KR20160021136A - 기판수납용기 - Google Patents

Abstract

기판수납용기는 용기본체, 덮개체, 및 측방 기판 지지부를 구비한다. 측방 기판 지지부는, 평행한 위치관계를 가지고 복수의 기판의 연부를 지지하는 복수의 판부, 및 판부를 지지하며 측벽에 고정되는 판부 지지부(52)를 가지며, 판부 지지부(52)는, 복수의 판부와 교차하는 방향으로 복수의 판부 전체에 걸쳐 직선 형상으로 연장되는 홈(521A)이 형성된 홈 형성부(521), 홈(521A) 내에 형성되며 홈(521A)의 연장방향과 직교하는 방향에서의 홈(521A)의 폭을 좁히도록 돌출되는 돌기(522), 및 홈(521A)의 연장방향에서의 홈(521A)의 중앙부에 형성된 피위치결정부(523)를 갖는다. 또한, 측벽의 내면에는 홈(521A)에 감합 가능한 직선 형상으로 연출되는 홈 감합 리브부가 존재하며, 홈 감합 리브부의 연출방향에서의 홈 감합 리브부의 중앙부에는 피위치결정부를 계지 가능한 위치결정부가 존재한다.

Description

기판수납용기{SUBSTRATE STORING CONTAINER}

본 발명은, 반도체 웨이퍼 등의 기판을 수납하는 기판수납용기에 관한 것이다.

반도체 웨이퍼 등의 기판을 수납하는 용기로서는, 용기본체, 덮개체(蓋體) 및 기판 지지 판형부를 구비한 구성의 것이 종래에 알려져 있다.

용기본체는 일단부에 용기본체 개구부가 형성되고 타단부가 폐색(閉塞)된 통(筒) 형상의 벽부(壁部)를 갖는다. 용기본체 내에는 기판수납공간이 형성되어 있다. 기판수납공간은 벽부에 의해 둘러싸여 형성되어 있으며, 복수의 기판을 수납할 수 있다. 덮개체는 용기본체 개구부에 대해 착탈 가능하며, 용기본체 개구부를 폐색할 수 있다. 기판 지지 판형부는 기판수납공간 내에서 쌍을 이루도록 벽부에 설치되어 있다. 기판 지지 판형부는 덮개체에 의해 용기본체 개구부가 폐색되어 있지 않을 때, 인접하는 기판들을 소정의 간격으로 이간(離間)시켜 병렬시킨 상태에서, 복수의 기판의 연부(緣部)를 지지할 수 있다.

덮개체의 부분이자 용기본체 개구부를 폐색하고 있을 때 기판수납공간에 대향하는 부분에는 프론트 리테이너가 설치되어 있다. 프론트 리테이너는 덮개체에 의해 용기본체 개구부가 폐색되어 있을 때 복수의 기판의 연부를 지지할 수 있다. 또한, 프론트 리테이너와 쌍을 이루도록 안측(奧側) 기판 지지부가 벽부에 설치되어 있다. 안측 기판 지지부는 복수의 기판의 연부를 지지할 수 있다. 안측 기판 지지부는 덮개체에 의해 용기본체 개구부가 폐색되어 있을 때 프론트 리테이너와 협동하여 복수의 기판을 지지함으로써, 인접하는 기판들을 소정 간격으로 이간시켜 병렬시킨 상태에서 복수의 기판을 보존유지(保持)한다.

용기본체의 벽부는 안벽(奧壁), 상벽, 하벽, 제1 측벽 및 제2 측벽을 가지고 있다. 기판 지지 판형부는 한 쌍이 설치되어 있으며, 기판수납공간 내에서 쌍을 이루도록 제1 측벽 및 제2 측벽에 각각 고정되어 있다. 보다 구체적으로, 기판 지지 판형부에는 구멍부(孔部)가 형성되어 있다. 제1 측벽 및 제2 측벽에 형성된 철부(凸部)가 기판 지지 판형부의 구멍부에 결합(係合)됨으로써, 기판 지지 판형부가 제1 측벽 및 제2 측벽에 각각 고정된다.

국제공개 제99/39994호 팸플릿 국제공개 제2013/025629호 팸플릿

상술한 바와 같이, 제1 측벽 및 제2 측벽에 형성된 철부가 기판 지지 판형부의 구멍부에 결합됨으로써, 기판 지지 판형부는 제1 측벽 및 제2 측벽에 각각 고정되어 있기 때문에, 기판 지지 판형부에 변형이 발생하는 경우에, 기판 지지 판형부의 변형을 충분히 교정하는 것이 곤란했다.

또한, 제1 측벽 및 제2 측벽에 형성된 철부가 기판 지지 판형부의 구멍부에 결합되는 구성을 가지기 때문에, 서로 결합되는 구멍부와 철부에 있어서 서로 치수를 조정할 필요가 있었다. 또한, 철부를 구멍부가 아닌 홈에 결합시키고자 하는 경우에는, 기판 지지 판형부를 높은 정밀도로 제1 측벽 및 제2 측벽에 고정시키는 것이 곤란했다.

본 발명은 기판 지지 판형부에 변형이 발생하는 경우에, 기판 지지 판형부의 변형을 충분히 교정할 수 있을 뿐 아니라, 높은 치수 정밀도로 기판 지지 판형부를 제1 측벽 및 제2 측벽에 고정시킬 수 있는 기판수납용기를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명은, 일단부에 용기본체 개구부가 형성되고 타단부가 폐색된 통 형상의 벽부이자, 안벽, 상벽, 하벽 및 한 쌍의 측벽을 가지며, 상기 상벽의 일단부, 상기 하벽의 일단부 및 상기 측벽의 일단부에 의해 상기 용기본체 개구부가 형성된 벽부를 구비하고, 상기 상벽의 내면, 상기 하벽의 내면, 상기 측벽의 내면 및 상기 안벽의 내면에 의해, 복수의 기판을 수납 가능하며 상기 용기본체 개구부에 연통하는 기판수납공간이 형성된 용기본체; 상기 용기본체 개구부에 대해 착탈 가능하며, 상기 용기본체 개구부를 폐색할 수 있는 덮개체; 및 상기 기판수납공간 내에서 쌍을 이루도록 상기 한 쌍의 측벽에 각각 고정되어 배치되며, 상기 덮개체에 의해 상기 용기본체 개구부가 폐색되어 있지 않을 때, 상기 복수의 기판 중 인접하는 기판들을 소정 간격으로 이간시켜 병렬시킨 상태에서 상기 복수의 기판의 연부를 지지할 수 있는 측방 기판 지지부;를 구비하며, 상기 측방 기판 지지부는, 평행한 위치관계를 가지고 상기 복수의 기판의 연부를 지지하는 복수의 판부, 및 상기 판부를 지지하며 상기 측벽에 고정되는 판부 지지부를 가지며, 상기 판부 지지부는, 상기 복수의 판부와 교차하는 방향으로 상기 복수의 판부 전체에 걸쳐 직선 형상으로 연장되는 홈이 형성된 홈 형성부, 상기 홈 내에 형성되며 상기 홈의 연장방향과 직교하는 방향에서의 상기 홈의 폭을 좁히도록 돌출되는 돌기, 및 상기 홈의 연장방향에서의 상기 홈의 중앙부에 형성된 피위치결정부를 가지며, 상기 측벽의 내면에는 상기 홈에 감합(嵌合) 가능한 직선 형상으로 연출(延出)되는 홈 감합 리브부가 존재하며, 상기 홈 감합 리브부의 연출방향에서의 상기 홈 감합 리브부의 중앙부에는 상기 피위치결정부를 계지(係止) 가능한 위치결정부가 존재하는 기판수납용기에 관한 것이다.

또한, 상기 측벽의 안벽측(奧壁側)의 부분은 안측 계지부를 가지며, 상기 판부 지지부는 상기 판부의 길이방향(長手方向)에서의 일단부로부터 타단부에 걸쳐 상기 판부의 측단 가장자리에 접속된 판 형상의 지지벽으로 구성되며, 상기 홈 형성부는 상기 용기본체 개구부측의 상기 지지벽 부분인 개구측부에 존재하며, 상기 안벽측의 상기 지지벽 부분인 안측부는 상기 안측 계지부에 계지 가능한 안측 피계지부를 갖는 것이 바람직하다.

또한, 상기 판부 지지부의 상기 안측 피계지부는, 탄성 변형 가능하며 상기 홈의 개구방향으로 연장되는 피계지부 연출부, 및 상기 피계지부 연출부의 연출 단부에 형성되며 상기 홈의 연장방향으로 상기 피계지부 연출부보다 큰 폭으로 형성된 피계지판부를 가지며, 상기 측벽의 안측 계지부는 상기 피계지부 연출부는 삽입 가능하고 상기 피계지판부는 삽입 불가능하게 하는 좁은 통로를 형성하는 좁은 통로 형성벽을 가지며, 상기 피계지부 연출부가 상기 좁은 통로에 삽입되어 있을 때 상기 피계지판부가 상기 좁은 통로 형성벽에 계지되는 것이 바람직하다.

또한, 상기 판부 지지부의 안측부의 단부는, 상기 안벽과 상기 용기본체 개구부를 잇는 방향 및 상기 상벽과 상기 하벽을 잇는 방향과 평행한 평탄한 단부면을 가지며, 상기 피계지부 연출부는, 상기 단부면보다 상기 기판수납공간의 안쪽(內方)으로 돌출되지 않고 상기 단부면과 일치하는 위치관계를 갖거나, 또는 상기 단부면보다 상기 기판수납공간의 바깥쪽으로 위치하는 것이 바람직하다.

또한, 상기 피계지판부는, 상기 좁은 통로 형성벽에 계지되어 있을 때 상기 좁은 통로 형성벽에 당접(當接) 가능한 결합 당접면을 갖는 것이 바람직하다.

또한, 상기 판부 지지부의 안측부의 단부는, 상기 안벽과 상기 용기본체 개구부를 잇는 방향 및 상기 상벽과 상기 하벽을 잇는 방향과 평행한 평탄한 단부면을 가지며, 상기 결합 당접면은, 상기 단부면보다 상기 기판수납공간의 안쪽으로 돌출되지 않고 상기 단부면과 일치하는 위치관계를 갖거나, 또는 상기 단부면보다 상기 기판수납공간의 바깥쪽으로 위치하는 것이 바람직하다.

또한, 상기 결합 당접면은 상기 기판수납공간의 안쪽을 향해 갈수록 상기 용기본체 개구부를 향하는 경사면으로 구성되는 것이 바람직하다.

또한, 상기 지지벽에는 상기 홈과 평행한 위치관계를 갖는 직선 형상의 리브가 상기 홈의 거의 전체에 걸쳐 대향하여 존재하는 것이 바람직하다.

본 발명에 따르면, 기판 지지 판형부에 변형이 발생하는 경우에, 기판 지지 판형부의 변형을 충분히 교정할 수 있을 뿐만 아니라, 높은 치수 정밀도로 기판 지지 판형부를 제1 측벽 및 제2 측벽에 고정시킬 수 있는 기판수납용기를 제공할 수 있다.

도 1은 본 발명의 제1 실시형태에 따른 기판수납용기(1)를 나타내는 분해 사시도이다.
도 2는 본 실시형태에 따른 기판수납용기(1)의 용기본체(2)의 기판수납공간(27)에 기판(W)을 수납한 상태를 나타내는 분해 사시도이다.
도 3은 본 발명의 제1 실시형태에 따른 기판수납용기(1)의 용기본체(2)를 나타내는 측방 사시도이다.
도 4a는 본 발명의 제1 실시형태에 따른 기판수납용기(1)의 용기본체(2)를 나타내는 측방 단면도이다.
도 4b는 본 발명의 제1 실시형태에 따른 기판수납용기(1)의 용기본체(2)를 나타내는 측방 확대 단면도이다.
도 5a는 본 발명의 제1 실시형태에 따른 기판수납용기(1)의 기판 지지 판형부(5)를 나타내는 전방 사시도이다.
도 5b는 본 발명의 제1 실시형태에 따른 기판수납용기(1)의 기판 지지 판형부(5)를 나타내는 확대 전방 사시도이다.
도 6a는 본 발명의 제1 실시형태에 따른 기판수납용기(1)의 기판 지지 판형부(5)를 나타내는 후방 사시도이다.
도 6b는 본 발명의 제1 실시형태에 따른 기판수납용기(1)의 기판 지지 판형부(5)를 나타내는 확대 후방 사시도이다.
도 6c는 본 발명의 제1 실시형태에 따른 기판수납용기(1)의 기판 지지 판형부(5)를 나타내는 평면도이다.
도 6d는 본 발명의 제1 실시형태에 따른 기판수납용기(1)의 기판 지지 판형부(5)를 나타내는 확대 평면도이다.
도 7은 본 발명의 제1 실시형태에 따른 기판수납용기(1)의 용기본체(2)의 제1 측벽(25)에 기판 지지 판형부(5)가 고정된 모습을 나타내는 측방 사시도이다.
도 8a는 본 발명의 제1 실시형태에 따른 기판수납용기(1)의 용기본체(2)에 기판 지지 판형부(5)가 고정된 모습을 나타내는 요부 평면 단면도이다.
도 8b는 본 발명의 제1 실시형태에 따른 기판수납용기(1)의 용기본체(2)에 기판 지지 판형부(5)가 고정된 모습을 나타내는 평면 확대 단면도이다.
도 9a는 본 발명의 제2 실시형태에 따른 기판수납용기의 기판 지지 판형부(5B)를 나타내는 전방 사시도이다.
도 9b는 본 발명의 제2 실시형태에 따른 기판수납용기의 기판 지지 판형부(5B)를 나타내는 확대 전방 사시도이다.
도 9c는 본 발명의 제2 실시형태에 따른 기판수납용기의 기판 지지 판형부(5B)를 나타내는 평면 단면도이다.
도 9d는 본 발명의 제2 실시형태에 따른 기판수납용기의 기판 지지 판형부(5B)의 피계지부 연출부(526) 및 피계지판부(527)를 나타내는 확대 평면 단면도이다.
도 10a는 본 발명의 제2 실시형태에 따른 기판수납용기의 용기본체(2)에 기판 지지 판형부(5B)가 고정된 모습을 나타내는 요부 평면 단면도이다.
도 10b는 본 발명의 제2 실시형태에 따른 기판수납용기의 용기본체(2)에 기판 지지 판형부(5B)가 고정된 모습을 나타내는 평면 확대 단면도이다.
도 11a는 본 발명의 제3 실시형태에 따른 기판수납용기의 기판 지지 판형부(5C)를 나타내는 전방 사시도이다.
도 11b는 본 발명의 제3 실시형태에 따른 기판수납용기의 기판 지지 판형부(5C)를 나타내는 확대 전방 사시도이다.
도 11c는 본 발명의 제3 실시형태에 따른 기판수납용기의 기판 지지 판형부(5C)를 나타내는 평면 단면도이다.
도 11d는 본 발명의 제3 실시형태에 따른 기판수납용기의 기판 지지 판형부(5C)의 피계지부 연출부(526C) 및 피계지판부(527)를 나타내는 확대 평면 단면도이다.

이하, 본 발명의 제1 실시형태에 따른 기판수납용기(1)에 대해 도면을 참조하면서 설명한다. 도 1은 본 발명의 제1 실시형태에 따른 기판수납용기(1)를 나타내는 분해 사시도이다. 도 2는 본 실시형태에 따른 기판수납용기(1)의 용기본체(2)의 기판수납공간(27)에 기판(W)을 수납한 상태를 나타내는 분해 사시도이다. 도 3은 본 발명의 제1 실시형태에 따른 기판수납용기(1)의 용기본체(2)를 나타내는 측방 사시도이다. 도 4a는 본 발명의 제1 실시형태에 따른 기판수납용기(1)의 용기본체(2)를 나타내는 측방 단면도이다. 도 4b는 본 발명의 제1 실시형태에 따른 기판수납용기(1)의 용기본체(2)를 나타내는 측방 확대 단면도이다.

도 5a는 본 발명의 제1 실시형태에 따른 기판수납용기(1)의 기판 지지 판형부(5)를 나타내는 전방 사시도이다. 도 5b는 본 발명의 제1 실시형태에 따른 기판수납용기(1)의 기판 지지 판형부(5)를 나타내는 확대 전방 사시도이다. 도 6a는 본 발명의 제1 실시형태에 따른 기판수납용기(1)의 기판 지지 판형부(5)를 나타내는 후방 사시도이다. 도 6b는 본 발명의 제1 실시형태에 따른 기판수납용기(1)의 기판 지지 판형부(5)를 나타내는 확대 후방 사시도이다. 도 6c는 본 발명의 제1 실시형태에 따른 기판수납용기(1)의 기판 지지 판형부(5)를 나타내는 평면도이다. 도 6d는 본 발명의 제1 실시형태에 따른 기판수납용기(1)의 기판 지지 판형부(5)를 나타내는 확대 평면도이다.

도 7은 본 발명의 제1 실시형태에 따른 기판수납용기(1)의 용기본체(2)의 제1 측벽(25)에 기판 지지 판형부(5)가 고정된 모습을 나타내는 측방 사시도이다. 도 8a는 본 발명의 제1 실시형태에 따른 기판수납용기(1)의 용기본체(2)에 기판 지지 판형부(5)가 고정된 모습을 나타내는 요부 평면 단면도이다. 도 8b는 본 발명의 제1 실시형태에 따른 기판수납용기(1)의 용기본체(2)에 기판 지지 판형부(5)가 고정된 모습을 나타내는 평면 확대 단면도이다.

여기서, 설명의 편의상, 후술하는 용기본체(2)로부터 덮개체(3)를 향하는 방향(도 1에서 왼쪽 아랫방향)을 전(前)방향(D11)으로 정의하고, 그 반대방향을 후(後)방향(D12)으로 정의하며, 이들을 전후방향(D1)으로 정의한다. 또한, 후술하는 하벽(24)으로부터 상벽(23)을 향하는 방향(도 1에서 윗방향)을 상(上)방향(D21)으로 정의하고, 그 반대방향을 하(下)방향(D22)으로 정의하며, 이들을 상하방향(D2)으로 정의한다. 또한, 후술하는 제2 측벽(26)으로부터 제1 측벽(25)을 향하는 방향(도 1에서 왼쪽 윗방향)을 좌(左)방향(D31)으로 정의하고, 그 반대방향을 우(右)방향(D32)으로 정의하며, 이들을 좌우방향(D3)으로 정의한다.

또한, 기판수납용기(1)에 수납되는 기판(W)(도 2 참조)은 원반 형상의 실리콘 웨이퍼, 글라스 웨이퍼, 사파이어 웨이퍼 등이며, 산업에 이용되는 얇은 것이다. 본 실시형태의 기판(W)은 직경 450mm의 실리콘 웨이퍼이다.

도 1에 나타내는 바와 같이, 기판수납용기(1)는 용기본체(2), 덮개체(3) 및 측방 기판 지지부인 기판 지지 판형부(5)를 갖는다.

용기본체(2)는 일단부에 용기본체 개구부(21)가 형성되고 타단부가 폐색된 통 형상의 벽부(20)를 갖는다. 용기본체(2) 내에는 기판수납공간(27)이 형성되어 있다. 기판수납공간(27)은 벽부(20)에 의해 둘러싸여 형성되어 있다. 벽부(20)의 부분이자 기판수납공간(27)을 형성하고 있는 부분에는 기판 지지 판형부(5)가 배치되어 있다. 도 2에 나타낸 바와 같이, 기판수납공간(27)에는 복수의 기판(W)을 수납할 수 있다.

기판 지지 판형부(5)는 기판수납공간(27) 내에서 좌우방향(D3)으로 쌍을 이루도록 벽부(20)에 설치되어 있다. 기판 지지 판형부(5)는 덮개체(3)에 의해 용기본체 개구부(21)가 폐색되어 있지 않을 때, 인접하는 기판(W)들을 소정 간격으로 이간시켜 병렬시킨 상태에서 복수의 기판(W)의 연부를 지지할 수 있다. 기판 지지 판형부(5)의 안측에는 안측 기판 지지부(6)(도 7 등 참조)가 설치되어 있다. 안측 기판 지지부(6)는 덮개체(3)에 의해 용기본체 개구부(21)가 폐색되어 있을 때 복수의 기판(W)의 연부의 후부(後部)를 지지할 수 있다.

덮개체(3)는 용기본체 개구부(21)에 대해 착탈 가능하며, 용기본체 개구부(21)를 폐색 가능하다. 덮개체(3)의 부분이자 덮개체(3)에 의해 용기본체 개구부(21)가 폐색되어 있을 때 기판수납공간(27)에 대향하는 부분(도 1에 나타내는 덮개체(3)의 이측(裏側) 면)에는, 프론트 리테이너(미도시)가 설치되어 있다. 프론트 리테이너(미도시)는 안측 기판 지지부(6)와 쌍을 이루도록 배치되어 있다.

프론트 리테이너(미도시)는 덮개체(3)에 의해 용기본체 개구부(21)가 폐색되어 있을 때, 복수의 기판(W)의 연부의 전부(前部)를 지지할 수 있다. 프론트 리테이너(미도시)는 덮개체(3)에 의해 용기본체 개구부(21)가 폐색되어 있을 때, 안측 기판 지지부(6)와 협동하여 복수의 기판(W)을 지지함으로써, 인접하는 기판(W)들을 소정의 간격으로 이간시켜 병렬시킨 상태에서 복수의 기판(W)을 보존유지한다.

도 1에 나타내는 바와 같이, 벽부(20)를 구성하는 후술하는 한 쌍의 측벽(25, 26)에는, 측벽(25, 26)의 외면을 따라 핸들링부재(8)가 각각 한 쌍의 측벽의 외면에 대향하여 배치되어 설치되어 있다. 핸들링부재(8)의 리브(82)의 하부가 포크리프트(미도시)의 포크에 의해 지지됨으로써, 기판수납용기(1)는 포크리프트에 의해 들어 올려질 수 있다. 이하, 각 부에 대해 상세히 설명한다.

도 1에 나타낸 바와 같이, 용기본체(2)의 벽부(20)는 안벽(22), 상벽(23), 하벽(24), 제1 측벽(25) 및 제2 측벽(26)을 갖는다. 안벽(22), 상벽(23), 하벽(24), 제1 측벽(25) 및 제2 측벽(26)은 플라스틱 재질 등으로 구성되며, 제1 실시형태에서는 폴리카보네이트로 일체 성형되어 구성되어 있다.

제1 측벽(25)과 제2 측벽(26)은 대향하고 있으며, 상벽(23)과 하벽(24)은 대향하고 있다. 상벽(23)의 후단(後端), 하벽(24)의 후단, 제1 측벽(25)의 후단 및 제2 측벽(26)의 후단은 모두 안벽(22)에 접속되어 있다. 상벽(23)의 전단(前端), 하벽(24)의 전단, 제1 측벽(25)의 전단 및 제2 측벽(26)의 전단은, 안벽(22)과 대향하는 위치관계를 가지며 대략 직사각형 형상을 한 용기본체 개구부(21)를 형성하는 개구 주연부(周緣部)(28)를 구성한다.

개구 주연부(28)는 용기본체(2)의 일단부에 설치되어 있으며, 안벽(22)은 용기본체(2)의 타단부에 위치하고 있다. 벽부(20)의 외면에 의해 형성되는 용기본체(2)의 외형은 상자형이다. 벽부(20)의 내면, 즉 안벽(22)의 내면, 상벽(23)의 내면, 하벽(24)의 내면, 제1 측벽(25)의 내면 및 제2 측벽(26)의 내면은, 이들에 의해 둘러싸인 기판수납공간(27)을 형성하고 있다. 개구 주연부(28)에 형성된 용기본체 개구부(21)는 벽부(20)에 의해 둘러싸여 용기본체(2)의 내부에 형성된 기판수납공간(27)과 연통되어 있다. 기판수납공간(27)에는 최대 25매의 기판(W)을 기판(W)의 상면 및 하면이 대략 수평이 되는 위치관계로 수납할 수 있다.

도 1에 나타낸 바와 같이, 상벽(23) 및 하벽(24)의 부분이자 개구 주연부(28) 근방 부분에는, 기판수납공간(27)의 바깥쪽을 향해 함몰된 래치 결합 요부(latch 係合 凹部)(231A, 231B, 241A, 241B)가 형성되어 있다. 래치 결합 요부(231A, 231B, 241A, 241B)는 상벽(23) 및 하벽(24)의 좌우 양단부 근방에 1개씩 총 4개 형성되어 있다.

도 1에 나타낸 바와 같이, 상벽(23)의 외면에는, 플랜지 고정부(미도시) 및 리브(235A, 235B)가 상벽(23)과 일체 성형되어 설치되어 있다. 플랜지 고정부(미도시)는 상벽(23)의 중앙부에 배치되어 있다. 플랜지 고정부(미도시)에는 도 1에 나타내는 바와 같이 톱 플랜지(236)가 고정된다. 톱 플랜지(236)는 상벽(23)의 중앙부에 배치되어 있다. 톱 플랜지(236)는 AMHS(자동 웨이퍼 반송 시스템), PGV(웨이퍼 기판 반송 대차) 등에서 기판수납용기(1)를 매달 때에 견인부재로서 이들 기계의 암(미도시)에 걸리며, 이로써 기판수납용기(1)는 암에 매달리게 된다.

리브(235A)는 톱 플랜지(236)로부터 왼쪽 전방향, 오른쪽 전방향으로 각각 복수개 연장되어 있다. 또한, 리브(235B)는 톱 플랜지(236)로부터 전방향(D11)으로 복수개 연장되어 있으며, 또한 톱 플랜지(236)로부터 후방향(D12)으로 복수개 연장되어 있다.

제1 측벽(25)은 제2 측벽(26)과 좌우 대칭 형상을 갖기 때문에, 이하에서는 제1 측벽(25)에 대해서만 설명하고, 제2 측벽(26)에 대해서는 설명을 생략한다. 도 1 내지 도 3 등에 나타낸 바와 같이, 제1 측벽(25)은 안부 외면(奧部 外面) 함몰부(254)를 가지고 있다. 또한, 도 3에 나타낸 바와 같이, 제1 측벽(25)은 홈 감합 리브부(251), 전방 철부(252) 및 안측 계지부인 좁은 통로 형성벽(253)을 갖는다.

도 1, 도 8a에 나타낸 바와 같이, 안부 외면 함몰부(254)는 개구 주연부(28)로부터 후방향(D12)을 향해 갈수록 좌우방향(D3)에서의 제1 측벽(25)과 측벽(26) 사이의 거리가 작아지도록 계단 형상으로 형성되어 있다.

특히, 도 8a에 나타낸 바와 같이, 제1 측벽(25)의 안측(후측)에 있어서 안부 외면 함몰부(254)의 부분은, 기판수납공간(27)(도 1 참조)에 수납된 원반 형상의 기판(W)(도 2 참조)의 주연을 따라 한 쌍의 측벽(25, 26)의 외면이 계단 형상으로 함몰되어, 제1 측벽(25)의 전측의 안부 외면 함몰부(254) 부분보다 좌우방향(D3)에서의 단차가 크게 구성되어 있다. 안부 외면 함몰부(254)의 내면(內面)도 안부 외면 함몰부(254)의 외면과 마찬가지로 계단 형상을 가지고 있다.

도 4a에 나타낸 바와 같이, 홈 감합 리브부(251)는, 제1 측벽(25)의 내면 부분이자, 전후방향에서의 용기본체(2) 길이(奧行)의 대략 3분의 1 정도, 개구 주연부(28)로부터 후방향(D12)으로 향하는 부분에 존재한다. 이 부분에는, 계단 형상의 안부 외면 함몰부(254)의 가장 전방향(D11)에 위치하는 계단부(段部)(254G, 도 3 등)가 존재한다. 홈 감합 리브부(251)는, 제1 측벽(25)의 내면의 부분이자 상기 계단부(254G)의 안쪽으로 들어간 부분으로부터 전방향을 향해 돌출되어 있으며, 상하방향(D2)으로 직선 형상으로 연출(延出)되어 있다.

홈 감합 리브부(251)는 후술하는 홈(521A)에 감합될 수 있다. 상하방향(D2)에서의 홈 감합 리브부(251)의 중앙부에는, 위치결정부인 위치 결정홈(251A)이 형성되어 있다. 위치 결정홈(251A)은 홈 감합 리브부(251)의 돌출단인 전단으로부터 후방향(D12)을 향해 잘라낸 것처럼 형성되어 있으며, 후술하는 피위치결정부인 위치 정렬 리브(523)가 결합될 수 있다.

도 3 등에 나타낸 바와 같이, 전방 철부(252)는, 계단 형상의 안부 외면 함몰부(254)의 일부이자, 안벽(22)으로부터 1단째 부분(254B)(안벽(22)과 거의 평행한 벽면을 갖는 부분(도 8b 참조))의 내면에 존재하고 있다. 전방 철부(252)는 안부 외면 함몰부(254)의 상단부 근방, 하단부 근방 및 상하방향(D2)에서의 중앙부에 총 3개 설치되어 있다. 전방 철부(252)는 정면에서 볼 때 각각 상하방향(D2)으로 긴 コ자 형상을 가지고 있으며, 전방향(D11)으로 돌출되어 있다. 전방 철부(252)에는 후술하는 지지벽(52)의 단부 결합부인 ロ자 형상 프레임부(525C)가 결합될 수 있다.

또한, 도 3 등에 나타낸 바와 같이, 1단째 부분(254B)(도 8b 참조) 및 안벽(22)으로부터 1단째 부분(254B)으로 향하는 부분(254A)의 접속 부분은, 용기본체(2)의 바깥쪽으로 돌출되는 외방 돌출부(254H)를 가지고 있다. 외방 돌출부(254H)의 내면은 용기본체(2)의 바깥쪽으로 함몰된 요부를 형성하고 있다. 외방 돌출부(254H)는 상하방향(D2)에서 쌍을 이루어 형성되어 있다. 외방 돌출부(254H)는 상하방향(D2)에서, 3개의 전방 철부(252) 중 상측의 전방 철부(252)와 중앙의 전방 철부(252) 사이의 위치, 및 하측의 전방 철부(252)와 중앙의 전방 철부(252) 사이의 위치에 존재하고 있다.

도 4b에 나타낸 바와 같이, 좁은 통로 형성벽(253)은 각 외방 돌출부(254H)에 각각 1쌍씩 존재하고 있다. 좁은 통로 형성벽(253)은 상하방향에서 외방 돌출부(254H)의 전방의 상부의 3분의 1 및 하부의 3분의 1 정도를 가로막도록, 외방 돌출부(254H)의 내면으로부터 기판수납공간(27)의 안쪽(우방향(D32))으로 돌출되어 있다. 쌍을 이루고 있는 좁은 통로 형성벽(253) 사이의 부분은 좁은 통로(253A)를 형성하고 있다. 외방 돌출부(254H)의 내면에 의해 형성되는 공간(253B)은, 전방향(D11)에서는, 좁은 통로(253A)를 통해 기판수납공간(27)의 부분이자 좁은 통로 형성벽(253)보다 앞의 부분과 연통되어 있다. 공간(253B)에 대해서는, 기판수납공간(27)의 안쪽을 향하는 방향(우방향(D32))에서는 특별히 가로막는 것이 존재하지 않으며, 기판수납공간(27)의 부분이자 공간(253B) 이외의 부분과 연통되어 있다.

기판 지지 판형부(5)(도 1 참조)는 제1 측벽(25) 및 제2 측벽(26)에 각각 설치되며, 좌우방향(D3)에서 쌍을 이루도록 기판수납공간(27) 내에 배치되어 있다. 구체적으로는, 도 5a 등에 나타낸 바와 같이, 기판 지지 판형부(5)는 판부(51) 및 판부 지지부인 지지벽(52)을 가지고 있다.

판부(51)와 지지벽(52)은 수지가 일체로 성형되어 구성되며, 이로써 판부(51)가 지지벽(52)에 의해 지지되어 있다. 판부(51)는 판 모양의 대략 활 형상을 가지고 있다. 판부(51)는 제1 측벽(25), 제2 측벽(26) 각각에 상하방향(D2)으로 25매씩 총 50매 설치되어 있다. 인접하는 판부(51)는 상하방향(D2)에서 10mm~12mm 간격으로 서로 이간되어 평행한 위치관계로 배치되어 있다. 아울러, 가장 위에 위치하는 판부(51)의 상방에는, 판부(51)와 평행하게 또 한 매의 판 형상부재(59)가 배치되어 있는데, 이는 가장 위에 위치하여 기판수납공간(27) 내에 삽입되는 기판(W)에 대해, 그 삽입 시 가이드 역할을 하는 부재이다.

또한, 제1 측벽(25)에 설치된 25매의 판부(51)와 제2 측벽(26)에 설치된 25매의 판부(51)는, 서로 좌우방향(D3)에서 대향하는 위치관계를 가지고 있다. 또한, 50매의 판부(51) 및 판부(51)와 평행한 판 형상의 가이드 역할을 하는 부재(59)는, 하벽(24)의 내면과 평행한 위치관계를 갖는다. 도 5a에 나타낸 바와 같이, 판부(51)의 상면에는 철부(511)가 설치되어 있다. 판부(51)에 지지된 기판(W)은 철부(511)의 돌출단에만 접촉되고, 판부(51)에 면으로 접촉되지 않는다.

지지벽(52)은 도 6a에 나타낸 바와 같이, 상하방향(D2) 및 대략 전후방향(D1)으로 연장되는 판 형상의 지지벽(52)으로 구성된다. 지지벽(52)은 도 6a 내지 도 6c에 나타낸 바와 같이, 판부(51)의 길이방향에서의 일단부로부터 타단부에 걸쳐, 판부(51)의 측단 가장자리에 접속되어 있다. 판 형상의 지지벽(52)은 판부(51)의 외측단 가장자리를 따라 기판수납공간(27)으로 만곡되어 있다.

즉, 제1 측벽(25)에 설치된 25매의 판부(51)는 제1 측벽(25) 측에 설치된 지지벽(52)에 접속되어 있다. 마찬가지로, 제2 측벽(26)에 설치된 25매의 판부(51)는 제2 측벽(26)측에 설치된 지지벽(52)에 접속되어 있다. 지지벽(52)은 제1 측벽(25), 제2 측벽(26)에 각각 고정된다.

지지벽(52)은 홈 형성부(521), 돌기(522), 피위치결정부인 위치 정렬 리브(523), 직선 형상의 리브(524), 단부면(525A), 안측 피계지부인 피계지부 연출부(526) 및 피계지판부(527)를 갖는다. 도 6a 등에 나타낸 바와 같이, 홈 형성부(521)는 용기본체 개구부(21) 측의 지지벽(52)의 부분(개구측부)에 존재하고 있다. 보다 구체적으로는, 개구측부란 지지벽(52)의 전단부 근방을 의미하며, 홈 형성부(521)는 지지벽(52)의 상기 전단부 근방에 존재하고 있다.

홈 형성부(521)는 평면에서 볼 때, 기판수납공간(27) 바깥쪽으로 연장되어 직각으로 절곡되고 후방으로 연장되는 대략 L자 형상을 갖는다. 홈 형성부(521)와 지지벽(52)의 외면(52A)에 의해, 후방향(D12)을 향해 개구되는 홈(521A)이 형성되어 있다. 홈(521A)은 복수의 판부(51)와 교차하는 방향, 구체적으로는 상하방향(D2)으로, 25매의 판부(51) 전체에 걸쳐 직선 형상으로 연장되어 있다.

돌기(522)는 홈(521A) 내에 총 12개 형성되어 있다. 돌기(522)는 상하방향(D2)에서 홈(521A)을 상측과 하측으로 나눴을 때, 홈(521A)의 상측 및 하측 각각의 상단부, 중앙부 및 하단부에 각각 2개씩 소정 간격을 두고 존재하고 있다. 돌기(522)는 홈(521A)을 형성하고 있는 지지벽(52)의 외면(52A)으로부터 기판수납공간(27) 바깥쪽(좌방향(D31))으로 돌출되어 있다. 이로써, 돌기(522)는 홈(521A)의 연장방향과 직교하는 방향, 즉 좌우방향(D3)에서의 홈(521A)의 폭을 좁혀 소정의 폭이 되도록 한다.

도 6a에 나타낸 바와 같이, 위치 정렬 리브(523)는 홈(521A)의 연장방향인 상하방향(D2)에서의 홈(521A)의 중앙부에 형성되어 있다. 위치 정렬 리브(523)는 도 6b 등에 나타낸 바와 같이, 홈 형성부(521)로부터 지지벽(52)의 외면(52A)에 이르기까지 연장되어 있으며, 홈(521A)을 상측 부분과 하측 부분으로 분할하도록 형성되어 있다. 상하방향(D2)에서의 위치 정렬 리브(523)의 폭은, 동 방향에서의 위치 결정홈(251A)(도 3 등)의 폭과 동등하거나, 또는 동 방향에서의 위치 결정홈(251A)의 폭보다 작다. 따라서, 위치 결정홈(251A)에는 위치 정렬 리브(523)를 삽입할 수 있으며, 이러한 삽입에 의해 위치 결정홈(251A)이 위치 정렬 리브(523)를 계지한다.

도 6a에 나타낸 바와 같이, 직선 형상의 리브(524)는, 지지벽(52)의 외면(52A)이자 전후방향(D1)에서의 대략 중앙 위치에 존재하고 있다. 도 6c, 도 6d에 나타낸 바와 같이, 직선 형상의 리브(524)는 평면에서 볼 때, 기판수납공간(27) 바깥쪽으로 연장되어 직각으로 절곡되고 후방으로 연장되는 대략 L자 형상을 가지고 있다. 직선 형상의 리브(524)는 홈(521A)(도 6a)과 평행한 위치관계를 가지며 상하방향으로 연장되어 있으며, 홈(521A)의 거의 전체에 걸쳐 대향하여 존재한다.

지지벽(52)의 안측부의 단부, 즉 지지벽(52)의 후방향(D12)의 단부는 단부벽(525)을 갖는다. 단부벽(525)은 전후방향(D1) 및 상하방향(D2)과 평행한 위치관계를 갖는 판 형상을 가지고 있다. 단부벽(525)은 기판수납공간(27)의 안쪽측의 단부벽(525)의 면인 단부면(525A)을 가지고 있다. 단부면(525A)은 안벽(22)과 용기본체 개구부(21)를 잇는 방향인 전후방향(D1), 및 상벽(23)과 하벽(24)를 잇는 방향인 상하방향(D2)과 평행한 평탄한 면으로 구성되어 있다.

도 5a, 도 5b 등에 나타낸 바와 같이, 단부벽(525)에는 상하 2군데에 전방향(D11)으로 함몰된 요부(525B)가 형성되어 있으며, 피계지부 연출부(526)가 요부(525B)에 존재하고 있다. 피계지부 연출부(526)는 요부(525B)를 형성하고 있는 단부벽(525)의 부분과 일체로 성형되어 접속되어 있다. 피계지부 연출부(526)는 단부벽(525)과 평행한 위치관계를 가지며, 요부(525B)를 구성하고 있는 단부벽(525)의 부분으로부터 홈(521A)이 개구되는 방향인 후방향(D12)으로 연출되어 있다.

피계지부 연출부(526)는 단부면(525A)의 법선방향(좌우방향(D3))으로 요동하도록 탄성 변형할 수 있다. 상하방향(D2)에서의 피계지부 연출부(526)의 폭은, 쌍을 이루고 있는 좁은 통로 형성벽(253) 사이의 좁은 통로(253A)(도 4b 참조)의 폭보다 작다. 따라서, 상기 좁은 통로(253A)에 피계지부 연출부(526)를 삽입할 수 있다. 도 8b 등에 나타낸 바와 같이, 피계지부 연출부(526)는 단부면(525A)보다 기판수납공간(27)의 안쪽(우방향(D32))으로 돌출되지 않는다. 피계지부 연출부(526)의 기판수납공간(27)의 안쪽측의 면(도 8b에서 피계지부 연출부(526)의 우측 단면)은, 단부면(525A)과 일치하는 위치관계(동일 평면의 위치관계)를 가지고 있다.

도 5b에 나타낸 바와 같이, 피계지판부(527)는 피계지부 연출부(526)의 연출 단부에 일체 성형되어 형성되어 접속되어 있다. 피계지판부(527)는 피계지부 연출부(526)의 연출 단부로부터 피계지부 연출부(526)의 연출방향(후방향(D12))으로 약간 연장되고, 기판수납공간(27)의 안쪽으로 절곡되어 연출되며, 다시 후방향(D12)으로 절곡되어 약간 연장되어 있다. 도 5b에 나타낸 바와 같이, 피계지판부(527)는 홈(521A)의 연장방향인 상하방향(D2)에서, 피계지부 연출부(526)보다 큰 폭으로 형성되어 있다. 이 때문에, 상하방향(D2)에서의 피계지판부(527)의 폭은, 쌍을 이루고 있는 좁은 통로 형성벽(253)(도 4b 참조) 사이의 좁은 통로(253A)의 폭보다 크다. 따라서, 좁은 통로(253A)에는 피계지판부(527)를 삽입할 수 없다. 피계지판부(527)의 넓은 판 형상 부분(528)은 전체적으로 대략 사다리꼴의 판 형상을 가지고 있으며, 상하방향(D2)에서의 피계지판부(527)의 폭은, 피계지판부(527)의 판 형상 부분(528)의 연출방향으로 약간 피계지판부(527)의 끝이 가늘어지도록 작게 되어 있다.

피계지부 연출부(526)의 연출 단부에 접속되어 있는 피계지판부(527) 부분의 상측 및 하측 부분, 즉 피계지판부(527)의 전단은 결합 당접면(529)을 가지고 있다. 결합 당접면(529)은 도 8b에 나타낸 바와 같이, 상하방향(D2) 및 좌우방향(D3)과 평행한 위치관계를 갖는다. 결합 당접면(529)은 후술하는 바와 같이, 피계지판부(527)가 좁은 통로 형성벽(253)에 계지됨으로써, 지지벽(52)이 제1 측벽(25)에 고정되어 있을 때, 좁은 통로 형성벽(253)의 후방향(D12) 측의 면(253C)에 면 당접한다. 결합 당접면(529)은 도 8b 등에 나타낸 바와 같이, 단부면(525A)보다 기판수납공간(27)의 안쪽으로 돌출되지 않고, 단부면(525A)보다 기판수납공간(27)의 바깥쪽으로 위치하고 있다.

도 6a에 나타낸 바와 같이, 단부벽(525)의 후단에는 각각 직사각형의 관통구멍이 형성된 3개의 ロ자 형상 프레임부(525C)가 존재하고 있다. 3개의 ロ자 형상 프레임부(525C)는 상하방향(D2)에서 등간격으로 위치하고 있으며, ロ자 형상 프레임부(525C)의 관통구멍은 전후방향(D1)으로 개구되어 있다. ロ자 형상 프레임부(525C)의 관통구멍에는 전방 철부(252)(도 3 등 참조)를 각각 삽입할 수 있다.

이상과 같은 구성의 기판 지지 판형부(5)가 제1 측벽(25), 제2 측벽(26)에 고정되며, 기판 지지 판형부(5)는 복수의 기판(W) 중 인접하는 기판(W)들을 소정 간격으로 이간시킨 상태이면서 서로 평행한 위치관계가 되도록 한 상태에서, 복수의 기판(W)의 연부를 지지할 수 있다.

안측 기판 지지부(6)는 도 5b에 나타낸 바와 같이, 벽부 기판 지지부(60)를 가지고 있다. 벽부 기판 지지부(60)는 기판 지지 판형부(5)의 판부(51)의 후단부 및 지지벽(52)의 후단부에, 판부(51) 및 지지벽(52)과 일체로 성형되어 있다. 아울러, 안측 기판 지지부(6)는 기판 지지 판형부(5)와는 별개로, 즉 벽부 기판 지지부(60)는 기판 지지 판형부(5)의 판부(51) 및 지지벽(52)과는 별개로 구성될 수도 있다.

벽부 기판 지지부(60)는 기판수납공간(27)에 수납 가능한 기판(W)의 1매씩에 대응하는 개수, 구체적으로는 25개 설치되어 있다. 제1 측벽(25) 및 제2 측벽(26)에 설치된 벽부 기판 지지부(60)는 전후방향(D1)에서, 후술하는 프론트 리테이너(미도시)와 쌍을 이루는 위치관계를 가지고 있다. 기판수납공간(27) 내에 기판(W)이 수납되고 덮개체(3)가 닫힘으로써, 벽부 기판 지지부(60)가 기판(W) 연부의 가장자리를 협지(挾持)한다.

도 1에 나타낸 바와 같이, 덮개체(3)는 용기본체(2)의 개구 주연부(28)의 형상과 대략 일치하는 대략 직사각형 형상을 가지고 있다. 덮개체(3)는 용기본체(2)의 개구 주연부(28)에 대해 착탈 가능하며, 개구 주연부(28)에 덮개체(3)가 장착됨으로써 덮개체(3)가 용기본체 개구부(21)를 폐색할 수 있다. 덮개체(3)의 내면(도 1에 나타낸 덮개체(3)의 이측 면)이자, 덮개체(3)가 용기본체 개구부(21)를 폐색하고 있을 때의 개구 주연부(28)의 바로 후방향(D12)의 위치에 형성된 단차 부분의 면(시일면(281))에 대향하는 면에는, 고리 형상의 시일부재(4)가 장착되어 있다. 시일부재(4)는 탄성 변형 가능한 POE(폴리옥시에틸렌)제, PEE제를 비롯하여, 폴리에스테르계, 폴리올레핀계 등 각종 열가소성 엘라스토머, 불소 고무제, 실리콘 고무제 등이다. 시일부재(4)는 덮개체(3)의 외주연부를 일주(一周)하도록 배치되어 있다.

덮개체(3)가 개구 주연부(28)에 장착되었을 때, 시일부재(4)는 시일면(281)과 덮개체(3)의 내면에 의해 개재되어 탄성 변형하며, 덮개체(3)는 용기본체 개구부(21)를 밀폐한 상태로 폐색한다. 개구 주연부(28)로부터 덮개체(3)가 분리됨으로써, 용기본체(2) 내의 기판수납공간(27)에 대하여 기판(W)을 내고 들일 수 있게 된다.

덮개체(3)에는 래치 기구가 설치되어 있다. 래치 기구는 덮개체(3)의 좌우 양단부 근방에 설치되어 있으며, 도 1에 나타낸 바와 같이, 덮개체(3)의 상변(上邊)으로부터 상방향(D21)으로 돌출 가능한 2개의 상측 래치부(32A) 및 덮개체(3)의 하변(下邊)으로부터 하방향(D22)으로 돌출 가능한 2개의 하측 래치부(미도시)를 구비하고 있다. 2개의 상측 래치부(32A)는 덮개체(3)의 상변의 좌우 양단 근방에 배치되어 있으며, 2개의 하측 래치부는 덮개체(3)의 하변의 좌우 양단 근방에 배치되어 있다.

덮개체(3)의 외면에는 조작부(操作部)(33)가 설치되어 있다. 조작부(33)를 덮개체(3)의 전측에서 조작함으로써, 상측 래치부(32A), 하측 래치부(미도시)를 덮개체(3)의 상변, 하변으로부터 돌출시킬 수 있으며, 또한 상변, 하변으로부터 돌출되지 않은 상태로 할 수 있다. 상측 래치부(32A)가 덮개체(3)의 상변으로부터 상방향(D21)으로 돌출되어 용기본체(2)의 래치 결합 요부(231A, 231B)에 결합하는 동시에, 하측 래치부가 덮개체(3)의 하변으로부터 하방향(D22)으로 돌출되어 용기본체(2)의 래치 결합 요부(241A, 241B)에 결합함으로써, 덮개체(3)가 용기본체(2)의 개구 주연부(28)에 고정된다.

덮개체(3)의 안측에는 기판수납공간(27)의 바깥쪽으로 함몰된 요부(미도시)가 형성되어 있다. 요부(미도시) 및 요부 외측의 덮개체(3) 부분에는 프론트 리테이너(미도시)가 고정되어 설치되어 있다.

프론트 리테이너는 프론트 리테이너 기판 수용부(미도시)를 가지고 있다. 프론트 리테이너 기판 수용부는 좌우방향(D3)으로 소정의 간격으로 이간되어 쌍을 이루도록 하여 2개씩 배치되어 있다. 이와 같이 쌍을 이루도록 2개씩 배치된 프론트 리테이너 기판 수용부는, 상하방향(D2)으로 25쌍 병렬된 상태로 설치되어 있다. 기판수납공간(27) 내에 기판(W)이 수납되고 덮개체(3)가 닫힘으로써, 프론트 리테이너 기판 수용부는 기판(W)의 연부의 가장자리를 협지하여 지지한다.

상기 구성의 기판수납용기(1)에서, 기판 지지 판형부(5)의 제1 측벽(25)에 대한 착탈은 이하와 같이 이루어진다.

기판 지지 판형부(5)를 제1 측벽(25)에 장착시킬 때는, 우선, 위치 결정홈(251A)(도 3 참조)에 위치 정렬 리브(523)(도 6b 참조)를 삽입시키도록 하여 홈(521A)(도 6b 참조)에 홈 감합 리브부(251)(도 3 참조)를 감합시키는 동시에, ロ자 형상 프레임부(525C)(도 6a 참조)의 관통구멍에 전방 철부(252)(도 3 참조)를 삽입할 수 있도록 ロ자 형상 프레임부(525C)의 관통구멍에 전방 철부(252)를 근접 배치시킨다. 그리고 피계지부 연출부(526)(도 5b 참조)를 기판수납공간(27)의 안쪽(도 8b에서 우방향(D32))으로 만곡되도록 탄성 변형시키면서, 지지벽(52)의 후부(後部)를 제1 측벽(25)에 접근하도록 좌방향(D31)으로 압압(押壓)한다.

이로써, 결합 당접면(529)(도 8b 참조)의 가장자리가 좁은 통로 형성벽(253)의 연출방향에서의 가장자리를 타고 넘는다. 그리고 피계지판부(527)가 좁은 통로 형성벽(253)에 계지됨으로써, 즉 안벽측의 지지벽(52) 부분인 안측부가 안측 계지부에 계지됨으로써, 지지벽(52)이 제1 측벽(25)에 고정된다. 이 때, 도 8b에 나타낸 바와 같이, 결합 당접면(529)은 좁은 통로 형성벽(253)의 후방향(D12) 측의 면(253C)에 면 당접한다. 또한, 피계지부 연출부(526)는 좁은 통로(253A)에 삽입되어 있다. 또한, ロ자 형상 프레임부(525C)(도 6a 참조)의 관통구멍에 전방 철부(252)(도 3 참조)가 삽입되어 있다.

기판 지지 판형부(5)를 제1 측벽(25)에서 분리할 때에는, 먼저 피계지부 연출부(526)(도 8b 참조)를 기판수납공간(27)의 안쪽(도 8b에서 우방향(D32))으로 만곡되도록 탄성 변형시키면서, 지지벽(52)의 후부를 기판수납공간(27)의 안쪽으로 끌어 당긴다. 이로써, 결합 당접면(529)의 가장자리가 좁은 통로 형성벽(253)의 연출방향에서의 가장자리를 타고 넘는다. 이로써 피계지판부(527)가 좁은 통로 형성벽(253)으로부터 빠짐으로써, 즉 안벽측의 지지벽(52) 부분(안측부)이 안측 계지부인 좁은 통로 형성벽(253)으로부터 빠짐으로써, 지지벽(52)의 제1 측벽(25)에 대한 고정이 해제된다.

이 때, ロ자 형상 프레임부(525C)의 관통구멍으로부터 전방 철부(252)가 빠진다. 그리고 홈(521A)으로부터 홈 감합 리브부(251)를 분리하여 감합을 해제시킴으로써, 기판 지지 판형부(5)가 제1 측벽(25)으로부터 분리된다.

상기 구성의 제1 실시형태에 따른 기판수납용기(1)에 따르면, 이하와 같은 효과를 얻을 수 있다.

상술한 바와 같이, 지지벽(52)은 복수의 판부(51)와 교차하는 방향으로 복수의 판부(51) 전체에 걸쳐 직선 형상으로 연장되는 홈(521A)이 형성된 홈 형성부(521)를 가지며, 제1 측벽(25)의 내면에는 홈(521A)에 감합 가능한 직선 형상으로 연출되는 홈 감합 리브부(251)가 존재한다.

이 때문에, 측방 기판 지지부인 기판 지지 판형부(5)의 성형 수축에 의한 변형, 예를 들어 휨 등을, 변형이 적은 용기본체(2)의 홈 감합 리브부(251)에 따라 교정할 수 있으며, 기판(W)을 지지하는 부재의 조립 정밀도를 향상시킬 수 있다.

또한, 지지벽(52)은 홈(521A)의 연장방향에서의 홈(521A)의 중앙부에 형성된 피위치결정부인 위치 정렬 리브(523)를 가지며, 홈 감합 리브부(251)의 연출방향에서의 홈 감합 리브부(251)의 중앙부에는 피위치결정부를 계지할 수 있는 위치결정부인 위치 결정홈(251A)이 존재한다.

이 때문에, 홈(521A)의 연출방향에서의 일단을 기준으로 위치 결정하는 경우와 비교하여, 위치 결정홈(251A)으로 위치 정렬 리브(523)를 계지함으로써, 홈(521A)의 양단에서의 복수의 판부(51) 간의 피치 방향의 치수 오차를 1/2로 할 수 있다. 그 결과, 종래와 같이 핀과 구멍을 감합시켜 용기본체에 지지벽을 고정하는 구성의 경우에는, 각 핀이나 구멍의 치수를 각 핀이나 구멍에서 조정할 필요가 있었지만, 이러한 조정이 불필요하다.

또한, 기판 지지 판형부(5)는, 홈(521A) 내에 형성되며, 홈(521A)의 연장방향과 직교하는 방향에서의 홈(521A)의 폭을 좁히도록 돌출되는 돌기(522)를 갖는다. 이 때문에, 돌기(522)의 돌출량을 조정함으로써, 제1 측벽(25)에 대한 기판 지지 판형부(5)의 위치를 미세 조정할 수 있다. 또한, 제1 측벽(25)에 대해 기판 지지 판형부(5)에 흔들림이 생기는 경우에, 돌기(522)의 돌출량을 조정함으로써 흔들림을 없앨 수 있다.

또한, 홈 형성부(521)는 용기본체 개구부측의 지지벽(52) 부분인 개구측부에 존재하며, 안벽측의 지지벽(52) 부분인 안측부는 안측 계지부에 계지 가능한 안측 피계지부를 갖는다. 그리고 안측 피계지부는, 탄성 변형 가능하며 홈(521A)의 개구방향으로 연장되는 피계지부 연출부(526), 및 피계지부 연출부(526)의 연출 단부에 형성되며 홈(521A)의 연장방향으로 피계지부 연출부(526)보다 큰 폭으로 형성된 피계지판부(527)를 갖는다. 또한, 제1 측벽(25)의 안측 계지부는, 피계지부 연출부(526)는 삽입 가능하고 피계지판부(527)는 삽입 불가능하게 하는 좁은 통로(253A)를 형성하는 좁은 통로 형성벽(253)을 갖는다.

이 때문에, 피계지부 연출부(526)가 좁은 통로(253A)에 삽입되어 있을 때, 피계지판부(527)를 좁은 통로 형성벽(253)에 계지할 수 있다. 그리고 이와 같이 계지됨으로써, 안벽측의 지지벽(52) 부분이 안측 계지부에 계지된다. 이 때문에, 지지벽(52)의 안측과 개구측부에서 지지벽(52)을 제1 측벽(25)에 계지할 수 있다.

또한, 피계지부 연출부(526)는 단부면(525A)보다 기판수납공간(27)의 안쪽으로 돌출되지 않고, 단부면(525A)과 일치하는 위치관계를 가지기 때문에, 기판 지지 판형부(5)가 제1 측벽(25)에서 분리되는 방향인 안측으로부터 개구측을 향하는 방향(전방향(D11))으로 기판 지지 판형부(5)가 당겨지는 경우에도, 피계지판부(527)의 좁은 통로 형성벽(253)에 대한 계지가 해제되는 방향인 기판수납공간(27)의 안쪽으로 피계지판부(527)가 이동하기 어렵게 할 수 있다. 그 결과, 측방 기판 지지부인 기판 지지 판형부(5)가 제1 측벽(25)에서 빠지기 어렵게 할 수 있다.

또한, 피계지판부(527)는 좁은 통로 형성벽(253)에 계지되어 있을 때 좁은 통로 형성벽(253)에 당접 가능한 결합 당접면(529)을 가지기 때문에, 피계지판부(527)의 좁은 통로 형성벽(253)에 대한 계지를 안정시킬 수 있다.

또한, 결합 당접면(529)은 단부면(525A)보다 기판수납공간(27)의 안쪽으로 돌출되지 않고, 단부면(525A)보다 기판수납공간(27)의 바깥쪽으로 위치한다. 이 때문에, 기판 지지 판형부(5)가 제1 측벽(25)에서 분리되는 방향인 안측으로부터 개구측을 향하는 방향(전방향(D11))으로 기판 지지 판형부(5)가 당겨지는 경우에도, 피계지판부(527)의 좁은 통로 형성벽(253)에 대한 계지가 해제되는 방향인 기판수납공간(27)의 안쪽으로 피계지판부(527)가 이동하기 어렵게 할 수 있다. 그 결과, 측방 기판 지지부인 기판 지지 판형부(5)가 제1 측벽(25)에서 빠지기 어렵게 할 수 있다.

또한, 지지벽(52)에는 홈(521A)과 평행한 위치관계를 갖는 직선 형상의 리브(524)가 홈(521A)의 거의 전체에 걸쳐 대향하여 존재한다. 이 때문에, 판부 지지부인 지지벽(52)의 강도를 복수의 판부(51) 간의 피치 방향의 전체에 걸쳐 높일 수 있다.

다음으로, 본 발명의 제2 실시형태에 따른 기판수납용기에 대해 도 9a 내지 도 10b를 참조하면서 설명한다. 도 9a는 본 발명의 제2 실시형태에 따른 기판수납용기의 기판 지지 판형부(5B)를 나타내는 전방 사시도이다. 도 9b는 본 발명의 제2 실시형태에 따른 기판수납용기의 기판 지지 판형부(5B)를 나타내는 확대 전방 사시도이다. 도 9c는 본 발명의 제2 실시형태에 따른 기판수납용기의 기판 지지 판형부(5B)를 나타내는 평면 단면도이다. 도 9d는 본 발명의 제2 실시형태에 따른 기판수납용기의 기판 지지 판형부(5B)의 피계지부 연출부(526) 및 피계지판부(527)를 나타내는 확대 평면 단면도이다. 도 10a는 본 발명의 제2 실시형태에 따른 기판수납용기의 용기본체(2)에 기판 지지 판형부(5B)가 고정된 모습을 나타내는 요부 평면 단면도이다. 도 10b는 본 발명의 제2 실시형태에 따른 기판수납용기의 용기본체(2)에 기판 지지 판형부(5B)가 고정된 모습을 나타내는 평면 확대 단면도이다.

제2 실시형태에 따른 기판수납용기는, 기판 지지 판형부(5B)의 결합 당접면(529B)의 방향이 다르다는 점에서 제1 실시형태에 따른 기판수납용기(1)와 다르다. 제1 실시형태의 각 구성과 동일한 구성에 대해서는 동일한 부호를 붙이고 설명을 생략한다.

도 8b와 대비하면서 도 10b를 참조하면 알 수 있는 바와 같이, 결합 당접면(529B)은 기판수납공간(27)의 안쪽(우방향(D32))을 향해 갈수록 용기본체 개구부(21)를 향하는 평탄한 경사면(전방향(D11)을 향하는 평탄한 경사면)으로 구성된다. 따라서, 결합 당접면(529B)에서, 좁은 통로 형성벽(253)의 후방향(D12) 측의 면(253C)에 당접하는 것은 기판수납공간(27)의 안쪽측의 가장자리(우방향(D32)측의 가장자리)뿐이다.

상기 구성의 제2 실시형태에 따른 기판수납용기에 따르면, 이하와 같은 효과를 얻을 수 있다.

결합 당접면(529B)은 기판수납공간(27)의 안쪽을 향해 갈수록 용기본체 개구부를 향하는 경사면으로 구성된다. 이 때문에, 기판 지지 판형부(5)가 제1 측벽(25)에서 분리되는 방향인 안측으로부터 개구측을 향하는 방향(전방향(D11))으로 기판 지지 판형부(5)가 당겨지는 경우에도, 피계지판부(527)의 좁은 통로 형성벽(253)에 대한 계지가 해제되는 방향인 기판수납공간(27)의 안쪽으로 피계지판부(527)가 이동하기 매우 어렵게 할 수 있다. 그 결과, 측방 기판 지지부인 기판 지지 판형부(5)가 제1 측벽(25)으로부터 빠지는 것을 매우 어렵게 할 수 있다.

다음으로, 본 발명의 제3 실시형태에 따른 기판수납용기에 대해 도 11a 내지 도 11d를 참조하면서 설명한다. 도 11a는 본 발명의 제3 실시형태에 따른 기판수납용기(1)의 기판 지지 판형부(5C)를 나타내는 전방 사시도이다. 도 11b는 본 발명의 제3 실시형태에 따른 기판수납용기(1)의 기판 지지 판형부(5C)를 나타내는 확대 전방 사시도이다. 도 11c는 본 발명의 제3 실시형태에 따른 기판수납용기(1)의 기판 지지 판형부(5C)를 나타내는 평면 단면도이다. 도 11d는 본 발명의 제3 실시형태에 따른 기판수납용기(1)의 기판 지지 판형부(5C)의 피계지부 연출부(526C) 및 피계지판부(527)를 나타내는 확대 평면 단면도이다.

제3 실시형태에 따른 기판수납용기는, 기판 지지 판형부(5C)의 피계지부 연출부(526C)가 단부면(525A)보다 기판수납공간(27)의 바깥쪽(좌방향(D31))으로 위치한다는 점에서 제1 실시형태에 따른 기판수납용기(1)와 다르다. 제1 실시형태의 각 구성과 동일한 구성에 대해서는 동일한 부호를 붙이고 설명을 생략한다.

도 11a 내지 도 11d에 나타낸 바와 같이, 피계지부 연출부(526C)는, 요부(525B)를 구성하는 단부벽(525) 부분이자, 단부면(525A)보다 기판수납공간(27)의 바깥쪽(좌방향(D31)의 부분과 일체로 성형되어 접속되어 있다. 그리고 피계지부 연출부(526C)는, 요부(525B)를 구성하고 있는 단부벽(525) 부분으로부터 홈(521A)의 개구방향인 후방향(D12)으로 연출되어 있다. 따라서, 도 11d 등에 나타낸 바와 같이, 피계지부 연출부(526C)는 단부면(525A)보다 기판수납공간(27)의 안쪽으로 돌출되지 않고, 단부면(525A)보다 기판수납공간(27)의 바깥쪽(좌방향(D31))으로 위치하고 있다.

또한, 피계지부 연출부(526C)의 연출 단부는, 피계지판부(527)의 폭이 넓은 부분(528)이며 폭이 넓은 부분(528)의 가장 전측에 위치하는 부분에, 일체 성형 되어 접속되어 있다.

상기 구성의 제3 실시형태에 따른 기판수납용기에 따르면, 이하와 같은 효과를 얻을 수 있다.

피계지부 연출부(526C)는 단부면(525A)보다 기판수납공간(27)의 안쪽으로 돌출되지 않고, 단부면(525A)보다 기판수납공간(27)의 바깥쪽으로 위치하고 있다. 이 때문에, 기판 지지 판형부(5)가 제1 측벽(25)에서 분리되는 방향인 안측으로부터 개구측을 향하는 방향(전방향(D11))으로 기판 지지 판형부(5)가 당겨지는 경우에도, 피계지판부(527)의 좁은 통로 형성벽(253)에 대한 계지가 해제되는 방향인 기판수납공간(27)의 안쪽으로 피계지판부(527)가 이동하기 매우 어렵게 할 수 있다. 그 결과, 측방 기판 지지부인 기판 지지 판형부(5C)가 제1 측벽(25)으로부터 빠지는 것을 매우 어렵게 할 수 있다.

본 발명은 상술한 실시형태로 한정되지 않으며, 특허청구범위에 기재된 기술적 범위에서 변형이 가능하다. 예를 들어, 기판수납용기(1)의 형상이나 구성은 상술한 실시형태의 형상이나 구성으로 한정되지 않는다. 구체적으로는, 예를 들어 결합 당접면(529)이 단부면(525A)보다 기판수납공간(27)의 바깥쪽으로 위치하고 있지만, 이에 한정되지 않는다. 예를 들어, 결합 당접면은 단부면(525A)보다 기판수납공간(27)의 안쪽으로 돌출되지 않고, 단부면(525A)과 일치하는 위치관계를 가질 수도 있다.

1: 기판수납용기
2: 용기본체
3: 덮개체
5: 기판 지지 판형부(측방 기판 지지부)
20: 벽부
21: 용기본체 개구부
22: 안벽
23: 상벽
24: 하벽
25: 제1 측벽
26: 제2 측벽
27: 기판수납공간
51: 판부
52: 지지벽(판부 지지부)
251: 홈 감합 리브부
251A: 위치 결정홈(위치 결정부)
253: 좁은 통로 형성벽(안측 계지부)
253A: 좁은 통로
521: 홈 형성부
521A: 홈
522: 돌기
523: 위치 정렬 리브(피위치결정부)
524: 직선 형상 리브
525C: ロ자 형상 프레임부(단부 결합부)
526: 피계지부 연출부
527: 피계지판부
529: 결합 당접면
W: 기판

Claims (8)

1. 일단부에 용기본체 개구부가 형성되고 타단부가 폐색(閉塞)된 통(筒) 형상의 벽부이자, 안벽(奧壁), 상벽, 하벽 및 한 쌍의 측벽을 가지며, 상기 상벽의 일단부, 상기 하벽의 일단부 및 상기 측벽의 일단부에 의해 상기 용기본체 개구부가 형성된 벽부를 구비하고, 상기 상벽의 내면, 상기 하벽의 내면, 상기 측벽의 내면 및 상기 안벽의 내면에 의해, 복수의 기판을 수납 가능하며 상기 용기본체 개구부에 연통하는 기판수납공간이 형성된 용기본체;
   상기 용기본체 개구부에 대해 착탈 가능하며, 상기 용기본체 개구부를 폐색할 수 있는 덮개체(蓋體); 및
   상기 기판수납공간 내에서 쌍을 이루도록 상기 한 쌍의 측벽에 각각 고정되어 배치되며, 상기 덮개체에 의해 상기 용기본체 개구부가 폐색되어 있지 않을 때, 상기 복수의 기판 중 인접하는 기판들을 소정 간격으로 이간(離間)시켜 병렬시킨 상태에서 상기 복수의 기판의 연부(緣部)를 지지할 수 있는 측방 기판 지지부;를 구비하며,
   상기 측방 기판 지지부는, 평행한 위치관계를 가지고 상기 복수의 기판의 연부를 지지하는 복수의 판부, 및 상기 판부를 지지하며 상기 측벽에 고정되는 판부 지지부를 가지며, 상기 판부 지지부는, 상기 복수의 판부와 교차하는 방향으로 상기 복수의 판부 전체에 걸쳐 직선 형상으로 연장되는 홈이 형성된 홈 형성부, 상기 홈 내에 형성되며 상기 홈의 연장방향과 직교하는 방향에서의 상기 홈의 폭을 좁히도록 돌출되는 돌기, 및 상기 홈의 연장방향에서의 상기 홈의 중앙부에 형성된 피위치결정부를 가지며,
   상기 측벽의 내면에는 상기 홈에 감합(嵌合) 가능한 직선 형상으로 연출(延出)되는 홈 감합 리브부가 존재하며, 상기 홈 감합 리브부의 연출방향에서의 상기 홈 감합 리브부의 중앙부에는 상기 피위치결정부를 계지(係止) 가능한 위치결정부가 존재하는 기판수납용기.
2. 제1항에 있어서,
   상기 측벽의 안벽측(奧壁側)의 부분은 안측(奧側) 계지부를 가지며,
   상기 판부 지지부는 상기 판부의 길이방향(長手方向)에서의 일단부로부터 타단부에 걸쳐 상기 판부의 측단 가장자리에 접속된 판 형상의 지지벽으로 구성되며,
   상기 홈 형성부는 상기 용기본체 개구부측의 상기 지지벽 부분인 개구측부에 존재하며,
   상기 안벽측의 상기 지지벽 부분인 안측부는 상기 안측 계지부에 계지 가능한 안측 피계지부를 갖는 기판수납용기.
3. 제2항에 있어서,
   상기 판부 지지부의 상기 안측 피계지부는, 탄성 변형 가능하며 상기 홈의 개구방향으로 연장되는 피계지부 연출부, 및 상기 피계지부 연출부의 연출 단부에 형성되며 상기 홈의 연장방향으로 상기 피계지부 연출부보다 큰 폭으로 형성된 피계지판부를 가지며,
   상기 측벽의 안측 계지부는, 상기 피계지부 연출부는 삽입 가능하고 상기 피계지판부는 삽입 불가능하게 하는 좁은 통로를 형성하는 좁은 통로 형성벽을 가지며, 상기 피계지부 연출부가 상기 좁은 통로에 삽입되어 있을 때 상기 피계지판부가 상기 좁은 통로 형성벽에 계지되는 기판수납용기.
4. 제3항에 있어서,
   상기 판부 지지부의 안측부의 단부는, 상기 안벽과 상기 용기본체 개구부를 잇는 방향 및 상기 상벽과 상기 하벽을 잇는 방향과 평행한 평탄한 단부면을 가지며,
   상기 피계지부 연출부는, 상기 단부면보다 상기 기판수납공간의 안쪽(內方)으로 돌출되지 않고 상기 단부면과 일치하는 위치관계를 갖거나, 또는 상기 단부면보다 상기 기판수납공간의 바깥쪽으로 위치하는 기판수납용기.
5. 제3항에 있어서,
   상기 피계지판부는, 상기 좁은 통로 형성벽에 계지되어 있을 때 상기 좁은 통로 형성벽에 당접(當接) 가능한 결합(係合) 당접면을 갖는 기판수납용기.
6. 제5항에 있어서,
   상기 판부 지지부의 안측부의 단부는, 상기 안벽과 상기 용기본체 개구부를 잇는 방향, 및 상기 상벽과 상기 하벽을 잇는 방향과 평행한 평탄한 단부면을 가지며,
   상기 결합 당접면은, 상기 단부면보다 상기 기판수납공간의 안쪽으로 돌출되지 않고 상기 단부면과 일치하는 위치관계를 갖거나, 또는 상기 단부면보다 상기 기판수납공간의 바깥쪽으로 위치하는 기판수납용기.
7. 제5항 또는 6항에 있어서,
   상기 결합 당접면은 상기 기판수납공간의 안쪽을 향해 갈수록 상기 용기본체 개구부를 향하는 경사면으로 구성되는 기판수납용기.
8. 제2항 내지 7항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 지지벽에는 상기 홈과 평행한 위치관계를 갖는 직선 형상의 리브가 상기 홈의 거의 전체에 걸쳐 대향하여 존재하는 기판수납용기.

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