KR20120006428A - 기판수납용기 - Google Patents

기판수납용기 Download PDF

Info

Publication number
KR20120006428A
KR20120006428A KR1020107020144A KR20107020144A KR20120006428A KR 20120006428 A KR20120006428 A KR 20120006428A KR 1020107020144 A KR1020107020144 A KR 1020107020144A KR 20107020144 A KR20107020144 A KR 20107020144A KR 20120006428 A KR20120006428 A KR 20120006428A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
substrate
shaped
disk
lid
disc
Prior art date
Application number
KR1020107020144A
Other languages
English (en)
Other versions
KR101129486B1 (ko
Inventor
쓰요시 나가시마
Original Assignee
미라이얼 가부시키가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 미라이얼 가부시키가이샤 filed Critical 미라이얼 가부시키가이샤
Publication of KR20120006428A publication Critical patent/KR20120006428A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101129486B1 publication Critical patent/KR101129486B1/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735—Closed carriers
    • H01L21/67369—Closed carriers characterised by shock absorbing elements, e.g. retainers or cushions
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735—Closed carriers
    • H01L21/67383—Closed carriers characterised by substrate supports

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Packaging Frangible Articles (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Packaging For Recording Disks (AREA)

Abstract

뚜껑(20)이 용기본체(1)의 기판출납개구(2)에 부착되어 원반 모양 기판(W)이 내측 지지부(3)에 의하여 위치결정되어 지지되는 위치까지 압입된 상태일 때에는, 원반 모양 기판(W)의 면에 대하여 수직방향에서 보아서 기판가치편(4)이 원반 모양 기판(W)과 겹치지 않게 되도록 기판가치편(4)의 위치가 설정되어 있다. 이에 따라 용기본체(1) 내에 수납되어 있는 원반 모양 기판(W)이 진동이나 충격 등에 의하여 휘어지더라도 기판가치편(4)에 접촉될 우려가 없어, 대경화 된 원반 모양 기판(W)이더라도 안전하게 수납할 수 있다.

Description

기판수납용기{SUBSTRATE STORAGE CONTAINER}
본 발명은, 복수의 반도체 웨이퍼(半導體 wafer) 또는 원형의 석영 글래스 기판(石英 glass 基板) 등과 같은 얇은 원반(圓盤) 모양의 기판을 보관, 수송 등을 할 때에 수납하기 위한 기판수납용기(基板收納容器)에 관한 것이다.
기판수납용기에는 일반적으로, 복수의 반도체 웨이퍼 등과 같은 원반 모양의 기판을 병렬로 나란하게 한 상태에서 수납하기 위한 용기본체(容器本體)가 설치되어 있다. 이 용기본체에는, 원반 모양 기판을 출납하기 위한 기판출납개구(基板出納開口)가 형성되어 있다. 그리고 기판출납개구를 막기 위한 뚜껑이 기판출납개구에 착탈(着脫) 가능하게 외측으로부터 부착되도록 설치되어 있다.
용기본체 내에서 원반 모양 기판을 흔들리지 않는 상태로 지지하기 위하여 용기본체 내에 있어서 기판출납개구로부터 보아서 내측의 영역에 내측 지지부(內側 支持部)가 배치되어 있고, 뚜껑의 내벽부에 뚜껑측 리테이너가 형성되어 있다.
다만 뚜껑측 리테이너는, 뚜껑이 용기본체의 기판출납개구에 부착된 상태가 되지 않으면 원반 모양 기판을 지지하는 상태가 되지 않는다. 여기에서 뚜껑이 부착되어 있지 않은 상태일 때에 기판출납개구의 근방 영역에 원반 모양 기판을 재치(載置)하기 위한 기판가치편(基板假置片)이 형성되어 있다. 원반 모양 기판은 뚜껑측 리테이너에 지지된 상태가 되면, 기판가치편으로부터는 뜬 상태가 된다(예를 들면 특허문헌1).
일본국 공표특허공보 특표2003-522078 도10 등
최근에는 생산성의 향상이나 비용절감 등을 목적으로 하여 반도체 웨이퍼 등의 대경화(大徑化)가 진행되고 있다. 반도체 웨이퍼의 경우에, 그 직경은 현재는 300mm가 주류이지만, 가까운 장래에는 450mm가 될 것이라고 예상되고 있다.
기판수납용기에 진동이나 충격 등이 가해지면, 그 내부에 수납되어 있는 원반 모양 기판에 휘어짐이 발생한다. 이와 같이 원반 모양 기판이 휘어지는 양은, 원반 모양 기판이 대경화 됨에 따라 현저하게 커지게 된다. 원반 모양 기판의 두께가 직경에 대응하여 두껍게 하는 것으로는 되지 않기 때문이다.
이 때문에 기판수납용기에 진동이나 충격이 가해져서 휘어지면, 기판수납용기 내에서 기판가치편으로부터 뜬 상태로 지지되고 있는 원반 모양 기판이 기판가치편에 접촉(또는 충돌)되어 기판수납용기 내에서 손상, 오손될 가능성이 있다.
본 발명의 목적은, 수납되어 있는 원반 모양 기판이 진동이나 충격 등에 의하여 휘어지더라도 기판가치편에 접촉될 우려가 없어, 대경화 된 원반 모양 기판이더라도 안전하게 수납할 수 있는 기판수납용기를 제공하는 것에 있다.
상기의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 기판수납용기는, 복수의 원반(圓盤) 모양 기판을 병렬로 나란하게 한 상태에서 수납하기 위한 용기본체(容器本體)와, 용기본체에 원반 모양 기판을 출납하기 위하여 용기본체에 형성된 기판출납개구(基板出納開口)와, 기판출납개구를 막기 위하여 기판출납개구에 착탈(着脫)하도록 외측으로부터 부착되는 뚜껑과, 용기본체 내의 기판출납개구로부터 보아서 내측의 영역에 있어서 각 원반 모양 기판의 가장자리부를 위치결정하여 지지하는 내측 지지부(內側 支持部)와, 뚜껑의 내벽부(內壁部)에 형성되어 각 원반 모양 기판을 상기 내측 지지부측으로 압입(壓入)함으로써 위치결정하여 지지하는 뚜껑측 리테이너(cap側 retainer)와, 뚜껑이 기판출납개구에 부착되어 있지 않은 상태일 때에 기판출납개구의 근방 영역에 있어서 원반 모양 기판을 재치(載置)하기 위한 기판가치편(基板假置片)을 구비한 기판수납용기(基板收納容器)에 있어서, 원반 모양 기판이 뚜껑측 리테이너에 의하여 압입되어 있지 않은 상태일 때에 용기본체 내의 기판출납개구로부터 보아서 내측의 영역에 있어서 원반 모양 기판의 가장자리부 부근을 재치하기 위한 기판재치부(基板載置部)와, 뚜껑측 리테이너에 의하여 압입되어 있던 원반 모양 기판이 뚜껑측 리테이너에 의하여 압입되지 않은 상태로 되었을 때에, 원반 모양 기판을 내측 지지부에 의하여 위치결정하여 지지되지 않는 위치로 되돌리기 위한 기판 되돌림 수단이 설치되고, 뚜껑이 기판출납개구로부터 분리되어 원반 모양 기판이 내측 지지부에 의하여 위치결정되어 지지되지 않는 상태일 때에는, 원반 모양 기판의 면에 대하여 수직방향에서 보아서 기판가치편이 원반 모양 기판과 겹치고, 뚜껑이 기판출납개구에 부착되어 원반 모양 기판이 내측 지지부에 의하여 위치결정되어 지지되는 위치까지 압입된 상태일 때에는, 원반 모양 기판의 면에 대하여 수직방향에서 보아서 기판가치편이 원반 모양 기판과 겹치지 않게 되도록 기판가치편의 위치가 설정되어 있는 것이다.
또 기판 되돌림 수단이 원반 모양 기판의 외주면에 접촉되는 스프링 모양 부재이더라도 좋고, 기판재치부가, 원반 모양 기판에 접촉되는 상기 스프링 모양 부재의 접촉면(接觸面)에 인접하여 스프링 모양 부재에 일체로 형성되어 있어도 좋다. 그리고 스프링 모양 부재가 내측 지지부의 단부(端部)로부터 연장되는 상태로 설치되어 있어도 좋다.
또한 내측 지지부와 기판재치부가 인접하여 일체로 형성되어 있어도 좋고, 이 경우에 내측 지지부와 기판재치부의 사이에 구멍이 형성되어 있어, 스프링 모양 부재의 선단 부분이 구멍을 통하여 원반 모양 기판의 외주면에 접촉되어도 좋다.
또한 기판 되돌림 수단이, 원반 모양 기판을 중력에 의하여 비스듬하게 하방으로 안내하는 경사면(傾斜面)이더라도 좋다. 이 경우에 내측 지지부와 기판재치부가 경사면을 사이에 두고 연속적으로 일체로 형성되어 있어도 좋고, 경사면이 내측 지지부에 있어서 V홈을 형성하는 2개의 면 중 일방(一方)의 면이어도 좋다.
본 발명에 의하면, 뚜껑이 기판출납개구에 부착되어 원반 모양 기판이 내측 지지부에 의하여 위치결정되어 지지되는 위치까지 압입된 상태일 때에는, 원반 모양 기판의 면에 대하여 수직방향에서 보아서 기판가치편이 원반 모양 기판과 겹치지 않게 되도록, 기판가치편의 위치가 설정되어 있게 함으로써 원반 모양 기판이 대경화 되더라도 용기본체 내에 수납되어 있는 원반 모양 기판이 진동이나 충격 등에 의하여 기판가치편에 접촉될 우려가 없어, 반도체 웨이퍼나 석영 글래스 기판 등과 같은 원반 모양 기판을 더 안전하게 수납할 수 있다.
도1은 본 발명의 제1실시예에 관한 기판수납용기에 있어서 뚜껑이 벗겨진 상태의 외관 사시도이다.
도2는 본 발명의 제1실시예에 관한 기판수납용기에 있어서 뚜껑이 벗겨진 상태의 평면 단면도이다.
도3은 본 발명의 제1실시예에 관한 기판수납용기에 있어서 기판을 지지하는 부재의 단체 사시도(單體 斜視圖)이다.
도4는 본 발명의 제1실시예에 관한 기판수납용기에 있어서 뚜껑이 부착되어 있지 않은 상태의 복합 측면 단면도이다.
도5는 본 발명의 제1실시예에 관한 기판수납용기에 있어서 뚜껑이 부착된 상태의 복합 측면 단면도이다.
도6은 본 발명의 제1실시예에 관한 기판수납용기에 있어서 뚜껑이 부착된 상태의 평면 단면도이다.
도7은 본 발명의 제2실시예에 관한 기판수납용기에 있어서 뚜껑이 부착된 상태의 평면 단면도이다.
도8은 본 발명의 제2실시예에 관한 기판수납용기에 있어서 기판을 지지하는 부재의 단체 사시도이다.
도9는 도7에 있어서의 IX-IX 단면을 나타내는 단면도이다.
도10은 도7에 있어서의 X-X 단면을 나타내는 단면도이다.
도11은 본 발명의 제3실시예에 관한 기판수납용기에 있어서 뚜껑이 벗겨진 상태의 평면 단면도이다.
도12는 도11에 있어서의 XII-XII 단면을 나타내는 단면도이다.
도13은 본 발명의 제3실시예에 관한 기판수납용기에 있어서 뚜껑이 부착된 상태의 평면 단면도이다.
도14는 도13에 있어서의 XIV-XIV 단면을 나타내는 단면도이다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명한다.
도1은 본 발명의 제1실시예에 관한 기판수납용기(基板收納容器)의 사시도이고, 도2는 그 평면 단면도이다. 1은, 얇은 원반(圓盤) 모양으로 형성되어 있는 복수의 원반 모양 기판(W)을 병렬로 나란하게 한 상태에서 수납하기 위한 용기본체(容器本體)이다. 용기본체(1)는, 원반 모양 기판(W)이 출납될 때에는 각 원반 모양 기판(W)이 수평의 방향으로 수납되는 상태로 배치된다.
용기본체(1) 내에는, 다수의 원반 모양 기판(W)이 서로 간격을 두고 면과 면이 마주 향하는 방향으로 다수 저장된다. 다만 도1에는 용기본체(1) 내의 최하단 위치에 원반 모양 기판(W)이 1장만 수납된 상태가 도면에 나타나 있다. 또 이 실시예에 있어서의 원반 모양 기판(W)은 반도체 웨이퍼(半導體 wafer)이지만, 원형의 석영 글래스 기판(石英 glass 基板) 등이더라도 본 발명이 적용된다.
용기본체(1)에 있어서 4개의 측면 중 일측면(一側面)에는, 원반 모양 기판(W)을 출납하기 위한 기판출납개구(基板出納開口)(2)가 형성되어 있다. 그리고 이 기판출납개구(2)를 막기 위한 뚜껑(20)이, 기판출납개구(2)에 착탈(着脫) 가능하게 외측으로부터 부착되도록 설치되어 있다.
또 뚜껑(20)에는 기판출납개구(2)와 뚜껑(20)의 가장자리부 사이를 밀봉(密封)하기 위한 탄력성이 있는 밀봉부재(密封部材)나, 뚜껑(20)을 록(lock)하기 위한 록 기구(lock 機構) 등이 설치되어 있지만, 이들에 대한 설명은 생략한다.
용기본체(1) 내에 있어서 기판출납개구(2)로부터 보아서 내측의 영역에는, 각 원반 모양 기판(W)의 가장자리부를 용기본체(1) 내에 위치결정하여 지지하기 위한 내측 지지부(內側 支持部)(3)가 배치되어 있다. 내측 지지부(3)는, 도2에 나타나 있는 바와 같이 기판출납개구(2)로부터 보아서 중심선(X)(기판출납개구(2)에 대하여 수직방향의 용기본체(1)의 중심선)의 우측과 좌측에 간격을 두고 1쌍이 형성되어 있다. 내측 지지부(3)에 대해서는 또한 후술한다.
3′는, 용기본체(1) 내에 있어서 가장 내측의 중심선(X) 위치 부근에 배치된 리테이너(retainer)이다. 리테이너(3′)는, 원반 모양 기판(W)을 기판출납개구(2)측을 향하여 탄력적으로 가압하여 지지하는 기능을 구비하고 있다. 다만 본 발명에 있어서는, 리테이너(3′)가 배치되어 있어도 없어도 어느 쪽이어도 지장이 없기 때문에, 리테이너(3′)에 대해서는 이후의 설명에 포함시키지 않는다.
한편 뚜껑(20)의 내벽부(內壁部)에는, 각 원반 모양 기판(W)의 가장자리부를 기판출납개구(2)측으로부터 내측 지지부(3)측으로 각각 탄력적으로 가압함으로써 위치결정하여 지지하기 위한 공지(公知)의 뚜껑측 리테이너(cap側 retainer)(21)가 설치되어 있다.
뚜껑측 리테이너(21)는, 뚜껑(20)이 용기본체(1)의 기판출납개구(2)에 부착되었을 때에 각 원반 모양 기판(W)의 외주부에 접촉되는 V홈 모양의 부분이 스프링(spring) 성질이 있어 탄성변형(彈性變形)되기 용이한 지지부재(支持部材)(22)에 의하여 지지된 구성을 구비하고 있고, 중심선(X) 위치의 근방에 형성되어 있다.
용기본체(1) 내에 있어서 기판출납개구(2)의 근방 영역이고 중심선(X)으로부터 떨어진 위치(즉 용기본체(1)에 있어서 좌우 측벽의 근방 위치)에는, 기판출납개구(2)에 뚜껑(20)이 부착되어 있지 않은 상태일 때에 원반 모양 기판(W)의 가장자리부를 재치(載置)하기 위한 기판가치편(基板假置片)(4)이 형성되어 있다.
도3에 나타나 있는 바와 같이 내측 지지부(3)와 기판가치편(4)은, 사이에 연결부(連結部)(5)를 통한 상태에서 1개의 플라스틱 부품으로서 일체(一體)로 성형에 의하여 형성되어 있다. 내측 지지부(3)는, 원반 모양 기판(W)의 중심으로부터 먼 측을 밑바닥으로 하는 V자 모양의 홈으로 되어 있다.
따라서 각 원반 모양 기판(W)은, 기판출납개구(2)측으로부터 뚜껑측 리테이너(21)에 의하여 내측 지지부(3)측으로 압입(壓入)되어 외주의 능선 부분이 내측 지지부(3)의 V자 모양 홈부에 가압된 상태가 됨으로써, 여기에 위치결정되어 지지된 상태가 된다(도5 참조).
또 도3에는 용기본체(1) 내에서 1장의 원반 모양 기판(W)의 좌반부(左半部)(즉 기판출납개구(2)측으로부터 보아서 좌반부)만을 지지하기 위한 부재가 도면에 나타나 있지만, 용기본체(1) 내에는 동일한 부재가 수직방향으로 겹쳐서 쌓인 상태로 또한 좌우 대칭으로 여러 쌍이 배치되어 있다.
기판가치편(4)은 용기본체(1)의 측벽측으로부터 내측으로 돌출되는 선반 모양의 부재이며, 기판출납개구(2)에 뚜껑(20)이 부착되어 있지 않은 상태(즉 원반 모양 기판(W)이 뚜껑측 리테이너(21)에 의하여 내측으로 압입되어 있지 않은 상태)일 때에는, 원반 모양 기판(W)의 가장자리부가 기판가치편(4)의 돌출된 끝 부근에 재치(載置)된 상태가 된다.
6은, 원반 모양 기판(W)이 뚜껑측 리테이너(21)에 의하여 압입되어 있지 않은 상태일 때에 용기본체(1) 내의 기판출납개구(2)로부터 보아서 내측의 영역에 있어서 원반 모양 기판(W)의 가장자리부 부근을 재치하기 위한 기판재치부(基板載置部)이다. 기판재치부(6)는 단면 형상이 작은 Ｌ자 모양으로 형성되어 있어, 그 수평면 부분에 원반 모양 기판(W)이 재치된다.
이러한 기판재치부(6)는, 내측 지지부(3)의 단부(端部)로부터 원반 모양 기판(W)의 둘레 방향으로 더 연장되는 스프링 모양 부재(7)의 선단 부분에 형성되어 있다. 스프링 모양 부재(7)는, 내측 지지부(3), 기판가치편(4) 및 연결부(5)와 일체(一體)로 성형에 의하여 형성되어 있어 스프링 성질을 구비하고 있다. 그리고 스프링 모양 부재(7)의 선단의 기판재치부(6)로부터 수직으로 상승한 수직면이, 원반 모양 기판(W)의 외주면에 접촉되는 접촉면(接觸面)(8)으로 되어 있다.
그 결과 뚜껑(20)이 기판출납개구(2)에 부착되어 있지 않은 상태에 있어서 기판가치편(4)과 기판재치부(6)에 재치된 원반 모양 기판(W)이, 뚜껑(20)이 부착됨으로써 기판출납개구(2)측으로부터 뚜껑측 리테이너(21)에 의하여 압입되면, 원반 모양 기판(W)의 가장자리부가 기판재치부(6)에 재치된 상태에서 스프링 모양 부재(7)를 탄성변형시키면서 내측으로 이동되어, 내측 지지부(3)의 V 홈부에 삽입됨으로써 위치결정되어 지지된 상태가 된다.
또한 뚜껑측 리테이너(21)에 의하여 기판출납개구(2)측으로부터 압입되어 있던 원반 모양 기판(W)이, 뚜껑(20)이 분리됨으로써 뚜껑측 리테이너(21)에 의하여 압입되지 않는 상태가 되면, 탄성변형 전의 형상으로 되돌아가는 스프링 모양 부재(7)에 의하여 원반 모양 기판(W)이 기판출납개구(2)측을 향하여 되돌려져서, 원반 모양 기판(W)이 내측 지지부(3)에 의하여 위치결정되어 지지되지 않는 위치로 되돌려진다.
도4는, 용기본체(1)의 기판출납개구(2)에 뚜껑(20)이 부착되어 있지 않은 상태의 측면 단면을 대략적으로 나타내는 도면이다. 도4에는, 설명에 적당한 복수 부분의 단면 형상을 조합시켜서 하나의 도면으로서 나타내고 있다.
이와 같이 뚜껑(20)이 기판출납개구(2)로부터 분리되어 원반 모양 기판(W)의 가장자리부가 기판재치부(6)에 재치된 상태일 때에는, 도2에 나타나 있는 바와 같이 원반 모양 기판(W)의 면에 대하여 수직방향에서 보아서 기판가치편(4)과 원반 모양 기판(W)이 겹친다.
그 결과 도4에 나타나 있는 바와 같이 각 원반 모양 기판(W)의 가장자리부가, 기판출납개구(2)측에 있어서는 기판가치편(4)에 재치되고, 내측에 있어서는 내측 지지부(3)의 V홈에 삽입되지 않고 기판재치부(6)에 재치된 상태로 되어 있다.
뚜껑(20)이 기판출납개구(2)에 부착되면, 도5에 대략적으로 나타나 있는 바와 같이 원반 모양 기판(W)이 뚜껑측 리테이너(21)와 내측 지지부(3)의 각 V홈에 삽입됨으로써 위치결정되어 지지되는 상태가 되는 위치까지 압입되고, 도6에 나타나 있는 바와 같이 원반 모양 기판(W)의 면에 대하여 수직방향에서 보아서 기판가치편(4)과 원반 모양 기판(W)이 겹치지 않게 된다. 용기본체(1) 내에 있어서의 기판가치편(4)의 위치가 이와 같이 설정되어 있다.
따라서 기판출납개구(2)에 뚜껑(20)이 부착된 상태에서는, 용기본체(1) 내에 수납되어 있는 원반 모양 기판(W)이 진동이나 충격 등에 의하여 휘어지더라도 기판가치편(4)에 접촉될 우려가 없어, 대경화(大徑化) 된 원반 모양 기판이더라도 안전하게 수납할 수 있다.
그리고 뚜껑(20)이 기판출납개구(2)로부터 분리되면, 원반 모양 기판(W)이 스프링 모양 부재(7)에 의하여 기판출납개구(2)측으로 조금 되돌려져서 기판가치편(4)과 겹치는 상태가 되어, 도2에 나타나 있는 바와 같이 기판가치편(4)과 기판재치부(6)에 재치된 상태가 된다.
도7은, 본 발명의 제2실시예에 관한 기판수납용기에 있어서 뚜껑(20)이 부착된 상태의 평면 단면도이다. 이 실시예에 있어서는, 내측 지지부(3)와 기판재치부(6)가 인접하고 기판가치편(4)과 함께 일체로 성형에 의하여 형성되어 있다. 도8은 이 부재를 나타내는 사시도이다.
또한 이 실시예에 있어서는, 스프링 모양 부재(7)가 독립된 부품으로서 형성되고 그 기부(基部)가 연결부(5)의 이면 부분에 고정되어 있다. 그리고 내측 지지부(3)와 기판재치부(6)의 사이에 구멍(9)이 형성되어 있어, 스프링 모양 부재(7)의 선단 부분이 구멍(9)을 통하여 원반 모양 기판(W)의 외주면에 접촉하도록 되어 있다. 리어 리테이너(rear retainer)는 설치되어 있지 않다(설치되어 있어도 좋다).
도9과 도10은 도7에 있어서의 IX-IX 단면과 X-X 단면을 나타내고 있고, 제1실시예와 마찬가지로 기판재치부(6)는 원반 모양 기판(W)을 재치하기 위하여 원반 모양 기판(W)의 하면과 일치하는 평면을 구비하고 있고, 내측 지지부(3)는 원반 모양 기판(W)을 위치결정하여 고정시키기 위한 V홈을 구비하고 있다.
이 이외의 구성은 제1실시예와 동일하고, 도7에 나타나 있는 바와 같이 용기본체(1)의 기판출납개구(2)에 뚜껑(20)이 부착된 상태에서는 원반 모양 기판(W)이 내측으로 압입되어, 원반 모양 기판(W)의 면에 대하여 수직방향에서 보아서 기판가치편(4)과 원반 모양 기판(W)이 겹치지 않는 상태로 되어 있다.
그리고 뚜껑(20)이 기판출납개구(2)로부터 분리되면, 원반 모양 기판(W)이 스프링 모양 부재(7)에 의하여 기판출납개구(2)측으로 조금 되돌려져서 기판가치편(4)과 겹치는 상태가 되고, 도2에 나타나 있는 제1실시예의 경우와 마찬가지로 기판가치편(4)과 기판재치부(6)에 재치된 상태가 된다.
도11과 도13은, 본 발명의 제3실시예에 관한 기판수납용기에 있어서 뚜껑(20)이 부착되어 있지 않은 상태와 부착된 상태의 평면 단면도이다. 이 실시예에 있어서는, V홈 모양의 내측 지지부(3)와 수평면 모양의 기판재치부(6)가 연속적으로 일체로 형성되어 있다.
기판 되돌림 수단으로서 스프링 류는 설치되어 있지 않고, XII-XII 단면과 XIV-XIV 단면을 나타낸 도12와 도14에 나타나 있는 바와 같이 내측 지지부(3)에 있어서 V홈을 형성하는 2개의 경사면 중 하측의 경사면(10)이, 원반 모양 기판(W)을 중력에 의하여 비스듬하게 하방의 기판재치부(6)로 안내하는 기판 되돌림 수단으로 되어 있다. 따라서 내측 지지부(3)와 기판재치부(6)가, 기판 되돌림 수단인 경사면(10)을 사이에 두고 연속적으로 일체로 형성되어 있다고 말할 수도 있다.
이와 같이 구성된 실시예에 있어서도 용기본체(1)의 기판출납개구(2)에 뚜껑(20)이 부착되어 있지 않을 때에는, 도11과 도12에 나타나 있는 바와 같이 각 원반 모양 기판(W)의 가장자리부가, 기판출납개구(2)측에 있어서는 기판가치편(4)에 재치되고, 내측에 있어서는 내측 지지부(3)의 V홈에 삽입되지 않고 기판재치부(6)에 재치된 상태로 되어 있다.
그리고 뚜껑(20)이 기판출납개구(2)에 부착되면, 도13, 도14에 나타나 있는 바와 같이 원반 모양 기판(W)이 내측 지지부(3)의 V홈에 삽입됨으로써 위치결정되어 지지되는 위치까지 뚜껑측 리테이너(21)에 의하여 압입되어, 원반 모양 기판(W)의 면에 대하여 수직방향으로부터 보아서 기판가치편(4)과 원반 모양 기판(W)이 겹치지 않게 된다.
그 결과 용기본체(1) 내에 수납되어 있는 원반 모양 기판(W)이 진동이나 충격 등에 의하여 휘어지더라도 기판가치편(4)에 접촉될 우려가 없어, 대경화 된 원반 모양 기판이더라도 안전하게 수납할 수 있다.
그리고 뚜껑(20)이 기판출납개구(2)로부터 분리되면, 원반 모양 기판(W)이 중력에 의하여 경사면(10)을 미끌어져 내려와서 도12에 나타나 있는 바와 같이 기판재치부(6) 상에 재치된 상태로 되돌아가서, 원반 모양 기판(W)이 기판가치편(4)과 겹치는 상태가 되어 기판가치편(4)과 기판재치부(6)에 재치된 상태가 된다.
1 : 용기본체
2 : 기판출납개구
3 : 내측 지지부
4 : 기판가치편
6 : 기판재치부
7 : 스프링 모양 부재(기판 되돌림 수단)
8 : 접촉면
9 : 구멍
10 : 경사면(기판 되돌림 수단)
20 : 뚜껑
21 : 뚜껑측 리테이너
W : 원반 모양 기판

Claims (9)

  1. 복수의 원반(圓盤) 모양 기판을 병렬로 나란하게 한 상태에서 수납하기 위한 용기본체(容器本體)와, 상기 용기본체에 상기 원반 모양 기판을 출납하기 위하여 상기 용기본체에 형성된 기판출납개구(基板出納開口)와, 상기 기판출납개구를 막기 위하여 상기 기판출납개구에 착탈(着脫)하도록 외측으로부터 부착되는 뚜껑과, 상기 용기본체 내의 상기 기판출납개구로부터 보아서 내측의 영역에 있어서 상기 각 원반 모양 기판의 가장자리부를 위치결정하여 지지하는 내측 지지부(內側 支持部)와, 상기 뚜껑의 내벽부(內壁部)에 형성되어 상기 각 원반 모양 기판을 상기 내측 지지부측으로 압입(壓入)함으로써 위치결정하여 지지하는 뚜껑측 리테이너(cap側 retainer)와, 상기 뚜껑이 상기 기판출납개구에 부착되어 있지 않은 상태일 때에 상기 기판출납개구의 근방 영역에 있어서 상기 원반 모양 기판을 재치(載置)하기 위한 기판가치편(基板假置片)을 구비한 기판수납용기(基板收納容器)에 있어서,
    상기 원반 모양 기판이 상기 뚜껑측 리테이너에 의하여 압입되어 있지 않은 상태일 때에 상기 용기본체 내의 상기 기판출납개구로부터 보아서 내측의 영역에 있어서 상기 원반 모양 기판의 가장자리부 부근을 재치하기 위한 기판재치부(基板載置部)와,
    상기 뚜껑측 리테이너에 의하여 압입되어 있던 상기 원반 모양 기판이 상기 뚜껑측 리테이너에 의하여 압입되지 않은 상태로 되었을 때에, 상기 원반 모양 기판을 상기 내측 지지부에 의하여 위치결정하여 지지되지 않는 위치로 되돌리기 위한 기판 되돌림 수단이 설치되고,
    상기 뚜껑이 상기 기판출납개구로부터 분리되어 상기 원반 모양 기판이 상기 내측 지지부에 의하여 위치결정되어 지지되지 않는 상태일 때에는, 상기 원반 모양 기판의 면에 대하여 수직방향에서 보아서 상기 기판가치편이 상기 원반 모양 기판과 겹치고, 상기 뚜껑이 상기 기판출납개구에 부착되어 상기 원반 모양 기판이 상기 내측 지지부에 의하여 위치결정되어 지지되는 위치까지 압입된 상태일 때에는, 상기 원반 모양 기판의 면에 대하여 수직방향에서 보아서 상기 기판가치편이 상기 원반 모양 기판과 겹치지 않게 되도록 상기 기판가치편의 위치가 설정되어 있는 것을 특징으로 하는 기판수납용기.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 기판 되돌림 수단이 상기 원반 모양 기판의 외주면에 접촉되는 스프링 모양 부재인 것을 특징으로 하는 기판수납용기.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 기판재치부가, 상기 원반 모양 기판에 접촉되는 상기 스프링 모양 부재의 접촉면(接觸面)에 인접하여 상기 스프링 모양 부재에 일체로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판수납용기.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 스프링 모양 부재가 상기 내측 지지부의 단부(端部)로부터 연장되는 상태로 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 기판수납용기.
  5. 제2항에 있어서,
    상기 내측 지지부와 상기 기판재치부가 인접하여 일체로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판수납용기.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 내측 지지부와 상기 기판재치부의 사이에 구멍이 형성되어 있어, 상기 스프링 모양 부재의 선단 부분이 상기 구멍을 통하여 상기 원반 모양 기판의 외주면에 접촉되는 것을 특징으로 하는 기판수납용기.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 기판 되돌림 수단이 상기 원반 모양 기판을 중력에 의하여 비스듬하게 하방으로 안내하는 경사면(傾斜面)인 것을 특징으로 하는 기판수납용기.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 내측 지지부와 상기 기판재치부가 상기 경사면을 사이에 두고 연속적으로 일체로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판수납용기.
  9. 제7항에 있어서,
    상기 경사면이 상기 내측 지지부에 있어서 V홈을 형성하는 2개의 면 중 일방(一方)의 면인 것을 특징으로 하는 기판수납용기.
KR1020107020144A 2010-05-24 2010-05-24 기판수납용기 KR101129486B1 (ko)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/JP2010/058705 WO2011148450A1 (ja) 2010-05-24 2010-05-24 基板収納容器

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20120006428A true KR20120006428A (ko) 2012-01-18
KR101129486B1 KR101129486B1 (ko) 2012-03-29

Family

ID=45003459

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020107020144A KR101129486B1 (ko) 2010-05-24 2010-05-24 기판수납용기

Country Status (7)

Country Link
US (1) US8910792B2 (ko)
JP (1) JP5301731B2 (ko)
KR (1) KR101129486B1 (ko)
CN (1) CN102858653B (ko)
DE (1) DE112010005403B4 (ko)
TW (1) TWI447055B (ko)
WO (1) WO2011148450A1 (ko)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20140001111A (ko) * 2012-06-26 2014-01-06 가부시기가이샤 디스코 수용 카세트
KR20160021136A (ko) * 2013-06-19 2016-02-24 미라이얼 가부시키가이샤 기판수납용기

Families Citing this family (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI469901B (zh) 2008-01-13 2015-01-21 Entegris Inc 晶圓容置箱及其製造方法
DE112010005511B4 (de) * 2010-04-20 2016-06-02 Miraial Co., Ltd. Substrataufbewahrungsbehälter mit beweglichen Stützstrukturen
WO2013069088A1 (ja) * 2011-11-08 2013-05-16 ミライアル株式会社 ウェーハ収納容器
KR102112659B1 (ko) * 2012-05-04 2020-05-19 엔테그리스, 아이엔씨. 도어 장착된 선적 쿠션을 갖는 웨이퍼 컨테이너
CN104662650B (zh) * 2012-05-04 2017-12-22 恩特格里斯公司 可更换晶片支撑托架
JPWO2013183138A1 (ja) * 2012-06-07 2016-01-21 ミライアル株式会社 衝撃吸収機能を備えた基板収納容器
JP6177248B2 (ja) * 2012-10-12 2017-08-09 ミライアル株式会社 基板収納容器
KR102062672B1 (ko) * 2012-11-20 2020-01-06 미라이얼 가부시키가이샤 기판 수납 용기
TW201422501A (zh) * 2012-12-04 2014-06-16 Tian-Sing Huang 晶圓承載裝置及其應用
KR20140092548A (ko) * 2013-01-16 2014-07-24 삼성전자주식회사 웨이퍼 보관 장치
TW201434116A (zh) * 2013-02-25 2014-09-01 Gudeng Prec Ind Co Ltd 具有限制結構之基板收納容器
JP6326330B2 (ja) * 2014-09-05 2018-05-16 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス 基板収納容器、ロードポート装置および基板処理装置
JP6375186B2 (ja) * 2014-09-05 2018-08-15 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス 基板収納容器、ロードポート装置および基板処理装置
JP6424055B2 (ja) * 2014-09-29 2018-11-14 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス ロードポート装置と、基板処理装置と、基板収納容器のローディング方法
EP3234991B1 (en) * 2014-12-18 2021-07-07 Entegris, Inc. Wafer container with shock condition protection
JP6579933B2 (ja) * 2015-12-09 2019-09-25 信越ポリマー株式会社 基板収納容器
JP6915037B2 (ja) * 2017-02-27 2021-08-04 ミライアル株式会社 基板収納容器
KR102325657B1 (ko) * 2017-08-09 2021-11-12 미라이얼 가부시키가이샤 기판 수납 용기
JP6992240B2 (ja) * 2017-11-16 2022-01-13 信越ポリマー株式会社 基板収納容器
CN107845592B (zh) * 2017-11-17 2023-10-03 东君新能源有限公司 用于存储太阳能电池芯片的干燥箱
TWI666159B (zh) * 2019-01-02 2019-07-21 家登精密工業股份有限公司 基板載具及其抬升結構
US11587810B2 (en) * 2019-07-19 2023-02-21 Entegris, Inc. Wafer cushion
US11756816B2 (en) * 2019-07-26 2023-09-12 Applied Materials, Inc. Carrier FOUP and a method of placing a carrier
KR102153117B1 (ko) 2019-11-28 2020-09-07 한전원자력연료 주식회사 Isol 우라늄 표적 운반 장치

Family Cites Families (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07302833A (ja) * 1994-05-09 1995-11-14 Hitachi Cable Ltd ウェハ用キャリア
US6267245B1 (en) * 1998-07-10 2001-07-31 Fluoroware, Inc. Cushioned wafer container
FR2785270B1 (fr) * 1998-10-30 2001-01-19 St Microelectronics Sa Cassette de transport de plaquettes de semiconducteur
JP2003146388A (ja) * 2001-11-14 2003-05-21 Kyokuhei Glass Kako Kk ガラス基板搬送用ボックス
JP2003146390A (ja) * 2001-11-14 2003-05-21 Kyokuhei Glass Kako Kk ロック錠を備えた搬送ボックス
JP4218260B2 (ja) * 2002-06-06 2009-02-04 東京エレクトロン株式会社 被処理体の収納容器体及びこれを用いた処理システム
US7823730B2 (en) * 2002-09-11 2010-11-02 Shin-Etsu Polymer Co., Ltd. Substrate storage container
US7100772B2 (en) * 2003-11-16 2006-09-05 Entegris, Inc. Wafer container with door actuated wafer restraint
JP4681221B2 (ja) * 2003-12-02 2011-05-11 ミライアル株式会社 薄板支持容器
JP4573566B2 (ja) * 2004-04-20 2010-11-04 信越ポリマー株式会社 収納容器
JP4667769B2 (ja) * 2004-06-11 2011-04-13 信越ポリマー株式会社 基板収納容器
US20050274625A1 (en) * 2004-06-14 2005-12-15 Frederick Joslin Apparatus and method for white layer and recast removal
JP4584023B2 (ja) * 2005-05-17 2010-11-17 信越ポリマー株式会社 基板収納容器及びその製造方法
JP2007123673A (ja) * 2005-10-31 2007-05-17 Asyst Shinko Inc 物品収納用容器の防振機構
US7922000B2 (en) * 2006-02-15 2011-04-12 Miraial Co., Ltd. Thin plate container with a stack of removable loading trays
WO2007146936A2 (en) * 2006-06-13 2007-12-21 Entegris, Inc. Reusable resilient cushion for wafer container
US20070295638A1 (en) * 2006-06-21 2007-12-27 Vantec Co., Ltd. Wafer transportable container
JP4920387B2 (ja) * 2006-12-01 2012-04-18 信越半導体株式会社 基板収納容器
DE112010005511B4 (de) * 2010-04-20 2016-06-02 Miraial Co., Ltd. Substrataufbewahrungsbehälter mit beweglichen Stützstrukturen

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20140001111A (ko) * 2012-06-26 2014-01-06 가부시기가이샤 디스코 수용 카세트
KR20160021136A (ko) * 2013-06-19 2016-02-24 미라이얼 가부시키가이샤 기판수납용기

Also Published As

Publication number Publication date
TW201200435A (en) 2012-01-01
TWI447055B (zh) 2014-08-01
KR101129486B1 (ko) 2012-03-29
JP5301731B2 (ja) 2013-09-25
WO2011148450A1 (ja) 2011-12-01
CN102858653B (zh) 2014-09-10
JPWO2011148450A1 (ja) 2013-07-25
CN102858653A (zh) 2013-01-02
US20130056388A1 (en) 2013-03-07
US8910792B2 (en) 2014-12-16
DE112010005403B4 (de) 2016-06-02
DE112010005403T5 (de) 2013-01-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101129486B1 (ko) 기판수납용기
KR101165611B1 (ko) 기판수납용기
KR101674998B1 (ko) 커넥터
JP4057536B2 (ja) ウェーハ容器のクッション装置
TW201332039A (zh) 存放晶片容器
TWI634062B (zh) Substrate storage container
US11109502B2 (en) Connector assembly with retainer for CPU
TWI573745B (zh) And the resin members of the substrate storage container are connected to each other
JP2009231653A (ja) 基板収納容器
JP2014181457A (ja) マグネットキャッチ
JP2013120896A (ja) 薄板収納容器
CN110770889B (zh) 基板收纳容器
JP5717505B2 (ja) ウエハ収納容器
JP2009283537A (ja) 基板収納容器
WO2014136247A1 (ja) 基板収納容器
JP2021040086A (ja) 基板収納容器
CN107539574B (zh) 显示面板用托盘及托盘集合体
JP2020004494A (ja) 遮蔽板を有する電気コネクタ、及び、該電気コネクタのハウジングの製造方法
CN209757895U (zh) 晶圆运载盒
WO2022215310A1 (ja) 基板収納容器
JP2016058629A (ja) 基板収納容器
US20050031268A1 (en) Optical connector for connecting optical fibers to one another
JP5160298B2 (ja) 基板収納容器
JP2020080360A (ja) 基板収納容器
JP2014135349A (ja) 半導体ウェーハ用フレーム

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150123

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180115

Year of fee payment: 7