JP2013120896A - 薄板収納容器 - Google Patents

Abstract

【課題】容器本体にサポート冶具を容易に取り付け、薄板の支持高さを従来の収納容器と同じになるように支持棚の位置に合わせ、薄板を密封して収納する。
【解決手段】容器本体３の内側壁７に、開口側棚部１１、奥側棚部１２及び中間棚部１３に分割された支持棚１０が設けられ、これらの間に前側貫通溝１４及び後側貫通溝１５が形成され、開口側棚部１１の薄肉部分１１ｂ及び奥側棚部１２の肉厚が薄くなっている。サポート冶具５は、薄肉部分１１ｂに載置される前側載置部４３と、奥側棚部１２に載置される後側載置部４４と、前側貫通溝１４に貫通されて支持棚１０に係止される前側係止部４５と、後側貫通溝１５に貫通されて支持棚１０に係止される後側係止部４６と、内側壁７に当接されて容器本体３に対するサポート冶具５の位置決めを行う前側凸部４７及び後側凸部４８と、が形成されている。
【選択図】図１

Description

本発明は、電子回路が形成されたウェーハを薄く加工した薄板状基板を収納して保管、搬送、輸送に使用される薄板収納容器に関する。

この種の薄板収納容器は、開口部を有する容器本体と、容器本体の開口部をシール可能に閉鎖する蓋体と、を備えており、容器本体の対向する内側壁に、基板を支持する支持棚が上下方向に一定間隔で形成されている。

現在、直径３００ｍｍ、厚さ７７５μｍのシリコンウェーハの表面に電子回路を形成し、その裏面を研磨して肉厚を薄く加工した薄板状基板が用いられることがある。この薄板状基板は、例えば、通常の基板の半分以下となる１０μｍ〜４００μｍまで薄く加工されることがある。

このような薄板状基板は、自重での撓みが大きいため、支持棚から外れ易くなるばかりか、上下に隣り合う薄板状基板同士の接触により薄板状基板が損傷する恐れがある。

こうした問題を解消するため、特許文献１及び特許文献２に示すように、薄板状基板の撓みを抑制する冶具を薄板収納容器の支持棚に載置することで、薄板状基板を支持することが提案されていた。

特開２０００−０９１４００号公報 特表２００４−５２９４９３号公報

しかしながら、特許文献１に記載の容器では、薄板状基板の撓みを防止する冶具を支持棚に載置しているだけであるため、冶具の位置ずれが生じるという問題がある。

この点、特許文献２に記載の容器では、冶具に形成されたタブを支持棚に対して挟み込むように嵌合させ、冶具の上面に形成された突起にて薄板状基板を支持している。これにより、挿入体の位置ずれの問題を解消することができる。

しかしながら、特許文献２に記載の容器では、冶具のタブを支持棚に対して挟み込むように嵌合させる必要がある。このため、容器に対する冶具の取り付けが煩雑になる。また冶具のタブが支持棚の上下面から突出するため、薄膜状基板が冶具のリブに擦られて汚染される。また、この冶具は、薄膜状基板との摩擦により上面が傷ついてしまうため、一旦容器に取り付けて使用した後は、容器から取り外して再利用することができない。更に、薄板状基板は冶具の上面に形成された突起にて支持されるため、容器の支持棚の位置に対して、薄板状基板を支持する高さ位置が変わってしまう。しかも、特許文献１及び特許文献２に記載の容器は、冶具を容器に挿入しているだけであるため、薄板状基板を密封して保管搬送することができず、薄板状基板を汚染から守ることが難しい。

そこで、本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、薄板を収納する容器本体に薄板が自重で撓むのを抑制するサポート冶具を容易に取り付けることができ、支持高さを従来の収納容器と同じになるように支持棚の位置に合わせることができ、薄板を密封して収納することができる薄板収納容器を提供することを目的とする。

本発明に係る薄板収納容器は、開口部を有して薄板を収納する容器本体と、開口部に嵌め合わされて容器本体を密封する蓋体と、容器本体に取り付けられて薄板を支持する複数のサポート冶具と、を備えた薄板収納容器であって、容器本体の対向する内側壁には、薄板を支持する支持棚が上下方向に一定間隔で形成されており、支持棚には、上下方向に貫通した貫通溝と、下方に窪んで肉厚の薄くなった支持棚側載置部と、が形成されており、サポート冶具には、貫通溝に貫通されて支持棚に係止される係止突部と、支持棚側載置部に載置される冶具側載置部と、が形成されている。

本発明に係る薄板収納容器では、サポート冶具の冶具側載置部を支持棚の支持棚側載置部に載置するとともに、サポート冶具の係止突部を支持棚の貫通溝に貫通させてサポート冶具を支持棚に係止させることで、サポート冶具が容器本体に取り付けられ、蓋体を容器本体の開口部に嵌め合わすことで、容器本体が密封される。このように、サポート冶具の係止突部を支持棚の貫通溝に貫通させることでサポート冶具が支持棚に係止されるため、サポート冶具を容器本体に容易に取り付けることができる。また、支持棚側載置部は肉厚が薄くなっているため、支持棚側載置部に冶具側載置部を載置しても、サポート冶具の上面を支持棚の上面に合わせることができる。これにより、サポート冶具を取り付けない場合とサポート冶具を取り付ける場合とで、薄板を搬送して容器本体に収納する搬送装置の収納高さ調整を変更しなくて済む。また、蓋体により容器本体が密封されるため、薄板を密封して収納することができる。

また、本発明は、サポート冶具が、Ｕ字状の板状に形成されているものとすることができる。このように、サポート冶具をＵ字状に形成することで、サポート冶具の内径を小さくして薄板の中心からサポート冶具による薄板の支持位置までの距離を短くしつつ、薄板を搬送する搬送装置がサポート冶具に干渉することなく容器本体に対して薄板を円滑に出し入れすることができる。

また、本発明は、容器本体及びサポート冶具の少なくとも一方に、容器本体に対するサポート冶具の位置決めを行う位置決め用突起が形成されているものとすることができる。このように、容器本体及びサポート冶具の少なくとも一方に位置決め用突起を形成することで、容器本体に対するサポート冶具の位置決めを確実に行うことができる。

また、本発明は、支持棚が、複数に分割されているものとすることができる。このように、支持棚を複数に分割することで、サポート冶具の係止突部が貫通される貫通溝を容易に形成することができる。

本発明によれば、薄板を収納する容器本体に薄板が自重で撓むのを抑制するサポート冶具を容易に取り付けることができ、薄板の支持高さを従来の収納容器と同じになるように支持棚の位置に合わせることができ、薄板を密封して収納することができる。

実施形態に係る薄板収納容器の斜視図である。 図１のＩＩ−ＩＩ線における容器本体の断面図である。 図１のＩＩ−ＩＩ線における容器本体の断面斜視図である。 容器本体に形成された支持棚の平面図である。 サポート冶具の平面図である。 サポート冶具の斜視図である。 サポート冶具の部分拡大斜視図である。 サポート冶具の部分側面図である。 サポート冶具と支持棚との嵌合構造を示した斜視図である。 図９に示すＸ−Ｘ線における断面図である。 サポート冶具を取り付けた容器本体の斜視図である。 図１１に示すＸＩＩ−ＸＩＩ線における断面図である。 他の実施形態を示す図１０に対応した断面図である。

以下、図面を参照して、本発明に係る薄板収納容器の好適な実施形態について詳細に説明する。本実施形態では、薄板収納容器に収納する薄板として、表面に電子回路が形成された薄板状基板であるものとして説明する。なお、以下の説明において、薄板収納容器の左右方向（幅方向）をＸ方向、薄板収納容器の前後方向をＹ方向、薄板収納容器の上下方向をＺ方向といい、薄板収納容器における上下・前後・左右・内外の方向を、単に上下・前後・左右・内外の方向という。また、全図中、同一又は相当部分には同一符号を付すこととする。

図１は、実施形態に係る薄板収納容器の斜視図である。図１に示すように、実施形態に係る薄板収納容器１は、内部に直径３００ｍｍ、厚さ１０μｍ〜４００μｍの薄板状基板２を収納するものであり、容器本体３と、蓋体４と、サポート冶具５と、を備えている。

図２は、図１のＩＩ−ＩＩ線における容器本体の断面図である。図３は、図１のＩＩ−ＩＩ線における容器本体の断面斜視図である。図４は、容器本体に形成された支持棚の平面図である。図１〜図４に示すように、容器本体３は、正面となる前側に開口部６を有するフロントオープン型の容器である。容器本体３の対向する左右一対の内側壁７は、開口部６側から開口部６とは反対の奥側（容器本体３の後側）へ向けて徐々に近づいており、この一対の内側壁７の間の幅が、開口部６側から奥側へ向けて徐々に狭くなっている。この一対の内側壁７には、それぞれ、薄板状基板２を水平に支持するための支持棚１０が設けられている。なお、容器本体３の下面部には、薄板収納容器１を搭載する加工装置に載置するボトムプレート８が取り付けられており、容器本体３の上面部には、搬送用のロボティックフランジ９が取り付けられている。

図２〜図４に示すように、支持棚１０は、上下方向に一定間隔で配置されており、例えば、上下方向に１２段設けられている。この支持棚１０は、一方の内側壁７から他方の内側壁７へ向けて水平に突出するように形成されており、開口部６側に配置される開口側棚部１１と、開口部６とは反対の奥側に配置される奥側棚部１２と、開口側棚部１１と奥側棚部１２との間に配置される中間棚部１３と、に分割されている。

開口側棚部１１は、矩形の略平板状に形成されており、開口部６側に配置された肉厚の厚い厚肉部分１１ａと、厚肉部分１１ａの奥側に配置された肉厚の薄い薄肉部分１１ｂと、を備えている。厚肉部分１１ａと薄肉部分１１ｂの下面は面一に形成されている。一方、薄肉部分１１ｂの上面は、厚肉部分１１ａの上面よりも下方に窪んでいる。厚肉部分１１ａの上面に対する薄肉部分１１ｂの上面の窪み深さは、特に制限されるものではないが、薄肉部分１１ｂの肉厚が薄肉部分１１ｂを容易に成形できる程度となるように設定することが好ましく、例えば、厚肉部分１１ａの肉厚の半分程度とすることができる。

中間棚部１３は、矩形の略平板状に形成されており、開口側棚部１１の厚肉部分１１ａと同じ肉厚となっている。そして、中間棚部１３の上面と開口側棚部１１の厚肉部分１１ａの上面とが面一となっており、中間棚部１３の下面と開口側棚部１１の厚肉部分１１ａの下面とが面一となっている。

奥側棚部１２は、矩形の略平板状に形成されており、開口側棚部１１の薄肉部分１１ｂと同じ肉厚となっている。そして、奥側棚部１２の上面と開口側棚部１１の薄肉部分１１ｂの上面とが面一となっており、奥側棚部１２の下面と開口側棚部１１の薄肉部分１１ｂの下面とが面一となっている。このため、奥側棚部１２の上面は、開口側棚部１１の厚肉部分１１ａ及び中間棚部１３の上面よりも下方に窪んでいる。

そして、開口側棚部１１と中間棚部１３とが離間して配置されており、開口側棚部１１と中間棚部１３との間に、上下方向に貫通する前側貫通溝１４が形成されている。また、中間棚部１３と奥側棚部１２とが離間して配置されており、中間棚部１３と奥側棚部１２との間に、上下方向に貫通する後側貫通溝１５が形成されている。

図１に示すように、蓋体４は、容器本体３の開口部６に嵌め合わされて容器本体３を密封するものである。このため、蓋体４は、容器本体３の開口部６との間をシールするシール部材２１と、開口部６に蓋体４が嵌め合わされた状態に保持する施錠機構２２と、を備えている。なお、施錠機構２２は、容器本体３の外部から操作可能となっている。

図５は、サポート冶具の平面図である。図６は、サポート冶具の斜視図である。図７は、サポート冶具の部分拡大斜視図である。図８は、サポート冶具の部分側面図である。図１及び図５〜図８に示すように、サポート冶具５は、容器本体３に取り付けられて、薄板状基板が自重で撓むのを抑制する部材である。

サポート冶具５は、支持棚１０における開口側棚部１１の厚肉部分１１ａ及び中間棚部１３と同じ肉厚の板状に形成されている。また、サポート冶具５は、Ｕ字状に形成されており、半円弧状に形成された円弧状支持面部３１と、円弧状支持面部３１の両端から略直線状に延びて互いに略平行に配置される一対の直線状支持面部３２と、を備えている。

ところで、容器本体３に挿入されたサポート冶具５は、円弧状支持面部３１が容器本体３の奥側に配置されるように支持棚１０に取り付けられる。このため、サポート冶具５は、容器本体３に取り付けられた際に、容器本体３の上方を向く面が上面となり、容器本体３の下方を向く面が下面となり、容器本体３の開口部６側が前側となり、容器本体３の奥側が後側となり、容器本体３の内側壁７側が外側となり、容器本体３の中心側が内側となる。

円弧状支持面部３１及び直線状支持面部３２の上面は、薄板状基板２が載置される面であり、薄板状基板２との摩擦抵抗を小さくするために平坦面となっている。

円弧状支持面部３１の外径は、載置する薄板状基板２の外径よりも大きい寸法となっている。円弧状支持面部３１の内径は、載置する薄板状基板２の外径よりも小さい寸法となっている。

ところで、薄板状基板２の撓み量は、薄板の取り出し方向と平行な中心線上、特には容器本体３の開口６側において最大になる。このため、薄板状基板２の支持位置を薄板状基板２の中心に近づけることで、薄板状基板２の撓み量を小さくすることができる。一方、薄板状基板２は、その肉厚に応じて撓み量が変形し、肉厚が薄くなるほど撓み量が大きくなる。このため、薄板状基板２の撓み量を所定範囲内に抑えるためには、薄板状基板２の肉厚が薄くなるほど、薄板状基板２の支持位置を、できるだけ中心に近づける必要がある。そこで、円弧状支持面部３１の内径は、サポート冶具５の上下間隔と、薄板状基板２の許容撓み量と、薄板状基板２の肉厚とに応じて、適宜設定することが好ましい。例えば、薄板状基板の厚さが１０μｍであり、円弧状支持面部３１の内径が２１０ｍｍ（中心からの寸法が１０５ｍｍ）である場合は、薄板状基板の許容撓み量が１０ｍｍとなるので、サポート冶具５の上下間隔が２０ｍｍとできる。

円弧状支持面部３１の内周面と直線状支持面部３２の内側面とは滑らかに接続されており、円弧状支持面部３１の内径と一対の直線状支持面部３２の離間距離とは同じ寸法になっている。

そして、直線状支持面部３２の外側には、凹状の前側凹部４１と、前側凹部４１の後側に離間して配置される凹状の後側凹部４２と、前側凹部４１と後側凹部４２との間に配置される前側載置部４３と、後側凹部４２を挟んで後側凹部４２の後側に配置される後側載置部４４と、後側凹部４２の前側に配置される前側係止部４５と、後側凹部４２の後側に配置される後側係止部４６と、前側凹部４１の前側に配置される前側凸部４７と、後側載置部４４に形成される後側凸部４８と、が形成されている。ここで、後側とは、図５における上側であり、前側とは、図５における下側である。

前側凹部４１は、開口側棚部１１の厚肉部分１１ａが挿入される部位である。このため、前側凹部４１は、開口側棚部１１の形状に対応した矩形状に凹んでおり、前側凹部４１のＹ方向における内寸は、開口側棚部１１の厚肉部分１１ａのＹ方向における寸法とほぼ等しくなっている（図８参照）。

後側凹部４２は、中間棚部１３が挿入される部位である。このため、後側凹部４２は、中間棚部１３の形状に対応した矩形状に凹んでおり、後側凹部４２のＹ方向における内寸は、中間棚部１３のＹ方向における寸法とほぼ等しくなっている（図８参照）。

前側載置部４３は、開口側棚部１１の薄肉部分１１ｂに載置される部位である。前側載置部４３の肉厚は、開口側棚部１１における厚肉部分１１ａ及び中間棚部１３の上面に対する薄肉部分１１ｂの上面の窪み深さと、略同じ寸法となっている。そして、前側載置部４３の上面は、直線状支持面部３２の上面と面一になっており、前側載置部４３の下面は、直線状支持面部３２の下面よりも上方に窪んでいる。直線状支持面部３２の下面に対する前側載置部４３の下面の窪み深さは、開口側棚部１１における薄肉部分１１ｂの肉厚と略同じ寸法となっている。このため、前側載置部４３が開口側棚部１１の薄肉部分１１ｂに載置されると、前側載置部４３の上面が、開口側棚部１１の厚肉部分１１ａの上面及び中間棚部１３の上面と面一になる。

後側載置部４４は、奥側棚部１２に載置される部位である。後側載置部４４の肉厚は、開口側棚部１１における厚肉部分１１ａ及び中間棚部１３の上面に対する奥側棚部１２の上面の窪み深さと、略同じ寸法となっている。そして、後側載置部４４の上面は、直線状支持面部３２の上面と面一になっており、後側載置部４４の下面は、直線状支持面部３２の下面よりも上方に窪んでいる。直線状支持面部３２の下面に対する後側載置部４４の下面の窪み深さは、奥側棚部１２の肉厚と略同じ寸法となっている。このため、後側載置部４４が奥側棚部１２に載置されると、後側載置部４４の上面が、開口側棚部１１の厚肉部分１１ａの上面及び中間棚部１３の上面と面一になる。

前側係止部４５は、前側貫通溝１４に貫通されてサポート冶具５を支持棚１０に係止する部位である。前側係止部４５は、前側載置部４３の後端縁から後方に突出して下方に垂下される柱状部４５ａと、柱状部４５ａの下端に接続される爪部４５ｂと、を備えている。

柱状部４５ａは、前側貫通溝１４に貫通される部位である。前側載置部４３の上面に対する柱状部４５ａの垂下長さは、直線状支持面部３２及び中間棚部１３の肉厚と略同じ寸法となっており、開口側棚部１１における薄肉部分１１ｂの上面に対する柱状部４５ａの垂下長さは、開口側棚部１１における薄肉部分１１ｂの肉厚と略同じ寸法となっている。このため、前側載置部４３を開口側棚部１１の薄肉部分１１ｂに載置して柱状部４５ａを前側貫通溝１４に貫通させることで、爪部４５ｂのみを前側貫通溝１４から突出させることが可能となっている。柱状部４５ａの形状は、前側貫通溝１４に貫通することができれば如何なる形状であってもよい。例えば、前側貫通溝１４が矩形の溝である場合は、柱状部４５ａの断面形状も矩形とすることが好ましい。

爪部４５ｂは、中間棚部１３に係止される部位である。爪部４５ｂは、後側係止部４６側へ向けて突出している。爪部４５ｂの下面は、後側係止部４６へ向けて傾斜した傾斜面となっている。

このように構成される前側係止部４５は、後側凹部４２の内側を構成する内側壁面４２ａから分離されており、前側係止部４５と内側壁面４２ａとの間に隙間５１が形成されている。このため、前側係止部４５の柱状部４５ａは、前側載置部４３に対して容易に弾性変形することが可能となっている。

後側係止部４６は、後側貫通溝１５に貫通されてサポート冶具５を支持棚１０に係止する部位である。後側係止部４６は、前側係止部４５と対向配置されており、後側載置部４４の前端縁から前方に突出して下方に垂下される柱状部４６ａと、柱状部４６ａの下端に接続される爪部４６ｂと、を備えている。

柱状部４６ａは、後側貫通溝１５に貫通される部位である。後側載置部４４の上面に対する柱状部４６ａの垂下長さは、直線状支持面部３２及び中間棚部１３の肉厚と略同じ寸法となっており、奥側棚部１２の上面に対する柱状部４６ａの垂下長さは、奥側棚部１２の肉厚と略同じ寸法となっている。このため、後側載置部４４を奥側棚部１２に載置して柱状部４６ａを後側貫通溝１５に貫通させることで、爪部４６ｂのみを後側貫通溝１５から下方に突出させることが可能となっている。柱状部４６ａの形状は、後側貫通溝１５に貫通することができれば如何なる形状であってもよい。例えば、後側貫通溝１５が矩形の溝である場合は、柱状部４６ａの断面形状も矩形とすることが好ましい。そして、柱状部４５ａと柱状部４６ａとの離間距離は、中間棚部１３のＹ方向における寸法と略同一となっている。

爪部４６ｂは、中間棚部１３に係止される部位である。爪部４６ｂは、前側係止部４５側へ向けて突出している。爪部４６ｂの下面は、前側係止部４５へ向けて傾斜した傾斜面となっている。このため、爪部４５ｂと爪部４６ｂとは、互いに対向する方向に突出しており、爪部４５ｂと爪部４６ｂとの離間距離は、中間棚部１３のＹ方向における寸法よりも短くなっている。また、爪部４５ｂの下面と爪部４６ｂの下面とは、互いに対向する方向に傾斜している。

このように構成される後側係止部４６は、後側凹部４２の内側壁面４２ａから分離されており、後側係止部４６と内側壁面４２ａとの間に隙間５２が形成されている。このため、後側係止部４６の柱状部４６ａは、後側載置部４４に対して容易に弾性変形することが可能となっている。

前側凸部４７は、容器本体３に対するサポート冶具５の位置決めを行う部位である。前側凸部４７は、前側凹部４１の前側において直線状支持面部３２の外側端面からサポート冶具５の外方へ向けて突出している。前側凸部４７の突出長さは、前側係止部４５及び後側係止部４６が前側貫通溝１４及び後側貫通溝１５に貫通されてサポート冶具５が支持棚１０に係止された際に、容器本体３の内側壁７に当接される寸法となっている。そして、一対の直線状支持面部３２に形成された前側凸部４７の最大幅が、サポート冶具５の最大幅となっている。

後側凸部４８は、容器本体３に対するサポート冶具５の位置決めを行う部位である。後側凸部４８は、後側載置部４４の外側端面からサポート冶具５の外方へ向けて突出している。後側凸部４８の突出長さは、前側係止部４５及び後側係止部４６が前側貫通溝１４及び後側貫通溝１５に貫通されてサポート冶具５が支持棚１０に係止された際に、容器本体３の内側壁７に当接される寸法となっている。なお、上述したように、容器本体３は開口部６側から奥側に向けて徐々に狭くなっているため、一対の直線状支持面部３２に形成された後側凸部４８の最大幅は、一対の直線状支持面部３２に形成された前側凸部４７の最大幅よりも狭くなっている。

そして、このように構成されるサポート冶具５は、例えば、ポリアセタール、ポリカーボネート、ポリブチレンテレフタレート、ポリブチレンナフタレート、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルイミド、シクロオレフィンポリマーなどの熱可塑性樹脂や、ポリエステル系、ポリスチレン系、ポリオレフィン系などの熱可塑性エラストマーなどから形成することができる。また、これらの樹脂には、導電性を付与するため、カーボンブラック、カーボンナノチューブなどの添加剤を適宜加えることができる。また、剛性を向上させるため、ガラス繊維を添加してもよく、摺動性を向上させるために、マイカやフッ素樹脂などを添加してもよい。

次に、容器本体３に対するサポート冶具５の取り付け方法について説明する。

図９は、サポート冶具と支持棚との嵌合構造を示した斜視図である。図１０は、図９に示すＸ−Ｘ線における断面図である。図１１は、サポート冶具を取り付けた容器本体の斜視図である。図１２は、図１１に示すＸＩＩ−ＸＩＩ線における断面図である。

まず、サポート冶具５の円弧状支持面部３１が容器本体３の奥側に配置されるように、サポート冶具５を容器本体３の内部に挿入し、サポート冶具５の一対の直線状支持面部３２を、容器本体３の左右一対の内側壁７に形成された支持棚１０の上方に配置する。

そして、直線状支持面部３２に形成された前側係止部４５及び後側係止部４６が、それぞれ支持棚１０に形成された前側貫通溝１４及び後側貫通溝１５に挿入されるように、サポート冶具５を押し下げる。

このとき、爪部４５ｂと爪部４６ｂとの離間距離が中間棚部１３のＹ方向における寸法よりも短くなっているが、前側係止部４５の柱状部４５ａ及び後側係止部４６の柱状部４６ａが弾性変形することにより、爪部４５ｂ及び爪部４６ｂの下面の傾斜に沿って爪部４５ｂと爪部４６ｂとの離間距離が広げられ、前側係止部４５の柱状部４５ａ及び後側係止部４６の柱状部４６ａが前側貫通溝１４及び後側貫通溝１５に挿入される。

そして、図９〜図１２に示すように、サポート冶具５の前側載置部４３及び後側載置部４４が、支持棚１０の開口側棚部１１における薄肉部分１１ｂ及び奥側棚部１２に当接するまでサポート冶具５を押し下げる。すると、爪部４５ｂ及び爪部４６ｂが前側貫通溝１４及び後側貫通溝１５から抜け出して中間棚部１３から開放されるため、前側係止部４５及び後側係止部４６が元の状態に戻り、爪部４５ｂ及び爪部４６ｂが中間棚部１３の下面に係止される。

このとき、柱状部４５ａと柱状部４６ａとで中間棚部１３が挟み込まれることで、容器本体３に対するサポート冶具５のＹ方向における位置決めが行われる。また、前側凸部４７及び後側凸部４８が容器本体３の左右一対の内側壁７に当接されることで、容器本体３に対するサポート冶具５のＸ方向における位置決めが行われる。また、前側載置部４３及び後側載置部４４が開口側棚部１１における薄肉部分１１ｂ及び奥側棚部１２に当接されることで、容器本体３に対するサポート冶具５のＺ方向における位置決めが行われるとともに、支持棚１０の上面とサポート冶具５の上面とが面一となる。

これにより、容器本体３に対するサポート冶具５の取り付けが終了する。

薄板収納容器１に薄板状基板を収納する際は、まず、各サポート冶具５に薄板状基板を載置する。次に、蓋体４を容器本体３の開口部６に嵌め合わせて、シール部材２１により開口部６と蓋体４との間をシールする。次に、施錠機構２２により蓋体４を容器本体３に施錠する。これにより、薄板状基板が薄板収納容器１に密封される。

このように、本実施形態に係る薄板収納容器１によれば、サポート冶具５の前側載置部４３及び後側載置部４４を支持棚１０の前側貫通溝１４及び後側貫通溝１５に貫通させることでサポート冶具５が支持棚１０に係止されるため、サポート冶具５を容器本体３に容易に取り付けることができる。また、開口側棚部１１における薄肉部分１１ｂ及び奥側棚部１２は肉厚が薄くなっているため、開口側棚部１１における薄肉部分１１ｂ及び奥側棚部１２に前側載置部４３及び後側載置部４４を載置しても、サポート冶具５の上面を支持棚１０の上面に合わせることができる。これにより、サポート冶具５を取り付けない場合とサポート冶具５を取り付ける場合とで、薄板状基板を搬送して容器本体３に収納する搬送装置の収納高さ調整を変更しなくて済む。また、蓋体４により容器本体３が密封されるため、薄板状基板を密封して収納することができる。

また、サポート冶具５をＵ字状に形成することで、サポート冶具５の内径を小さくして薄板状基板の中心からサポート冶具５による薄板状基板の支持位置までの距離を短くしつつ、薄板状基板を搬送する搬送装置がサポート冶具５に干渉することなく容器本体３に対して薄板状基板を円滑に出し入れすることができる。

また、サポート冶具５に前側凸部４７及び後側凸部４８を形成することで、容器本体３に対するサポート冶具５のＸ方向における位置決めを確実に行うことができる。

また、支持棚１０を開口側棚部１１、奥側棚部１２及び中間棚部１３に三分割することで、サポート冶具５の前側係止部４５及び後側係止部４６が貫通される前側貫通溝１４及び後側貫通溝１５を、容器本体３の対向する左右一対の内側壁７に２箇所ずつ形成することができる。このため、支持棚１０に対するサポート冶具５の係止及び容器本体３に対するサポート冶具５の位置決めを効率的に行うことができる。

以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。

例えば、上記実施形態において、前側係止部４５及び後側係止部４６の爪部４５ｂ及び爪部４６ｂは、互いに対向する方向に突出するものとして説明したが、図１３に示すように、互いに離間する方向に突出するものとしてもよい。この場合、前側係止部４５に形成される爪部４５ｂ’は、開口側棚部１１における薄肉部分１１ｂに係止させ、後側係止部４６に形成される爪部４６ｂ’は、奥側棚部１２に係止させることで、サポート冶具５を容器本体３に取り付けることができる。また、この場合、前側係止部４５に形成される柱状部４５ａ’と後側係止部４６に形成される柱状部４６ａ’とのＹ方向における最大幅を、開口側棚部１１における薄肉部分１１ｂと奥側棚部１２との間の内寸と略同一とすることで、容器本体３に対するサポート冶具５のＹ方向における位置決めを行うことができる。

また、支持棚１０の上下方向における間隔は、薄板の撓み量に合わせて任意の枚数とすることができる。基板を載置する支持棚が上下方向に２５段形成されている既存の基板収納容器を本発明に適用する場合、撓み量の少ない薄板を収納する際は、既存の基板収納容器と同様に、全ての支持棚にサポート冶具を取り付けて上下方向に２５枚の薄板を収納することができ、撓み量の多い薄板を収納する際は、数段おきにサポート冶具を取り付けて薄板を収納することができる。

また、上記実施形態では、前側凹部４１、後側凹部４２、前側載置部４３、後側載置部４４、前側係止部４５、後側係止部４６、前側凸部４７及び後側凸部４８が、直線状支持面部３２にのみ形成されるものとして説明したが、直線状支持面部３２から円弧状支持面部３１にかけて形成されるものとしてもよい。

また、上記実施形態では、サポート冶具５の円弧状支持面部３１が半円弧状であるものとして説明したが、円弧状支持面部３１の外側形状は、必ずしも円弧状である必要はなく、容器本体３の内壁に干渉しない範囲で、適宜変更することができる。

また、円弧状支持面部３１及び直線状支持面部３２は、軽量化の観点から、適宜肉抜きしてもよい。この場合、薄板状基板２を中心に近い位置で支持できるように、肉抜きは、円弧状支持面部３１及び直線状支持面部３２の内側端縁を除いた部分に形成することが好ましい。

また、上記実施形態では、貫通溝を、分割された支持棚の間に貫通溝を形成するものとして説明したが、この貫通溝はどのように形成してもよく、例えば、、一枚の支持棚に貫通孔を形成することにより、貫通溝を形成してもよい。

１…薄板収納容器、２…薄板状基板、３…容器本体、４…蓋体、５…サポート冶具、６…開口部、７…内側壁、８…ボトムプレート、９…ロボティックフランジ、１０…支持棚、１１…開口側棚部、１１ａ…厚肉部分、１１ｂ…薄肉部分（支持棚側載置部）、１２…奥側棚部（支持棚側載置部）、１３…中間棚部、１４…前側貫通溝（貫通溝）、１５…後側貫通溝（貫通溝）、２１…シール部材、２２…施錠機構、３１…円弧状支持面部、３２…直線状支持面部、４１…前側凹部、４２…後側凹部、４２ａ…内側壁面、４３…前側載置部（冶具側載置部）、４４…後側載置部（冶具側載置部）、４５…前側係止部（係止突部）、４５ａ…柱状部、４５ｂ…爪部、４６…後側係止部（係止突部）、４６ａ…柱状部、４６ｂ…爪部、４７…前側凸部（位置決め用突起）、４８…後側凸部（位置決め用突起）、５１…隙間、５２…隙間。

Claims (5)

1. 開口部を有して薄板を収納する容器本体と、
   前記開口部に嵌め合わされて前記容器本体を密封する蓋体と、
   前記容器本体に取り付けられて前記薄板を支持する複数のサポート冶具と、
   を備えた薄板収納容器であって、
   前記容器本体の対向する内側壁には、前記薄板を支持する支持棚が上下方向に一定間隔で形成されており、
   前記支持棚には、上下方向に貫通した貫通溝と、下方に窪んで肉厚の薄くなった支持棚側載置部と、が形成されており、
   前記サポート冶具には、前記貫通溝に貫通されて前記支持棚に係止される係止突部と、前記支持棚側載置部に載置される冶具側載置部と、が形成されている、
   薄板収納容器。
2. 前記サポート冶具が、Ｕ字状の板状に形成されている、
   請求項１に記載の薄板収納容器。
3. 前記容器本体及び前記サポート冶具の少なくとも一方に、前記容器本体に対する前記サポート冶具の位置決めを行う位置決め用突起が形成されている、
   請求項１又は２に記載の薄板収納容器。
4. 前記支持棚が、複数に分割されている、
   請求項１〜３の何れか一項に記載の薄板収納容器。
5. 前記支持棚が、開口部側に配置される開口側棚部と、前記開口部とは反対の奥側に配置される奥側棚部と、前記開口側棚部と前記奥側棚部との間に配置される中間棚部と、に分割されており、前記開口側棚部と前記中間棚部との間、及び、前記中間棚部と前記奥側棚部との間に、前記貫通溝が形成されている、
   請求項１〜４の何れか一項に記載の薄板収納容器。
   

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