JP4980252B2 - 基板収納容器及びそのシールガスケットの取り付け方法 - Google Patents

Description

本発明は、半導体ウェーハ等からなる基板を収納する基板収納容器及びそのシールガスケットの取り付け方法に関するものである。

従来の基板収納容器は、図示しないが、複数枚の基板を収納する容器本体と、この容器本体の開口上部に嵌合される蓋体と、容器本体の開口上部と蓋体との間をシールする弾性のシールガスケットとを備えて構成されている（特許文献１参照）。容器本体の開口上部の周縁には、平面枠形の嵌入溝が凹み形成され、この嵌入溝にシールガスケットが嵌入されている。

シールガスケットは、図示しないが、容器本体の嵌入溝に嵌入される枠体と、この枠体の外周部から伸長して蓋体に接触するシール形成部とを備え、所定の熱可塑性エラストマーやゴムを使用して成形されている。このシールガスケットの枠体には、容器本体の嵌入溝に変形して密嵌される断面略Ｕ字形等の嵌合部が形成され、この嵌合部の変形に伴う弾性反発力より、容器本体の嵌入溝にシールガスケットが保持されることとなる。このように、シールガスケットは、熱可塑性エラストマーやゴムを使用して成形されるので、可撓性や弾性に優れる反面、変形し易く、周長も変化し易いという特徴を有している。
特開平１０−１５４７５０号公報

従来における基板収納容器は、以上のように嵌合部の変形に伴う弾性反発力のみにより、容器本体の嵌入溝にシールガスケットが単に保持されるので、シールガスケットに変形や周長変化が生じると、シールガスケットのコーナ部が弛んで保持力の低下を招き、容器本体から蓋体を取り外す場合に、シールガスケットの一部が蓋体と共に外れてしまうという問題がある。また、容器本体の嵌入溝にシールガスケットを嵌入する作業は、作業員による手動で行われているので、作業員の技能によりシールガスケットの嵌入具合にバラツキが発生するという問題もある。

本発明は上記に鑑みなされたもので、シールガスケットの保持力低下を抑制してシールガスケットの一部が蓋体と共に外れてしまうおそれを排除し、シールガスケットの嵌入具合にバラツキが発生するのを防ぐことができる基板収納容器及びそのシールガスケットの取り付け方法を提供することを目的としている。

本発明においては上記課題を解決するため、基板を収納する容器本体と、この容器本体の開口部に嵌め合わされる蓋体と、容器本体の開口部と蓋体のいずれかに形成される平面枠形の嵌入溝と、この嵌入溝に嵌め入れられて容器本体の開口部と蓋体との間をシールする弾性のシールガスケットとを備え、このシールガスケットに嵌合突起部を形成したものであって、
シールガスケットは、嵌入溝に嵌め入れられる枠体と、この枠体から伸びて容器本体と蓋体のいずれかに接触するシール形成部とを含み、枠体を、嵌入溝から露出する枠体部に、嵌入溝に嵌め入れられる嵌合部を設けることで形成し、
嵌合突起部は、シールガスケットの嵌合部内周における全ての直線部に間隔をおいて複数形成される第一の嵌合突起部と、シールガスケットの嵌合部内周における四隅のコーナ部にそれぞれ形成される第二の嵌合突起部とを含み、複数の第一の嵌合突起部を、シールガスケットの嵌合部内周における直線部の中心線上からコーナ部方向に偏位させ、この複数の第一の嵌合突起部を、第二の嵌合突起部を挟むよう配列し、第一、第二の嵌合突起部をそれぞれ嵌入溝の周方向に伸ばしてその長辺を嵌入溝の周方向に向けるとともに、第一、第二の嵌合突起部の短辺を容器本体の開口部に対する蓋体の嵌め合わせ方向に向けたことを特徴としている。

なお、枠体の嵌合部外周に、嵌合部の傾きを規制する細長いリブを形成し、このリブの長手方向を容器本体の開口部に対する蓋体の嵌め合わせ方向に向けることができる。

また、嵌合突起部の第一の嵌合突起部の高さと第一の嵌合突起部が嵌まる嵌入溝の幅との差Δ１を、第二の嵌合突起部の高さと第二の嵌合突起部が嵌まる嵌入溝の幅との差Δ２以上とすることができる。
また、複数の第一の嵌合突起部を、第二の嵌合突起部を接近して挟むよう配列することも可能である。

また、第一の嵌合突起部を略平板に膨出形成して嵌入溝に密接させ、第二の嵌合突起部を周方向に連続した略山形あるいは略階段形に形成して嵌入溝に密接させることも可能である。

また、本発明においては上記課題を解決するため、請求項１、２、又は３記載の基板収納容器の嵌入溝にシールガスケットを押圧治具により嵌め入れる基板収納容器のシールガスケットの取り付け方法であって、
押圧治具は、嵌入溝にシールガスケットを圧力を加えて嵌め入れる本体枠と、この本体枠のシールガスケットに対向する対向面に形成され、シールガスケットの枠体に圧接する圧接平坦面とを含んでなることを特徴としている。

なお、押圧治具は、本体枠の外周に形成される把持部を含むと良い。

ここで、特許請求の範囲における基板は、半導体ウェーハ（口径２００、３００、４５０ｍｍ等）やガラス基板、単数複数を特に問うものではない。また、容器本体は、透明、不透明、半透明を特に問うものではなく、基板を２５、２６枚収納するタイプの他、２〜５枚収納するタイプでも良い。この容器本体は、基板を直接的に収納するタイプでも良いし、間接的に収納するタイプでも良い。

シールガスケットのシール形成部は、主に先細りの断面略三角形、台形、略し字形、略半円弧形等に形成され、先端に断面円形の膨出部等が選択的に形成される。さらに、押圧治具の把持部は、本体枠の一対の対向部における外周に凹み形成されても良いし、本体枠の全外周に凹み形成されても良い。

本発明によれば、容器本体と蓋体のいずれかに形成された嵌入溝に弾性のシールガスケットの枠体を嵌め入れれば、嵌入溝と嵌合突起部の第一、第二の嵌合突起部とがそれぞれ密接し、嵌入溝にシールガスケットがバラツクことなく適切に嵌め入れられる。

また、本発明によれば、嵌入溝にシールガスケットを押圧治具により嵌め入れる場合には、先ず、容器本体と蓋体のいずれかに形成された嵌入溝に弾性のシールガスケットの枠体を挿入し、シール形成部に接触しないよう枠体の平坦面に押圧治具の圧接平坦面を接触させ、押圧治具を強く押して嵌入溝にシールガスケットの枠体を嵌め入れれば、嵌入溝と嵌合突起部の第一、第二の嵌合突起部とがそれぞれ密接し、嵌入溝にシールガスケットがバラツクことなく適切に嵌め入れられる。

本発明によれば、シールガスケットの保持力低下を抑制してシールガスケットの一部が蓋体と共に外れてしまうおそれを排除することができる。すなわち、シールガスケットに、圧接用の複数の嵌合突起部を新たに形成するので、シールガスケットの保持力低下や位置ずれを招くことがない。したがって、容器本体から蓋体を取り外す場合に、シールガスケットの一部が蓋体と共に外れてしまうことが少ない。また、シールガスケットの嵌入具合にバラツキが発生するのを有効に防ぐことができるという効果がある。
また、枠体の嵌合部外周に、嵌合部の傾きを規制する細長いリブを形成してその長手方向を蓋体の嵌め合わせ方向に向ければ、所定の方向へのシールガスケットの倒れ込みを防ぐことが可能になる。また、このリブにより、嵌入溝とシールガスケットとの接触面積を減少させ、一定の力を維持しながらシールガスケットを円滑に取り付けることが可能になる。

さらに、押圧治具に、本体枠の外周に凹み形成される把持部を含めば、この把持部に指等をひっかけることにより、押圧治具の本体枠を脱落させることなく、安全かつ容易に取り扱うことができるという効果がある。

以下、図面を参照して本発明の好ましい実施の形態を説明すると、本実施形態における基板収納容器は、図１ないし図８に示すように、基板を収納する容器本体１と、この容器本体１の開口上部に嵌合される蓋体１０と、容器本体１の開口上部に凹み形成される嵌入溝２０と、この嵌入溝２０に専用の押圧治具５０により嵌入されて容器本体１の開口上部と蓋体１０との間をシールする弾性のシールガスケット３０とを備え、このシールガスケット３０に、容器本体１の開口上部に対する蓋体１０の嵌合方向と平行に位置する嵌合突起部４０を形成するようにしている。

基板は、図示しないが、例えば薄くスライスされた口径２００ｍｍの丸い半導体ウェーハからなり、表裏面がそれぞれ鏡面処理されており、周縁部には、位置決め用のノッチが略半円形に切り欠かれる。

容器本体１や蓋体１０は、所定の樹脂、例えばポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリエーテルイミド、ポリエーテルスルフォン、ポリエーテルエーテルケトン、ポリプロピレン、ポリブチレンテレフタレート等からなる熱可塑性樹脂を含む成形材料を使用して成形される。この成形材料には、導電性カーボン、導電性繊維、金属繊維、導電性高分子等からなる導電材、帯電防止剤、紫外線吸収剤等が選択的に添加される。

容器本体１は、図１、図３、図７、図８に示すように、例えば成形材料を使用して上部が開口した不透明あるいは半透明のトップオープンボックスタイプに成形され、複数枚の基板を別体のカセット３を介して整列収納するよう機能する。この容器本体１は、着脱自在のカセット３を収納可能な大きさ・形に形成され、開口した上部の周縁が外側に折り返されており、相対向する両側壁の外周面上部には、蓋体１０用の係止機構２が一体的に配設される。

カセット３は、図１に示すように、例えば容器本体１や蓋体１０と同様の成形材料を使用して上下部の開口した略角筒形に成形され、両側壁の内面には、上下方向に伸びる断面略へ字形の整列支持溝４がそれぞれ前後方向に複数配列されており、この複数の整列支持溝４に複数枚の基板が上方から挿入されて一列に整列し、かつ脱落しないよう支持される。

蓋体１０は、図１や図２に示すように、例えば成形材料を使用して不透明あるいは半透明の断面略皿形に成形され、容器本体１やカセット３の開口上部に着脱自在に嵌合されており、収納された基板の上部周縁を抑え体１３を介し弾発的に保持するよう機能する。この蓋体１０は、平面略矩形に成形され、周壁が段差付きに屈曲形成されており、この周壁の段差部の内面がシールガスケット３０用のシール面１１を形成する（図３参照）。蓋体１０の両側壁には、容器本体１の係止機構２に着脱自在に嵌合係止する可撓性の係止片１２が一体的に配設される。

抑え体１３は、図１に示すように、蓋体１０の内部天井に着脱自在に装着される抑え枠１４を備え、この抑え枠１４の相対向する両側部には、抑え枠１４の中央方向に伸びる複数の弾性片１５がそれぞれ前後方向に並べて突出形成されており、各弾性片１５の先端部には、基板の上部周縁を個別に保持する保持ブロックが一体形成される。

嵌入溝２０は、図３に示すように、容器本体１の開口上部に断面略Ｕ字形に区画形成され、平面枠形を呈しており、上方から嵌入されるエンドレスのシールガスケット３０を嵌合保持する。

シールガスケット３０は、図１ないし図６に示すように、容器本体１の嵌入溝２０に嵌入される中空の枠体３１と、この枠体３１の外周部から伸長して蓋体１０の周壁の対向するシール面１１に接触する平面枠形のシール形成部３２とを備え、所定の成形材料を使用して不透明に成形される。このシールガスケット３０の成形材料は、例えばポリエステル系、ポリオレフィン系、フッ素系、ウレタン系のエラストマー、フッ素ゴム、ＥＰＤＭ、シリコーンゴムがあげられる。

成形材料には、シールガスケット３０に導電性や帯電防止性を付与する場合には、炭素繊維、金属繊維、金属酸化物、各種の帯電防止剤が選択的に添加される。また、シールガスケット３０に表面の固着性を付与する場合には、カーボン、ガラス繊維、マイカ、タルク、シリカ、炭酸カルシウム等の充填剤やポリエチレン、ポリアミド、ポリアセタール、フッ素系樹脂、シリコーン樹脂等が選択的に添加される。

枠体３１は、図３に示すように、嵌入溝２０の内側から一部露出して区画壁２１に係止する断面略平板形で中空の枠体部３３と、この枠体部３３の裏面に突出形成されて嵌入溝２０に上方から嵌入される断面略Ｕ字形の嵌合部３４とを備え、枠体部３３の平坦な表面外周部から先細りのシール形成部３２が垂直上方向に伸長される。この枠体３１には、枠体３１の一部から水平方向に突出する張り出し部が全周に亘って形成される。

嵌合部３４の外周面には、嵌合部３４の傾きを規制する複数のリブ３５が容器本体１の開口上部に対する蓋体１０の嵌合方向と平行となるよう形成される。複数のリブ３５は、図２に示すように、間隔をおいて配列され、各リブ３５が縦方向に細長い棒形に形成される。

嵌合突起部４０は、図２、図４ないし図６に示すように、シールガスケット３０の枠体３１における嵌合部３４の内周面の直線部に間隔をおいて複数形成される第一の嵌合突起部４１と、枠体３１の嵌合部３４のコーナ部である四隅部の内周面にそれぞれ形成される複数の第二の嵌合突起部４２とを備え、シールガスケット３０の嵌入方向と平行な関係を形成する。

複数の第一、第二の嵌合突起部４１・４２は、嵌合突起部４０の第一の嵌合突起部４１の高さと第一の嵌合突起部４１が嵌合する嵌入溝２０の幅との差Δ１が、第二の嵌合突起部４２の高さと第二の嵌合突起部４２が嵌合する嵌入溝２０の幅との差Δ２以上となるよう（例えば、約０．０５ｍｍ大きい）に形成され、第一の嵌合突起部４１が直線部の中心線上から隅部方向に偏位しており、この第一の嵌合突起部４１が第二の嵌合突起部４２を挟むよう配設される。

Δ１がΔ２以上とされるのは、嵌入溝２０の幅が全周に亘って等しく形成される場合において、第一の嵌合突起部４１よりも第二の嵌合突起部４２が高く形成され、その結果、Δ２が大きくなり、変形し易い直線部の嵌入溝２０に第一の嵌合突起部４１が強く圧接せず、四隅部だけでは嵌合部３４の保持に支障を来たすおそれがあるからである。各第一の嵌合突起部４１は、周方向に横長の平板に膨出形成され、嵌入溝２０の区画壁２１に密接し、高さに応じてシールガスケット３０の保持力を調整する。また、各第二の嵌合突起部４２は、周方向に連続した山形や階段形等に形成され、嵌入溝２０の区画壁２１に密接する。

シールガスケット３０の枠体３１と嵌合突起部４０との関係は、図４に示すように、枠体３１のＡ〜Ｈの位置に第一の嵌合突起部４１が５．５５〜５．６５ｍｍの厚さにそれぞれ形成され、枠体３１のＩ〜Ｌの位置に第二の嵌合突起部４２が５．５０〜５．６０ｍｍの厚さにそれぞれ形成される。嵌入溝２０の幅は全周に亘って５．２ｍｍと均一に形成されるので、第一の嵌合突起部４１の突起高さと嵌入溝２０の幅は０．３５〜０．４５ｍｍとなり、第二の嵌合突起部４２の突起高さと嵌入溝２０の幅は０．３〜０．４ｍｍとなる。

嵌合突起部４０を含むシールガスケット３０の枠体３１における厚さ方向の最大寸法と嵌入溝２０の開口部の最大寸法との差は、０．２〜１．０ｍｍ程度が好ましい。これは、０．２〜１．０ｍｍの範囲内であれば、嵌入溝２０からシールガスケット３０を引き抜く引き抜き力を１．０〜３．９Ｎ、好ましくは１．５〜３．４Ｎの範囲内に設定することができるからである。また、０．２ｍｍ未満の場合には、嵌合部３４の保持力が十分ではなく、シールガスケット３０がずれ易くなるからである。逆に、１．０ｍｍを超える場合には、シールガスケット３０の取付作業が困難になるからである。

押圧治具５０は、図３、図７、図８に示すように、容器本体１の嵌入溝２０にシールガスケット３０を圧力を作用させて嵌入する本体枠５１と、この本体枠５１のシールガスケット３０に対向する下面に形成され、枠体３１に圧接する圧接平坦面５２と、本体枠５１の相対向する一対の対向部の外周面周方向にそれぞれ凹み形成される握持操作用の把持部５３とを備えて構成される。

本体枠５１は、容器本体１の開口上部の外寸法よりも小さく、内寸法よりも小さく形成さる。また、圧接平坦面５２は、シール形成部３２を除く枠体部３３の平坦な表面に圧接する。また、把持部５３は、指を挿入して押圧治具５０を確実に掴むことができるよう、断面略半円形の所定の幅・深さに形成される。

上記構成において、嵌入溝２０にシールガスケット３０を押圧治具５０により嵌入する場合には、先ず、容器本体１の嵌入溝２０にシールガスケット３０の嵌合部３４を挿入（図７参照）し、枠体部３３の平坦な全表面に押圧治具５０の圧接平坦面５２の周縁部を接触させ、押圧治具５０を強く圧下して容器本体１の嵌入溝２０にシールガスケット３０の嵌合部３４を平行に圧入する（図８参照）。

すると、嵌入溝２０の区画壁２１に第一、第二の嵌合突起部４１・４２がそれぞれ密接し、嵌入溝２０にシールガスケット３０がバラツクことなく高精度、かつ適切に嵌入され（図３参照）、このシールガスケット３０のシール形成部３２が蓋体１０の周壁のシール面１１に均一に接触することとなる。

上記構成によれば、シールガスケット３０に、嵌入溝２０内に圧接する複数の嵌合突起部４０を新たに形成するので、シールガスケット３０の保持力低下や位置ずれを招くことがない。したがって、容器本体１から蓋体１０を取り外す場合に、シールガスケット３０の一部が蓋体１０と共に外れてしまうことがない。

また、シールガスケット３０全体に接触させた押圧治具５０を一度に強く圧下して容器本体１の嵌入溝２０にシールガスケット３０の嵌合部３４を平行に圧入するので、嵌合突起部４０の有無や作業員の技能により、シールガスケット３０の嵌入具合にバラツキが発生することが全くなく、シールガスケット３０の適切な取り付け状態を容易に得ることができる。

また、嵌合部３４の外周面に、嵌合部３４の垂直性に資する複数のリブ３５を容器本体１の開口上部に対する蓋体１０の嵌合方向と平行となるよう形成するので、所定の方向へのシールガスケット３０の倒れ込みを防止することが可能になる。さらに、複数のリブ３５により、嵌入溝２０とシールガスケット３０との接触面積を減少させ、一定の嵌合力を維持しながらシールガスケット３０を円滑に取り付けることが可能になる。

次に、図９、図１０は本発明の第２の実施形態を示すもので、この場合には、基板収納容器を正面の開口したフロントオープンボックス構造に構成し、容器本体１Ａではなく、蓋体１０Ａの周面にエンドレスの嵌入溝２０Ａを凹み形成し、この嵌入溝２０Ａに専用の押圧治具５０により弾性のシールガスケット３０を嵌入するようにしている。

容器本体１Ａは、口径３００ｍｍの丸い半導体ウェーハからなる基板を複数枚整列収納できるよう、正面の開口したフロントオープンボックス構造に成形され、開口正面部が外方向に膨出形成されており、両側壁の内面には、基板を水平に支持する複数のティース５がそれぞれ間隔をおいて配列形成される。

蓋体１０Ａは、容器本体１Ａの開口正面部に嵌合する断面略皿形の筐体１６と、この筐体１６の開口正面部を覆う表面プレート１７とを備え、筐体１６の周壁外面には、枠形の嵌入溝２０Ａが凹み形成される。この蓋体１０Ａの筐体１６と表面プレート１７との間には、容器本体１Ａに嵌合された蓋体１０Ａを施錠する施錠機構が内蔵される。筐体１６の裏面中央部には、整列収納された基板の前部周縁を弾発的に保持するリテーナ１８が着脱自在に装着される。

シールガスケット３０は、枠体３１の外周部から容器本体１Ａの開口正面部の内周、すなわちシール面１１に弾接するシール形成部３２Ａが断面略半円弧形に湾曲して伸長される。このシールガスケット３０の枠体３１は、嵌入溝２０Ａから露出する中空の枠体部３３に、嵌入溝２０Ａに嵌入される断面略矩形の嵌合部３４Ａが一体形成される。

嵌合突起部４０は、シールガスケット３０の枠体３１における嵌合部３４の内周面の直線部に間隔をおいて複数形成される第一の嵌合突起部４１と、枠体３１の嵌合部３４のコーナ部である四隅部の内周面にそれぞれ形成される第二の嵌合突起部４２とを備えて形成される。

押圧治具５０は、蓋体１０Ａの嵌入溝２０Ａにシールガスケット３０を圧力を作用させて嵌入する本体枠５１と、この本体枠５１のシールガスケット３０に対向する内周面に形成され、枠体３１に圧接する圧接平坦面５２と、本体枠５１の相対向する一対の対向部の外周面にそれぞれ凹み形成される握持操作用の把持部５３とを備えて構成される。

上記構成において、嵌入溝２０Ａにシールガスケット３０を押圧治具５０により嵌入する場合には、先ず、蓋体１０Ａの嵌入溝２０Ａにシールガスケット３０の嵌合部３４Ａを挿入し、蓋体１０Ａに押圧治具５０を隙間を介し嵌合して枠体部３３の一部から水平方向に張り出す略平坦な全表面に押圧治具５０の圧接平坦面５２を接触させ、押圧治具５０を強く圧下して嵌入溝２０Ａにシールガスケット３０の嵌合部３４Ａを圧入する。

すると、嵌入溝２０Ａにシールガスケット３０がバラツクことなく高精度、かつ適切に嵌入され、このシールガスケット３０のシール形成部３２Ａが容器本体１Ａのシール面１１に均一に接触することとなる。その他の部分については、上記実施形態と略同様であるので説明を省略する。

本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、トップオープンボックス構造の基板収納容器だけではなく、フロントオープンボックス構造の基板収納容器に関するシールガスケット３０の保持力低下や位置ずれをも抑制防止することができるのは明らかである。

なお、上記実施形態の第一、第二の嵌合突起部４１・４２と嵌入溝２０との差は、枠体部材への剛性材料のインサートやリブ構造により直線部の剛性が確保できる場合には、第二の嵌合突起部４２側を大きくし、コーナ部で強く嵌合させても良い。また、押圧治具５０の外周に設けられる把持部５３は、把持することが可能な単数複数の突起、架設されるハンドル等でも良い。これらの設置位置は、押圧治具５０の側壁や上面等とすることができる。

本発明に係る基板収納容器の実施形態を模式的に示す分解斜視説明図である。 本発明に係る基板収納容器の実施形態におけるシールガスケットを模式的に示す斜視説明図である。 本発明に係る基板収納容器の実施形態を模式的に示す要部断面説明図である。 本発明に係る基板収納容器の実施形態におけるシールガスケットを模式的に示す平面説明図である。 本発明に係る基板収納容器の実施形態におけるシールガスケットの直線部を模式的に示す部分斜視説明図である。 本発明に係る基板収納容器の実施形態におけるシールガスケットの隅部を模式的に示す部分斜視説明図である。 本発明に係る基板収納容器及びそのシールガスケットの取り付け方法の実施形態を模式的に示す斜視説明図である。 図７のシールガスケットを容器本体の嵌入溝に嵌入した状態を模式的に示す斜視説明図である。 本発明に係る基板収納容器の第２の実施形態を模式的に示す分解斜視説明図である。 本発明に係る基板収納容器及びそのシールガスケットの取り付け方法の第２の実施形態を模式的に示す要部断面説明図である。

符号の説明

１ 容器本体
１Ａ 容器本体
３ カセット
１０ 蓋体
１０Ａ 蓋体
１１ シール形成面
２０ 嵌入溝
２０Ａ 嵌入溝
２１ 区画壁
３０ シールガスケット
３１ 枠体
３２ シール形成部
３２Ａ シール形成部
３３ 枠体部
３４ 嵌合部
３４Ａ 嵌合部
３５ リブ
４０ 嵌合突起部
４１ 第一の嵌合突起部
４２ 第二の嵌合突起部
５０ 押圧治具
５１ 本体枠
５２ 圧接平坦面
５３ 把持部

Claims (5)

1. 基板を収納する容器本体と、この容器本体の開口部に嵌め合わされる蓋体と、容器本体の開口部と蓋体のいずれかに形成される平面枠形の嵌入溝と、この嵌入溝に嵌め入れられて容器本体の開口部と蓋体との間をシールする弾性のシールガスケットとを備え、このシールガスケットに嵌合突起部を形成した基板収納容器であって、
   シールガスケットは、嵌入溝に嵌め入れられる枠体と、この枠体から伸びて容器本体と蓋体のいずれかに接触するシール形成部とを含み、枠体を、嵌入溝から露出する枠体部に、嵌入溝に嵌め入れられる嵌合部を設けることで形成し、
   嵌合突起部は、シールガスケットの嵌合部内周における全ての直線部に間隔をおいて複数形成される第一の嵌合突起部と、シールガスケットの嵌合部内周における四隅のコーナ部にそれぞれ形成される第二の嵌合突起部とを含み、複数の第一の嵌合突起部を、シールガスケットの嵌合部内周における直線部の中心線上からコーナ部方向に偏位させ、この複数の第一の嵌合突起部を、第二の嵌合突起部を挟むよう配列し、第一、第二の嵌合突起部をそれぞれ嵌入溝の周方向に伸ばしてその長辺を嵌入溝の周方向に向けるとともに、第一、第二の嵌合突起部の短辺を容器本体の開口部に対する蓋体の嵌め合わせ方向に向けたことを特徴とする基板収納容器。
2. 枠体の嵌合部外周に、嵌合部の傾きを規制する細長いリブを形成し、このリブの長手方向を容器本体の開口部に対する蓋体の嵌め合わせ方向に向けた請求項１記載の基板収納容器。
3. 嵌合突起部の第一の嵌合突起部の高さと第一の嵌合突起部が嵌まる嵌入溝の幅との差Δ１を、第二の嵌合突起部の高さと第二の嵌合突起部が嵌まる嵌入溝の幅との差Δ２以上とした請求項１又は２記載の基板収納容器。
4. 請求項１、２、又は３記載の基板収納容器の嵌入溝にシールガスケットを押圧治具により嵌め入れる基板収納容器のシールガスケットの取り付け方法であって、
   押圧治具は、嵌入溝にシールガスケットを圧力を加えて嵌め入れる本体枠と、この本体枠のシールガスケットに対向する対向面に形成され、シールガスケットの枠体に圧接する圧接平坦面とを含んでなることを特徴とする基板収納容器のシールガスケットの取り付け方法。
5. 押圧治具は、本体枠の外周に形成される把持部を含んでなる請求項４記載の基板収納容器のシールガスケットの取り付け方法。

Images