TW202401636A - 基板收納容器以及後部保持構件 - Google Patents

Abstract

本發明提供基板收納容器以及後部保持構件。基板收納容器具有：蓋體側基板支承部（73），配置在蓋體（3）的一部分且是在通過蓋體（3）封閉容器主體開口部（21）時與基板收納空間（27）對置的部分，在通過蓋體（3）封閉容器主體開口部（21）時，能夠支承多個基板（W）的邊緣部；以及後部保持構件（6）。後部保持構件（6）具有：裡側基板支承部（63），在基板收納空間（27）內與蓋體側基板支承部（73）成對地配置，能夠支承多個基板（W）的邊緣部，在通過蓋體（3）封閉容器主體開口部（21）時，與蓋體側基板支承部（73）協作，在使多個基板（W）的邊緣部排列的狀態下支承多個基板（W）；突出壁部（60），作為容器主體開口部（21）側的面的外表面（605）朝向容器主體開口部（21）突出，並且作為外表面（605）的相反面的內表面（606）朝向容器主體開口部（21）凹陷，在突出壁部（60）突出的一側設置裡側基板支承部（63）；以及流通孔（67），用於在使突出壁部（60）突出的一側朝向下方時使位於突出壁部（60）的內表面（606）側的液體流通。

Description

基板收納容器以及後部保持構件

本發明涉及對由半導體晶片等構成的基板進行收納、保管、搬運、輸送等時使用的基板收納容器以及後部保持構件。

作為用於收納並搬運由半導體晶片構成的基板的基板收納容器，以往已知有具備容器主體和蓋體的構成的基板收納容器。

容器主體具有筒狀的壁部，該筒狀的壁部在一端部形成有容器主體開口部且另一端部被封閉。在容器主體內形成有基板收納空間。基板收納空間由壁部包圍而形成，能夠收納多個基板。蓋體能相對於容器主體開口部拆裝，能夠封閉容器主體開口部。

在蓋體的一部分且在封閉容器主體開口部時與基板收納空間對置的部分設置有前部保持構件。在通過蓋體封閉容器主體開口部時，前部保持構件能夠支承多個基板的邊緣部。另外，後部保持構件以與前部保持構件成對的方式設置在容器主體的基板收納空間的壁部側。後部保持構件能夠支承多個基板的邊緣部。在通過蓋體封閉容器主體開口部時，後部保持構件與前部保持構件協作來支承多個基板，在使相鄰的基板彼此以規定的間隔分離並排列的狀態下保持多個基板。

在清洗基板收納容器的情況下，有時在後部保持構件配置在容器主體的基板收納空間的裡壁側的狀態下進行清洗（另外，作為後部保持構件的配置方式，有拆裝自如地安裝的方式、通過嵌件成形等使容器主體與後部保持構件成為一體的方式）。在該情況下存在以下問題：位於後部保持構件的內表面（容器主體的裡壁側的面）側的清洗液（包括水）難以從後部保持構件的內表面側排出（容易殘留）。另外，還存在後部保持構件的內表面側與外表面側的通氣性（換氣性）差的問題。如果難以排出清洗液或者通氣性差，則在清洗後，擔心後部保持構件的內表面側的乾燥不足，因此需要採取延長乾燥時間等的對策。其結果是，乾燥工序的時間無用地變長，生產成本變高。

專利文獻1：日本專利第4459015號公報

本發明的目的在於提供一種基板收納容器以及後部保持構件，在以後部保持構件配置在容器主體的基板收納空間的裡壁側的狀態進行清洗的情況下，能夠改善清洗後的後部保持構件的內表面側的乾燥不足的情況。

本發明涉及一種基板收納容器，具有：容器主體，具備筒狀的壁部，該壁部在一端部形成有容器主體開口部且另一端部被封閉，利用所述壁部的內表面形成能夠收納多個基板且與所述容器主體開口部連通的基板收納空間；蓋體，能夠相對於所述容器主體開口部拆裝，能夠封閉所述容器主體開口部；蓋體側基板支承部，配置在所述蓋體的一部分且是在通過所述蓋體封閉所述容器主體開口部時與所述基板收納空間對置的部分，在通過所述蓋體封閉所述容器主體開口部時，能夠支承所述多個基板的邊緣部；以及後部保持構件，所述後部保持構件具有：裡側基板支承部，在所述基板收納空間內與所述蓋體側基板支承部成對地配置，能夠支承所述多個基板的邊緣部，在通過所述蓋體封閉所述容器主體開口部時，與所述蓋體側基板支承部協作，在使所述多個基板的邊緣部排列的狀態下支承所述多個基板；突出壁部，作為所述容器主體開口部側的面的外表面朝向所述容器主體開口部突出，並且作為所述外表面的相反面的內表面朝向所述容器主體開口部凹陷，在所述突出壁部突出的一側設置所述裡側基板支承部；以及流通孔，用於在使所述突出壁部突出的一側朝向下方時使位於所述突出壁部的所述內表面側的液體流通。

另外，優選為，在使所述突出壁部突出的一側朝向下方的狀態下，所述流通孔以貫通所述裡側基板支承部的方式沿著上下方向延伸。

另外，優選為，所述後部保持構件以在所述後部保持構件與所述容器主體的所述壁部的裡壁之間具有間隙的方式固定於所述容器主體。

另外，優選為，在使所述容器主體開口部朝向橫向的狀態下，所述裡側基板支承部具備V形槽，該V形槽具有配置在下側的下側傾斜面以及配置在上側的上側傾斜面，在使所述容器主體開口部朝向橫向的狀態下，在所述下側傾斜面中的橫向的內側設置有向上方向突出且從所述容器主體開口部朝向所述壁部的裡壁延伸的凸條部。

另外，優選為，所述後部保持構件還具備輔助槽，該輔助槽配置在通過所述蓋體封閉所述容器主體開口部時與所述基板收納空間對置的部分，具有比所述基板的邊緣部的厚度寬的開口，以便能夠插入所述基板的邊緣部，所述輔助槽具有對置的槽形成面，至少在通過所述蓋體封閉所述容器主體開口部時，逐個地插入所述多個基板的邊緣部，在通過所述蓋體封閉所述容器主體開口部時，所述基板的邊緣部以在所述基板的邊緣部與所述槽形成面之間形成空間而所述基板的邊緣部不與所述槽形成面接觸的非接觸狀態插入所述輔助槽，在使所述容器主體開口部朝向橫向的狀態下，所述輔助槽的所述槽形成面配置於在上下方向上相鄰的所述裡側基板支承部的所述V形槽之間。

另外，優選為，在使所述容器主體開口部朝向橫向的狀態下，在配置在所述輔助槽的下側的所述槽形成面中的橫向的內側設置有向上方向突出且從所述容器主體開口部朝向所述壁部的裡壁延伸的凸條部。

另外，本發明涉及一種後部保持構件，是基板收納容器中的後部保持構件，所述基板收納容器具有：容器主體，具備筒狀的壁部，該壁部在一端部形成有容器主體開口部且另一端部被封閉，利用所述壁部的內表面形成能夠收納多個基板且與所述容器主體開口部連通的基板收納空間； 蓋體，能夠相對於所述容器主體開口部拆裝，能夠封閉所述容器主體開口部；蓋體側基板支承部，配置在所述蓋體的一部分且是在通過所述蓋體封閉所述容器主體開口部時與所述基板收納空間對置的部分，在通過所述蓋體封閉所述容器主體開口部時，能夠支承所述多個基板的邊緣部；以及所述後部保持構件，所述後部保持構件具有：裡側基板支承部，在所述基板收納空間內與所述蓋體側基板支承部成對地配置，能夠支承所述多個基板的邊緣部，在通過所述蓋體封閉所述容器主體開口部時，與所述蓋體側基板支承部協作，在使所述多個基板的邊緣部排列的狀態下支承所述多個基板；突出壁部，作為所述容器主體開口部側的面的外表面朝向所述容器主體開口部突出，並且作為所述外表面的相反面的內表面朝向所述容器主體開口部凹陷，在所述突出壁部突出的一側設置所述裡側基板支承部；以及流通孔，用於在使所述突出壁部突出的一側朝向下方時使位於所述突出壁部的所述內表面側的液體流通。

根據本發明，能夠提供一種基板收納容器以及後部保持構件，在以後部保持構件配置在容器主體的基板收納空間的裡壁側的狀態進行清洗的情況下，能夠改善清洗後的後部保持構件的內表面側的乾燥不足。

以下，參照附圖對一個實施方式的基板收納容器1進行說明。圖1是表示在本發明的一個實施方式的基板收納容器1中收納有多個基板W的樣子的分解立體圖。圖2是表示本發明的一個實施方式的基板收納容器1的容器主體2的立體圖。圖3是表示本發明的一個實施方式的基板收納容器1的蓋體3的立體圖。圖4是表示閉蓋狀態下的基板收納容器1與基板W的位置關係的俯視剖視圖。

在此，為了便於說明，將從後述的容器主體2朝向蓋體3的方向（圖1中的從右上朝向左下的方向）定義為前方向D11或者前側D11，將其相反方向定義為後方向D12或者後側D12，將它們合起來定義為前後方向D1。另外，將從後述的下壁24朝向上壁23的方向（圖1中的上方）定義為上方向D21或者上側D21，將其相反方向定義為下方D22或者下側D22，將它們合起來定義為上下方向D2。另外，將從後述的第2側壁26朝向第1側壁25的方向（圖1中的從右下朝向左上的方向）定義為左方D31，將其相反方向定義為右方D32，將它們合起來定義為左右方向D3或者橫向D3。在部分附圖中圖示了表示這些方向的箭頭。

另外，收納在基板收納容器1中的基板W（參照圖1）是圓盤狀的矽晶片、玻璃晶片、藍寶晶片等，是在工業上使用的薄基板。本實施方式中的基板W是直徑300mm的矽晶片。

如圖1以及圖2所示，基板收納容器1用作收納由上述這樣的矽晶片構成的基板W，並通過陸運方式、空運方式、海運方式等輸送方式輸送基板W的發貨容器，具備容器主體2以及蓋體3。容器主體2具備作為側方基板支承部的基板支承板狀部5、以及後部保持構件6。蓋體3具備前部保持構件7，所述前部保持構件7具有蓋體側基板支承部73以及基板邊緣部輔助部75（參照圖3至圖5D）。

如圖1等所示，容器主體2具有在一端部形成有容器主體開口部21且另一端部被封閉的筒狀的壁部20。在容器主體2內形成有基板收納空間27。基板收納空間27由壁部20包圍而形成。如圖2所示，在壁部20的一部分且形成基板收納空間27的部分配置有基板支承板狀部5。如圖1所示，在基板收納空間27中能夠收納多個基板W。

基板支承板狀部5在基板收納空間27內成對地設置於壁部20。在未通過蓋體3封閉容器主體開口部21時（開蓋狀態時），基板支承板狀部5通過與多個基板W的邊緣部抵接，能夠在使相鄰的基板W彼此以規定的間隔分離並排列的狀態下支承多個基板W的邊緣部。在容器主體2的壁部20的裡壁22（後述）設置有後部保持構件6。

如圖4所示，後部保持構件6（參照圖2等）在基板收納空間27內以與後述的前部保持構件7成對的方式設置於壁部20。在通過蓋體3封閉容器主體開口部21時（閉蓋狀態時），後部保持構件6與多個基板W的邊緣部抵接，由此能夠支承多個基板W的邊緣部的後部。

蓋體3能夠相對於形成容器主體開口部21的開口周緣部28（圖1等）拆裝，並能夠封閉容器主體開口部21。前部保持構件7設置於蓋體3的一部分且在通過蓋體3封閉容器主體開口部21時與基板收納空間27對置的部分。前部保持構件7在基板收納空間27的內部以與後部保持構件6成對的方式配置。

如圖4所示，在通過蓋體3封閉容器主體開口部21時，前部保持構件7與多個基板W的邊緣部抵接，由此能夠支承多個基板W的邊緣部的前部。在通過蓋體3封閉容器主體開口部21時，前部保持構件7與後部保持構件6協作來支承多個基板W，由此能夠在使相鄰的基板W彼此以規定的間隔分離並排列的狀態下保持基板W。

基板收納容器1由塑料材料等樹脂構成，作為其材料的樹脂，例如可以舉出聚碳酸酯、環烯烴聚合物、聚醚醯亞胺、聚醚酮、聚對苯二甲酸丁二醇酯、聚醚醚酮和液晶聚合物這樣的熱塑性樹脂以及它們的合金。在對這些成形材料的樹脂賦予導電性的情況下，向這些成形材料的樹脂中選擇性地添加碳纖維、碳粉、碳納米管和導電聚合物等導電物質。另外，為了提高剛性，也可以添加玻璃纖維和碳纖維等。

以下，對各部詳細地進行說明。如圖1所示，容器主體2的壁部20具有裡壁22、上壁23、下壁24、第1側壁25以及第2側壁26。裡壁22、上壁23、下壁24、第1側壁25、以及第2側壁26由上述材料構成，並且一體成形地構成。

第1側壁25與第2側壁26對置，上壁23與下壁24對置。上壁23的後端、下壁24的後端、第1側壁25的後端以及第2側壁26的後端全都與裡壁22連接。上壁23的前端、下壁24的前端、第1側壁25的前端以及第2側壁26的前端構成開口周緣部28，所述開口周緣部28形成具有與裡壁22對置的位置關係且呈大致長方形狀的容器主體開口部21。

開口周緣部28設置在容器主體2的一端部，裡壁22位於容器主體2的另一端部。由壁部20的外表面形成的容器主體2的外形為箱形。壁部20的內表面、即裡壁22的內表面、上壁23的內表面、下壁24的內表面、第1側壁25的內表面以及第2側壁26的內表面形成由它們包圍而成的基板收納空間27。形成在開口周緣部28的容器主體開口部21與由壁部20包圍且形成在容器主體2的內部的基板收納空間27連通。在基板收納空間27中最多能收納25張基板W。

如圖1所示，在上壁23以及下壁24的一部分且是開口周緣部28的附近的部分形成有朝向基板收納空間27的外側凹陷而成的閂鎖卡合凹部231A、231B、241A、241B。閂鎖卡合凹部231A、231B、241A、241B在上壁23以及下壁24的左右兩端部附近各形成有1個，合計形成有4個。

如圖1所示，在上壁23的中央部固定有頂部凸緣236。頂部凸緣236是在AMHS（自動晶片搬運系統）、PGV（晶片基板搬運台車）等中懸吊基板收納容器1時成為在基板收納容器1中被勾掛而被懸吊的部分的構件。

基板支承板狀部5分別以一體成形的方式設置在第1側壁25以及第2側壁26，以在左右方向D3上成對的方式配置。另外，基板支承板狀部5也可以是與第1側壁25以及第2側壁26不同的構件。

基板支承板狀部5具有板狀的大致弧形狀。基板支承板狀部5在第1側壁25、第2側壁26上沿著上下方向D2分別各設置有25個，合計設置有50個。相鄰的基板支承板狀部5以在上下方向D2上以10mm至12mm間隔彼此分離且平行的位置關係配置。另外，在位於最上的基板支承板狀部5的上方配置有另一個與基板支承板狀部5平行的板狀的構件。該構件是針對位於最上方且向基板收納空間27內插入的基板W在該基板插入時起到引導作用的構件。

另外，設置於第1側壁25的25個基板支承板狀部5與設置於第2側壁26的25個板支承板狀部5具有在左右方向D3上相對對置的位置關係。另外，50個基板支承板狀部5以及與基板支承板狀部5平行的板狀的起到引導作用的構件具有與下壁24的內表面平行的位置關係。如圖2等所示，在基板支承板狀部5的上表面設置有凸部。支承在基板支承板狀部5上的基板W僅與凸部的突出端接觸，不以面狀的方式與基板支承板狀部5接觸。

基板支承板狀部5能夠在將多個基板W中相鄰的基板W彼此以規定的間隔分離的狀態且成為相互平行的位置關係的狀態下，支承多個基板W的邊緣部。

後部保持構件6是固定（安裝）於容器主體2的裡壁22且配置在基板收納空間27內的內裝構件。關於後部保持構件6的詳細內容將在後面進行說明。另外，也可以代替將後部保持構件6安裝於容器主體2的方式，而採用通過嵌件成形等將後部保持構件6和容器主體2構成為一體，將後部保持構件6配置在容器主體2的裡壁22側的方式。

接著，對蓋體3以及前部保持構件7詳細地進行說明。圖5A是表示本發明的一個實施方式的基板收納容器1的前部保持構件7的立體圖。圖5B是表示本發明的一個實施方式的基板收納容器1的前部保持構件7的局部主視圖。圖5C是示意性地表示前部保持構件7的蓋體側基板支承部73的縱剖視圖。圖5D是示意性地表示前部保持構件7的基板邊緣部輔助部75的縱剖視圖。

如圖1等所示，蓋體3具有與容器主體2的開口周緣部28的形狀一致的大致長方形狀。蓋體3能夠相對於容器主體2的開口周緣部28拆裝，通過將蓋體3安裝於開口周緣部28，蓋體3能夠封閉容器主體開口部21。在蓋體3的內表面（圖1所示的蓋體3的裡側的面）安裝有環狀的密封構件4。密封構件4由能夠彈性變形的聚酯系、聚烯烴系等各種熱塑性彈性體、氟橡膠製、矽橡膠製等構成。密封構件4以環繞蓋體3的外周邊緣部一周的方式配置。

當將蓋體3安裝於開口周緣部28時，密封構件4被開口周緣部28與蓋體3的內表面夾持而彈性變形，蓋體3以將容器主體開口部21密閉的狀態封閉容器主體開口部21。通過將蓋體3從開口周緣部28卸下，能夠相對於容器主體2內的基板收納空間27取出或放入基板W。

蓋體3具有形成蓋體3的外形的蓋體主體，在蓋體主體設置有閂鎖機構。閂鎖機構設置在蓋體主體的左右兩端部附近，如圖1所示，具備能夠從蓋體主體的上邊朝向上方向D21突出的兩個上側閂鎖部32A、以及能夠從蓋體主體的下邊朝向下方D22突出的兩個下側閂鎖部32B。兩個上側閂鎖部32A配置在蓋體主體的上邊的左右兩端附近，兩個下側閂鎖部32B配置在蓋體主體的下邊的左右兩端附近。

在蓋體主體的外表面側設置有操作部33。通過從蓋體主體的前側對操作部33進行操作，能夠使上側閂鎖部32A、下側閂鎖部32B從蓋體主體的上邊、下邊突出或者成為不使上側閂鎖部32A、下側閂鎖部32B從蓋體主體的上邊、下邊突出的狀態。上側閂鎖部32A從蓋體主體的上邊朝向上方向D21突出而與容器主體2的閂鎖卡合凹部231A、231B卡合，並且下側閂鎖部32B從蓋體主體的下邊朝向下方D22突出而與容器主體2的閂鎖卡合凹部241A、241B卡合，由此蓋體3固定於容器主體2的開口周緣部28。

如圖3所示，在構成蓋體3的蓋體主體的內側，形成有朝向基板收納空間27的外側（前方向D11）凹陷而成的凹部34。在凹部34的內側的蓋體主體的部分固定（安裝）設置有前部保持構件7。

如圖3、圖5A以及圖5B所示，前部保持構件7具有蓋體側基板支承部73、基板邊緣部輔助部75、腳部72以及縱框體71。與相同基板W對應的蓋體側基板支承部73和基板邊緣部輔助部75經由腳部72連結。

蓋體側基板支承部73以在左右方向D3上隔開規定的間隔且成對的方式配置有兩個。這樣，成對地配置有兩個的蓋體側基板支承部73以在上下方向D2上排列有25對的狀態設置，分別由能夠彈性變形的腳部72支承。腳部72以從各配置有兩個的蓋體側基板支承部73分別相互分離的方式向橫向D3的外側延伸，並分別向前方向D11折彎。而且，在腳部72的橫向D3的外側的端部，沿著上下方向D2平行地延伸的縱框體71一體成形地設置於腳部72。通過在基板收納空間27內收納基板W並關閉蓋體3，蓋體側基板支承部73利用腳部72的彈性力，以對基板W施加朝向基板收納空間27的中心的作用力的狀態夾持並支承基板W的邊緣部的端緣。

如圖5C所示，蓋體側基板支承部73具有上側傾斜面731以及下側傾斜面732。

在通過蓋體3封閉容器主體開口部21時，上側傾斜面731與基板W的表面（上表面）的端緣抵接。下側傾斜面732與基板W的背面（下表面）的端緣抵接。具體而言，上側傾斜面731由以隨著趨向上方向D21而在前後方向D1上接近基板收納空間27的中心的方式傾斜延伸的傾斜面構成。下側傾斜面732由以隨著趨向上方向D21而在前後方向D1上遠離基板收納空間27的中心的方式傾斜延伸的傾斜面構成。上側傾斜面731、下側傾斜面732形成V形槽74，所述V形槽74是以遠離基板收納空間27的中心的方式凹陷而成的凹槽。在通過蓋體3封閉容器主體開口部21時，基板W的表面W1的端緣、基板W的背面W2的端緣分別與上側傾斜面731、下側傾斜面732抵接。

基板邊緣部輔助部75以在左右方向D3隔開規定的間隔且成對的方式配置有兩個。這樣，成對地配置有兩個的基板邊緣部輔助部75以在上下方向D2上排列25對的狀態設置，分別由腳部72支承。在本實施方式中，基板邊緣部輔助部75在左右方向D3上配置在蓋體側基板支承部73與縱框體71之間。

基板邊緣部輔助部75配置在蓋體3的一部分且是通過蓋體3封閉容器主體開口部21時與基板收納空間27對置的部分。如圖5D所示，在基板邊緣部輔助部75形成有多個輔助槽76，所述輔助槽76具有比基板W的邊緣部的厚度寬的開口，以便能夠插入基板W的邊緣部。形成輔助槽76的槽形成面具有表面對置面部761、背面對置面部762以及底面部763。

在通過蓋體3封閉容器主體開口部21時，基板W的邊緣部以在基板W的邊緣部與輔助槽76的槽形成面（表面對置面部761、背面對置面部762、底面部763）之間形成空間而基板W的邊緣部不與槽形成面接觸的非接觸狀態插入輔助槽76。

輔助槽76在剖視觀察時具有大致矩形狀。輔助槽76具有對置的槽形成面（表面對置面部761、背面對置面部762）。至少在通過蓋體3封閉容器主體開口部21時，多個基板W的邊緣部逐個地插入輔助槽76。另外，輔助槽76相對於筒狀的壁部20的中心軸J20（參照圖4），配置在比蓋體側基板支承部73靠基板W的邊緣部的周向DC的外側。

在通過蓋體3封閉容器主體開口部21時，表面對置面部761具有與基板W的表面W1大致平行的位置關係，表面對置面部761的一部分在連接表面W1與背面W2的方向亦即上下方向D2上與表面W1對置。在通過蓋體3封閉容器主體開口部21時，背面對置面部762具有與基板W的背面W2大致平行的位置關係，背面對置面部762的一部分在連接表面W1與背面W2連接的方向亦即上下方向D2上與背面W2對置。底面部763形成輔助槽76的底部，分別與表面對置面部761以及背面對置面部762連接。

表面對置面部761以及背面對置面部762為大致直平面狀。表面對置面部761以及背面對置面部762構成以隨著從輔助槽76的底部接近輔助槽76的開口764而開口764稍微擴大的方式稍微傾斜的一對傾斜面。基板W的表面W1與表面對置面部761所成的角度θ71和/或背面W2與背面對置面部762所成的角度θ72例如為30度以下，優選為15度以下。

輔助槽76具有如下的深度H76：在未通過蓋體3封閉容器主體開口部21且未通過作為側方基板支承部的基板支承板狀部5支承多個基板W的邊緣部時基板W的邊緣部未插入輔助槽76，另一方面，在通過蓋體3封閉容器主體開口部21時基板W的邊緣部插入輔助槽76。輔助槽76的深度H76例如為3.5mm以上，優選為4.5mm以上，更優選為4.5mm至6.0mm。

接著，對後部保持構件6詳細地進行說明。圖6A是表示本發明的一個實施方式的基板收納容器1的後部保持構件6的立體圖。圖6B是表示本發明的一個實施方式的基板收納容器1的後部保持構件6的局部主視圖。圖7A是圖6A的左側的突出壁部60的周邊的局部放大圖。圖7B是圖6B的左側的突出壁部60的周邊的局部放大圖。圖7C是示意性地表示後部保持構件6的裡側基板支承部63以及基板邊緣部輔助部65的縱剖視圖。圖8是圖4的左側的突出壁部60的周邊的局部放大圖。圖9是圖6B所示的A-A線剖視圖。

如圖6A至圖9所示，後部保持構件6具有突出壁部60、裡側基板支承部63、基板邊緣部輔助部65、內框體62、外框體61以及流通孔67。

突出壁部60是以如下方式折彎的壁部：外表面605（參照圖8）朝向容器主體開口部21（也就是朝向前側D11）突出且內表面606（參照圖8）朝向容器主體開口部21凹陷。內表面606典型為容器主體2的裡壁22側的面或與容器主體2的裡壁22對置的面。突出壁部60是沿著上下方向D2延伸的一體的壁部。突出壁部60以在左右方向D3上隔開規定的間隔且成對的方式配置有兩個。裡側基板支承部63在突出壁部60突出的一側（也就是前側D11）以在上下方向D2上排列25個的狀態設置。左側31的裡側基板支承部63和右側32的裡側基板支承部63以在左右方向D3上隔開規定的間隔且成對的方式配置。這樣在左右方向D3上成對地配置的裡側基板支承部63以在上下方向D2上排列25對的狀態設置。

突出壁部60具備外側壁部601、內側壁部602以及前側壁部603。外側壁部601是突出壁部60中的橫向D3的外側的壁部。內側壁部602是突出壁部60中的橫向D3的內側的壁部。前側壁部603是將外側壁部601與內側壁部602連結的壁部、且是突出壁部60中的前側D11的壁部。在前側壁部603的前側，在大致整個面設置有裡側基板支承部63以及基板邊緣部輔助部65。

在本實施方式中，突出壁部60中的外側壁部601、內側壁部602以及前側壁部603均為平板狀。另外，突出壁部60的形狀沒有限制。例如，突出壁部60可以實質上沒有前側壁部603而在俯視觀察下為大致V形。突出壁部60可以不為平板狀而為折彎的板狀。

內框體62是將左側D31的裡側基板支承部63與右側D32的裡側基板支承部63連結而進行支承的部位。外框體61分別一體地設置於突出壁部60的橫向D3的兩外側。通過外框體61與容器主體2的壁部20卡合，後部保持構件6固定（安裝）於容器主體2。

通過將基板W收納在基板收納空間27內並關閉蓋體3，裡側基板支承部63夾持並支承基板W的邊緣部的端緣。如圖7A至圖7C所示，裡側基板支承部63具有上側傾斜面631以及下側傾斜面632。

在通過蓋體3封閉容器主體開口部21時，上側傾斜面631與基板W的表面（上表面）的端緣抵接。下側傾斜面632與基板W的背面（下表面）的端緣抵接。具體而言，上側傾斜面631由以隨著趨向上方向D21而在前後方向D1上接近基板收納空間27的中心的方式傾斜延伸的傾斜面構成。下側傾斜面632由以隨著趨向上方向D21而在前後方向D1上遠離基板收納空間27的中心的方式傾斜延伸的傾斜面構成。

在使容器主體開口部21朝向橫向的狀態下，裡側基板支承部63具備V形槽64，所述V形槽64具有配置在下側的下側傾斜面632以及配置在上側的上側傾斜面631。上側傾斜面631、下側傾斜面632形成V形槽64，所述V形槽64是以遠離基板收納空間27的中心的方式凹陷的凹槽。在通過蓋體3封閉容器主體開口部21時，基板W的表面W1的端緣、基板W的背面W2的端緣分別與上側傾斜面631、下側傾斜面632抵接。

基板W的背面W2的端部在下側傾斜面632上滑動。在通過蓋體3封閉容器主體開口部21時，基板W相對於下側傾斜面632滑動而上升，當基板W到達了V形槽64的頂點的位置時，V形槽64支承基板W的邊緣部。另外，V形槽64只要是整體觀察時為大致V形即可，追加地說，可以具有與D1-D3平面大致平行的面、與D2-D3平面大致平行的面等。

以貫通突出壁部60的前側壁部603以及裡側基板支承部63的方式設置有流通孔67。流通孔67是沿著前後方向D1延伸的貫通孔。另外，流通孔67延伸的方向沒有限定。在以後部保持構件6配置在容器主體2的基板收納空間27的裡壁22側的狀態進行清洗，並且直接使基板收納容器1乾燥的情況下，為了除去存在於容器主體2的基板收納空間27的液體（水等），一般使容器主體2的容器主體開口部21朝向下方。在該情況下，使後部保持構件6的突出壁部60突出的一側朝向下方。

假設在突出壁部60沒有設置流通孔67的情況下，即使使後部保持構件6的突出壁部60突出的一側朝向下方，位於突出壁部60的內表面606側的液體也會滯留在突出壁部60的內表面606側（難以從內表面606側排出）。流通孔67是用於在使突出壁部60突出的一側朝向下方時使位於突出壁部60的內表面606側的液體排出的孔。在使突出壁部60突出的一側朝向下方的狀態下，流通孔67以貫通裡側基板支承部63的方式沿著上下方向D2延伸。因此，在本實施方式中，位於突出壁部60的內表面606側的液體的一部分或者全部經由流通孔67排出。

另外，假設在突出壁部60沒有設置流通孔67的情況下，突出壁部60的內表面606側與外表面605側連通的面積比較小。因此，突出壁部60的內表面606側難以乾燥。流通孔67是用於使突出壁部60的內表面606側與外表面605側連通的面積增加而提高通氣性（換氣性）的孔。因此，在本實施方式中，突出壁部60的內表面606側容易乾燥。

在本實施方式中，在1個裡側基板支承部63設置有1個流通孔67。1個流通孔67的面積例如為30.5mm ²以上，優選為30.5mm ²至40mm ²。

基板邊緣部輔助部65以在左右方向D3上隔開規定的間隔且成對的方式配置有兩個。基板邊緣部輔助部65設置在裡側基板支承部63的前側D11。這樣在左右方向D3上成對地配置的基板邊緣部輔助部65與裡側基板支承部63相同，以在上下方向D2上排列25個的狀態設置。

如圖7A至圖9所示，在通過蓋體3封閉容器主體開口部21時，裡側基板支承部63以及基板邊緣部輔助部65配置在與前部保持構件7對置的位置。在基板邊緣部輔助部65形成有多個輔助槽66，所述輔助槽66具有比基板W的邊緣部的厚度寬的開口，以便能夠插入基板W的邊緣部。形成輔助槽66的槽形成面具有表面對置面部661以及背面對置面部662。

在通過蓋體3封閉容器主體開口部21時，基板W的邊緣部以通過在基板W的邊緣部與輔助槽66的槽形成面（表面對置面部）661以及槽形成面（背面對置面部）662之間形成空間而基板W的邊緣部不與槽形成面接觸的非接觸狀態插入輔助槽66。

在通過蓋體3封閉容器主體開口部21時，表面對置面部661具有與基板W的表面W1大致平行的位置關係，表面對置面部661的一部分在連結表面W1與背面W2的方向即上下方向D2上與表面W1對置。在通過蓋體3封閉容器主體開口部21時，背面對置面部662具有與基板W的背面W2大致平行的位置關係，背面對置面部662的一部分在連結表面W1與背面W2的方向即上下方向D2上與背面W2對置。

表面對置面部661以及背面對置面部662為大致直平面狀。表面對置面部661以及背面對置面部662構成以隨著從輔助槽66的底部（後側D12）接近輔助槽76的開口664而開口664稍微擴大的方式稍微傾斜的一對傾斜面。基板W的表面W1與表面對置面部661所成的角度θ61和/或背面W2與背面對置面部662所成的角度θ62例如為30度以下，優選為15度以下。

輔助槽66具有如下的深度H66：在未通過蓋體3封閉容器主體開口部21且未通過作為側方基板支承部的基板支承板狀部5支承多個基板W的邊緣部時，基板W的邊緣部未插入輔助槽66，另一方面，在通過蓋體3封閉容器主體開口部21時，基板W的邊緣部插入輔助槽66。輔助槽66的深度H66例如為8mm至10.5mm，優選為8mm至20mm。輔助槽66的深度H66優選比前部保持構件7的輔助槽76的深度H76長，更優選長出14mm以上。

在使容器主體開口部21朝向橫向的狀態下，輔助槽66的槽形成面661、662配置於在上下方向D2上相鄰的裡側基板支承部63的V形槽64、64之間。也就是說，從上到下重複槽形成面（表面對置面部）661、V形槽64、槽形成面（背面對置面部）662的排列。

至少在裡側基板支承部63的下側傾斜面632中的橫向D3的內側設置有凸條部68，所述凸條部68向上方向D21突出且從容器主體開口部21朝向壁部20的裡壁22（也就是說後方向D12）延伸。在本實施方式中，凸條部68遍及基板邊緣部輔助部65的輔助槽66的表面對置面部661、裡側基板支承部63的下側傾斜面632以及裡側基板支承部63的上側傾斜面631而設置。

凸條部68朝向遠離面的方向突出，具有第1凸條部681、第2凸條部682以及第3凸條部683。

第1凸條部681設置在基板邊緣部輔助部65的輔助槽66的背面對置面部662的橫向D3的內側的邊緣部。第1凸條部681是如下的凸條部：在使容器主體開口部21朝向橫向的狀態下，在配置在輔助槽66的下側D22的作為槽形成面的背面對置面部662中的橫向D3的內側，朝向上方向D21突出且從容器主體開口部21朝向壁部20的裡壁22延伸。

第2凸條部682設置在裡側基板支承部63的下側傾斜面632的橫向D3的內側的邊緣部。第2凸條部682是如下的凸條部：在使容器主體開口部21朝向橫向的狀態下，在下側傾斜面632中的橫向D3的內側，向上方向D21突出且從容器主體開口部21朝向壁部20的裡壁22延伸。

第3凸條部683設置在裡側基板支承部63的上側傾斜面631的橫向D3的內側的邊緣部。第1凸條部681、第2凸條部682和第3凸條部683是連續的。通過設置第1凸條部681、第2凸條部682以及第3凸條部683，能夠减少基板W與基板邊緣部輔助部65以及裡側基板支承部63的接觸面積，能夠降低滑動阻力。

如圖8所示，後部保持構件6以在後部保持構件6與容器主體2的壁部20的裡壁22之間具有間隙G6的方式固定於容器主體2。在本實施方式中，後部保持構件6的裡面側（與裡壁22對置的一側。後側D12）不為平坦狀，具有朝向後方向D12突出的間隙形成突起621。間隙形成突起621在容器主體2的裡壁22與後部保持構件6的背面的平坦狀的部分之間形成間隙G6。間隙G6的大小例如為4mm以上，優選為4mm至6mm。另外，形成間隙G6的構成沒有限制。例如，可以通過設置於容器主體2的裡壁22的突起形成間隙G6。

接著，對在上述基板收納容器1中將基板W收納到基板收納空間27內並通過蓋體3封閉容器主體開口部21時的動作進行說明。首先，如圖1所示，以使前後方向D1以及左右方向D3成為與水平面平行的位置關係的方式配置容器主體2。接著，將多個基板W載置在基板支承板狀部5以及裡側基板支承部63的下側傾斜面632。此時，基板W不位於蓋體側基板支承部73的V形槽74以及基板邊緣部輔助部75的輔助槽76中（在俯視觀察時不重疊）。

接著，使蓋體3接近容器主體開口部21，使基板W的背面（下表面）的端緣與前部保持構件7的下側傾斜面732抵接，並且使基板W的表面的端緣與前部保持構件7的上側傾斜面731抵接。然後，如果進一步使蓋體3接近容器主體開口部21，則基板W在前部被前部保持構件7的下側傾斜面732以及上側傾斜面731向後方向D12按壓，並且，在後部與裡側基板支承部63抵接而被朝向前方向D11按壓，被保持為從前方向D11和後方向D12夾持。基板W的裡側（後側D12）的部分沿著上下方向D2移動，另一方面，基板W的開口側（前方向D11側）的部分不沿著上下方向D2移動。此時，基板W位於基板邊緣部輔助部75的輔助槽76中（在俯視觀察時重疊）。

之後，使基板收納容器1被旋轉90度，使容器主體開口部21朝向鉛垂正上方的狀態進行搬運，或者不旋轉90度而保持容器主體開口部21朝向水平方向的狀態進行搬運。

在收納有基板W的狀態的基板收納容器1的搬運中，如果從基板收納容器1的外部向基板收納容器1作用衝擊，則有時與蓋體側基板支承部73的V形槽74抵接的基板W要從V形槽74脫離。即使在該情況下，基板W由於不與基板邊緣部輔助部75的輔助槽76抵接，因此難以從基板邊緣部輔助部75的輔助槽76中脫離。同樣地，如果從基板收納容器1的外部向基板收納容器1作用衝擊，則有時與裡側基板支承部63的V形槽64抵接的基板W要從V形槽64脫離。在該情況下，基板W由於不與基板邊緣部輔助部65的輔助槽66抵接，因此難以從基板邊緣部輔助部65的輔助槽66中脫離。因此，能夠抑制基板W從蓋體側基板支承部73以及/或者裡側基板支承部63脫離、即發生交叉插入。

根據具有上述構成的一個實施方式的基板收納容器1，能夠獲得以下效果。

一個實施方式的基板收納容器1具有：容器主體2，具備在一端部形成有容器主體開口部21且另一端部被封閉的筒狀的壁部20，利用壁部20的內表面形成基板收納空間27，所述基板收納空間27能夠收納多個基板W且與容器主體開口部21連通；蓋體3，能夠相對於容器主體開口部21拆裝，能夠封閉容器主體開口部21；蓋體側基板支承部73，配置在蓋體3的一部分且是在通過蓋體3封閉容器主體開口部21時與基板收納空間27對置的部分，在通過蓋體3封閉容器主體開口部21時能夠支承多個基板W的邊緣部；以及後部保持構件6。後部保持構件6具有：裡側基板支承部63，在基板收納空間27內以與蓋體側基板支承部73成對的方式配置，能夠支承多個基板W的邊緣部，在通過蓋體3封閉容器主體開口部21時與蓋體側基板支承部73協作，在使多個基板W的邊緣部排列的狀態下支承多個基板W；突出壁部60，作為容器主體開口部21側的面的外表面605朝向容器主體開口部21突出，並且作為外表面605的相反面的內表面606朝向容器主體開口部21凹陷，在突出壁部60突出的一側設置有裡側基板支承部63；以及流通孔67，用於在突出壁部60突出的一側朝向下方時使位於突出壁部60的內表面606側的液體流通。

通過上述構成，位於突出壁部60的內表面606側的液體向箭頭DF（參照圖8）所示的方向貫通流通孔67而移動，容易向突出壁部60的外表面605側排出。另外，在箭頭DG（參照圖8）所示的方向上，突出壁部60的內表面606側與外表面605側之間的通氣性（換氣性）高。因此，在以後部保持構件6配置在容器主體2的基板收納空間27的裡壁22側的狀態對基板收納容器1進行清洗的情況下，能夠改善清洗後的後部保持構件的內表面606側的乾燥不足，無需不必要地延長乾燥工序的時間，能夠抑制生產成本的增加。

另外，在突出壁部60突出的一側朝向下方的狀態下，流通孔67以貫通裡側基板支承部63的方式沿著上下方向延伸。

通過上述構成，位於突出壁部60的內表面606側的液體朝向正下方順暢地貫通流通孔67而移動，迅速地排出到突出壁部60的外表面605側。

另外，後部保持構件6以在後部保持構件6與容器主體2的壁部20的裡壁22之間具有間隙G6的方式固定於容器主體2。

通過上述構成，位於後部保持構件6與容器主體2的壁部20的裡壁22之間的液體難以受到毛細管現象的影響，容易從後部保持構件6與容器主體2的壁部20的裡壁22之間流出（難以殘留在後部保持構件6與容器主體2的壁部20的裡壁22之間）。另外，後部保持構件6與容器主體2的壁部20的裡壁22之間容易乾燥。

另外，在使容器主體開口部21朝向橫向的狀態下，裡側基板支承部63具備V形槽64，V形槽64具有配置在下側D22的下側傾斜面632以及配置在上側D21的上側傾斜面631。在使容器主體開口部21朝向橫向的狀態下，在下側傾斜面632中的橫向D3的內側設置有第2凸條部682，第2凸條部682向上方向D21突出且從容器主體開口部21朝向壁部20的裡壁22延伸。

根據上述構成，能夠减小基板W的背面W2與裡側基板支承部63的下側傾斜面632的接觸面積。因此，在通過蓋體3封閉容器主體開口部21時，基板W相對於下側傾斜面632滑動而上升，在基板W的邊緣部被V形槽64支承的過程中，能夠降低基板W的背面W2與裡側基板支承部63的下側傾斜面632的滑動阻力。第2凸條部682配置在下側傾斜面632中的橫向D3的內側，在橫向D3上配置在與流通孔67錯開的位置。因此，第2凸條部682難以阻礙貫通流通孔67而落下的液體的移動。另外，在用於形成流通孔67的分模中，第2凸條部682難以妨礙分模的自由度。

另外，後部保持構件6還具備輔助槽66，該輔助槽66配置在通過蓋體3封閉容器主體開口部21時與基板收納空間27對置的部分，具有比基板W的邊緣部的厚度寬的開口664，以便能夠插入基板W的邊緣部。輔助槽66具有對置的槽形成面（表面對置面部661、背面對置面部662），至少在通過蓋體3封閉容器主體開口部21時，逐個地插入多個基板W的邊緣部。在通過蓋體3封閉容器主體開口部21時，基板W的邊緣部以在基板W的邊緣部與槽形成面661、662之間形成空間而基板W的邊緣部不與槽形成面661、662接觸的非接觸狀態插入輔助槽66，在使容器主體開口部21朝向橫向的狀態下，輔助槽66的槽形成面661、662配置於在上下方向D2上相鄰的裡側基板支承部63的V形槽64之間。

根據上述構成，在收納有基板W的狀態的基板收納容器1的搬運中，即使從基板收納容器1的外部對基板收納容器1作用衝擊而與裡側基板支承部63抵接的基板W要從裡側基板支承部63脫離，基板W由於不與輔助槽66抵接，因此也難以從輔助槽66中脫離。因此，能夠保護基板W不受作用於基板收納容器1的衝擊的影響，並且，能夠抑制基板W從裡側基板支承部63脫離、即發生交叉插入。

另外，在使容器主體開口部21朝向橫向的狀態下，在配置在輔助槽66的下側D22的槽形成面662中的橫向D3的內側設置有第1凸條部681，所述第1凸條部681向上方向D21突出且從容器主體開口部21朝向壁部20的裡壁22延伸。

根據上述構成，能夠减小基板W的背面W2與配置在輔助槽66的下側D22的槽形成面662的接觸面積。因此，假設在基板W在配置在下側D22的槽形成面662上滑動的情況下，能夠降低基板W的背面W2與配置在下側D22的槽形成面662的滑動阻力。第1凸條部681配置於在下側D22配置的槽形成面662中的橫向D3的內側，在橫向D3上配置在與流通孔67錯開的位置。因此，第1凸條部681難以妨礙貫通流通孔67而落下的液體的移動。另外，在用於形成流通孔67的分模中，第1凸條部681不妨礙分模的自由度。

本發明並不限定於上述實施方式，能夠在請求項申請專利範圍內進行變形。

例如，容器主體及蓋體的形狀、容器主體中能夠收納的基板W的張數及尺寸並不限定於本實施方式中的容器主體2及蓋體3的形狀、容器主體2中能夠收納的基板W的張數及尺寸。即，側方基板支承部（基板支承板狀部5）、前部保持構件7、後部保持構件6的構成並不限定於實施方式的構成。另外，本實施方式中的基板W為直徑300mm的矽晶片，但是並不限定於該值。

1:基板收納容器 2:容器主體 20:壁部 21:容器主體開口部 22:裡壁 23:上壁 231A:閂鎖卡合凹部 231B:閂鎖卡合凹部 236:頂部凸緣 24:下壁 241A:閂鎖卡合凹部 241B:閂鎖卡合凹部 25:第1側壁 26:第2側壁 27:基板收納空間 28:開口周緣部 3:蓋體 32A:上側閂鎖部 32B:下側閂鎖部 33:操作部 34:凹部 4:密封構件 5:基板支承板狀部（側方基板支承部） 6:後部保持構件 60:突出壁部 601:外側壁部 602:內側壁部 603:前側壁部 605:外表面 606:內表面 61:外框體 62:內框體 621:突起 63:裡側基板支承部 631:上側傾斜面 632:下側傾斜面 64:V形槽 65:基板邊緣部輔助部 66:輔助槽 661:表面對置面部（槽形成面） 662:背面對置面部（槽形成面） 664:開口 67:流通孔 68:凸條部 681:第1凸條部 682:第2凸條部 683:第3凸條部 7:前部保持構件 71:縱框體 72:腳部 73:蓋體側基板支承部 731:上側傾斜面 732:下側傾斜面 74:V形槽 75:基板邊緣部輔助部 76:輔助槽 761:表面對置面部（槽形成面） 762:背面對置面部（槽形成面） 763:底面部 764:開口 A-A:線 D1:前後方向 D11:前方、前側 D12:後方向、後側 D2:上下方向 D21:上方、上側 D22:下方向、下側 D3:左右方向、橫向 D31:左側 D32:右側 DC:周向 DF:箭頭 DG:箭頭 G6:間隙 H66:深度 H76:深度 J20:中心軸 W:基板 W1:表面 W2:背面 θ61:角度 θ62:角度 θ71:角度 θ72:角度

圖1是表示在本發明的一個實施方式的基板收納容器1中收納有多個基板W的樣子的分解立體圖。

圖2是表示本發明的一個實施方式的基板收納容器1的容器主體2的立體圖。

圖3是表示本發明的一個實施方式的基板收納容器1的蓋體3的立體圖。

圖4是表示閉蓋狀態下的基板收納容器1與基板W的位置關係的俯視剖視圖。

圖5A是表示本發明的一個實施方式的基板收納容器1的前部保持構件7的立體圖。

圖5B是表示本發明的一個實施方式的基板收納容器1的前部保持構件7的局部主視圖。

圖5C是示意性地表示前部保持構件7的蓋體側基板支承部73的縱剖視圖。

圖5D是示意性地表示前部保持構件7的基板邊緣部輔助部75的縱剖視圖。

圖6A是表示本發明的一個實施方式的基板收納容器1的後部保持構件6的立體圖。

圖6B是表示本發明的一個實施方式的基板收納容器1的後部保持構件6的局部主視圖。

圖7A是圖6A的左側的突出壁部60的周邊的局部放大圖。

圖7B是圖6B的左側的突出壁部60的周邊的局部放大圖。

圖7C是示意性地表示後部保持構件6的裡側基板支承部63以及基板邊緣部輔助部65的縱剖視圖。

圖8是圖4的左側的突出壁部60的周邊的局部放大圖。

圖9是圖6B所示的A-A線剖視圖。

1:基板收納容器

2:容器主體

20:壁部

21:容器主體開口部

22:裡壁

23:上壁

231A:閂鎖卡合凹部

231B:閂鎖卡合凹部

236:頂部凸緣

241A:閂鎖卡合凹部

241B:閂鎖卡合凹部

25:第1側壁

26:第2側壁

27:基板收納空間

28:開口周緣部

3:蓋體

32A:上側閂鎖部

32B:下側閂鎖部

33:操作部

4:密封構件

5:基板支承板狀部(側方基板支承部)

D1:前後方向

D11:前方、前側

D12:後方向、後側

D2:上下方向

D21:上方、上側

D22:下方向、下側

D3:左右方向、橫向

D31:左側

D32:右側

W:基板

Claims (12)

1. 一種基板收納容器，其特徵在於，所述基板收納容器具有：容器主體，具備筒狀的壁部，所述壁部在一端部形成有容器主體開口部且另一端部被封閉，利用所述壁部的內表面形成能夠收納多個基板且與所述容器主體開口部連通的基板收納空間；蓋體，能夠相對於所述容器主體開口部拆裝，能夠封閉所述容器主體開口部；蓋體側基板支承部，配置在所述蓋體的一部分且是在通過所述蓋體封閉所述容器主體開口部時與所述基板收納空間對置的部分，在通過所述蓋體封閉所述容器主體開口部時，能夠支承所述多個基板的邊緣部；以及後部保持構件，所述後部保持構件具有：裡側基板支承部，在所述基板收納空間內與所述蓋體側基板支承部成對地配置，能夠支承所述多個基板的邊緣部，在通過所述蓋體封閉所述容器主體開口部時，與所述蓋體側基板支承部協作，在使所述多個基板的邊緣部排列的狀態下支承所述多個基板；突出壁部，作為所述容器主體開口部側的面的外表面朝向所述容器主體開口部突出，並且作為所述外表面的相反面的內表面朝向所述容器主體開口部凹陷，在所述突出壁部突出的一側設置所述裡側基板支承部；以及流通孔，用於在使所述突出壁部突出的一側朝向下方時使位於所述突出壁部的所述內表面側的液體流通。
2. 如請求項1所述的基板收納容器，其特徵在於，在使所述突出壁部突出的一側朝向下方的狀態下，所述流通孔以貫通所述裡側基板支承部的方式沿著上下方向延伸。
3. 如請求項1或2所述的基板收納容器，其特徵在於，所述後部保持構件以在所述後部保持構件與所述容器主體的所述壁部的裡壁之間具有間隙的方式固定於所述容器主體。
4. 如請求項1至3中任一項所述的基板收納容器，其特徵在於，在使所述容器主體開口部朝向橫向的狀態下，所述裡側基板支承部具備V形槽，所述V形槽具有配置在下側的下側傾斜面以及配置在上側的上側傾斜面，在使所述容器主體開口部朝向橫向的狀態下，在所述下側傾斜面中的橫向的內側設置有向上方向突出且從所述容器主體開口部朝向所述壁部的裡壁延伸的凸條部。
5. 如請求項4所述的基板收納容器，其特徵在於，所述後部保持構件還具備輔助槽，所述輔助槽配置在通過所述蓋體封閉所述容器主體開口部時與所述基板收納空間對置的部分，具有比所述基板的邊緣部的厚度寬的開口，以便能夠插入所述基板的邊緣部，所述輔助槽具有對置的槽形成面，至少在通過所述蓋體封閉所述容器主體開口部時，逐個地插入所述多個基板的邊緣部，在通過所述蓋體封閉所述容器主體開口部時，所述基板的邊緣部以在所述基板的邊緣部與所述槽形成面之間形成空間而所述基板的邊緣部不與所述槽形成面接觸的非接觸狀態插入所述輔助槽，在使所述容器主體開口部朝向橫向的狀態下，所述輔助槽的所述槽形成面配置於在上下方向上相鄰的所述裡側基板支承部的所述V形槽之間。
6. 如請求項5所述的基板收納容器，其特徵在於，在使所述容器主體開口部朝向橫向的狀態下，在配置在所述輔助槽的下側的所述槽形成面中的橫向的內側設置有向上方向突出且從所述容器主體開口部朝向所述壁部的裡壁延伸的凸條部。
7. 一種後部保持構件，是基板收納容器中的後部保持構件，其特徵在於，所述基板收納容器具有：容器主體，具備筒狀的壁部，所述壁部在一端部形成有容器主體開口部且另一端部被封閉，利用所述壁部的內表面形成能夠收納多個基板且與所述容器主體開口部連通的基板收納空間；蓋體，能夠相對於所述容器主體開口部拆裝，能夠封閉所述容器主體開口部；蓋體側基板支承部，配置在所述蓋體的一部分且是在通過所述蓋體封閉所述容器主體開口部時與所述基板收納空間對置的部分，在通過所述蓋體封閉所述容器主體開口部時，能夠支承所述多個基板的邊緣部；以及所述後部保持構件，所述後部保持構件具有：裡側基板支承部，在所述基板收納空間內與所述蓋體側基板支承部成對地配置，能夠支承所述多個基板的邊緣部，在通過所述蓋體封閉所述容器主體開口部時，與所述蓋體側基板支承部協作，在使所述多個基板的邊緣部排列的狀態下支承所述多個基板；突出壁部，作為所述容器主體開口部側的面的外表面朝向所述容器主體開口部突出，並且作為所述外表面的相反面的內表面朝向所述容器主體開口部凹陷，在所述突出壁部突出的一側設置所述裡側基板支承部；以及流通孔，用於在使所述突出壁部突出的一側朝向下方時使位於所述突出壁部的所述內表面側的液體流通。
8. 如請求項7所述的後部保持構件，其特徵在於，在使所述突出壁部突出的一側朝向下方的狀態下，所述流通孔以貫通所述裡側基板支承部的方式沿著上下方向延伸。
9. 如請求項7或8所述的後部保持構件，其特徵在於，所述後部保持構件以在所述後部保持構件與所述容器主體的所述壁部的裡壁之間具有間隙的方式固定於所述容器主體。
10. 如請求項7至9中任一項所述的後部保持構件，其特徵在於，在使所述容器主體開口部朝向橫向的狀態下，所述裡側基板支承部具備V形槽，所述V形槽具有配置在下側的下側傾斜面以及配置在上側的上側傾斜面，在使所述容器主體開口部朝向橫向的狀態下，在所述下側傾斜面中的橫向的內側設置有向上方向突出且從所述容器主體開口部朝向所述壁部的裡壁延伸的凸條部。
11. 如請求項10所述的後部保持構件，其特徵在於，所述後部保持構件還具備輔助槽，所述輔助槽配置在通過所述蓋體封閉所述容器主體開口部時與所述基板收納空間對置的部分，具有比所述基板的邊緣部的厚度寬的開口，以便能夠插入所述基板的邊緣部，所述輔助槽具有對置的槽形成面，至少在通過所述蓋體封閉所述容器主體開口部時，逐個地插入所述多個基板的邊緣部，在通過所述蓋體封閉所述容器主體開口部時，所述基板的邊緣部以在所述基板的邊緣部與所述槽形成面之間形成空間而所述基板的邊緣部不與所述槽形成面接觸的非接觸狀態插入所述輔助槽，在使所述容器主體開口部朝向橫向的狀態下，所述輔助槽的所述槽形成面配置於在上下方向上相鄰的所述裡側基板支承部的所述V形槽之間。
12. 如請求項11所述的後部保持構件，其特徵在於，在使所述容器主體開口部朝向橫向的狀態下，在配置在所述輔助槽的下側的所述槽形成面中的橫向的內側設置有向上方向突出且從所述容器主體開口部朝向所述壁部的裡壁延伸的凸條部。