坦面とすることで、蓋体受け部２７のシール面と接触するときに、隙間なく密着するようになっている。

基端弾性支持部３６は、中間厚肉部３５を弾性的に支持するための部分である。基端弾性支持部３６は、中間厚肉部３５とエンドレス部３１とを連結して設けられ、エンドレス部３１に支持された状態で中間厚肉部３５を弾性的に支持している。これにより、中間厚肉部３５に過度の力が集中しないように、基端弾性支持部３６が撓んで逃がしている。基端弾性支持部３６は、その中間部分を薄くして全体として撓みやすく形成されている。この中間部分は、中間厚肉部３５の最も厚い部分よりも薄く形成され、中間厚肉部３５と共に変形して、中間厚肉部３５に過度の力が集中しないようになっている。

基端凸条３７は、基端弾一性支持部３６に掛かる荷重を基端弾性支持部３６の中間位置、主に中央部分（図１中の左右方向中央部）に集中させるための基端突部である。この基端凸条３７は、基端弾性支持部３６の上側面（蓋体２４のフランジ部２９Ａ側）の中央部分に設けられている。基端凸条３７は、環状の基端弾性支持部３６に、その全長に亘って設けてもよく、一定間隔置きに断続的に設けてもよい。基端凸条３７を一定間隔置きに断続的に設ける場合は、基端弾性支持部３６に掛かる荷重が環状方向でまだらにならない程度に、基端凸条３７を設ける間隔を設定する。さらに、基端凸条３７自身も撓んで、中間厚肉部３５に過度の力が集中するのを防止している。これにより、基端弾性支持部３６で第１段階の緩衝を行い、基端凸条３７で第２段階の緩衝を行うようになっている。

なお、基端凸条３７の取り付け位置は、基端弾性支持部３６の上側面の中央部分に限らず、他の位置でもよい。例えば、先端薄肉部３４を強く押し付けたい場合は、基端凸条３７を中間厚肉部３５寄りに設ける。押し付ける力をもっと強めたい場合は、中間厚肉部３５に設ける場合もある。さらに強い力で、先端薄肉部３４を押し付けたい場合は、先端薄肉部３４に直接設ける場合もある。逆に、弱くしたい場合は、エンドレス部３１寄りに設ける。

以上のように構成された薄板収納容器２１のシール部材２５は、次のようにして使用される。

まず、シール部材２５を取り付ける。具体的には、シール部材２５のエンドレス部３１を嵌合溝２９に押し込む。これにより、膨出部３１Ａが嵌合溝２９の奥まで押し込まれて、エンドレス部３１が嵌合溝２９に安定的に支持される。

この状態で、容器本体２３内の溝板２２内に半導体ウエハを収納し、蓋体２４を取り付ける。具体的には、蓋体２４を、容器本体２３の上側から被せ、簡易着脱機構で蓋体２４を容器本体２３に固定する。

このとき、シール部材２５では、その突片３２が容器本体２３側のシール面（水平板部２７Ｂ）へ延びて、その先端部がシール面に当接することでその当接部分をシールする。この突片３２がシール面に接触する状態を図５及び図６に基づいて説明する。

蓋体２４が容器本体２３の蓋体受け部２７に嵌合されると、基端凸条３７が蓋体２４側のフランジ部２９Ａで押されて、まず図５のように、シール部材２５の先端薄肉部３４の先端部がシール面に当接する。次いで、蓋体２４が蓋体受け部２７に押し込まれると、図６（Ａ）のように、嵌合溝２９側のフランジ部２９Ａが基端凸条３７を押して、先端薄肉部３４が次第に撓み始める。蓋体２４がさらに押し込まれると、図６（Ｂ）のように、先端薄肉部３４と共に中間厚肉部３５が撓み始める。蓋体２４がさらに押し込まれると、図６（Ｃ）のように、中間厚肉部３５がその基端側であまり撓まずに先端側で大きく撓んで、中間厚肉部３５の先端部がほぼ水平になるように変形する。これにより、先端薄肉部３４を水平に支持した状態でシール面に強く押し付ける。

このとき、中間厚肉部３５や、先端薄肉部３４と中間厚肉部３５との境界付近に過度の力が加わらないように、基端凸条３７で中央付近を押される基端弾性支持部３６が撓む。さらに強い力が加わる場合は、基端弾性支持部３６と共に基端凸条３７が変形する。これにより、過度の力を逃がして、中間厚肉部３５を一定の圧力でシール面に押し付ける。この一定圧力は、長期間持続させることができる。これは、突片３２が劣化して弾力性が低下しても、その弾力性の低下分は、先端薄肉部３４、中間厚肉部３５、基端弾性支持部３６および基端凸条３７で分散して吸収できるためである。そして、中間厚肉部３５に支持された先端薄肉部３４は、その接触面３８がシール面に密着する。

この状態で、薄板収納容器２１の外気圧が高いと、その外気圧でシール部材２５の先端薄肉部３４がシール面に押し付けられる。さらに、先端薄肉部３４の先端のカット面３４Ａも、外気圧でシール面に押し付けられる。これにより、先端薄肉部３４がシール面に密着し、薄板収納容器２１を密封する。薄板収納容器２１の内圧が外気圧よりも高いときは、その内圧でシール部材２５の先端薄肉部３４とシール面との間が押し開かれて、薄板収納容器２１内の気体が外部に流出して、薄板収納容器２１内の圧力上昇が抑えられる。

蓋体２４を取り外すときは、上記と逆の動作によって、シール部材２５の先端薄肉部３４がシール面から外れる。このとき、先端薄肉部３４の先端部を蓋体受け部２７のシール面に多少摺ることになるが、先端薄肉部３４の先端部は、細くて鋭い先端ではなく、カット面３４Ａで肉厚にカットされているため、蓋体受け部２７のシール面に多少摺っても、先端部分が欠けることはほとんど無い。

これにより、シール部材２５と容器本体２３との間は突片３２が蓋体受け部２７のシール面に密着してシールし、シール部材２５と蓋体２４との間はエンドレス部３１が嵌合溝２９に当接してシールする。

このシール部材２５のシール性についての実験結果を図７に示す。この図７の表は、容器内を負圧にして大気圧になるまでの時間を測定したものである。ここでは、２検体のシール部材２５に対して実験した。容器内を−５．００キロパスカルにして、３０秒後、１分後、２分後、３分後、５分後、１０分後の変化を調べた。この実験を種々の構成のシール部材に対して行ったが、どれも２分から５分程度で大気圧まで戻ったが、本実施形態のシール部材２５では、１０分後でも、第１検体で−３．９５キロパスカル、第２検体で−４．０４キロパスカルとなり、機密性が大幅に向上した。

以上のように、中間厚肉部３５が先端薄肉部３４を支持してシール面に押し付けるため、肉薄の先端薄肉部３４がシール面に密着する。これにより、容器本体２３内を密封することができ、シール性が大幅に向上する。

また、基端凸条３７を介して基端弾性支持部３６の中間位置を押圧することでこの基端弾性支持部３６を柔軟に撓ませるようにしたので、中間厚肉部３５を弾性的に支持することができる。この結果、中間厚肉部３５に過度の力が加わるのを防止して、先端薄肉部３４をシール面に適度な力で押し付けることができると共に、その押圧力を長期間持続させることができる。

先端薄肉部３４を、柔軟に撓んでシール面の凹凸に追従して変形できる厚さに設定したので、シール面に凹凸がある場合でも、先端薄肉部３４がその凹凸に応じて変形してシール面に密着し、容器本体２３内を密封することができる。

先端薄肉部３４の先端部に、４５度程度の角度で傾斜させたカット面３４Ａを備えたので、先端薄肉部３４の先端部が欠けるのを防止することができる。この結果、先端薄肉部３４を良好な状態に維持することができ、容器本体２３内を密封することができる。

中間厚肉部３５を、先端薄肉部３４の基端からテーパ状に次第に肉厚を増して形成したので、この中間厚肉部３５はその基端側から先端側へ行くに従って曲率半径が次第に小さくなるように変形して、先端薄肉部３４をシール面に水平に支持することができる。さらに、中間厚肉部３５がその基端側から先端側へ行くに従って曲率半径が次第に小さくなるように変形することで、中間厚肉部３５の全体形状として直線に近い形状が維持されるため、いわゆるコシの強い支持部材とすることができる。この結果、先端薄肉部３４がシール面に密着し、容器本体２３内を確実に密封することができる。

接触面３８をその全面に亘って段差のない直線的な平坦面で形成したので、その接触面３８とシール面との間に隙間ができにくく、密着させることができる。この結果、容器本体２３内を密封することができる。

なお、上記実施形態では、半導体ウエハを収納する薄板収納容器２１について説明したが、本発明はこれに限らず、内部を密封する必要のある容器全般に用いることができる。

また、上記実施形態では、嵌合溝２９を蓋体２４側に設けたが、容器本体２３側に設けてもよい。この場合も、上記実施形態同様の作用、効果を奏することができる。

さらに、上記実施形態では、基端凸条３７を基端弾性支持部３６の中央位置に設けたが、この基端凸条３７の設置位置は、基端弾性支持部３６を撓ませる程度に応じて適宜設定する。

また、基端凸条３７を基端弾性支持部３６側に設けたが、嵌合溝２９のフランジ部２９Ａ側に設けてもよい。この場合も、上記実施形態同様の作用、効果を奏することができる。

本発明のシール部材を示す断面図である。従来のシール部材を示す断面図である。本発明のシール部材が用いられた薄板収納容器を示す分解斜視図である。本発明のシール部材が用いられた薄板収納容器を示す斜視図である。本発明のシール部材を示す断面図である。本発明の薄板収納容器の蓋体が取り付けられるときのシール部材の動きを示す断面図である。機密性の実験結果を示す表である。

符号の説明

２１：薄板収納容器、２２：溝板、２３：容器本体、２４：蓋体、２５：シール部材、２７：蓋体受け部、２７Ａ：垂直板部、２７Ｂ：水平板部、２９：環合溝、２９Ａ：フランジ部、３１：エンドレス部、３１Ａ：膨出部、３２：突片、３４：先端薄肉部、３４Ａ：カット面、３５：中間厚肉部、３６：基端弾性支持部、３７：基端凸条、３８：接触面。

Claims

互いに嵌合する嵌合体及び被嵌合体の間に介在してこれらの間をシールするシール部材であって、
上記嵌合体又は被嵌合体のいずれか一方に設けられた嵌合溝に嵌合されるエンドレス部と、当該エンドレス部から他方へ延ばして形成されてその先端部が他方のシール面に当接することでその当接部分をシールする突片とを備え、
上記突片が、肉薄に形成され上記シール面に密着する先端薄肉部と、肉厚に形成され当該先端薄肉部を支持してこの先端薄肉部を上記シール面に押し付ける中間厚肉部と、当該中間厚肉部を弾性的に支持する基端弾性支持部と
を備えたことを特徴とするシール部材。
請求項１に記載のシール部材であって、
上記基端弾性支持部に掛かる荷重をその中間位置に集中させる基端突部を備えたことを特徴とするシール部材。
請求項１又は２に記載のシール部材であって、
上記先端薄肉部が、柔軟に撓んでシール面の凹凸に追従して変形できる厚さに設定されたことを特徴とするシール部材。
請求項１乃至３のいずれか１項に記載のシール部材であって、
上記先端薄肉部の先端部が、３０度から６０度の角度で傾斜させてカットされたカット面を備えたことを特徴とするシール部材。
請求項１乃至４のいずれか１項に記載のシール部材であって、
上記中間厚肉部が、上記先端薄肉部の基端からテーパ状に次第に肉厚を増して形成されたことを特徴とするシール部材。
請求項１乃至５のいずれか１項に記載のシール部材であって、
上記先端薄肉部から中間厚肉部に亘る上記シール面側の接触面が、その全面に亘って段差のない直線的な平坦面で形成されたことを特徴とするシール部材。