DE112010005403T5

DE112010005403T5 - Substratlagerbehälter

Info

Publication number: DE112010005403T5
Application number: DE201011005403
Authority: DE
Inventors: Tsuyoshi Nagashima
Original assignee: MIRAIAL CO; Kakizaki Manufacturing Co Ltd
Current assignee: MIRAIAL CO; Kakizaki Manufacturing Co Ltd
Priority date: 2010-05-24
Filing date: 2010-05-24
Publication date: 2013-01-10
Anticipated expiration: 2030-05-25
Also published as: DE112010005403B4; WO2011148450A1; JPWO2011148450A1; KR101129486B1; US20130056388A1; CN102858653B; JP5301731B2; US8910792B2; CN102858653A; TW201200435A; KR20120006428A; TWI447055B

Abstract

Die Position eines Substratzwischenplatzierungsteils (4) ist so festgelegt, dass das Substratzwischenplatzierungsteil (4) ein scheibenförmiges Substrat (W) von einer Blickrichtung senkrecht zur Fläche des scheibenförmigen Substrats (W) nicht überlappt, wenn ein Deckel (20) an einer Substrattransferöffnung (2) eines Behälterhauptkörpers (1) befestigt ist und das scheibenförmige Substrat (W) zu einer Stelle gedrückt wird, an der das Substrat durch ein rückseitiges Halteteil (3) positioniert und gehalten wird. Selbst wenn das in dem Behälterhauptkufgrund von Erschütterungen, Stößen usw. gebogen wird, besteht deshalb keine Gefahr, dass das Substrat (W) mit dem Substratzwischenplatzierungsteil (4) in Kontakt kommt, und das einen größeren Durchmesser aufweisende scheibenförmige Substrat (W) kann sicher gelagert werden.

Description

TECHNISCHES GEBIET
Die vorliegende Erfindung betrifft einen Substratlagerbehälter zum Lagern mehrerer dünner scheibenförmiger Substrate, wie zum Beispiel Halbleiterwafer, kreisförmiger Quarzglassubstrate und dergleichen zur Lagerung, zum Transport und dergleichen.
STAND DER TECHNIK
Ein Substratlagerbehälter weist allgemein einen Behälterhauptkörper zur parallelen Lagerung mehrerer scheibenförmiger Substrate, wie zum Beispiel Halbleiterwafer, darin auf. Eine Substrattransferöffnung zur Übertragung des scheibenförmigen Substrats ist in dem Behälterhauptkörper ausgebildet. Dann ist ein Deckelkörper zum Abdichten der Substrattransferöffnung so vorgesehen, dass er von außen lösbar an der Substrattransferöffnung angebracht werden kann.
Zum Halten des scheibenförmigen Substrats innerhalb des Behälterhauptkörpers in einem solchen Zustand, dass er nicht durchgerüttelt wird, ist in einem Rückseitenbereich innerhalb des Behälterhauptkörpers mit Blickrichtung von der Substrattransferöffnung ein rückseitiger Halteteil angeordnet, und ein deckelseitiger Halter ist an einem Innenwandteil eines Deckelkörpers angeordnet.
Der deckelseitige Halter tritt erst dann in einen Zustand zum Halten des scheibenförmigen Substrats, wenn der Deckelkörper an der Substrattransferöffnung des Behälterhauptkörpers angebracht ist. Deshalb ist während eines Zustands, in dem der Deckelkörper nicht angebracht ist, ein Substratzwischenplatzierungsteil zum Platzieren des scheibenförmigen Substrats in einem Bereich nahe der Substrattransferöffnung vorgesehen. Wenn das scheibenförmige Substrat in einen Zustand gebracht wird, in dem er von dem deckelseitigen Halter gehalten wird, wird das scheibenförmige Substrat in einen Zustand gebracht, in dem es von dem Substratzwischenplatzierungsteil weg gleitet (siehe zum Beispiel die japanische ungeprüfte Patentanmeldung (Übersetzung der PCT-Veröffentlichung), Veröffentlichungsnr. 2003-522078 ; 10, usw.).
OFFENBARUNG DER ERFINDUNG
Durch die Erfindung zu lösende Probleme
In jüngerer Zeit sind Fortschritte dabei gemacht worden, den Durchmesser von Halbleiterwafern und dergleichen zwecks Verbesserung der Produktivität, Kostenreduzierung und dergleichen zu vergrößern. Bei Halbleiterwafern herrschen derzeit 300 mm für den Durchmesser vor; es wird jedoch erwartet, dass der Durchmesser in naher Zukunft 450 mm erreichen wird.
Wenn auf den Substratlagerbehälter Erschütterungen, Stöße und dergleichen einwirken, biegen sich die darin gelagerten scheibenförmigen Substrate. Das Ausmaß eines solchen Biegens der scheibenförmigen Substrate wird mit größer werdendem Durchmesser des scheibenförmigen Substrats deutlich höher. Dies ist darauf zurückzuführen, dass sich die Dicke des scheibenförmigen Substrats nicht entsprechend dem Durchmesser vergrößert.
Wenn sich das scheibenförmige Substrat durch auf den Substratlagerbehälter wirkende Erschütterungen oder Stöße biegt, kann deshalb das in einem von dem Substratzwischenplatzierungsteil in dem Substratlagerbehälter gleitenden Zustand gehaltene scheibenförmige Substrat das Substratzwischenplatzierungsteil berühren (oder dagegen schlagen) und in dem Substratlagerbehälter beschädigt oder verunreinigt werden.
Eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht in der Bereitstellung eines Substratlagerbehälters, in dem selbst bei Biegung eines in dem Substratlagerbehälter gelagerten scheibenförmigen Substrats aufgrund von Erschütterungen, Stößen usw. keine Gefahr besteht, dass das Substrat ein Substratzwischenplatzierungsteil berührt, und selbst scheibenförmige Substrate mit größerem Durchmesser sicher gelagert werden können.
Mittel zur Lösung der Probleme
Zum Lösen der oben genannten Aufgabe wird ein Substratlagerbehälter bereitgestellt, der Folgendes enthält: einen Behälterhauptkörper zur parallelen Lagerung mehrerer scheibenförmiger Substrate; eine Substrattransferöffnung, die in dem Behälterhauptkörper zur Übertragung des scheibenförmigen Substrats bezüglich des Behälterhauptkörpers ausgebildet ist; einen Deckelkörper, der von außen lösbar an der Substrattransferöffnung befestigt ist, um die Substrattransferöffnung abzudichten; einen rückseitigen Halteteil, der einen Außenrandteil jedes der scheibenförmigen Substrate in einem Rückseitenbereich innerhalb des Behälterhauptkörpers mit Blickrichtung von der Substrattransferöffnung positioniert und hält; einen deckelseitigen Halter, der an einem Innenwandteil des Deckelkörpers vorgesehen ist und jedes der scheibenförmigen Substrate durch Drücken zu einer Seite des rückseitigen Halteteils positioniert und hält; und ein Substratzwischenplatzierungsteil zum Platzieren des scheibenförmigen Substrats in einem Bereich nahe der Substrattransferöffnung, wenn der Deckelkörper nicht an der Substrattransferöffnung befestigt ist, wobei der Substratlagerbehälter weiterhin Folgendes enthält: einen Substratplatzierungsteil zum Platzieren der Nähe des Außenrandteils des scheibenförmigen Substrats in einem Rückseitenbereich innerhalb des Behälterhauptkörpers mit Blickrichtung von der Substrattransferöffnung, wenn das scheibenförmige Substrat nicht durch den deckelseitigen Halter gedrückt wird; und ein Substratrückführmittel zum Zurückführen des scheibenförmigen Substrats in eine Position, in der es von dem rückseitigen Halteteil nicht gehalten oder positioniert wird, wenn das durch den deckelseitigen Halter gedrückte scheibenförmige Substrat in einen Zustand eintritt, in dem es nicht durch den deckelseitigen Halter gedrückt wird; und wobei das Substratzwischenplatzierungsteil so positioniert wird, dass: das Substratzwischenplatzierungsteil das scheibenförmige Substrat mit Blickrichtung in einer vertikalen Richtung bezüglich einer Fläche des scheibenförmigen Substrats überlappt, wenn der Deckelkörper von der Substrattransferöffnung entfernt wird und das scheibenförmige Substrat nicht durch den rückseitigen Halteteil gehalten oder positioniert wird; und sich das Substratzwischenplatzierungsteil nicht mit dem scheibenförmigen Substrat mit Blickrichtung in einer vertikalen Richtung bezüglich einer Fläche des scheibenförmigen Substrats überlappt, wenn der Deckelkörper an der Substrattransferöffnung befestigt ist und das scheibenförmige Substrat in eine Position gedrückt wird, in der es durch den rückseitigen Halteteil positioniert und gehalten wird.
Des Weiteren kann das Substratrückführmittel ein federartiges Glied sein, das eine Umfangsfläche des scheibenförmigen Substrats berührt. Der Substratplatzierungsteil kann integral mit dem federartigen Glied so ausgebildet sein, dass er sich neben einer Kontaktfläche des federartigen Glieds befindet, die das scheibenförmige Substrat berührt. Das federartige Glied kann so vorgesehen sein, dass es sich von einem Endteil des rückseitigen Halteteils erstreckt.
Der rückseitige Halteteil und der Substratplatzierungsteil können integral so vorgesehen sein, dass sie sich nebeneinander befinden. Zwischen dem rückseitigen Halteteil und dem Substratplatzierungsteil kann ein Loch ausgebildet sein, und ein Spitzenendteil des federartigen Glieds kann durch das Loch an einer Umfangsfläche des scheibenförmigen Substrats anliegen.
Das Substratrückführmittel kann eine geneigte Fläche sein, die das scheibenförmige Substrat mit Schwerkraft schräg nach unten führt. Der rückseitige Halteteil und der Substratplatzierungsteil können integral ausgebildet sein und die geneigte Fläche durchgehend zwischen ihnen angeordnet sein. Die geneigte Fläche kann eine Fläche von zwei Flächen sein, die eine V-förmige Nut am rückseitigen Halteteil bilden.
Auswirkungen der Erfindung
Gemäß der vorliegenden Erfindung wird das Substratzwischenplatzierungsteil so positioniert, dass sich das Substratzwischenplatzierungsteil mit dem scheibenförmigen Substrat mit Blickrichtung in einer vertikalen Richtung bezüglich einer Fläche des scheibenförmigen Substrats nicht überlappt, wenn der Deckelkörper an der Substrattransferöffnung befestigt ist und das scheibenförmige Substrat in eine Position gedrückt wird, in der es durch den rückseitigen Halteteil positioniert und gehalten wird. Deshalb ist es nicht wahrscheinlich, dass das in dem Behälterhauptkörper gelagerte scheibenförmige Substrat aufgrund von Erschütterungen, Stößen usw. mit dem Substratzwischenplatzierungsteil in Kontakt kommt, selbst wenn das scheibenförmige Substrat mit einem größeren Durchmesser ausgebildet ist. Deshalb können ein scheibenförmiges Substrat, wie zum Beispiel ein Halbleiterwafer, ein Quarzglassubstrat und dergleichen sicher gelagert werden.
KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
1 ist eine perspektivische Ansicht eines äußeren Erscheinungsbilds eines Substratlagerbehälters gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung in einem Zustand mit abgenommenem Deckelkörper;
2 ist eine als Querschnitt ausgeführte Draufsicht des Substratlagerbehälters gemäß der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung in einem Zustand mit abgenommenem Deckelkörper;
3 ist eine perspektivische Ansicht, die ein einzelnes Glied darstellt, das ein Substrat in dem Substratlagerbehälter gemäß der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung stützt;
4 ist eine kombinierte laterale Querschnittsansicht des Substratlagerbehälters gemäß der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung in einem Zustand, in dem der Deckelkörper nicht befestigt ist;
5 ist eine kombinierte laterale Querschnittsansicht des Substratlagerbehälters gemäß der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung mit befestigtem Deckelkörper;
6 ist eine als Querschnitt ausgeführte Draufsicht des Substratlagerbehälters gemäß der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung in einem Zustand mit befestigtem Deckelkörper;
7 ist eine als Querschnitt ausgeführte Draufsicht eines Substratlagerbehälters gemäß einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung in einem Zustand mit befestigtem Deckelkörper;
8 ist eine perspektivische Ansicht, die ein einziges Glied darstellt, das ein Substrat des Substratlagerbehälters gemäß der zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung stützt;
9 ist eine Querschnittsansicht, die einen Querschnitt entlang IX-IX in 7 darstellt;
10 ist eine Querschnittsansicht, die einen Querschnitt entlang X-X in 7 darstellt;
11 ist eine als Querschnitt ausgeführte Draufsicht eines Substratlagerbehälters gemäß einer dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung in einem Zustand mit abgenommenem Deckelkörper;
12 ist eine Querschnittsansicht, die einen Querschnitt entlang XII-XII in 11 darstellt;
13 ist eine als Querschnitt ausgeführte Draufsicht des Substratlagerbehälters gemäß der dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung in einem Zustand mit befestigtem Deckelkörper; und
14 ist eine Querschnittsansicht, die einen Querschnitt entlang XIV-XIV in 13 darstellt.
Bezugszeichenliste

1: Behälterhauptkörper
2: Substrattransferöffnung
3: rückseitiger Halteteil
4: Substratzwischenplatzierungsteil
6: Substratplatzierungsteil
7: federartiges Glied (Substratrückführmittel)
8: Kontaktfläche
9: Loch
10: geneigte Fläche (Substratrückführmittel)
20: Deckelkörper
21: deckelseitiger Halter
W: scheibenförmiges Substrat

BEVORZUGTE ART UND WEISE DER DURCHFÜHRUNG DER ERFINDUNG
Im Folgenden werden Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung unter Bezugnahme auf die Zeichnungen erläutert.
1 ist eine perspektivische Ansicht eines Substratlagerbehälters gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. 2 ist eine als Querschnitt ausgeführte Draufsicht davon. Die Bezugszahl 1 ist ein Behälterhauptkörper zur parallelen Lagerung mehrerer scheibenförmiger Substrate W, die in einer dünnen Scheibenform ausgebildet sind. Der Behälterhauptkörper 1 ist so angeordnet, dass jedes scheibenförmige Substrat W in einer horizontalen Ausrichtung gelagert ist, während das scheibenförmige Substrat W übertragen wird.
Die mehreren scheibenförmigen Substrate W sind so gelagert, dass sie in einer solchen Richtung, dass die Flächen der Substrate zueinander weisen, voneinander beabstandet sind. In 1 wird jedoch ein Zustand gezeigt, in dem nur ein einziges scheibenförmiges Substrat W in der untersten Position in dem Behälterhauptkörper gelagert ist. Obgleich das scheibenförmige Substrat W bei dieser Ausführungsform ein Halbleiterwafer ist, ist es des Weiteren nicht darauf beschränkt und kann ein kreisförmiges Quarzglassubstrat oder dergleichen sein.
Eine Substrattransferöffnung 2 zur Übertragung der scheibenförmigen Substrate W ist an einer Seitenfläche von den vier Seitenflächen des Behälterhauptkörpers 1 ausgebildet. Dann ist ein Deckelkörper 20 zur Abdichtung der Substrattransferöffnung 2 so vorgesehen, dass er von außen lösbar an der Substrattransferöffnung 2 befestigt ist.
Darüber hinaus sind ein elastisches Dichtungsglied zur Abdichtung zwischen der Substrattransferöffnung 2 und einem Außenrandteil des Deckelkörpers 20, ein Verriegelungsmechanismus zum Verriegeln des Deckelkörpers 20 und dergleichen am Deckelkörper 20 vorgesehen, auf deren Erläuterungen verzichtet wird.
In einem Rückseitenbereich in dem Behälterhauptkörper 1 mit Blickrichtung von der Substrattransferöffnung 2 sind rückseitige Halteteile 3 zum Halten und Positionieren eines Außenrandteils jedes scheibenförmigen Substrats W in dem Behälterhauptkörper 1 angeordnet. Wie in 2 gezeigt, sind die rückseitigen Halteteile 3 in Paaren angeordnet, die so vorgesehen sind, dass sie auf der rechten Seite und linken Seite von der Mittellinie X (der Mittellinie des Behälterhauptkörpers 1 in einer vertikalen Richtung bezüglich der Substrattransferöffnung 2) mit Blickrichtung von der Substrattransferöffnung 2 beabstandet sind. Die rückseitigen Halteteile 3 werden ausführlich beschrieben.
Die Bezugszahl 3' ist ein hinterer Halter, der nahe der am weitesten hinten liegenden Position auf der Mittellinie X des Behälterhauptkörpers 1 angeordnet ist. Der hintere Halter 3' soll das scheibenförmige Substrat W durch elastisches Vorspannen zu der Seite der Substrattransferöffnung 2 halten. Jedoch kann der hintere Halter 3' bei der vorliegenden Erfindung angeordnet sein oder nicht. Der hintere Halter 3' wird unten nicht erläutert.
Andererseits sind bekannte deckelseitige Halter 21 zum Halten und Positionieren eines Außenrandteils jedes scheibenförmigen Substrats W durch jeweiliges elastisches Pressen von der Substrattransferöffnung 2 zu dem rückseitigen Halteteil 3 an einem Innenwandteil des Deckelkörpers 20 vorgesehen.
Der deckelseitige Halter 21 enthält einen V-förmigen Nutenteil, der an einem Umfangsteil jedes scheibenförmigen Substrats W anliegt, wenn der Deckelkörper 20 an der Substrattransferöffnung 2 des Behälterhauptkörpers 1 befestigt ist. Dieser V-förmige Nutenteil wird durch ein Stützglied 22 gestützt, das Federeigenschaften besitzt und somit leicht elastisch verformt. Der deckelseitige Halter 21 ist nahe der Position der Mittellinie X vorgesehen.
In Positionen, die sich in proximalen Bereichen zu der Substrattransferöffnung 2 in dem Behälterhauptkörper 1 befinden und von der Mittellinie X getrennt sind (das heißt proximale Positionen zur rechten und linken Wand des Behälterhauptkörpers 1), sind Substratzwischenplatzierungsteile 4 vorgesehen. Die Substratzwischenplatzierungsteile 4 platzieren einen Außenrandteil des scheibenförmigen Substrats W, wenn sich der Deckelkörper 20 in einem Zustand befindet, in dem er nicht an der Substrattransferöffnung 2 befestigt ist.
Wie in 3 gezeigt, sind der rückseitige Halteteil 3 und das Substratzwischenplatzierungsteil 4 integral als ein einziges Kunststoffteil mit einem dazwischen angeordneten Verbindungsteil 5 ausgebildet. Der rückseitige Halteteil 3 ist als eine V-förmige Nut mit einer von der Mitte des scheibenförmigen Substrats W entfernten Seite als Unterseite ausgebildet.
Wenn die scheibenförmigen Substrate W jeweils durch den deckelseitigen Halter 21 von der Substrattransferöffnung 2 zu dem rückseitigen Halteteil 3 gedrückt werden, tritt deshalb ein Teil der Umfangsrandlinie am scheibenförmigen Substrat W in einen in den V-förmigen Nutenteil des rückseitigen Halteteils 3 gepressten Zustand ein. Die scheibenförmigen Substrate W treten dadurch jeweils in einen Zustand ein, in dem sie dort gehalten und positioniert werden (siehe 5).
Es sei darauf hingewiesen, dass in 3 ein Glied zur Abstützung nur einer linken Hälfte (das heißt einer linken Hälfte mit Blickrichtung von einer Seite der Substrattransferöffnung 2) eines einzigen scheibenförmigen Substrats W in dem Behälterhauptkörper 1 dargestellt ist. In dem Behälterhauptkörper 1 sind jedoch ähnliche Glieder in einem vertikal gestapelten Zustand sowie symmetrisch in mehreren Paaren angeordnet.
Das Substratzwischenplatzierungsteil 4 ist ein regalförmiges Glied, das von einer Seitenwand des Behälterhauptkörpers 1 nach innen ragt. Wenn sich der Deckelkörper 20 in einem nicht an der Substrattransferöffnung 2 befestigten Zustand (in einem Zustand, in dem das scheibenförmige Substrat W nicht durch den deckelseitigen Halter 21 an die Rückseite gedrückt wird) befindet, tritt ein Außenrandteil des scheibenförmigen Substrats W in einen nahe einer Spitze des Substratzwischenplatzierungsteils 4 platzierten Zustand ein.
Ein Substratplatzierungsteil 6 ist ein Teil zum Platzieren der Nähe des Außenrandteils des scheibenförmigen Substrats W in einem Rückseitenbereich des Behälterhauptkörpers 1 mit Blickrichtung von der Substrattransferöffnung 2, wenn sich das scheibenförmige Substrat W in einem Zustand befindet, in dem es nicht durch den deckelseitigen Halter 21 gedrückt wird. Die Querschnittsform des Substratplatzierungsteils 6 ist in einer kleinen L-Form ausgebildet. Das scheibenförmige Substrat W ist an einem horizontalen Flächenteil des Substratplatzierungsteils 6 platziert.
Solch ein Substratplatzierungsteil 6 ist an einem Spitzenendteil eines federartigen Glieds 7 ausgebildet, der sich von einem Endteil des rückseitigen Halteteils 3 weiter in Umfangsrichtung des scheibenförmigen Substrats W erstreckt. Das federartige Glied 7 wird durch integrales Formen mit dem rückseitigen Halteteil 3, dem Substratzwischenplatzierungsteil 4 und dem Verbindungsteil 5 geformt und besitzt eine Federeigenschaft. Dann bildet eine von dem Substratplatzierungsteil 6 am Spitzenende des federartigen Glieds 7 vertikal erhabene vertikale Fläche eine Kontaktfläche 8, die an einer Umfangsfläche des scheibenförmigen Substrats W anliegt.
In einem Zustand, in dem der Deckelkörper 20 nicht an der Substrattransferöffnung 2 befestigt ist, werden das scheibenförmige Substrat W, das an dem Substratzwischenplatzierungsteil 4 platziert ist, und der Substratplatzierungsteil 6 durch den deckelseitigen Halter 21 von einer Seite der Substrattransferöffnung 2 durch den befestigten Deckelkörper 20 gedrückt. Dann bewegt sich der Außenrandteil des scheibenförmigen Substrats W zur Rückseite in einen Zustand, in dem er am Substratplatzierungsteil 6 platziert ist, während das federartige Glied 7 elastisch verformt wird, um in dem V-förmigen Nutenteil des rückseitigen Halteteils 3 angebracht zu werden und in einen Zustand einzutreten, in dem es gehalten und positioniert wird.
Des Weiteren tritt das scheibenförmige Substrat W, das durch den deckelseitigen Halter 21 von der Seite der Substrattransferöffnung 2 gedrückt wird, in einen Zustand ein, in dem das scheibenförmige Substrat W durch den deckelseitigen Halter 21 nicht gedrückt wird, da der Deckelkörper 20 abgenommen ist. Aufgrund des federartigen Glieds 7, das in die Form vor der elastischen Verformung zurückkehrt, wird das scheibenförmige Substrat W dann zu der Substrattransferöffnung 2 zurück gedrückt, und das scheibenförmige Substrat W wird in eine Position zurückgeführt, in der es durch den rückseitigen Halteteil 3 nicht gehalten und positioniert wird.
4 ist eine schematische Ansicht eines lateralen Querschnitts des Behälterhauptkörpers 1 in einem Zustand, in dem der Deckelkörper 20 nicht an der Substrattransferöffnung 2 befestigt ist. 4 kombiniert die Querschnittsformen mehrerer bevorzugter Teile, die zur Erläuterung geeignet sind, so dass sie in einer einzigen Figur dargestellt werden.
Auf diese Weise überlappen sich das Substratzwischenplatzierungsteil 4 und das scheibenförmige Substrat W mit Blickrichtung in einer vertikalen Richtung bezüglich einer Fläche des scheibenförmigen Substrats W, wie in 2 dargestellt, wenn in einem Zustand, in dem der Deckelkörper 20 von der Substrattransferöffnung 2 abgenommen ist und der Außenrandteil des scheibenförmigen Substrats W auf dem Substratplatzierungsteil 6 platziert ist.
Wie in 4 dargestellt, tritt infolgedessen der Außenrandteil jedes der scheibenförmigen Substrate W in einen Zustand ein, in dem er auf dem Substratzwischenplatzierungsteil 4 auf einer Seite der Substrattransferöffnung 2 platziert ist, und tritt in einen Zustand ein, in dem er auf dem Substratplatzierungsteil 6 davon platziert ist, ohne in der V-förmigen Nut des rückseitigen Halteteils 3 auf der Rückseite angebracht zu sein.
Wenn der Deckelkörper 20 an der Substrattransferöffnung 2 befestigt ist, wie schematisch in 5 dargestellt, wird das scheibenförmige Substrat W nach oben in eine Position gedrückt, in der es in einen Zustand eintritt, in dem es an jeder V-förmigen Nut des deckelseitigen Halters 21 und an dem rückseitigen Halteteil 3 zum Halten und Positionieren angebracht ist. Wie in 6 dargestellt, überlappen sich dann das Substratzwischenplatzierungsteil 4 und das scheibenförmige Substrat W nicht länger mit Blickrichtung in einer vertikalen Richtung bezüglich einer Fläche des scheibenförmigen Substrats W. Die Position des Substratzwischenplatzierungsteils 4 wird auf diese Weise im Behälterhauptkörper 1 festgelegt.
Deshalb ist es in einem Zustand, in dem der Deckelkörper 20 an der Substrattransferöffnung 2 befestigt ist, selbst wenn das in dem Behälterhauptkörper 1 gelagerte scheibenförmige Substrat W aufgrund von Erschütterungen, Stößen usw. gebogen ist, nicht wahrscheinlich, dass das Substrat W mit dem Substratzwischenplatzierungsteil 4 in Kontakt steht, und das scheibenförmige Substrat W mit einem größeren Durchmesser kann sicher gelagert werden.
Wenn der Deckelkörper 20 von der Substrattransferöffnung 2 abgenommen wird, wird das scheibenförmige Substrat W dann durch das federartige Glied 7 leicht nach hinten zur Seite der Substrattransferöffnung 2 bewegt und tritt in einen mit dem Substratzwischenplatzierungsteil 4 überlappten Zustand ein. Wie in 2 dargestellt, tritt das scheibenförmige Substrat W dann in einen Zustand ein, in dem es auf dem Substratzwischenplatzierungsteil 4 und dem Substratplatzierungsteil 6 platziert ist.
7 ist eine als Querschnitt ausgeführte Draufsicht eines Substratlagerbehälters gemäß einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung in einem Zustand mit befestigtem Deckelkörper 20. Bei dieser Ausführungsform befinden sich ein rückseitiger Halteteil 3 und ein Substratplatzierungsteil 6 nebeneinander und sind integral durch einstückiges Formen mit dem Substratzwischenplatzierungsteil 4 vorgesehen. 8 eine perspektivische Ansicht, die dieses Glied darstellt.
Des Weiteren ist bei der vorliegenden Ausführungsform ein federartiges Glied 7 als eine unabhängige Komponente ausgebildet. Ein Basisteil des federartigen Glieds 7 ist an einem rückseitigen Teil des Verbindungsteils 5 befestigt. Dann ist zwischen dem rückseitigen Halteteil 3 und dem Substratplatzierungsteil 6 ein Loch 9 ausgebildet. Ein Spitzenendteil des federartigen Glieds 7 ist so ausgeführt, dass es durch das Loch 9 an einer Umfangsfläche des scheibenförmigen Substrats W anliegt. Ein ist kein rückwärtiger Halter vorgesehen (es sei darauf hingewiesen, dass der rückwärtige Halter vorgesehen sein kann).
9 und 10 zeigen einen Querschnitt entlang IX-IX bzw. einen Querschnitt entlang X-X in 7. Analog zu der ersten Ausführungsform enthält der Substratplatzierungsteil 6 eine flache Fläche, die mit einer Unterseite des scheibenförmigen Substrats W zum Platzieren des scheibenförmigen Substrats W zusammenfällt. Der rückseitige Halteteil 3 enthält eine V-förmige Nut zum Positionieren und Fixieren des scheibenförmigen Substrats W.
Die anderen Konfigurationen ähneln jenen der ersten Ausführungsform. Wie in 7 dargestellt, wird in einem Zustand, in dem ein Deckelkörper 20 an einer Substrattransferöffnung 2 eines Behälterhauptkörpers 1 befestigt ist, das scheibenförmige Substrat W zu einer Rückseite geschoben, und das Substratzwischenplatzierungsteil 4 und das scheibenförmige Substrat W treten in einen nicht überlappenden Zustand mit Blickrichtung in einer vertikalen Richtung bezüglich einer Fläche des scheibenförmigen Substrats W ein.
Wenn der Deckelkörper 20 von der Substrattransferöffnung 2 abgenommen wird, dann wird das scheibenförmige Substrat W durch das federartige Glied 7 etwas nach hinten zu einer Seite der Substrattransferöffnung 2 bewegt und tritt in einen Zustand ein, in dem es mit dem Substratzwischenplatzierungsteil 4 überlappt ist. Analog zu der in 2 dargestellten ersten Ausführungsform tritt das scheibenförmige Substrat W dann in einen Zustand ein, in dem es auf dem Substratzwischenplatzierungsteil 4 und dem Substratplatzierungsteil 6 platziert ist.
Die 11 und 13 sind als Querschnitt ausgeführte Draufsichten eines Substratlagerbehälters gemäß einer dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung in einem Zustand, in dem ein Deckelkörper 20 nicht befestigt ist, bzw. in einem Zustand mit befestigtem Deckelkörper 20. Bei dieser Ausführungsform sind der rückseitige Halteteil 3 in Form einer V-förmigen Nut und der Substratplatzierungsteil 6 in Form einer horizontalen Fläche integral durchgehend geformt.
Eine Art von Feder ist als Substratrückführmittel nicht vorgesehen. Wie in den 12 und 14, die einen XII-XII-Querschnitt bzw. einen XIV-XIV-Querschnitt zeigen, dargestellt, bildet eine untere geneigte Fläche 10 von den beiden geneigten Flächen, die eine V-förmige Nut an dem rückseitigen Halteteil 3 bilden, ein Substratrückführmittel, das ein scheibenförmiges Substrat W mit Schwerkraft zu einem nach unten geneigten Substratplatzierungsteil 6 führt. Deshalb ist auch ersichtlich, dass der rückseitige Halteteil 3 und der Substratplatzierungsteil 6 integral und durchgehend geformt sind, und die das Substratrückführmittel bildende geneigte Fläche 10 zwischen ihnen angeordnet ist.
Bei der auf diese Weise konfigurierten Ausführungsform tritt, wenn der Deckelkörper 20 nicht an der Substrattransferöffnung 2 des Behälterhauptkörpers 1 befestigt ist, wie in den 11 und 12 gezeigt, ein Außenrandteil jedes der scheibenförmigen Substrate W in einen Zustand ein, in dem er auf dem Substratzwischenplatzierungsteil 4 auf einer Seite der Substrattransferöffnung 2 platziert ist, und tritt in einen Zustand ein, in dem er auf dem Substratplatzierungsteil 6 auf der Rückseite platziert ist, ohne in der V-förmigen Nut des rückseitigen Halteteils 3 auf der Rückseite angebracht zu sein.
Wenn der Deckelkörper 20 an der Substrattransferöffnung 2 befestigt ist, wie in den 13 und 14 gezeigt, dann wird das scheibenförmige Substrat W durch einen deckelseitigen Halter 21 in eine Position gedrückt, in der es in einer V-förmigen Nut des rückseitigen Halteteils 3 zum Halten und Positionieren angebracht ist. Dann überlappen sich das Substratzwischenplatzierungsteil 4 und das scheibenförmige Substrat W nicht mit Blickrichtung in einer vertikalen Richtung bezüglich einer Fläche des scheibenförmigen Substrats W.
Selbst wenn das in dem Behälterhauptkörper 1 gelagerte scheibenförmige Substrat W aufgrund von Erschütterungen, Stößen usw. gebogen wird, besteht infolgedessen keine Gefahr, dass das Substrat W das Substratzwischenplatzierungsteil 4 berührt, und das scheibenförmige Substrat W mit einem größeren Durchmesser kann sicher gelagert werden.
Wenn der Deckelkörper 20 von der Substrattransferöffnung 2 abgenommen wird, dann gleitet das scheibenförmige Substrat W durch Schwerkraft die geneigte Fläche 10 hinunter, um sich in einen Zustand zurück zu bewegen, in dem es auf dem Substratplatzierungsteil 6 platziert ist, wie in 12 gezeigt. Dann tritt das scheibenförmige Substrat W in einen Zustand ein, in dem es das Substratzwischenplatzierungsteil 4 überlappt, und tritt in einen Zustand ein, in dem es auf dem Substratzwischenplatzierungsteil 4 und dem Substratplatzierungsteil 6 platziert ist
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur

JP 2003-522078 [0004]

Claims

Substratlagerbehälter, der Folgendes umfasst: einen Behälterhauptkörper zur parallelen Lagerung mehrerer scheibenförmiger Substrate; eine Substrattransferöffnung, die in dem Behälterhauptkörper zur Übertragung des scheibenförmigen Substrats bezüglich des Behälterhauptkörpers ausgebildet ist; einen Deckelkörper, der von außen lösbar an der Substrattransferöffnung befestigt ist, um die Substrattransferöffnung abzudichten; einen rückseitigen Halteteil, der einen Außenrandteil jedes der scheibenförmigen Substrate in einem Rückseitenbereich innerhalb des Behälterhauptkörpers mit Blickrichtung von der Substrattransferöffnung positioniert und hält; einen deckelseitigen Halter, der an einem Innenwandteil des Deckelkörpers vorgesehen ist und jedes der scheibenförmigen Substrate durch Drücken zu einer Seite des rückseitigen Halteteils positioniert und hält; und ein Substratzwischenplatzierungsteil zum Platzieren des scheibenförmigen Substrats in einem Bereich nahe der Substrattransferöffnung, wenn der Deckelkörper nicht an der Substrattransferöffnung befestigt ist, wobei der Substratlagerbehälter weiterhin Folgendes umfasst: einen Substratplatzierungsteil zum Platzieren der Nähe des Außenrandteils des scheibenförmigen Substrats in einem Rückseitenbereich innerhalb des Behälterhauptkörpers mit Blickrichtung von der Substrattransferöffnung, wenn das scheibenförmige Substrat nicht durch den deckelseitigen Halter gedrückt wird; und ein Substratrückführmittel zum Zurückführen des scheibenförmigen Substrats in eine Position, in der es von dem rückseitigen Halteteil nicht gehalten oder positioniert wird, wenn das durch den deckelseitigen Halter gedrückte scheibenförmige Substrat in einen Zustand eintritt, in dem es nicht durch den deckelseitigen Halter gedrückt wird; und wobei das Substratzwischenplatzierungsteil so positioniert wird, dass: das Substratzwischenplatzierungsteil das scheibenförmige Substrat mit Blickrichtung in einer vertikalen Richtung bezüglich einer Fläche des scheibenförmigen Substrats überlappt, wenn der Deckelkörper von der Substrattransferöffnung entfernt wird und das scheibenförmige Substrat nicht durch den rückseitigen Halteteil gehalten oder positioniert wird; und sich das Substratzwischenplatzierungsteil nicht mit dem scheibenförmigen Substrat mit Blickrichtung in einer vertikalen Richtung bezüglich einer Fläche des scheibenförmigen Substrats überlappt, wenn der Deckelkörper an der Substrattransferöffnung befestigt ist und das scheibenförmige Substrat in eine Position gedrückt wird, in der es durch den rückseitigen Halteteil positioniert und gehalten wird.
Substratlagerbehälter nach Anspruch 1, wobei das Substratrückführmittel ein federartiges Glied ist, das eine Umfangsfläche des scheibenförmigen Substrats berührt.
Substratlagerbehälter nach Anspruch 2, wobei der Substratplatzierungsteil integral mit dem federartigen Glied so ausgebildet ist, dass er sich neben einer Kontaktfläche des federartigen Glieds befindet, die das scheibenförmige Substrat berührt.
Substratlagerbehälter nach Anspruch 2, wobei das federartige Glied so vorgesehen ist, dass es sich von einem Endteil des rückseitigen Halteteils erstreckt.
Substratlagerbehälter nach Anspruch 2, wobei der rückseitige Halteteil und der Substratplatzierungsteil integral so vorgesehen sind, dass sie sich nebeneinander befinden.
Substratlagerbehälter nach Anspruch 5, wobei zwischen dem rückseitigen Halteteil und dem Substratplatzierungsteil ein Loch ausgebildet ist, und ein Spitzenendteil des federartigen Glieds durch das Loch an einer Umfangsfläche des scheibenförmigen Substrats anliegt.
Substratlagerbehälter nach Anspruch 1, wobei das Substratrückführmittel eine geneigte Fläche ist, die das scheibenförmige Substrat mit Schwerkraft schräg nach unten führt.
Substratlagerbehälter nach Anspruch 7, wobei der rückseitige Halteteil und der Substratplatzierungsteil integral ausgebildet sind und die geneigte Fläche durchgehend zwischen ihnen angeordnet ist.
Substratlagerbehälter nach Anspruch 7, wobei die geneigte Fläche eine Fläche von zwei Flächen ist, die eine V-förmige Nut am rückseitigen Halteteil bilden.