TW202407861A - 基板收納容器及其蓋體 - Google Patents

Abstract

本發明涉及基板收納容器及其蓋體。基板收納容器包含：容器主體，在內部形成能夠收納多個基板的基板收納空間，在一端部具有形成有與基板收納空間連通的容器主體開口部的開口周緣部；和蓋體，可相對於容器主體開口部拆裝，封閉容器主體開口部，具有密封構件安裝部和與開口周緣部對置的周緣部對置部，蓋體還具有密封構件，密封構件具有：保持於密封構件安裝部的基部；從基部延伸並與開口周緣部抵接的周緣部抵接唇部；從基部延伸並與周緣部對置部抵接的對置部抵接唇部，周緣部對置部具有表示對置部抵接唇部的配置目標的非直平面的截面形狀。

Description

基板收納容器及其蓋體

本發明涉及收納半導體晶片等基板的基板收納容器及其蓋體。

作為收納半導體晶片等基板的容器，一直以來已知有包含容器主體和蓋體的構成的容器。

容器主體具有筒狀的壁部，該筒狀的壁部在一端部形成有容器主體開口部且另一端部被封閉。在容器主體內形成有基板收納空間。基板收納空間由壁部包圍而形成，能夠收納多個基板。蓋體能夠相對於容器主體開口部拆裝，能夠封閉容器主體開口部。

在蓋體的一部分且在封閉容器主體開口部時與基板收納空間對置的部分設置有前部保持構件。在通過蓋體封閉容器主體開口部時，前部保持構件能夠支撐多個基板的邊緣部。另外，裡側基板支撐部以與前部保持構件成對的方式設置在壁部。裡側基板支撐部能夠支撐多個基板的緣部。在通過蓋體封閉容器主體開口部時，裡側基板支撐部與前部保持構件協作來支撐多個基板，從而在使相鄰的基板彼此以規定的間隔分離並排列狀態下保持多個基板。

另外，在蓋體設置有密封構件。密封構件安裝於蓋體的密封構件安裝部，以繞蓋體的外周緣部一周的方式配置。在蓋體安裝於開口周緣部時，密封構件被容器主體的密封面與蓋體的內表面夾持而彈性變形，蓋體以將容器主體開口部密閉的狀態封閉容器主體開口部。通過從開口周緣部卸下蓋體，從而基板能夠相對於容器主體內的基板收納空間取出或放入（例如參照專利文獻1）。

專利文獻1：日本專利第4953690號公報

為了確保通過密封構件進行封閉時的氣密性，需要將密封構件適當地安裝於蓋體的密封構件安裝部，並配置於密封構件的配置目標。但是，將密封構件配置於配置目標並不容易。

本發明的目的在於提供一種基板收納容器以及蓋體，能夠將密封構件適當地安裝於蓋體的密封構件安裝部，並將密封構件配置於配置目標。

本發明涉及一種基板收納容器，包含：容器主體，在內部形成有能夠收納多個基板的基板收納空間，在一端部具有形成有與所述基板收納空間連通的容器主體開口部的開口周緣部；以及蓋體，能夠相對於所述容器主體開口部拆裝，能夠封閉所述容器主體開口部，具有密封構件安裝部以及與所述開口周緣部對置的周緣部對置部，所述蓋體還具有密封構件，該密封構件安裝於所述蓋體的所述密封構件安裝部，夾在所述開口周緣部與所述周緣部對置部之間並與所述開口周緣部以及所述周緣部對置部緊密地抵接，從而以氣密狀態封閉所述容器主體開口部，所述密封構件具有：保持於所述密封構件安裝部的基部；從所述基部延伸並與所述開口周緣部抵接的周緣部抵接唇部；以及從所述基部延伸並與所述周緣部對置部抵接的對置部抵接唇部，所述周緣部對置部具有表示所述對置部抵接唇部的配置目標的非直平面的截面形狀。

另外，優選為，所述周緣部對置部的非直平面的所述截面形狀為相對於作為基準的直平面向所述對置部抵接唇部側突出的突出形狀。

另外，優選為，所述周緣部對置部的所述突出形狀為平滑地突出的形狀、多個直平面連結而成的形狀、或者具有能夠限制所述對置部抵接唇部的移動地局部突出的突起的形狀。

另外，優選為，所述周緣部對置部的非直平面的所述截面形狀具有相對於作為基準的直平面向遠離所述對置部抵接唇部的一側凹陷且所述對置部抵接唇部能夠卡合的限制凹部。

另外，優選為，所述周緣部對置部的非直平面的所述截面形狀設置成沿著所述蓋體的周緣部分圍繞一周。

另外，本發明涉及一種蓋體，是基板收納容器的蓋體，包含：容器主體，在內部形成有能夠收納多個基板的基板收納空間，在一端部具有形成有與所述基板收納空間連通的容器主體開口部的開口周緣部；以及蓋體，能夠相對於所述容器主體開口部拆裝，具有密封構件安裝部以及與所述開口周緣部對置的周緣部對置部，能夠封閉所述容器主體開口部，所述蓋體還具有密封構件，該密封構件安裝於所述蓋體的所述密封構件安裝部，夾在所述開口周緣部與所述周緣部對置部之間並與所述開口周緣部以及所述周緣部對置部緊密地抵接，從而與所述蓋體一起以氣密狀態封閉所述容器主體開口部，所述密封構件具有：保持於所述密封構件安裝部的基部；從所述基部延伸並與所述開口周緣部抵接的周緣部抵接唇部；以及從所述基部延伸並與所述周緣部對置部抵接的對置部抵接唇部，所述周緣部對置部具有表示所述對置部抵接唇部的配置目標的非直平面的截面形狀。

根據本發明，能夠提供容易將密封構件適當地安裝於蓋體的密封構件安裝部並將密封構件配置於配置目標的基板收納容器以及蓋體。

[第1實施方式]

以下，參照圖式對本發明的第1實施方式的基板收納容器1進行說明。圖1是表示本發明的第1實施方式所涉及的基板收納容器1的分解立體圖。圖2是表示本發明的第1實施方式所涉及的基板收納容器1收納於基板W的樣子的分解立體圖。圖3是表示在本發明的第1實施方式所涉及的基板收納容器1中安裝有密封構件4以及前部保持構件7的狀態的蓋體3的立體圖。圖4是表示本發明的第1實施方式所涉及的基板收納容器1的蓋體3的密封構件4的立體圖。圖5是表示在本發明的第1實施方式所涉及的基板收納容器1中卸下了密封構件4以及前部保持構件7的狀態的蓋體3的後視圖。圖6A是沿著圖3以及圖5的A-A線的剖視圖。圖6B是圖6A的局部放大圖。圖6C是針對圖6A表示密封構件4偏離配置目標的狀態的圖。

在此，為了便於說明，將後述的從容器主體2朝向蓋體3的方向（圖1中的從右上朝向左下的方向）定義為前方向D11，將其相反方向定義為後方向D12，將這兩個方向定義為前後方向D1。另外，將後述的從下壁24朝向上壁23的方向（圖1中的上方）定義為上方向D21，將其相反方向定義為下方向D22，將這兩個方向定義為上下方向D2。另外，將後述的從第2側壁26朝向第1側壁25的方向（圖1中的從右下朝向左上的方向）定義為左方D31，將其相反方向定義為右方D32，將這兩個方向定義為左右方向D3。

另外，收納在基板收納容器1中的基板W（參照圖2）是圓盤狀的矽晶片、玻璃晶片、藍寶晶片等，是在工業上應用的薄基板。本實施方式中的基板W是直徑200mm至450mm的矽晶片。

如圖1至圖2所示，基板收納容器1用於收納由上述矽晶片構成的基板W，具有容器主體2、蓋體3、作為側方基板支撐部的基板支撐板狀部5、裡側基板支撐部（未圖示）、以及作為蓋體側基板支撐部的前部保持構件7。

如圖1所示，容器主體2具有筒狀的壁部20，該筒狀的壁部20在一端部形成有容器主體開口部21且另一端部被封閉。在容器主體2內形成有基板收納空間27。基板收納空間27由壁部20包圍而形成。在壁部20的一部分且形成基板收納空間27的部分配置有基板支撐板狀部5。如圖2所示，基板收納空間27能夠收納多個基板W。

基板支撐板狀部5在基板收納空間27內以沿著左右方向D3成對的方式設置於壁部20。在未通過蓋體3封閉容器主體開口部21時，基板支撐板狀部5通過與多個基板W的緣部的側部抵接，能夠在使相鄰的基板W彼此以規定的間隔分離並排列的狀態下支撐多個基板W的邊緣部的側部。在基板支撐板狀部5的裡側設置有裡側基板支撐部（未圖示）。

裡側基板支撐部（未圖示）在基板收納空間27內以與前部保持構件7成對的方式設置於壁部20。在通過蓋體3封閉容器主體開口部21時，裡側基板支撐部（未圖示）與多個基板W的緣部的後部抵接，由此能夠支撐多個基板W的邊緣部的後部。

蓋體3能夠相對於形成容器主體開口部21的開口周緣部28拆裝，並能夠封閉容器主體開口部21。前部保持構件7設置於蓋體3的一部分且在通過蓋體3封閉容器主體開口部21時與基板收納空間27對置的部分。前部保持構件7在基板收納空間27的內部以在前後方向D1與裡側基板支撐部（未圖示）成對的方式配置。

在通過蓋體3封閉容器主體開口部21時，前部保持構件7與多個基板W的緣部抵接，由此能夠支撐多個基板W的邊緣部的前部。在通過蓋體3封閉容器主體開口部21時，前部保持構件7與裡側基板支撐部（未圖示）協作來支撐多個基板W，由此在使相鄰的基板W彼此以規定的間隔分離並排列的狀態下保持多個基板W。以下，對各部詳細地進行說明。

如圖1等所示，容器主體2的壁部20具有裡壁22、上壁23、下壁24、第1側壁25以及第2側壁26。裡壁22、上壁23、下壁24、第1側壁25以及第2側壁26由塑料材料等構成，在本實施方式中，通過聚碳酸酯一體成形而構成。

第1側壁25與第2側壁26對置，上壁23與下壁24對置。上壁23的後端、下壁24的後端、第1側壁25的後端以及第2側壁26的後端全都與裡壁22連接。上壁23的前端、下壁24的前端、第1側壁25的前端以及第2側壁26的前端構成開口周緣部28，該開口周緣部28具有與裡壁22對置的位置關係且形成呈大致長方形狀的容器主體開口部21。

開口周緣部28設置在容器主體2的一端部，裡壁22位於容器主體2的另一端部。由壁部20的外表面形成的容器主體2的外形為箱狀。壁部20的內表面、即裡壁22的內表面、上壁23的內表面、下壁24的內表面、第1側壁25的內表面以及第2側壁26的內表面形成由它們包圍而成的基板收納空間27。形成在開口周緣部28的容器主體開口部21與由壁部20包圍且形成在容器主體2的內部的基板收納空間27連通。在基板收納空間27中最多能夠收納25張基板W。

如圖1、圖2所示，在上壁23以及下壁24的一部分且是開口周緣部28的附近的部分形成有朝向基板收納空間27的外方凹陷而成的閂鎖卡合凹部231A、231B、241A、241B。閂鎖卡合凹部231A、231B、241A、241B在上壁23以及下壁24的左右兩端部附近各形成有1個、合計形成有4個。

如圖1、圖2所示，在上壁23的外表面中，與上壁23一體成形地設置有凸緣固定部（未圖示）以及肋235A、235B。凸緣固定部（未圖示）配置在上壁23的中央部。在凸緣固定部（未圖示）固定有頂部凸緣236。頂部凸緣236配置在上壁23的中央部。頂部凸緣236是在AMHS（自動晶片搬運系統）、PGV（晶片基板搬運台車）等中懸吊基板收納容器1時成為在基板收納容器1中被勾掛而懸吊的部分的構件。

肋235A從頂部凸緣236大致向左方、右方分別延伸有多條。另外，肋235B從頂部凸緣236向前方向D11延伸有多條，另外，從頂部凸緣236向後方向D12延伸有多條。

在蓋體3中設置有閂鎖機構。閂鎖機構設置在蓋體3的左右兩端部附近，如圖1至圖3以及圖5所示，包含能夠從蓋體3的上邊朝向上方向D21突出的兩個上側閂鎖部32A、以及能夠從蓋體3的下邊朝向下方向D22突出的兩個下側閂鎖部32B。兩個上側閂鎖部32A配置在蓋體3的上邊的左右兩端附近，兩個下側閂鎖部32B配置在蓋體3的下邊的左右兩端附近。

在蓋體3的外表面設置有操作部33。通過從蓋體3的前側對操作部33進行操作，能夠成為使上側閂鎖部32A、下側閂鎖部32B從蓋體3的上邊、下邊突出或者不使上側閂鎖部32A、下側閂鎖部32B從上邊、下邊突出的狀態。上側閂鎖部32A從蓋體3的上邊向上方向D21突出而與容器主體2的閂鎖卡合凹部231A、231B卡合，並且下側閂鎖部32B從蓋體3的下邊向下方向D22突出而與容器主體2的閂鎖卡合凹部241A、241B卡合，由此蓋體3固定於容器主體2的開口周緣部28。

在蓋體3的蓋體主體30的內側固定地設置有前部保持構件7。在本實施方式中，前部保持構件7構成為在左右方向D3上分離。前部保持構件7具有前部保持構件基板承接部73。前部保持構件基板承接部73以在左右方向D3分開規定的間隔而成對的方式，在左右方向D3上各配置有兩個。這樣成對地各配置兩個的前部保持構件基板承接部73以在上下方向D2上排列有25對的狀態設置。通過將基板W收納在基板收納空間27內並將蓋體3關閉，前部保持構件基板承接部73夾持並支撐基板W的邊緣部的端緣。

如圖3至圖5所示，蓋體3具有與容器主體2的開口周緣部28的形狀大致一致的大致長方形狀。蓋體3能夠相對於容器主體2的開口周緣部28拆裝，通過將蓋體3安裝在開口周緣部28，蓋體3能夠封閉容器主體開口部21。在蓋體3的內表面（圖1所示的蓋體3的裡側的面）、且是與蓋體3封閉容器主體開口部21時在緊隨開口周緣部28的開口緣的後方向D12的位置形成的台階部分的面（密封面281）對置的面，安裝有環狀的密封構件4。

在蓋體3安裝於開口周緣部28時，密封構件4的後述的唇部42被密封面281與構成蓋體3的內表面的周緣部對置部331夾持而彈性變形，蓋體3以將容器主體開口部21密閉的狀態封閉容器主體開口部21。通過從開口周緣部28卸下蓋體3，能夠相對於容器主體2內的基板收納空間27取出或放入基板W。

更詳細地說，蓋體3具有蓋體主體30。蓋體主體30形成呈大致長方形的蓋體3的外部輪廓。因此，蓋體主體30具有大致長方形狀。蓋體主體30具有內表面301（參照圖3等）以及外表面302。內表面301在通過蓋體3封閉容器主體開口部21時與基板收納空間27對置。外表面302在通過蓋體3封閉容器主體開口部21時向基板收納容器1的外部露出。蓋體主體30由塑料材料等構成，在本實施方式中，由聚碳酸酯成形而構成。

如圖6A等所示，在蓋體主體30的周緣的部分、且是與構成容器主體2的開口周緣部28的密封面281對置的部分，具有密封構件安裝部311和周緣部對置部331。在密封構件安裝部311形成有保持槽321。密封構件安裝部311形成為以圍繞蓋體主體30的周緣的部分一周的方式存在，保持槽321也沿著密封構件安裝部311以圍繞蓋體主體30的周緣的部分一周的方式存在。周緣部對置部331由與構成開口周緣部28的密封面281對置的蓋體主體30的周緣的部分、且是比保持槽321靠蓋體3的外方的部分構成。周緣部對置部331由蓋體主體30的周緣的部分、且是在D2-D3平面擴展（與前後方向D1垂直）的板狀的部分構成。

如圖6A所示，保持槽321具有槽底面322以及一對槽側面323。在與保持槽321延伸的方向正交的方向剖切而得的保持槽321的截面形狀為大致矩形。在該截面中，從保持槽321的開口沿著保持槽321的深度方向延伸的面構成一對槽側面323。槽底面322構成保持槽321的底。密封構件4的後述的基部41插入到保持槽321中。由此，密封構件4安裝於蓋體3的密封構件安裝部311，密封構件4的唇部42能夠與開口周緣部28以及周緣部對置部331抵接。

密封構件4由能夠彈性變形的聚酯系、聚烯烴系等各種熱塑性彈性體、氟橡膠制、矽橡膠制等構成。如圖4所示，密封構件4具有長方形狀的環狀，以圍繞蓋體3的外周邊緣部一周的方式配置。

密封構件4具有基部41和唇部42。如圖6A以及圖6C所示，與密封構件4的環狀的周向正交的基部41的截面形狀為在外周具有凹凸的大致矩形。基部41具有前端面411、從前端面411延伸的一對側面412、以及位於側面412延伸的前端的基端410。側面412成為凹部以及凸部交替地排列延伸的凹凸面。在基部41，前端面411和一對側面412插入到保持槽321中。插入到保持槽321中的基部41的一對側面412與一對槽側面323具有對置的位置關係。

在位於側面412從基部41的前端面411延伸的前端的基端410，一體成形地設置有唇部42。唇部42從基部41的基端410朝向相對於側面412從基部41的前端面411延伸的方向傾斜的方向延伸。如圖6A等所示，唇部42從中途分支成兩個，構成周緣部抵接唇部421和對置部抵接唇部422。在蓋體3封閉容器主體開口部21時，周緣部抵接唇部421與容器主體2的開口周緣部28的密封面281抵接，對置部抵接唇部422與周緣部對置部331抵接。

如果以圖6A所示的、蓋體3的上方向D21側的部位為例進行說明，則周緣部抵接唇部421以與開口周緣部28抵接的方式向後方向D12與上方向D21（D2-D3平面的外側方向）之間的傾斜方向延伸。對置部抵接唇部422以與周緣部對置部331抵接的方式向前方向D11與上方向D21（D2-D3平面的外側方向）之間的傾斜方向延伸。另外，周緣部抵接唇部421以及對置部抵接唇部422延伸的方向根據密封構件4在蓋體3中的位置而不同，但是該延伸的方向大致能夠稱為D2-D3平面的外側方向。

通過周緣部抵接唇部421向開口周緣部28的抵接、以及對置部抵接唇部422向周緣部對置部331的抵接，密封構件4的唇部42夾在開口周緣部28與周緣部對置部331之間並與開口周緣部28以及周緣部對置部331緊貼，與蓋體3一起以氣密狀態封閉容器主體開口部21。

接下來，對周緣部對置部331的形狀詳細說明。如圖6B所示，周緣部對置部331具有表示對置部抵接唇部422的配置目標PT的、非直平面的截面形狀。周緣部對置部331中的非直平面的截面形狀設置成沿著蓋體3的周緣部分圍繞一周。例如，在本實施方式中，如果密封構件4的基部41完全插入到蓋體3的密封構件安裝部311的保持槽321中（密封構件4的基部41的前端面411與保持槽321的槽底面322充分抵接），則該狀態的密封構件4配置於配置目標PT（參照圖6A、圖6B）。在該狀態下，能夠確保密封構件4封閉時的氣密性。

另一方面，如圖6C所示，如果密封構件4的基部41向蓋體3的密封構件安裝部311的保持槽321的插入不充分（典型地，密封構件4的基部41的前端面411未與保持槽321的槽底面322抵接），則該狀態的密封構件4未配置於配置目標PT（偏離）。在該狀態下，不能確保密封構件4封閉時的氣密性（不能保證確保氣密性）。

這樣，為了確保密封構件4封閉時的氣密性，將密封構件4配置於配置目標PT是極為重要的。但是，在蓋體3的製造過程中，不容易確認是否將密封構件4配置於密封構件安裝部311的配置目標PT。另外，在基板收納容器1中，為了防止污染，不能在密封構件安裝部311附加例如通過附著物表示配置目標PT的標記。

與此相對，在本實施方式中，周緣部對置部331具有表示對置部抵接唇部422的配置目標PT的非直平面的截面形狀。從另一角度來看，周緣部對置部331在後方向D12側具有表示對置部抵接唇部422的配置目標的非直平面的面。如果是非直平面的截面形狀（面），則即使不附加標記等，也能夠基於形狀表示配置目標PT。

如圖6B所示，周緣部對置部331中的非直平面的截面形狀是相對於作為基準的直平面（基準平面）P向對置部抵接唇部422側（後方向D12側）突出的突出形狀。作為基準的直平面P典型地是在要用直平面形成周緣部對置部331的情況下假想的直平面。

在第1實施方式中，周緣部對置部331中的突出形狀為平滑地突出的形狀。突出的部分的頂部表示配置目標PT。突出的部分可以是沿著蓋體3的周緣部分（上下方向D2、左右方向D3）遍及整周地延伸的凸條，可以是局部地延伸的凸條，也可以是實質上不延伸的凸部。

根據上述構成的第1實施方式所涉及的基板收納容器1，能夠獲得以下的效果。第1實施方式的基板收納容器1包含：容器主體2，在內部形成有能夠收納多個基板W的基板收納空間27，在一端部具有形成有與基板收納空間27連通的容器主體開口部21的開口周緣部28；以及蓋體3，能夠相對於容器主體開口部21拆裝，能夠封閉容器主體開口部21，具有密封構件安裝部311以及與開口周緣部28對置的周緣部對置部331。蓋體3還具有密封構件4，該密封構件4安裝於蓋體3的密封構件安裝部311，夾在開口周緣部28與周緣部對置部331之間並與開口周緣部28以及周緣部對置部331緊密地抵接，由此以氣密狀態封閉容器主體開口部21。密封構件4具有保持於密封構件安裝部311的基部41、從基部41延伸並與開口周緣部28抵接的周緣部抵接唇部421、以及從基部41延伸並與周緣部對置部331抵接的對置部抵接唇部422。周緣部對置部331具有表示對置部抵接唇部422的配置目標PT的非直平面的截面形狀。

因此，根據第1實施方式，參考周緣部對置部331的形狀，能夠容易地將對置部抵接唇部422配置於配置目標PT。基本上不會發生由於表示配置目標PT的手段而引起的污染。

[第2實施方式]

接下來，參照圖式對本發明的第2實施方式進行說明。圖7A是表示本發明的第2實施方式所涉及的基板收納容器1的蓋體3的剖視圖（與圖6A對應的圖）。圖7B是圖7A的局部放大圖。

如圖7A所示，在第2實施方式中，與第1實施方式相比，周緣部對置部331的突出形狀不同。關於第2實施方式中的其他構成，由於與第1實施方式相同，因此對同一構件標記同一圖式標記，並省略說明。

在第2實施方式中，如圖7A以及圖7B所示，周緣部對置部331的突出形狀是多個直平面P1、P2連結而成的形狀。由多個直平面P1、P2形成的稜線表示配置目標PT。根據第2實施方式，能夠獲得與第1實施方式同樣的效果。

[第3實施方式]

接下來，參照圖式對本發明的第3實施方式進行說明。圖8是表示本發明的第3實施方式所涉及的基板收納容器1的蓋體3的剖視圖（與圖6A對應的圖）。

如圖8所示，在第3實施方式中，與第1以及第2實施方式相比，周緣部對置部331的突出形狀不同。關於第3實施方式中的其他構成，由於與第1實施方式相同，因此對同一構件標記同一圖式標記，並省略說明。

在第3實施方式中，如圖8所示，周緣部對置部331的突出形狀為具有能夠限制對置部抵接唇部422的移動地局部突出的突起332的形狀。

根據第3實施方式，能夠獲得與第1實施方式同樣的效果。另外，根據第3實施方式，周緣部對置部331的突出形狀為具有能夠限制對置部抵接唇部422的移動地局部突出的突起332的形狀，因此，對置部抵接唇部422以與突起332抵碰的方式配置於配置目標PT。假設對置部抵接唇部422從配置目標PT向外側偏離，則對置部抵接唇部422不與突起332抵碰，因此能夠容易地判別是否配置於配置目標PT。一旦對置部抵接唇部422配置於配置目標PT，則對置部抵接唇部422容易與突起332抵碰，容易勾掛於突起332。因此，容易維持對置部抵接唇部422配置於配置目標PT的狀態。

[第4實施方式]

接下來，參照圖式對本發明的第4實施方式進行說明。圖9是表示本發明的第4實施方式所涉及的基板收納容器1的蓋體3的剖視圖（與圖6A對應的圖）。

如圖9所示，在第4實施方式中，與第1至第3實施方式相比，周緣部對置部331中的非直平面的截面形狀不同。關於第4實施方式中的其他構成，由於與第1實施方式相同，因此，對同一構件標記同一圖式標記，並省略說明。

在第4實施方式中，如圖9所示，周緣部對置部331中的非直平面的截面形狀具有相對於作為基準的直平面P向遠離對置部抵接唇部422的一側（前方向D11側）凹陷且對置部抵接唇部422能夠卡合的限制凹部333。只要對置部抵接唇部422能夠與限制凹部333卡合，限制凹部333的形狀/大小就沒有特別限制。

根據第4實施方式，能夠獲得與第1實施方式同樣的效果。另外，根據第4實施方式，周緣部對置部331中的非直平面的截面形狀具有相對於作為基準的直平面P向遠離對置部抵接唇部422的一側凹陷的限制凹部333、且是對置部抵接唇部422能夠卡合的限制凹部333。因此，對置部抵接唇部422以與限制凹部333卡合的方式配置於配置目標PT。假設對置部抵接唇部422從配置目標PT向外側偏離，則由於對置部抵接唇部422未與限制凹部333卡合，因此能夠容易地判別是否配置於配置目標PT。一旦對置部抵接唇部422配置於配置目標PT，對置部抵接唇部422與限制凹部333卡合，因此容易維持對置部抵接唇部422配置於配置目標PT的狀態。

本發明並不限定於上述實施方式，能夠在請求項所記載的技術範圍內進行變形。

例如，在實施方式中，密封構件4的基部41以插入到保持槽321中的方式保持於密封構件安裝部311，但保持於密封構件安裝部311的方式並不限定於此。例如，密封構件4的基部41可以以被夾持或者被卡合的方式保持於密封構件安裝部311。

在實施方式中，周緣部對置部331中的非直平面的截面形狀設置成沿著蓋體3的周緣部分圍繞一周，但並不限定於此，可以在周向上局部地設置，也可以在周向上分開設置多個。

另外，容器主體2及蓋體3的形狀、容器主體2中能夠收納的基板W的張數及尺寸並不限定於本實施方式中的容器主體2及蓋體3的形狀、容器主體2中能夠收納的基板W的張數及尺寸。

能夠使用基板保持適配器8將基板W收納於基板收納空間27。圖10A是表示基板保持適配器8的俯視圖。圖10B是表示通過基板保持適配器8保持基板W的狀態的俯視圖。圖10C是圖10B的示意性的中央縱剖視圖。基板保持適配器8是構成裡側基板支撐部（未圖示）、基板支撐板狀部5以及前部保持構件7的一部分的構件。基板保持適配器8還可以認為是將圖1至圖3所示的實施方式中的裡側基板支撐部（未圖示）、基板支撐板狀部5以及前部保持構件7向俯視中央（基板W的中心）側延長的部分。

如圖10A所示，基板保持適配器8包含圓環板狀部81以及黏接片82。圓環板狀部81由在俯視時呈大致O字狀（外周邊緣811以及內周緣812為大致圓狀）的板狀構件構成。圓環板狀部81例如是金屬（例如、SUS）制。黏接片82由具有黏接性的薄膜狀的片構件構成，以堵塞圓環板狀部81的內周緣812的內側的區域的方式安裝於圓環板狀部81的上表面。如圖10B以及圖10C所示，黏接片82能夠通過其黏接力保持基板W。基板W黏貼並保持於黏接片82中的、比圓環板狀部81的內周緣812靠內側的區域。

在圖1至圖3所示的實施方式中應用基板保持適配器8的情況下，通過前部保持構件7的前部保持構件基板承接部73支撐圓環板狀部81的緣部的前部，作為前部保持構件7的一部分的基板保持適配器8支撐基板W的邊緣部的前部。同樣地，作為基板支撐板狀部5的一部分的基板保持適配器8在未通過蓋體3封閉容器主體開口部21時支撐基板W的緣部的側部。同樣地，作為裡側基板支撐部（未圖示）的一部分的基板保持適配器8在通過蓋體3封閉容器主體開口部21時支撐基板W的邊緣部的後部。

在對收納有基板W的基板收納容器1施加振動、衝擊等時，該振動、衝擊等被黏接片82降低。因此，振動、衝擊等難以傳遞到保持於黏接片82的基板W。因此，即使是在切片後經過追加加工而强度降低的基板W，在收納於基板收納容器1時，基板2也難以因振動、衝擊而破損。

包含基板保持適配器8的基板收納容器1能夠在不收納基板W而將基板保持適配器8配置於基板收納空間27的狀態下被搬運或保管而使用。

基板保持適配器8並不限定於俯視時呈圓環狀的形態，也可以為（不閉合的）圓弧狀的形態。

1:基板收納容器 2:容器主體 20:壁部 21:容器主體開口部 22:裡壁 23:上壁 231A:閂鎖卡合凹部 231B:閂鎖卡合凹部 235A:肋 235B:肋 236:頂部凸緣 24:下壁 241A:閂鎖卡合凹部 241B:閂鎖卡合凹部 25:第1側壁 26:第2側壁 27:基板收納空間 28:開口周緣部 281:密封面 3:蓋體 30:蓋體主體 301:內表面 302:外表面 311:密封構件安裝部 321:保持槽 322:槽底面 323:槽側面 32A:上側閂鎖部 32B:下側閂鎖部 33:操作部 331:周緣部對置部 332:突起 333:限制凹部 4:密封構件 41:基部 410:基端 411:前端面 412:側面 42:唇部 421:周緣部抵接唇部 422:對置部抵接唇部 5:基板支撐板狀部 7:前部保持構件 73:前部保持構件基板承接部 8:基板保持適配器 81:圓環板狀部 811:外周邊緣 812:內周緣 82:黏接片 A-A:線 D1:前後方向 D11:前方向 D12:後方向 D2:上下方向 D21:上方向 D22:下方向 D3:左右方向 D31:左方 D32:右方 P,P1,P2:直平面 PT:配置目標 W:基板

圖1是表示本發明的第1實施方式所涉及的基板收納容器1的分解立體圖。

圖2是表示在本發明的第1實施方式所涉及的基板收納容器1中收納有基板W的樣子的分解立體圖。

圖3是表示在本發明的第1實施方式所涉及的基板收納容器1中安裝有密封構件4以及前部保持構件7的狀態的蓋體3的立體圖。

圖4是表示本發明的第1實施方式所涉及的基板收納容器1的蓋體3的密封構件4的立體圖。

圖5是表示在本發明的第1實施方式所涉及的基板收納容器1中卸下了密封構件4以及前部保持構件7的狀態的蓋體3的後視圖。

圖6A是沿著圖3以及圖5的A-A線的剖視圖。

圖6B是圖6A的局部放大圖。

圖6C是針對圖6A表示密封構件4偏離配置目標的狀態的圖。

圖7A是表示本發明的第2實施方式所涉及的基板收納容器1的蓋體3的剖視圖（與圖6A對應的圖）。

圖7B是圖7A的局部放大圖。

圖8是表示本發明的第3實施方式所涉及的基板收納容器1的蓋體3的剖視圖（與圖6A對應的圖）。

圖9是表示本發明的第4實施方式所涉及的基板收納容器1的蓋體3的剖視圖（與圖6A對應的圖）。

圖10A是表示基板保持適配器8的俯視圖。

圖10B是表示通過基板保持適配器8保持基板W的狀態的俯視圖。

圖10C是圖10B的示意性中央縱剖視圖。

3:蓋體

30:蓋體主體

311:密封構件安裝部

321:保持槽

322:槽底面

323:槽側面

331:周緣部對置部

4:密封構件

41:基部

410:基端

411:前端面

412:側面

42:唇部

421:周緣部抵接唇部

422:對置部抵接唇部

D1:前後方向

D11:前方向

D12:後方向

D2:上下方向

D21:上方向

D22:下方向

Claims (10)

1. 一種基板收納容器，其特徵在於，所述基板收納容器包含：容器主體，在內部形成有能夠收納多個基板的基板收納空間，在一端部具有形成有與所述基板收納空間連通的容器主體開口部的開口周緣部；以及蓋體，能夠相對於所述容器主體開口部拆裝，能夠封閉所述容器主體開口部，具有密封構件安裝部以及與所述開口周緣部對置的周緣部對置部，所述蓋體還具有密封構件，該密封構件安裝於所述蓋體的所述密封構件安裝部，夾在所述開口周緣部與所述周緣部對置部之間並與所述開口周緣部以及所述周緣部對置部緊密地抵接，從而以氣密狀態封閉所述容器主體開口部，所述密封構件具有：保持於所述密封構件安裝部的基部；從所述基部延伸並與所述開口周緣部抵接的周緣部抵接唇部；以及從所述基部延伸並與所述周緣部對置部抵接的對置部抵接唇部，所述周緣部對置部具有表示所述對置部抵接唇部的配置目標的非直平面的截面形狀。
2. 如請求項1所述的基板收納容器，其特徵在於，所述周緣部對置部的非直平面的所述截面形狀為相對於作為基準的直平面向所述對置部抵接唇部側突出的突出形狀。
3. 如請求項2所述的基板收納容器，其特徵在於，所述周緣部對置部的所述突出形狀為平滑地突出的形狀、多個直平面連結而成的形狀、或者具有能夠限制所述對置部抵接唇部的移動地局部突出的突起的形狀。
4. 如請求項1所述的基板收納容器，其特徵在於，所述周緣部對置部的非直平面的所述截面形狀具有相對於作為基準的直平面向遠離所述對置部抵接唇部的一側凹陷且所述對置部抵接唇部能夠卡合的限制凹部。
5. 如請求項1至4中任一項所述的基板收納容器，其特徵在於，所述周緣部對置部的非直平面的所述截面形狀設置成沿著所述蓋體的周緣部分圍繞一周。
6. 一種蓋體，是基板收納容器的蓋體，其特徵在於，所述基板收納容器包含：容器主體，在內部形成有能夠收納多個基板的基板收納空間，在一端部具有形成有與所述基板收納空間連通的容器主體開口部的開口周緣部；以及蓋體，能夠相對於所述容器主體開口部拆裝，具有密封構件安裝部以及與所述開口周緣部對置的周緣部對置部，能夠封閉所述容器主體開口部，所述蓋體還具有密封構件，該密封構件安裝於所述蓋體的所述密封構件安裝部，夾在所述開口周緣部與所述周緣部對置部之間並與所述開口周緣部以及所述周緣部對置部緊密地抵接，從而與所述蓋體一起以氣密狀態封閉所述容器主體開口部，所述密封構件具有：保持於所述密封構件安裝部的基部；從所述基部延伸並與所述開口周緣部抵接的周緣部抵接唇部；以及從所述基部延伸並與所述周緣部對置部抵接的對置部抵接唇部，所述周緣部對置部具有表示所述對置部抵接唇部的配置目標的非直平面的截面形狀。
7. 如請求項6所述的蓋體，其特徵在於，所述周緣部對置部的非直平面的所述截面形狀為相對於作為基準的直平面向所述對置部抵接唇部側突出的突出形狀。
8. 如請求項7所述的蓋體，其特徵在於，所述周緣部對置部的所述突出形狀為平滑地突出的形狀、多個直平面連結而成的形狀、或者具有能夠限制所述對置部抵接唇部的移動地局部突出的突起的形狀。
9. 如請求項6所述的蓋體，其特徵在於，所述周緣部對置部的非直平面的所述截面形狀具有相對於作為基準的直平面向遠離所述對置部抵接唇部的一側凹陷且所述對置部抵接唇部能夠卡合的限制凹部。
10. 如請求項6至9中任一項所述的蓋體，其特徵在於，所述周緣部對置部的非直平面的所述截面形狀設置成沿著所述蓋體的周緣部分圍繞一周。