TWI634062B

TWI634062B - Substrate storage container

Info

Publication number: TWI634062B
Application number: TW103118528A
Authority: TW
Inventors: 金森雄大
Original assignee: 未來兒股份有限公司; 信越聚合物股份有限公司
Priority date: 2013-06-03
Filing date: 2014-05-28
Publication date: 2018-09-01
Also published as: TW201502044A; US20160126122A1; JP6106271B2; US10134618B2; JPWO2014196011A1; KR102091426B1; WO2014196011A1; KR20160013889A

Abstract

基板收納容器係具備容器本體、蓋體、底板6及槽構件7。底板6係具有板狀且與下壁24之外面對向配置，且具有卡止部612。槽構件7係具有槽形成部71、周壁部72及被卡止部73，且被支持固定於下壁24及底板6上，該槽形成部71係形成有朝下方開口之槽701，該周壁部72係連接於槽形成部71且以圍繞於槽形成部71周圍之方式而配置，該被卡止部73係連接於周壁部72且可彈性變形，藉由彈性變形而卡止於底板6之卡止部。

Description

基板收納容器

本發明係關於一種收納半導體晶圓等之基板的基板收納容器。

作為收納半導體晶圓等之基板的容器，先前已知有具備容器本體、蓋體及槽構件之構成者。

容器本體係具有一端部形成有容器本體開口部且另一端部被封閉之筒狀壁部。於容器本體內形成有基板收納空間。基板收納空間係由壁部所圍繞而形成，且可收納複數個基板。蓋體係可對容器本體開口部進行裝卸，且可將容器本體開口部關閉。基板支持板狀部係於基板收納空間內以成對之方式設於壁部。於未藉由蓋體將容器本體開口部關閉時，基板支持板狀部係於使相鄰之基板彼此以既定間隔分離而排列的狀態下可支持複數個基板的緣部。

於屬蓋體之部分且於將容器本體開口部關閉時與基板收納空間對向之部分設置有前保持器(front retainer)。於藉由蓋體將容器本體開口部關閉時，前保持器可支持複數個基板的緣部。此外，以與前保持器組成一對之方式於壁部設置有後側基板支持部。後側基板支持部係可支持複數個基板的緣部。於藉由蓋體將容器本體開口部關閉時，後側基板支持部係與前保持器協同支持複數個基板，藉此，於使相鄰之基板彼此以既定間隔分離而排列的狀態下保持複數個基板。

容器本體之壁部係具有後壁、上壁、下壁、第一側壁及第二側壁。於下壁固定有槽構件。槽構件係具有V字狀之槽，且於槽內卡合支持基板收納容器之支持構件。藉由支持構件對槽的卡合，於藉由支持構件支持基板收納容器之狀態下，對基板收納容器進行搬運。

先前技術文獻專利文獻

專利文獻1 日本特開2010-40612號公報

專利文獻2 國際公開第2013/025629號公報

槽構件係具有槽形成部及爪構件。槽形成部形成槽。爪構件連接於槽形成部，且被卡止於對下壁固定之底板或下壁。爪構件係藉由彈性變形而卡止於對下壁固定之底板及/或下壁。

近年來，隨著基板之大型化，基板收納容器也有大型化且收納基板之基板收納容器之重量增大之傾向。藉此，施加於槽構件之負荷增大，進而要求提高槽構件之強度。

本發明之目的在於，提供一種基板收納容器，其可承受大型化之基板收納容器之負荷，且具有高耐久性之槽構件。

本發明係關於一種基板收納容器，其具備：容器本體，其具有一端部形成有容器本體開口部且另一端部被封閉之筒狀壁部，該壁部具有後壁、上壁、下壁及一對側壁，且藉由該上壁之一端部、該下壁之一端部及該側壁之一端部形成有該容器本體開口部，該容器本體係藉由該上壁之內面、該下壁之內面、該側壁之內面及該後壁之內面形成有可收納複數個基板且與該容器本體開口部連通之基板收納空間；蓋體，其可對該容器本體開口部進行裝卸，且可將該容器本體開口部關閉；底板，其具有板狀且與該下壁之外面對向配置，且具有卡止部；及槽構件，其具有槽形成部、周壁部及被卡止部，且被支持固定於該下壁及該底板上，該槽形成部係形成有朝下方開口之槽，該周壁部係連接於該槽形成部且以圍繞於該槽形成部周圍之方式而配置，該被卡止部係連接於該周壁部且可彈性變形，藉由彈性變形而卡止於該底板之該卡止部。

此外，其較佳構成為，該槽形成部係連接於對於該周壁部之圍繞方向的軸向上之該周壁部的一端部，該槽係於該周壁部之該軸向上的該周壁部之一端部開口，該被卡止部係連接於該周壁部之該軸向上的該周壁部之另一端部。

此外，其較佳構成為，該被卡止部係藉由自該周壁部之該軸向上的該周壁部之另一端部，沿該周壁部之外面朝該周壁部之該軸向上的該周壁部之一端部側延長之懸臂彈簧所構成。

此外，於該底板形成有可供該槽構件插入之插入貫通孔，該底板之該卡止部係藉由該底板的部分且該插入貫通孔周圍之周緣部分所構成，該懸臂彈簧係具有位於該懸臂彈簧之延長端部的板狀部、及較該板狀部位於靠該懸臂彈簧之基端部側且朝自該周壁部分離之方向比該板狀部更突出之被卡止凸部，該被卡止凸部係卡止於該周緣部分。

此外，較佳構成為，該槽構件係具備連接於該周壁部之內面的一部分、與該內面之一部分不同的該周壁部之內面之另一部分、及該槽形成部之肋條部，該肋條部之上端面係構成該槽構件之上端面，於該肋條部之上端面存在有自該肋條部之上端面朝上方突出且抵接於該下壁之高度調整凸部。

此外，較佳構成為，既是該槽形成部之部分且形成該槽的底部之槽底形成部，係具有直線狀，於該槽底形成部之兩端存在有自該槽底形成部的兩端突出之定位凸部，於該下壁之下面朝下方突出地存在有沿該下壁的下面平行地延長之2條軌道，該定位凸部可嵌合於該2條軌道間。

此外，較佳構成為，該槽形成部係連接於對於該周壁部之圍繞方向的軸向上之該周壁部的一端部整體，該槽係於該周壁部之該軸向上的該周壁部之一端部開口，於該周壁部之一端部上的該槽形成部與該周壁部之連接部分，形成有連通該周壁部之內側空間及該周壁部的外側空間之排水貫通孔。

根據本發明，可提供一種基板收納容器，其可承受大型化之基板收納容器之負荷，且具有高耐久性之槽構件。

1‧‧‧基板收納容器

2‧‧‧容器本體

3‧‧‧蓋體

6‧‧‧底板

7‧‧‧槽構件

20‧‧‧壁部

21‧‧‧容器本體開口部

22‧‧‧後壁

23‧‧‧上壁

24‧‧‧下壁

25‧‧‧第一側壁

26‧‧‧第二側壁

27‧‧‧基板收納空間

61‧‧‧插入貫通孔

71‧‧‧槽形成部

72‧‧‧周壁部

73‧‧‧被卡止部

74‧‧‧平行壁部(肋條部)

245‧‧‧軌道

701‧‧‧槽

702‧‧‧排水貫通孔

715‧‧‧槽底形成部

716‧‧‧定位凸部

724‧‧‧內面

734‧‧‧板狀部

735‧‧‧被卡止凸部

742‧‧‧高度調整部

W‧‧‧基板

第1圖為顯示本發明之實施形態的基板收納容器1之分解立體圖。

第2A圖為顯示本發明之實施形態的基板收納容器1之仰視圖。

第2B圖為顯示本發明之實施形態的基板收納容器1之放大仰視圖。

第3A圖為沿第2B圖中之A-A線的主要部分放大剖視圖。

第3B圖為沿第2B圖中之B-B線的主要部分放大剖視圖。

第4A圖為顯示本發明之實施形態的基板收納容器1之槽構件7之下側立體圖。

第4B圖為顯示本發明之實施形態的基板收納容器1之槽構件7之上側立體圖。

第4C圖為顯示本發明之實施形態的基板收納容器1之槽構件7之仰視圖。

第4D圖為顯示本發明之實施形態的基板收納容器1之槽構件7之俯視圖。

第4E圖為顯示本發明之實施形態的基板收納容器1之槽構件7之側視圖。

第4F圖為顯示本發明之實施形態的基板收納容器1之槽構件7之前視圖。

第5A圖為顯示自本發明之實施形態的基板收納容器1之容器本體2卸下槽構件7之狀況之仰視圖。

第5B圖為顯示自本發明之實施形態的基板收納容器1之容器本體2卸下槽構件7之狀況之放大仰視圖。

第6A圖為顯示對本發明之實施形態的基板收納容器1之底板6安裝槽構件7之狀況之立體圖。

第6B圖為顯示對本發明之實施形態的基板收納容器1之底板6安裝槽構件7之狀況之放大立體圖。

以下，參照圖式對本發明之第一實施形態的基板收納容器1進行說明，第1圖為顯示本發明之實施形態的基板收納容器1之分解立體圖。第2A圖為顯示本發明之實施形態的基板收納容器1之仰視圖。第2B圖為顯示本發明之實施形態的基板收納容器1之放大仰視圖。第3A圖為沿第2B圖中之A-A線的要部放大剖視圖。第3B圖為沿第2B圖中之B-B線的要部放大剖視圖。

第4A圖為顯示本發明之實施形態的基板收納容器1之槽構件7之下側立體圖。第4B圖為顯示本發明之實施形態的基板收納容器1之槽構件7之上側立體圖。第4C圖為顯示本發明之實施形態的基板收納容器1之槽構件7之仰視圖。第4D圖為顯示本發明之實施形態的基板收納容器1之槽構件7之俯視圖。第4E圖為顯示本發明之實施形態的基板收納容器1之槽構件7之側視圖。第4F圖為顯示本發明之實施形態的基板收納容器1之槽構件7之前視圖。

第5A圖為顯示自本發明之實施形態的基板收納容器1之容器本體2卸下槽構件7之狀況之仰視圖。第5B圖為顯示自本發明之實施形態的基板收納容器1之容器本體2卸下槽構件7之狀況之放大仰視圖。第6A圖為顯示對本發明之實施形態的基板收納容器1之底板6安裝槽構件7之狀況之立體圖。第6B圖為顯示對本發明之實施形態的基板收納容器1之底板6安裝槽構件7之狀況之放大立體圖。

在此，為了便於說明，將自後述之容器本體 2朝蓋體3的方向(第1圖中之左下方向)定義為前方向D11，將其相反方向定義為後方向D12，並將這些方向定義為前後方向D1。此外，將自後述之下壁24朝上壁23的方向(第1圖中之上方向)定義為上方向D21，將其相反方向定義為下方向D22，並將這些方向定義為上下方向D2。此外，將自後述之第二側壁26朝第一側壁25的方向(第1圖中之左上方向)定義為左方向D31，將其相反方向定義為右方向D32，並將這些方向定義為左右方向D3。

此外，收容於基板收納容器1之基板W(參照第1圖)係圓盤狀之矽晶圓、玻璃晶圓、藍寶石晶圓等，是使用於產業上之薄片者。本實施形態之基板W係直徑450mm之矽晶圓。

如第1圖所示，基板收納容器1係具有容器本體2、蓋體3及槽構件7(參照第2A圖等)。

容器本體2係具有一端部形成有容器本體開口部21，另一端部被封閉之筒狀壁部20。於容器本體2內形成有基板收納空間27。基板收納空間27係由壁部20所圍繞而形成。於屬壁部20之部分且形成基板收納空間27之部分配置有基板支持板狀部5。於基板收納空間27內可收納複數個基板W。

基板支持板狀部5係於基板收納空間27內以於左右方向D3上成對之方式設置於壁部20。於未藉由蓋體3將容器本體開口部21關閉時，基板支持板狀部5係於使相鄰之基板W彼此以既定間隔分離而排列的狀態下可支持複數個基板W的緣部。於基板支持板狀部5之後側設置有後側基板支持部(未圖示)。於藉由蓋體3將容器本體開口部21關閉時，後側基板支持部(未圖示)係可支持複數個基板W的緣部之後部。

蓋體3係可對容器本體開口部21進行裝卸，且可將容器本體開口部21關閉。於蓋體3之部分且於藉由蓋體3將容器本體開口部21關閉時與基板收納空間27對向之部分(圖1所示之蓋體3的背面側之面)設置有前保持器(未圖示)。前保持器(未圖示)係以與後側基板支持部(未圖示)組成一對之方式所配置。

於藉由蓋體3將容器本體開口部21關閉時，前保持器(未圖示)係可支持複數個基板W的緣部之前部。於藉由蓋體3將容器本體開口部21關閉時，前保持器(未圖示)係藉由與後側基板支持部(未圖示)協同支持複數個基板W，於使相鄰之基板W彼此以既定間隔分離而排列的狀態下保持複數個基板W。

如第2A圖所示，槽構件7係具有朝下方開口之V字狀之槽701，且於容器本體2之下部配置有3個槽構件7。支持基板收納容器1之支持構件(未圖示)可卡合於V字狀之槽701。

如第1圖所示，於構成壁部20之後述一對側壁25,26上，設置有搬運構件8，其以沿側壁25,26之外面的方式分別與一對側壁之外面對向地配置。搬運構件8之肋條82的下部係藉由堆高機(forklift，未圖示)之叉所支持，因而基板收納容器1可藉由堆高機抬起。以下，對各部分詳細地進行說明。

如第1圖所示，容器本體2之壁部20係具有後壁22、上壁23、下壁24、第一側壁25及第二側壁26。後壁22、上壁23、下壁24、第一側壁25及第二側壁26係由塑膠材料等所構成，於第1實施形態中，藉由聚碳酸酯一體成型而構成。

第一側壁25及第二側壁26係對向配置，且上壁23及下壁24係對向配置。上壁23之後端、下壁24之後端、第一側壁25之後端及第二側壁26的後端，全部連接於後壁22。上壁23之前端、下壁24之前端、第一側壁25之前端及第二側壁26的前端，係具有與後壁22對向之位置關係，且構成開口周緣部28，該開口周緣部28係形成大致長方形狀之容器本體開口部21。

開口周緣部28係設於容器本體2之一端部，後壁22係位於容器本體2之另一端部。藉由壁部20之外形所形成之容器本體2之外形係呈箱形之形狀。壁部 20之內面即後壁22之內面、上壁23之內面、下壁24之內面、第一側壁25之內面及第二側壁26的內面，係藉由這些壁面所圍繞形成之基板收納空間27。形成於開口周緣部28之容器本體開口部21，係由壁部20所圍繞且與形成在容器本體2內部之基板收納空間27連通。於基板收納空間27內，以基板W之上面及下面成為大致水平之位置關係可收納最多為25片之基板W。

如第1圖所示，屬於上壁23及下壁24之部分且開口周緣部28的附近部分形成有朝基板收納空間27之外側凹陷之栓鎖卡合凹部231A,231B,241A,241B。栓鎖卡合凹部231A,231B,241A,241B係於上壁23及下壁24之左右兩端部附近各形成一個，合計形成有4個。

如第1圖所示，於上壁23之外面與上壁23 一體成型地設置有凸緣固定部(未圖示)及肋條235A,235B。凸緣固定部(未圖示)係配置於上壁23之中央部。如第1圖所示，於凸緣固定部(未圖示)固定有頂部凸緣236。頂部凸緣236係配置於上壁23之中央部。頂部凸緣236係於AMHS(自動晶圓搬送系統)、PGV(晶圓基板搬送平台車)等對基板收納容器1進行懸吊時，供作為吊升構件之這些機械臂(未圖示)鉤掛，藉此，基板收納容器1被懸吊於機械臂上。

於上壁設置有肋條235A,235B。肋條235A係自頂部凸緣236分別朝左前方向、右前方向延伸有複數條。此外，肋條235B係自頂部凸緣236朝前方向D11延伸有複數條，此外，自頂部凸緣236朝後方向D12延伸有複數條。

於下壁24固定有底板6。底板6係具有與構成下壁24之外面的下面242(參照第3A圖等)之大致全面對向配置的大致長方形狀之板狀，如第2A圖所示，其藉由螺絲243固定於下壁24。於底板6與下壁24之間形成有空間244(參照第3A圖等)。又，底板6之朝下壁24之固定，不限螺絲243。除以螺絲243固定以外，也可取代螺絲243而藉由接著、熔接等固定。

如第6A圖等所示，於底板6形成有插入貫通孔61。插入貫通孔61係具有大致長圓形狀，於插入貫通孔61內可插入槽構件7。又，於第6A及第6B圖中，為方便起見，僅圖示底板6及槽構件7。如第2A圖所示，插入貫通孔61係以底板6之中央作為中心，且以120度之間隔位於底板6之周向上。插入貫通孔61係具有使長度方向形成以底板6之中央為中心的放射狀之位置關係。

如第5B圖所示，於插入貫通孔61之長度方向上的插入貫通孔61之寬度方向兩端部分形成有被卡止部插入部611。藉由形成被卡止部插入部611，將形成有被卡止部插入部611之部分的插入貫通孔61之寬度形成為較寬。於被卡止部插入部611內可插入後述之槽構件7的被卡止部73。藉由底板6之部分所構成的插入貫通孔61之周圍的周緣部分且形成被卡止部插入部611之部分，係構成卡止部，且具有朝上方向突出之卡止部凸部612(參照第3A圖等)。

如第5B圖所示，於與底板6之插入貫通孔 61對向的下壁24之下面242的部分存在有2條軌道245。2條軌道245係沿下壁24之下面242朝插入貫通孔61的長度方向平行地延長，且朝下方向D22突出。仰視為，自2條軌道245之一端及另一端，再以分別將2條軌道245延長之方式，沿下壁24之下面242存在有一對軌道延長部246。並且，仰視為，一對軌道延長部246分別彎曲而以沿下壁24之下面242彼此分離的方式延長。

軌道延長部246之朝下方向D22的突出量，係較2條軌道245之朝相同方向的突出量小。此外，於連接於2條軌道245之一對軌道延長部246的部分分別存在有朝與2條軌道245之延長方向正交的方向延伸之正交延長部247。正交延長部247之朝下方向D22的突出量，係與軌道延長部246之朝相同方向的突出量相同。

如第4B圖等所示，槽構件7係具有槽形成部71、周壁部72、被卡止部73及作為肋條部之一對平行壁部74，且被支持固定於下壁24及底板6。此外，槽構件7係具有以圖4C所示之仰視時的中央位置為中心之點對稱形狀。又，於第4A~4F圖中，圖示有第2A圖中所圖示之3個槽構件7中的位於最後方向(D12)之槽構件7。

如第4A、4B圖等所示，周壁部72具有大致筒狀，且周壁部72之與作為軸向的上下方向D2所正交之截面，係具有較插入貫通孔61略小之長圓形狀。周壁部72之徑向的厚度係4mm，構成為較厚之壁部。周壁部72係以圍繞在槽形成部71周圍之方式而配置。於長圓形之周壁部72的長度方向上之中央部形成有一對自周壁部72之軸向的上端朝下端而形成的矩形缺口723。

槽形成部71係具有山形部711及一對半圓錐形部712。一對半圓錐形部712係具有將宛若一個之圓錐自包含其軸心的面切半而成之形狀。但實際上，一對半圓錐形部712並非將一個圓錐切割而形成，而是與山形部711、周壁部72、被卡止部73及平行壁部74一體成型而形成。

山形部711係具有山形屋頂形狀。山形部711 之長度方向上的端面係一體成型地連接於如前述之端面，即具有將宛若一個之圓錐切半而構成之形狀的一對半圓錐形部712的端面、且相當於切斷面之端面。藉此，山形部711係構成槽形成部71之中央部。

藉由山形部711之下面形成有朝下方開口之 V字狀的槽701。於山形部711之長度方向上，V字狀之槽701端部係藉由半圓錐形部712的下面所閉合。山形部711之下端部713係與周壁部72的下端部721一體成型而連接，此外，半圓錐形部712之下端部714係與周壁部72的下端部721一體成型而連接。藉此，作為具有大致筒狀之周壁部72的一端部之下端部721整體，係連接於構成槽形成部71之山形部711及半圓錐形部712。 V字狀之槽701係於周壁部72之軸向(上下方向D2)上的作為周壁部72之一端部的下端部721開口。山形部711 及半圓錐形部712之厚度係與周壁部72的厚度同樣為4mm，構成為較厚之壁。

如第4B、4D圖等所示，形成槽701之底部的山形部711之槽底形成部715係具有直線狀。於槽底形成部715之長度方向上的兩端部分別存在有俯視為大致字狀的定位凸部716。定位凸部716係以呈大致字狀圍繞於山形部711之槽底形成部715的端部之方式配置，且較槽底形成部715之上端面更朝上方突出。槽底形成部715之長度方向上的一端部之定位凸部716、及槽底形成部715之長度方向上的另一端部之定位凸部716係可分別嵌合於2條軌道245之間。藉由此嵌合，槽構件7係於與2條軌道245正交之方向上被定位。

如第4B、4D圖等所示，作為肋條部之一對平行壁部74係於山形部711與半圓錐形部712之連接部分，一體成型地連接於山形部711及半圓錐形部712。一對平行壁部74係位於山形部711及半圓錐形部712之上側，且於與山形部711之長度方向正交的方向具有平行之位置關係。一對平行壁部74之上端面741、定位凸部716之上端面及周壁部72的上端面係具有位於同一平面之位置關係。一對平行壁部74之上端面741係構成槽構件7之上端面。

如第4B圖所示，與山形部711之長度方向正交的方向上之一對平行壁部74之兩端部，係分別一體成型地連接於周壁部72之內面724的一部分及與該內面724之一部分不同的周壁部72之內面724的另一部分。一對平行壁部74之端部的下端部係一體成型地連接於山形部711之長度方向上的兩端部之上面。2條軌道245之長度方向上的兩端分別可抵接於相互對向之一對平行壁部74之側面。藉由此抵接，槽構件7係於2條軌道245之長度方向上被定位。

於屬一對平行壁部74之上端面741且定位凸部716與連接於周壁部72之平行壁部74的端部之間的部分，存在有高度調整凸部742。高度調整凸部742係與平行壁部74之上端面741一體成型地連接。高度調整凸部742係自平行壁部74之上端面741朝上方向D21突出，且可抵接於下壁24之正交延長部247(參照第5B圖)的下端面。藉由此抵接，可於不發生晃動之狀態下將槽構件7固定於下壁24及底板6。

如第4C、4E圖所示，於周壁部72之一端部的槽形成部71與周壁部72之連接部分形成有排水貫通孔702。排水貫通孔702係以挾持平行壁部74之下端部的方式組成一對，且與平行壁部74之下端部相鄰而合計形成8個。於形成有排水貫通孔702之周壁部72的部分形成有以自周壁部72之下端部721朝上端部722的方式而形成之矩形形狀之排水用缺口725，成對之排水貫通孔702分別連通於排水用缺口725。並且，排水貫通孔702係連通周壁部72之內側空間與周壁部72的外側空間。

如第4D圖所示，更具體而言，排水貫通孔 702係連通藉由周壁部72之內面724、半圓錐形部712 的上面及平行壁部74所圍成之空間703、或藉由周壁部72之內面724、山形部711的上面及一對平行壁部74所圍成之空間704、與周壁部72之外側空間。排水貫通孔702係於基板收納容器1進行清洗時，將蓄積於藉由周壁部72之內面724、半圓錐形部712的上面及平行壁部74所圍成之空間703、或藉由周壁部72之內面724、山形部711的上面及一對平行壁部74之端部所圍成之空間704內的清洗液朝周壁部72之外周側空間排出。

被卡止部73係由可彈性變形之懸臂彈簧所構成。如第4F圖等所示，被卡止部73之基部731係一體成型地連接於周壁部72的軸向(上下方向D2)上之作為周壁部72的另一端部之上端部722。被卡止部73係自周壁部72的軸向上之周壁部72的上端部722沿周壁部72的外面朝周壁部72的軸向上之作為周壁部72的一端部之下端部721側延伸。被卡止部73之自由端732係於上下方向D2上位於略較周壁部72之下端部721略靠上方之位置。

如第4E圖所示，側視為，於被卡止部73形成有具有與缺口723一致之位置關係的彈簧缺口733。藉由形成彈簧缺口733，被卡止部73之上半部之部分係具有相對於下半部被分叉成二股之形狀。被卡止部73之下半部的部分係具有板狀部734及被卡止凸部735。板狀部734係位於被卡止部73之延長端部，其構成懸臂彈簧之自由端部分。

被卡止凸部735係於較板狀部734更靠藉由懸臂彈簧所構成之被卡止部73的基部側，存在於較分叉成二股之被卡止部73的上半部之部分更下側的位置。被卡止凸部735係朝自周壁部72分離之方向比板狀部734更突出。如第4F圖所示，於槽構件7之俯視下，被卡止凸部735係具有隨著朝向上方向D21而靠近周壁部72之大致直角等邊三角形形狀。隨著槽構件7被插入插入貫通孔61(參照第5A圖)，被卡止部73也跟隨著彈簧變形。於是被卡止凸部735之下端面736抵接於卡止部凸部612(參照第3A圖等)的上端面613，於是被卡止部73被卡止於卡止部。

如第1圖所示，蓋體3係具有與容器本體2 之開口周緣部28的形狀大致一致的略長方形形狀。蓋體3係可對容器本體2之開口周緣部28進行裝卸，藉由將蓋體3安裝於開口周緣部28，蓋體3可將容器本體開口部21關閉。於蓋體3之內面(第1圖所示之蓋體3的背面側之面)且與蓋體3將容器本體開口部21關閉時之形成於開口周緣部28的離後方向D12不遠之位置上的階差部分的面(密封面)對向之面，安裝有環狀之密封構件4。密封構件4係以可彈性變形之POE(聚氧乙烯)製、PEE製為首，聚酯類、聚烯烴類等之各種熱塑性彈性體、氟橡膠製、矽膠製等。密封構件4等係以圍繞蓋體3之外周緣部一圈的方式而配置。

於蓋體3安裝於開口周緣部28時，密封構件4藉由該階差部分之面(密封面)與蓋體3的內面所挾持而彈性變形，於是蓋體3係以密封之狀態將容器本體開口部21關閉。藉由自開口周緣部28卸下蓋體3，即可使基板W於容器本體2內之基板收納空間27進出。

於蓋體3設置有栓鎖機構。栓鎖機構係設於蓋體3之左右兩端部附近，如第1圖所示，其具備可自蓋體3之上邊朝上方向D21突出的2個上側栓鎖部32A、及可自蓋體3之下邊朝下方向D22突出的2個下側栓鎖部(未圖示)。2個上側栓鎖部32A係配置於蓋體3之上邊的左右兩端附近，2個下側栓鎖部係配置於蓋體3之下邊的左右兩端附近。

於蓋體3之外面設置有操作部33。藉由自蓋體3之前側對操作部33進行操作，可使上側栓鎖部32A、下側栓鎖部(未圖示)自蓋體3之上邊、下邊突出，此外，可使其等成為不自上邊、下邊突出之狀態。藉由上側栓鎖部32A自蓋體3之上邊朝上方向D21突出，而卡合於容器本體2之栓鎖卡合凹部231A,231B，且下側栓鎖部自蓋體3之下邊朝下方向D22突出，而卡合於容器本體2之栓鎖卡合凹部241A,241B，將蓋體3固定於容器本體2之開口周緣部28。

於蓋體3之內側形成有朝基板收納空間27 之外側凹陷的凹部(未圖示)。於凹部(未圖示)固定有前保持器(未圖示)。

前保持器係具有前保持器基板承接部(未圖示)。前保持器基板承接部係於左右方向D3以既定間隔分離而成對的方式各配置2個。以此種成對之方式各配置2個之前保持器基板承接部，係於在上下方向D2上排列25對之狀態下所設置。藉由將基板W收納於基板收納空間27內，且將蓋體3關閉，前保持器基板承接部即對基板W之緣部的端緣進行挾持而予支持。

於該構成之基板收納容器1中，槽構件7之對下壁24及底板6的裝卸，係依以下方式進行。

首先，如第6A、6B圖所示，將槽構件7設定為槽701向下方開口之位置關係，然後將槽構件7朝插入貫通孔61插入。於是，被卡止部735(參照第3A圖等)之突出端抵接於藉由底板6的部分而構成之形成被卡止部插入部611的部分。藉此，藉由懸臂彈簧所構成之被卡止部73彈性變形，於與槽構件7之長度方向正交的寬度方向，形成被卡止部73分別接近於周壁部72的狀態。

若進一步將槽構件7朝插入貫通孔61插入，如第3A圖所示，被卡止部735會位於較卡止部凸部612的上端面613更上方之位置，板狀部734抵接於藉由底板6的部分而構成之形成被卡止部插入部611的部分。與此同時，被卡止部735之下端面736抵接於卡止部凸部612的上端面613，被卡止部73被卡止於卡止部凸部612。藉由此卡止，槽構件7被支持於底板6，從而對底板6進行固定。

與此同時，高度調整凸部742抵接於下壁24 之正交延長部247的下端面。此時，槽底形成部715之長度方向上的一端部之定位凸部716、與槽底形成部715 之長度方向的另一端部之定位凸部716，如第3B圖所示，同時分別嵌合於2條軌道245之間。藉由這些嵌合，槽構件7被下壁24所支持，從而為下壁24所固定。

於將槽構件7自下壁24及底板6卸下時，首先，以使一對被卡止部73之板狀部734接近於周壁部72的方式按壓板狀部734，以使被卡止部73彈性變形。藉此，板狀部734自藉由底板6的部分而構成之形成被卡止部插入部611的部分分離。並且，於被卡止部735之下端面736成為不與卡止部凸部612的上端面613對向之位置關係時，自插入貫通孔61中拔出槽構件7。藉此，槽構件7自底板6及下壁24被卸下。

根據上述構成之第1實施形態的基板收納容器1，可獲得以下之功效。

槽構件7係具有槽形成部71、周壁部72及被卡止部73，其中槽形成部71係形成有朝下方開口之槽701，周壁部72係連接於槽形成部71且以圍繞槽形成部71周圍之方式而配置，被卡止部73係連接於周壁部72且可彈性變形，藉由彈性變形而卡止於底板6之卡止部(屬插入貫通孔61周圍之周緣部分且形成被卡止部插入部611之部分)。

因此，將槽形成部71及周壁部72構成為厚壁，藉由牢固之周壁部72圍繞牢固的槽形成部71，從而可將槽構件7作成牢固之構成。其結果，可製成具有能承受大型化之基板收納容器1的負荷之槽構件7的基板收納容器1。此外，由於可將槽構件7作成牢固之構成，可盡可能地抑制槽形成部71及周壁部72之變形，進而可以高精度將槽構件7對底板6及下壁24進行定位並固定。

此外，槽形成部71係連接於對於周壁部72 之圍繞方向的軸向上之周壁部72之一端部(下端部721)，槽701係於周壁部72之軸向上的周壁部72之一端部(下端部721)開口，被卡止部73係連接於周壁部72之軸向上的周壁部72的另一端部(上端部722)。因此，可使施加於槽構件7之負荷分散於周壁部72的軸向上之周壁部72之一端部及另一端部(下端部721及上端部722)，從而可提高槽構件7之耐久性。

此外，被卡止部73係藉由自周壁部72之軸向上的周壁部72之另一端部(上端部722)，沿周壁部72之外面朝周壁部72之軸向上的周壁部72之一端部(下端部721)側延長之懸臂彈簧所構成。因此，藉由對抗懸臂彈簧之施力而使懸臂彈簧彈性變形，可使被卡止部73卡止於卡止部或使被卡止部73自卡止部解除卡合。因而可容易地進行被卡止部73對卡止部之裝卸。

於底板6形成有可供槽構件7插入之插入貫通孔61，底板6之卡止部係藉由屬底板6的部分且插入貫通孔61周圍之周緣部分所構成，懸臂彈簧係具有位於懸臂彈簧之延長端部的板狀部734、及較板狀部734位於靠懸臂彈簧之基端部側且朝自周壁部72分離之方向突出之被卡止凸部735，被卡止凸部735係卡止於周緣部分。

因此，藉由按壓板狀部734，可容易使被卡止部73變形，從而可容易進行被卡止部73之對卡止部的裝卸。其結果，可不用藉由壓入等將槽構件7固定於下壁24或底板6，因而可盡可能地抑制磨耗及破損之產生。

此外，藉由將槽構件7插入插入貫通孔61 內且收容於形成在底板6與下壁24之間的空間244內，可將露出於底板6外側之槽構件7的部分僅作為主要用以形成V字狀之槽701的部分(槽形成部71)，從而可藉由底板6保護槽構件7之大部分。其結果，藉由其他構件接觸於槽構件7，可盡可能地抑制槽構件7自底板6及下壁24的脫落。

此外，於構成肋條部之平行壁部74的上端面 741存在有自平行壁部74之上端面朝上方突出而抵接於該下壁24之高度調整凸部742。因此，藉由將高度調整凸部742設定在適宜之高度，槽構件7不會晃動並可將其固定於下壁24及底板6。

此外，屬槽形成部71之部分且形成槽701 的底部之槽底形成部715，係具有直線狀，於該槽底形成部715之兩端存在有自槽底形成部715的兩端突出之定位凸部716。於下壁24之下面242朝下方突出地存在有沿下壁24的下面242平行延長之2條軌道245。並且，定位凸部716係可嵌合於2條軌道245間。藉由此嵌合，可容易地將槽構件7相對於下壁24進行定位。

此外，槽形成部71係連接於對於該周壁部 72之圍繞方向的軸向上之周壁部72的一端部整體，槽701係於周壁部72之軸向上的周壁部72之一端部(下端部721)開口，於周壁部72之一端部(下端部721)的槽形成部71與周壁部72之連接部分，形成有連通周壁部72之內側空間及周壁部72的外側空間之排水貫通孔702。因此，於對基板收納容器1進行清洗時，可透過排水貫通孔702將流入藉由槽形成部71之上面與周壁部72所圍成之空間內的清洗液等朝該空間外排出。其結果，可防止清洗液等蓄積於藉由槽形成部71之上面與周壁部72所圍成之空間內。

此外，槽構件7係具有以第4C圖所示之仰視時的中央位置為中心之點對稱形狀。因此，於將槽構件7安裝在底板6及下壁24時，不用在意槽構件7之方向如何，可容易地進行安裝。

本發明不限上述實施形態，其可於申請專利範圍所記載之技術範疇內進行變形。例如，基板收納容器1之形狀及構成，不限於上述實施形態的形狀及構成。具體而言，例如，被卡止部735之下端面736係抵接於卡止部凸部612的上端面，被卡止部73係卡止於卡止部，但不限此構成。例如，也可為於底板6之部分且插入貫通孔61周圍的周緣部分不設置卡止部凸部612，被卡止部735係卡止於該周緣部分之構成。

Claims

一種基板收納容器，其具備：容器本體，其具有一端部形成有容器本體開口部且另一端部被封閉之筒狀壁部，該壁部具有後壁、上壁、下壁及一對側壁，且藉由該上壁之一端部、該下壁之一端部及該側壁之一端部形成有該容器本體開口部，該容器本體係藉由該上壁之內面、該下壁之內面、該側壁之內面及該後壁之內面形成有可收納複數個基板且與該容器本體開口部連通之基板收納空間；蓋體，其可對該容器本體開口部進行裝卸，且可將該容器本體開口部封閉；底板，其具有板狀且與該下壁之外面對向配置，且具有卡止部；及槽構件，其具有槽形成部、周壁部及被卡止部，且被支持固定於該下壁及該底板上，該槽形成部係形成有朝下方開口之槽，該周壁部係連接於該槽形成部且以圍繞於該槽形成部周圍之方式配置，該被卡止部係連接於該周壁部且可彈性變形，藉由彈性變形而卡止於該底板之該卡止部，該槽構件係具有形成該槽的底部之槽底形成部，該槽底形成部係為該槽形成部之部分，該周壁部的上端面係比該槽底形成部的上端面更朝上方突出。
如請求項1之基板收納容器，其中，該槽形成部係連接於相對於該周壁部之圍繞方向的軸向上之該周壁部的一端部，該槽係於該周壁部之該軸向上的該周壁部之一端部開口，該被卡止部係連接於該周壁部之該軸向上的該周壁部之另一端部。
如請求項2之基板收納容器，其中，該被卡止部係藉由懸臂彈簧所構成，該懸臂彈簧係自該周壁部之該軸向上的該周壁部之另一端部，沿該周壁部之外面朝該周壁部之該軸向上的該周壁部之一端部側延長。
如請求項3之基板收納容器，其中，於該底板形成有可供該槽構件插入之插入貫通孔，該底板之該卡止部係藉由該底板的部分且該插入貫通孔周圍之周緣部分所構成，該懸臂彈簧係具有位於該懸臂彈簧之延長端部的板狀部、及較該板狀部位於靠該懸臂彈簧之基端部側且朝自該周壁部分離之方向比該板狀部更突出之被卡止凸部，該被卡止凸部係卡止於該周緣部分。
如請求項1至4中任一項之基板收納容器，其中，該槽構件係具備連接於該周壁部之內面的一部分、與該內面之一部分不同的該周壁部之內面之另一部分、及該槽形成部之肋條部，該肋條部之上端面係構成該槽構件之上端面，於該肋條部之上端面存在有自該肋條部之上端面朝上方突出且抵接於該下壁之高度調整凸部。
如請求項1之基板收納容器，其中，該槽底形成部係具有直線狀，於該槽底形成部之兩端存在有自該槽底形成部的兩端突出之定位凸部，於該下壁之下面朝下方突出地存在有沿該下壁的下面平行地延長之2條軌道，該定位凸部可嵌合於該2條軌道間。
如請求項1之基板收納容器，其中，該槽形成部係連接於相對於該周壁部之圍繞方向的軸向上之該周壁部的一端部整體，該槽係於該周壁部之該軸向上的該周壁部之一端部開口，於該周壁部之一端部上的該槽形成部與該周壁部之連接部分，形成有連通該周壁部之內側空間及該周壁部的外側空間之排水貫通孔。