KR20180119586A - 기판 용기용 쿠션 리테이너 - Google Patents

기판 용기용 쿠션 리테이너 Download PDF

Info

Publication number
KR20180119586A
KR20180119586A KR1020187025243A KR20187025243A KR20180119586A KR 20180119586 A KR20180119586 A KR 20180119586A KR 1020187025243 A KR1020187025243 A KR 1020187025243A KR 20187025243 A KR20187025243 A KR 20187025243A KR 20180119586 A KR20180119586 A KR 20180119586A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
substrate
retainer
mounting structure
cushion
body portion
Prior art date
Application number
KR1020187025243A
Other languages
English (en)
Other versions
KR102208275B1 (ko
Inventor
매슈 풀러
콜턴 제이 하르
Original Assignee
엔테그리스, 아이엔씨.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 엔테그리스, 아이엔씨. filed Critical 엔테그리스, 아이엔씨.
Publication of KR20180119586A publication Critical patent/KR20180119586A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102208275B1 publication Critical patent/KR102208275B1/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735—Closed carriers
    • H01L21/67369—Closed carriers characterised by shock absorbing elements, e.g. retainers or cushions
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/67346—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders characterized by being specially adapted for supporting a single substrate or by comprising a stack of such individual supports
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735—Closed carriers
    • H01L21/67373—Closed carriers characterised by locking systems
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735—Closed carriers
    • H01L21/67379—Closed carriers characterised by coupling elements, kinematic members, handles or elements to be externally gripped
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735—Closed carriers
    • H01L21/67383—Closed carriers characterised by substrate supports

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Packaging Frangible Articles (AREA)

Abstract

그 위의 기판 정합 위치에서 큰 변화를 수용할 수 있는 실질적으로 균일한 접촉 면(128)을 제공하는 기판 리테이너(110)가 제공된다. 균일한 접촉 면(128)은 기판(114)이 기판 리테이너(110)에 의해 손상되거나 그 내부에 비의도적으로 핀칭되는 가능성 또는 균일한 접촉 면(128)에 의해 너무 강하게 가압되는 가능성을 제거하기 위해 편향 및 압축이 허용된다. 이러한 배열로 인해 접착제나 테이프가 사용되지 않으므로 미세 환경을 오염시키는 휘발성 유기 화합물의 가스 발생 또는 세정 과정에서 이러한 접착제와 테이프의 부적합성으로 인한 문제가 수반되지 않는다.

Description

기판 용기용 쿠션 리테이너
관련 출원에 대한 상호 참조
본 출원은 2016년 2월 5일자로 출원된 "기판 용기용 쿠션 리테이너"라는 명칭의 미국 가출원 제62/292,055호의 이익을 주장한다. 이 출원의 전체 내용은 본 명세서에 참고로 포함된다.
기술 분야
본 개시내용은 일반적으로 기판 용기 내의 기판의 유지에 관한 것으로, 보다 상세하게는 기판 용기용 쿠션 리테이너에 관한 것이다.
전방 개구 통합 포드(FOUP; Front Opening Unified Pod)는 웨이퍼 및 기타 디스크 형상의 기판을 보관하고 운반하는 데 사용되는 용기이다. 많은 종래의 FOUP는 유지력 및 완충 기능을 제공하기 위해 기판 에지에 대해 굴곡되도록 복수의 캔틸레버 또는 브릿지 유사 구조를 포함하는 몰딩된 폴리머 리테이너를 이용한다. 리테이너는 FOUP 도어의 내측 면에 위치하여 캔틸레버 또는 브릿지 유사 구조가 도어를 설치할 때 기판 에지와 대면 및 접촉하게 된다.
그러나, 기판은 종래의 리테이너의 캔틸레버 또는 브릿지 유사 구조 사이에 끼워지고 핀칭되는 것으로 알려져있다. 기판의 핀칭은 기판의 에지 근처의 주변 부분을 손상시킬 수 있고, 리테이너가 원하는 완충 기능을 제공하지 못하게 할 수 있다. 또한, 기판의 핀칭은 도어를 제거할 때 기판이 용기로부터 이탈되게 할 수 있고, 이는 핀칭된 기판뿐만 아니라 용기 내에 수용된 다른 기판에 손상을 줄 수 있다. 용기로부터의 이러한 의도하지 않은 기판의 이탈은 또한 제조 프로세스에 대한 일반적인 혼란 및 오염 위험을 야기할 수 있다.
기판은 이제 점점 더 큰 크기로 제조되고 있다. 또한, 반도체 산업에서 감소하는 두께의 기판을 이용하려는 경향이 있다. 따라서, 일부 기판은 계층화된 프로세스의 효과로부터 왜곡되는 경향을 갖는다. 중력에 기인한 처짐과 조합된 왜곡의 크기 및 방향의 무작위성은 기판의 전방 에지가 허용 공차를 벗어나 리테이너에 대해 정합되도록 하여 리테이너의 캔틸레버 또는 브릿지 유사 구조에 대한 기판의 오정렬을 야기할 수 있다.
도 1을 참조하면, 전방 개구 통합 포드(FOUP)(36) 내의 평면 기판(32) 및 비평면 기판(34)과 결합된 종래의 기판 리테이너(30)가 도시되어 있다. 종래의 기판 리테이너(30)는 FOUP(36)의 도어(38)에 장착되고, 캔틸레버 또는 브릿지 유사 구조(44) 상에 매달린 기판 결합 부분(42)을 포함한다. 기판 리테이너(30)의 의도된 기능은 기판(32, 34)의 전방 또는 선단 에지(46)에 대한 굴곡을 통해 기판(32, 34)에 유지력 및 완충을 제공한다. 평면 기판(32)은 의도된 설계에 따라 웨이퍼 결합 부분(42) 내에 안착된다. 그러나, 비평면 기판(34)은 인접한 기판 결합 부분(42) 사이에 끼워지는 것으로 도시되어 있다. 그러한 시나리오에서, 종래의 기판 리테이너(30)는 비평면 기판(34)을 손상시킬 수 있다. 또한, 비평면 기판(34)은 인접한 기판 결합 부분(42) 사이에 핀칭될 수 있어서, 도어(38) 및 종래의 기판 리테이너(30)가 FOUP(36)에서 제거될 때, 비평면 웨이퍼(34)가 FOUP(36)의 웨이퍼 선반(48)으로부터 의도하지 않은 예측 불가능한 방식으로 이탈될 수 있다. 비평면 웨이퍼(34)의 그러한 이탈은 비평면 웨이퍼(34)뿐만 아니라 FOUP(36) 내에 수용된 다른 웨이퍼도 손상시킬 수 있고 또한 제조 프로세스에 대한 일반적인 혼란 및 오염 위험을 야기할 수 있다. 오정렬은 리테이너가 원하는 완충 기능을 기판에 제공하지 못하게 할 수 있다.
다른 구성이 제안되어 왔다. 예를 들어, 일 구성에서, 견고한 커버 본체의 배면에 장착된 견고한 압축 가능한 지지 유닛을 갖는 리테이너가 제안되어 있다. 그러나, 이러한 구성은 압축 가능한 지지 유닛이 편향될 수 있는 양을 제한하고, 따라서 평면 기판에 너무 많은 압력을 제공하여 잠재적으로 손상을 야기할 수 있다. 상기 설명으로부터 알 수 있는 바와 같이, 본 기술 분야에서 이러한 문제를 해결하는 리테이너에 대한 필요성이 존재한다. 이러한 우려를 해소하기 위한 복수의 실시예가 이하에서 설명된다.
본 개시내용은 일반적으로 그 위의 기판 정합 위치의 큰 변화를 수용할 수 있는 실질적으로 균일한 접촉 면을 제공하는 기판 리테이너에 관한 것이다. 균일한 접촉 면은 기판 리테이너에 의해 기판이 손상되거나 그 내부에 비의도적으로 핀칭될 가능성을 제거한다. 또한, 기판 리테이너는 리테이너 쿠션 및 리테이너 쿠션을 쿠션의 외부 주변 부분에 고정하고 쿠션의 중심 영역이 장착 구조에 대해 편향될 수 있게 하도록 구성되는 장착 구조를 갖는다. 작동 중에, 기판은 기판 용기에 배치되고, 기판을 손상시키지 않도록 중심 영역이 압축되고 편향되도록 하면서 리테이너 쿠션의 중심 영역을 기판에 대해 가압함으로써 유지된다. 또한, 개시된 실시예에서는 어떠한 접착제 또는 테이프도 이용되지 않으며, 그래서, 미세 환경을 오염시키는 휘발성 유기 화합물의 가스 발생 또는 그러한 접착제 및 테이프와 세정 과정의 부적합성으로 인한 문제가 수반되지 않는다.
일부 실시예에서, 소모성 발포체, 고무 또는 엘라스토머 인서트를 지지하기 위한 드롭-인(drop-in) 대체 기판 리테이너가 개시된다. 본 개시내용의 기판 리테이너는 표준 몰딩된 리테이너와 동일한 피처를 이용하여 FOUP 도어의 내측 면에 부착되는 몰딩된 플라스틱 구성요소일 수 있다. 표준 플라스틱 쿠션은 기판 에지에 작은 하중을 가하기 위해 캔틸레버 또는 브릿지 유사 피처를 사용하지만, 개시된 기판 리테이너는 기판에 직접 하중을 가하기 위한 이러한 캔틸레버 또는 브릿지 유사 특징을 갖지 않는다. 대신, 장착 구조는 기판 에지를 완충시킬 목적으로 발포체, 고무 또는 엘라스토머 인서트를 지지하도록 설계되었다. 장착 구조는 인서트의 주변 부분을 유지하는 피처 또는 미늘을 갖거나 가지지 않는 핀 및 소켓 연결부를 사용함으로써 접착제 또는 테이프를 사용하지 않고 소모성 발포체, 고무 또는 엘라스토머 쿠션을 유지한다. 일부 실시예에서, 쿠션은 장착 구조 상에 오버몰딩된다. 다른 실시예에서, 쿠션의 주변 부분은 장착 구조체를 통해 절단된 슬롯 또는 홈에 의해 유지되는 전체 길이 미늘을 갖도록 형성될 수 있다. 개시된 장착 구조는 세정 작업 및 주기적 교체를 위한 발포체, 고무 또는 엘라스토머 리테이너 쿠션의 단순화된 조립 및 제거를 수용한다.
일부 실시예에서, 도어는 중간 장착 구조의 필요 없이 리테이너 쿠션을 직접 부착하기 위해 후크, 포스트 또는 슬롯과 같은 필요한 장착 피처를 갖도록 구성된다.
예시적인 일 실시예에서, 기판 용기용 기판 리테이너는 두께 치수를 한정하는 두께를 갖는 본체 부분을 포함하는 리테이너 쿠션을 포함한다. 본체 부분은 두께 치수에서 압축 가능한 순응성 재료를 포함한다. 장착 구조는 접착제를 사용하지 않고 리테이너 쿠션을 고정하도록 구성된다. 일부 실시예에서, 순응성 재료는 발포체 재료, 고무 재료 또는 엘라스토머 재료 중 하나이다. 장착 구조는 기판 용기의 도어에 장착되도록 구성될 수 있고, 기판 용기는 FOUP이다.
다양한 실시예에서, 장착 구조체는 본체 부분의 전체 치수의 압축에 의해 리테이너 쿠션을 고정시키도록 구성되고, 장착 구조체는 장착 구조체 내에 리테이너 쿠션을 유지하기 위해 전체 치수의 압축에 응답하여 반작용력을 작용하고, 장착 구조는 기판 용기에 장착되도록 구성된다. 일부 실시예에서, 장착 구조는 리세스를 한정하고, 리테이너 쿠션은 리세스 내에 배치된다.
일부 실시예에서, 압축되는 전체 치수는 두께 치수에 직교하는 측방향 치수이다. 측방향 치수의 압축은 본체 부분을 만곡시켜 본체 부분의 곡률을 두께 치수 방향으로 정의할 수 있다. 일부 실시예에서, 장착 구조의 리세스는 본체 부분의 곡률을 수용하도록 구성된다. 장착 구조는 리세스의 최소 측방향 치수를 한정하는 적어도 하나의 측방향 돌출부를 더 포함할 수 있다. 일부 실시예에서, 장착 구조는 장착 구조를 표준 FOUP 도어에 결합하도록 구성된 래치 아암을 포함한다.
본 개시내용의 다양한 실시예에서, 장착 구조는 복수의 크로스 부재에 의해 분리된 측면 부재를 갖는 프레임을 포함하고, 각 크로스 부재는 장착 면을 한정하고, 리테이너 쿠션은 복수의 크로스 부재 각각의 장착 면에 결합된다. 크로스 부재는 측면 부재에 대해 측방향으로 연장된다. 측면 부재 및 복수의 크로스 부재는 일체형일 수 있다. 복수의 크로스 부재 각각은 장착 면이 오목하거나 볼록하도록 아치형일 수 있다. 일부 실시예들에서, 장착 피처는 장착 구조를 기판 용기에 결합하기 위해 프레임으로부터 연장된다. 축방향 부재는 복수의 크로스 부재 중 인접한 것들을 가교할 수 있다.
본 개시내용의 다양한 실시예에서, 복수의 크로스 부재는 복수의 돌출부를 포함하며, 복수의 돌출부 중 적어도 하나는 복수의 크로스 부재 각각에 배치되며, 복수의 돌출부는 본체 부분의 두께 내로 또는 본체 부분의 두께를 통해 연장된다. 리테이너 쿠션의 본체 부분은 복수의 장착 구멍을 한정할 수 있으며, 각각의 장착 구멍은 복수의 돌출부 중 대응하는 돌출부와 정합하기 위해 본체 부분 상에 위치되고, 각각의 장착 구멍은 복수의 돌출부 중 대응하는 돌출부와의 마찰 끼워 맞춤을 위해 치수가 정해진다. 일부 실시예에서, 장착 구멍은 본체 부분의 두께를 통과한다.
본 개시내용의 다양한 실시예들에서, 복수의 돌출부는 본체 부분의 면으로부터 두께 치수 방향으로 연장되고, 복수의 크로스 부재는 복수의 개구를 한정한다. 복수의 개구 중 적어도 하나는 복수의 크로스 부재 각각에 의해 한정되고, 돌출부 각각은 상기 복수의 개구와 정합하도록 본체 부분 상에 크기 설정 및 위치 설정된다. 복수의 돌출부 및 복수의 개구는 리테이너 쿠션을 장착 구조에 고정하기 위해 이들 사이의 마찰 끼워 맞춤을 위해 치수가 정해질 수 있다. 일부 실시예에서, 복수의 돌출부 각각은 네크 부분 및 네크 부분으로부터 떨어져 있는 구근 부분을 포함하며, 네크 부분은 복수의 개구 중 대응하는 개구에 배치되고, 구근 부분은 복수의 크로스 부재 중 대응하는 하나의 제2 면에 대해 정합되어 리테이너 쿠션을 크로스 부재에 고정하고, 제2 면은 복수의 크로스 부재 중 대응하는 하나의 장착 면에 대향한다. 돌출부 및 본체 부분은 일체형일 수 있다.
전술한 요약은 본 개시내용에 고유한 일부 혁신적인 특징에 대한 이해를 돕기 위해 제공되며 완전한 설명을 의도하는 것은 아니다. 전체 명세서, 청구범위, 도면 및 요약서를 전체적으로 취함으로써 개시내용에 대한 완전한 이해를 얻을 수 있다.
본 개시내용은 첨부 도면과 연계한 다양한 예시적인 실시예에 대한 다음의 설명을 고려하여 더 완전하게 이해할 수 있다.
도 1은 종래의 리테이너와 기판의 상호 작용을 도시한다.
도 2a는 본 개시내용의 일 실시예에 따른 전방 개구 통합 포드(FOUP)의 측단면도이다.
도 2b는 본 개시내용의 일 실시예에 따른 수용된 웨이퍼와 결합되는 리테이너 쿠션의 단면도이다.
도 3은 본 개시내용의 일 실시예에 따른 기판 리테이너를 갖는 FOUP 도어의 정면도이다.
도 4는 본 개시내용의 일 실시예에 따른 조립체 내의 도 3의 기판 리테이너의 사시도이다.
도 5는 본 개시내용의 일 실시예에 따른 리테이너 쿠션을 지지하기 위한 프레임의 사시도이다.
도 6은 본 개시내용의 일 실시예에 따른 도 5의 프레임에 장착하기 위한 리테이너 쿠션의 부분 사시도이다.
도 7은 본 개시내용의 일 실시예에 따른 도 5의 프레임에 장착된 도 6의 리테이너 쿠션의 부분 단면도이다.
도 8은 본 개시내용의 일 실시예에 따른 프레임에 결합된 블라인드 장착 구멍을 갖는 리테이너 쿠션의 부분 단면도이다.
도 9는 본 개시내용의 일 실시예에 따른 프레임에 장착된 원통형 돌출부를 갖는 리테이너 쿠션의 부분 단면도이다.
도 10은 본 개시내용의 일 실시예에 따른 프레임에 장착된 구근형 돌출부를 갖는 리테이너 쿠션의 부분 단면도이다.
도 11은 본 개시내용의 일 실시예에 따른 리셉터클 장착 구조가 일체화되어 있는 FOUP 도어의 사시도이다.
도 12는 본 개시내용의 일 실시예에 따른 그와 일체형인 장착 구조를 갖는 FOUP 도어의 사시도이며, 장착 구조는 돌출부를 갖는 크로스 부재를 포함한다.
도 13은 본 개시내용의 일 실시예에 따른, 그와 일체인 장착 구조를 갖는 FOUP 도어의 사시도이며, 장착 구조는 개구를 갖는 크로스 부재를 포함한다.
도 14는 본 개시내용의 일 실시예에 따른 기판 리테이너를 갖는 FOUP 도어의 정면도이다.
도 15는 본 개시내용의 일 실시예에 따른 도 14의 기판 리테이너와 결합된 웨이퍼의 부분 단면도이다.
도 16은 본 개시내용의 일 실시예에 따른 기판 리테이너를 갖는 FOUP 도어의 정면도이다.
도 17은 본 개시내용의 일 실시예에 따른 리테이너 쿠션을 지지하기 위한 프레임의 사시도이다.
도 18은 본 개시내용의 일 실시예에 따른 도 17의 프레임에 장착된 리테이너 쿠션의 부분 단면도이다.
도 19는 본 개시내용의 일 실시예에 따른 기판 리테이너의 사시도이다.
도 20은 본 개시내용의 일 실시예에 따른 기판 리테이너의 사시도이다.
본 개시내용은 다양한 변경 및 대안적인 형태가 가능하지만, 그 특성은 도면에 예로서 도시되어 있으며, 상세한 설명될 것이다. 그러나, 설명된 특정 예시적인 실시예에 본 개시내용의 양태를 한정하려는 의도는 아니라는 것을 이해해야 한다. 반대로, 본 개시내용의 사상 및 범위 내에 있는 모든 변경, 등가물 및 대안을 포함하는 것을 의도한다.
본 명세서 및 첨부된 청구범위에서 사용될 때, 단수 형태는 내용상 명확하게 달리 지시하지 않는 한 복수의 대상을 포함한다. 본 명세서 및 첨부된 청구의 범위에서 사용될 때, 용어 "또는"은 일반적으로 내용상 명확하게 달리 지시하지 않는 한 " 및/또는"을 포함하는 의미로 사용된다.
다음의 상세한 설명은 상이한 도면들에서 유사한 요소들이 동일하게 번호매김된 도면들을 참조하여 읽어야 한다. 상세한 설명 및 반드시 비례에 따르는 것은 아닌 도면은 예시적인 실시예를 도시하며, 본 개시내용의 범위를 제한하고자 하는 의도는 아니다. 도시된 예시적인 실시예는 단지 예시적인 것으로 의도된다. 임의의 예시적인 실시예의 선택된 특징은 명확하게 달리 언급되지 않는 한 추가적인 실시예에 통합될 수 있다.
도 2a를 참조하면, 기판 용기(100)가 본 개시내용의 실시예에 도시되어 있다. 기판 용기(100)는 개구(103)를 한정하는 쉘 부분(102) 및 개구(103)의 폐쇄체를 형성하도록 구성된 도어(104)를 포함한다. 기판 리테이너(110)는 기판 용기(100) 내에 보관된 수용된 기판(114)의 선단 또는 전방 에지(112)와 접촉하기 위해 도어(104)의 내부 면(106) 상에 장착되고, 수용된 기판(114)은 실질적으로 중심 축(116)을 중심으로 중심설정된다. 도 2a의 도시에서, 전방 에지(112)는 중심 축(116)에 평행한 축방향(118)으로 비균일하게 이격되어 있는 것으로 도시되어 있다.
기판 리테이너(110)는 장착 구조(130)에 의해 지지되는 리테이너 쿠션(120)을 포함한다. 리테이너 쿠션(120)은 두께 치수를 한정하는 두께(124)를 갖는 본체 부분(122)을 포함한다. 본체 부분(122)은 두께 치수에서 압축 가능한 순응성 재료로 제조된다. 또한, 리테이너 쿠션(120)은 장착 구조(130)에 의해 외부 주변 부분(133)에 기계적으로 유지되어 본체 부분(122)을 기판 용기(100)에 고정하기 위해 접착제 또는 테이프가 필요하지 않다. 도시된 실시예에서, 장착 구조(130)는 도어(104)에 장착되도록 구성된다.
도 2b를 참조하면, 리테이너 쿠션(120)의 중심 영역(134)과 기판(114)의 상호 작용이 본 개시내용의 실시예에 도시되어 있다. 홈 및 만입부는 수용된 기판(114)의 에지(112)와의 상호 작용에 의해 형성된다. 따라서, 발포체, 고무 또는 엘라스토머 재료는 압축되어 축방향(118)으로 수용된 기판의 전방 에지(112)의 유지를 제공하는 커스텀 맞춤 리세스(136)를 한정하도록 작용한다. 리세스(136)는 리테이너 쿠션(120)의 중심 영역(134)이 압축되는 것에 추가로 기판(114)으로부터 멀어지게 편향되도록 허용되기 때문에 쉽게 형성된다. 리테이너 쿠션의 탄성 때문에, 리세스는 기판(114)의 분리시에 소산된다.
본체 부분(122)의 순응성 재료는 발포체 재료, 고무 재료 또는 엘라스토머 재료일 수 있다. 순응성 재료의 비제한적인 예는 폴리우레탄 또는 폴리에틸렌을 포함한다. 또한, 순응성 재료는 플루오로엘라스토머(FKM), 실리콘, 에틸 프로필렌 디엔 모노머(EPDM), 우레탄, 니트릴 고무(NBR) 및 네오프렌을 포함할 수 있다. 또한 열가소성 폴리올레핀 엘라스토머(TEO), 열가소성 폴리우레탄, 코폴리에스터 에스터 엘라스토머 및 폴리에테르 블록 아미드 열가소성 엘라스토머를 포함하는 사출 성형 가능한 열가소성 엘라스토머가 순응성 재료를 위해 이용될 수 있다. 일부 실시예에서, 순응성 재료는 예를 들어 탄소 함입에 의해 정전 소산된다.
다양한 실시예에서, 순응성 재료의 경도는 50 내지 90 쇼어 A(경계값 포함)의 범위일 수 있다. 일부 실시예에서, 경도는 50 내지 60 쇼어 A(경계값 포함)의 범위이다. 일부 실시예에서, 경도는 80 내지 90 쇼어 A(경계값 포함)의 범위이다. 여기에서, "경계값 포함"으로 지칭되는 범위는 언급된 범위의 종점 값 및 종점 사이의 모든 값을 포함한다.
기능적으로, 기판 리테이너(110)의 리테이너 쿠션(120)은 수용된 기판(114)의 전방 에지(112) 사이의 축방향 간격의 큰 변화를 수용할 수 있는 실질적으로 균일한 접촉 면(128)을 제공한다. 균일한 접촉 면(128)은 수용된 기판(114)이 기판 리테이너(110)에 의해 손상되거나 그 내부에 비의도적으로 핀칭될 가능성을 제거한다. 또한, 리테이너 쿠션(120)의 장착시 접착제 또는 테이프를 사용하지 않음으로써, 미세 환경을 오염시키는 휘발성 유기 화합물(VOC)의 가스 발생이 수반되지 않는다. 리테이너 쿠션(120)은 또한 기판 용기(100)의 세정 중에 쉽게 제거될 수 있다.
도 2a의 도시된 실시예는 FOUP 유형 용기를 나타낸다. 본 명세서에 도시된 실시예 및 개념은, 전방 개구 출하 상자(FOSB) 및 표준 기계적 인터페이스(SMIF) 포드를 포함하지만 그에 한정되지 않는, 기판 유지 및 완충을 위해 기판 또는 기판들의 에지와의 접촉을 수반하는 임의의 기판 용기에 적용될 수 있다는 점에 유의하여야 한다. 또한, 도 2a의 기판 용기는 도어(104)에 장착된 것으로서 기판 리테이너(110)를 도시한다. 기판 리테이너(110)가 (예를 들어, 후방 벽(132)에 장착된) 기판 용기 내의 다른 위치에 구현되는 실시예도 고려된다.
본 명세서에서, "기판"은 실질적으로 균일한 두께로 이루어지며, 적절하게 지지될 때 실질적으로 평면이거나 실질적으로 평면이 되도록 의도되는 구조이다. 기판 형태는 시트, 판 또는 슬래브를 포함한다. 기판은 원형, 직사각형 및 다각형을 포함하는 임의의 형상일 수 있다. 기판은 유리, 실리콘 또는 유리 에폭시와 같은 균질 재료일 수 있다. 기판은 도핑된 재료(예를 들어, 구리 또는 탄소로 도핑된 유리 에폭시), 적층된 복합체(예를 들어, 구리-클래딩된 에폭시) 또는 코팅이 그 위에 퇴적된 코어 재료와 같은 재료의 조성물을 포함할 수도 있다. 또한, 기판은 리소그래피 용례에 사용되는 레티클 및 리소그래피 기술에 의해 처리되거나 부분적으로 처리된 실리콘 웨이퍼를 포함한다.
본 명세서에서, 기판 리테이너(110)는 참조 번호(110)에 의해 총칭적으로 또는 집합적으로 참조되고 문자 접미어(예를 들어, 110a)가 뒤따르는 참조 번호(110)에 의해 개별적으로 참조된다. 유사하게, 리테이너 쿠션(120) 및 장착 구조(130)는 각각 참조 번호(120 및 130)에 의해 총칭적으로 또는 집합적으로 참조되고, 문자 접미어(예를 들어, 120a 및 130a)가 뒤따르는 참조 번호(120 및 130)에 의해 각각 개별적으로 참조된다.
도 3 및 도 4를 참조하면, 본 개시내용의 일 실시예에서 장착 구조(130a) 및 리테이너 쿠션(120a)을 포함하는 기판 리테이너(110a)가 도시되어 있다. 일반적으로, 장착 구조(130a)는 본체 부분(122)의 전체 치수의 압축에 의해 부분(133a)에서 리테이너 쿠션(120a)을 고정하도록 구성되고, 장착 구조(130a)는 장착 구조(130a) 내에서 리테이너 쿠션(120a)을 유지하도록 전체 치수의 압축에 응답하여 반작용력(예를 들어, 마찰 또는 만곡에 대한 응답)을 작용한다. 여기서, "전체 치수"는 주어진 방향의 총 치수 또는 최대 치수를 지칭한다. 예를 들어, 블록 형상 본체의 경우 전체 치수는 높이, 폭 및 두께이다.
일부 실시예에서, 장착 구조(130a)는 베이스 부분(144)으로부터 연장되는 리지 부분(142)을 갖는 리셉터클(140)을 포함하며, 리지 및 베이스 부분(142 및 144)은 리세스(146)를 한정하도록 협력한다. 리지 부분(142)은 측방향 내측 치수(152) 및 축방향 내측 치수(154)를 한정한다. 여기서, "측방향"은 x 축에 평행한 방향을 지칭하고, "축방향"은 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같은 데카르트 좌표(156)의 y 축에 평행한 방향을 지칭한다. 베이스 부분(144)은 리세스(146)의 볼록한 또는 오목한 경계를 한정하기 위해 실질적으로 평면 또는 대안적으로 아치형일 수 있다. 일부 실시예에서, 적어도 하나의 측방향 돌출부(162)가 리지 부분(142)의 내부 에지(164)로부터 돌출되어 리세스(146)의 최소 측방향 치수(158)를 한정한다.
도시된 실시예에서, 장착 구조(130a)는 주변 부분(133a) 및 중심 영역(134a)을 갖는 블록 형상 본체(180)를 갖는 리테이너 쿠션(120a)을 수용하도록 구성된다. 블록 형상 본체(180)는 높이 또는 축방향 치수(182), 폭 또는 측방향 치수(184) 및 두께 또는 두께 치수(124)(즉, 데카르트 좌표의 z 축에 평행한 치수)를 한정한다. 일부 실시예에서, 블록 형상 본체(180)의 측방향 치수(184)는 리세스(146)의 측방향 내측 치수(152) 및/또는 리세스(146)의 최소 측방향 치수(158)보다 크다.
장착 구조(130a)는 기판 용기(100), 예를 들어 기판 용기(100)의 도어(104)에 장착되도록 구성될 수 있다. 일부 실시예에서, 복수의 아암(192)은 리셉터클(140)의 리지 부분으로부터 연장된다. 다양한 실시예에서, 아암은 기존 기판 용기의 피처, 예를 들어 FOUP 도어 상의 종래의 기판 리테이너에 대한 부착 지점과 정합하도록 구성된다.
조립시, 리테이너 쿠션(120a)의 블록 형상 본체(180)는 리셉터클(140) 내로 삽입된다. 블록 형상 본체(180)의 측방향 치수(184)가 리세스(146)의 측방향 내측 치수(152) 및/또는 최소 측방향 치수(158)에 비해 크기 때문에, 리셉터클(140)과 블록 형상의 본체(180)의 주변 부분(133a) 사이에 간섭 끼워 맞춤이 존재한다. 간섭은 리셉터클(140) 내에서 블록 형상 본체(180)를 유지하는 블록 형상 본체(180)와 리셉터클(140) 사이의 마찰 끼워 맞춤을 생성하지만, 사용시에는 장착 구조(130a)에 대한 중심 영역(134a)의 편향을 허용하여 기판(114)에 대한 손상을 방지한다.
일부 실시예에서, 리테이너 쿠션(120a)의 측방향 치수(184)의 결과적인 압축은 리테이너 쿠션(120a)이 만곡되어 두께 치수(124)의 방향으로 볼록부를 한정하도록 한다. 일부 실시예에서, 장착 구조(130a)는 예를 들어 블록 형상 본체(180)와 베이스 부분(144) 사이에 간극(도시되지 않음)을 제공함으로써, 또는 리세스(146)의 볼록한 경계를 한정하는 아치형 베이스 부분(144)에 의해 볼록부를 수용하도록 구성된다. 일부 실시예에서, 만곡은 접촉 면(128a)의 중심 영역(134a)이 리셉터클(140)로부터 외측으로 만곡되게 한다. 기능적으로, 리셉터클(140)의 리지 부분(142)은 블록 형상 본체(180)를 리셉터클(140) 내에 유지하는 것을 돕는 블록 형상 본체(180)의 주변부(186)에 대해 힘을 작용한다.
도 5 내지 도 8을 참조하면, 기판 리테이너(110b) 및 대응하는 리테이너 쿠션(120b)의 장착 구조(130b)가 본 개시내용의 실시예에 도시되어 있다. 장착 구조(130b)는 복수의 크로스 부재(204)에 의해 분리된 측면 부재(202)를 갖는 프레임(200)을 포함하며, 각 크로스 부재(204)는 장착 면(206)을 한정한다. 리테이너 쿠션(120b)은 복수의 크로스 부재(204) 각각의 장착 면(206)에 결합된다. 일부 실시예에서, 측면 부재(202) 및 복수의 크로스 부재(204)는 일체형이다. 다양한 실시예에서, 복수의 크로스 부재(204) 각각은 장착 면(206)이 볼록하도록 아치형이다. 도시된 실시예에서, 장착 구조(130b)는 장착 구조(130b)를 기판 용기(100)에 결합하기 위해 프레임(200)으로부터 연장되는 장착 피처(208)를 포함한다. 장착 구조(130b)는 복수의 크로스 부재(204) 중 인접한 것들을 가교하는 축방향 부재(212)를 포함할 수 있다.
다양한 실시예에서, 복수의 크로스 부재(204)는 복수의 돌출부(214)를 포함한다. 복수의 돌출부(214) 중 적어도 하나는 복수의 크로스 부재(204) 각각에 배치된다. 복수의 돌출부(214)는 본체 부분(122)의 두께(124)를 관통하여(도 7) 또는 그 내부로(도 8) 연장된다. 리테이너 쿠션(120b)의 본체 부분(122)은 복수의 장착 구멍 또는 개구(216)(도 6)를 한정할 수 있으며, 이들 각각은 복수의 돌출부(214) 중 대응하는 돌출부와 정합하기 위해 본체 부분(122) 상에 위치되며 이들 각각은 복수의 돌출부(214) 중 대응하는 돌출부와의 마찰 끼워 맞춤을 위해 치수설정된다.
도 9 및 도 10을 참조하면, 장착 구조(130c) 및 리테이너 쿠션(120c)을 포함하는 기판 리테이너(110c)가 본 개시내용의 실시예에 도시되어 있다. 장착 구조(130c)는 장착 구조(130b)에 대해 설명된 것과 동일한 일반적 형태로 이루어질 수 있으며, 장착 구조(130b)와 동일한 구성요소 및 속성을 포함할 수 있다. 장착 구조(130b 및 130c) 사이의 차이는 장착 구조(130c)가 수형 장착 피처(예를 들어, 돌출부(214)) 대신 암형 장착 피처(예를 들어, 개구(236))를 포함한다는 것이다.
도시된 실시예에서, 복수의 돌출부(232)는 본체 부분(122)의 장착 면(234)으로부터 두께 치수(124)의 방향으로 연장된다. 복수의 크로스 부재(204)는 복수의 개구(236)를 한정한다. 일부 실시예에서, 복수의 개구(236) 중 적어도 하나는 복수의 크로스 부재(204) 각각에 의해 한정된다. 일 실시예에서, 리테이너 쿠션(120c)의 복수의 돌출부(232) 및 크로스 부재(204)의 복수의 개구(236)는 리테이너 쿠션(120c)을 장착 구조(130c)(도 9)에 고정하기 위해 그 사이의 마찰 끼워 맞춤을 위해 치수설정된다. 돌출부(232) 및 본체 부분(122)은 일체형일 수 있다.
일부 실시예에서, 리테이너 쿠션(120c)의 복수의 돌출부(232) 각각은 네크 부분(242) 및 네크 부분(242)의 말단의 구근 부분(244)을 포함하고, 네크 부분(242)은 복수의 개구(236) 중 대응하는 하나에 배치된다. 주어진 돌출부의 구근 부분(244)은 크로스 부재(204)의 제2 면(246)에 정합하여 리테이너 쿠션(120c)을 크로스 부재(204)에 고정시킬 수 있다. 주어진 크로스 부재(204)의 제2 면(246)은 장착 면(206)에 대향한다.
도 11 내지 도 13을 참조하면, 기판 용기의 도어(104)는 본 개시내용의 실시예에 따라 직접적으로 개시된 리테이너 쿠션 중 주어진 하나를 수용하도록 변형된다. 예를 들어, 도어(104)는 그와 일체인 장착 구조(130a)의 리셉터클(140)(도 11), 그와 일체인 장착 구조(130b)의 돌출부(214)와 크로스 부재(204)(도 12) 또는 그와 일체인 장착 구조(130c)의 개구들(236)과 크로스 부재(204)(도 13)를 포함할 수 있다. 따라서, 대응하는 리테이너 쿠션(120a, 120b, 또는 120c)은 중간 장착 구조(130)를 필요로 하지 않고 도어(104)에 직접 결합될 수 있다. 다양한 실시예에서, 장착 구조(130)는 예를 들어 사출 성형 프로세스에 의해 도어(104)와 일체로 형성된다. 다른 실시예에서, 구성요소는 개별적으로 형성되고, 예를 들어 용접, 본딩 또는 융합 프로세스에 의해 일체화된다.
도 14 및 15를 참조하면, 본 개시내용의 일 실시예에서 장착 구조(130d) 및 리테이너 쿠션(120d)을 포함하는 기판 리테이너(110d)가 도시되어 있다. 장착 구조(130b 및 130c)와 마찬가지로, 장착 구조(130d)는 크로스 부재(204)에 의해 분리된 측면 부재(202)를 포함한다. 또한, 장착 구조(130b 및 130c)와 마찬가지로, 장착 구조(130d) 및 리테이너 쿠션(120d)은 리테이너 쿠션(120d)을 크로스 부재(204)에 고정하기 위해 리테이너 쿠션(120d) 및 크로스 부재(204) 상의 상보적 장착 피처(252)(예를 들어 도 7 및 도 8의 돌출부(214) 및 개구(216) 또는 도 9 및 도 10의 개구(236) 및 돌출부(232))를 포함한다. 또한, 장착 구조(130d)는 장착 구조(130d)를 기판 용기(100)에 결합하기 위한 장착 피처(208)를 포함할 수 있다. 도시된 실시예에서, 장착 피처(208)는 도어(104)의 내측 면으로부터 돌출되는 유지 구조(254)와 정합하기 위해 후크 형상이다.
장착 구조(130d) 및 리테이너 쿠션(120d)에 대해, 수용된 기판(114) 상에 작용되는 유지력은 주로 축방향(118)으로의 리테이너 쿠션(120d)의 신장 변위에 의한 것이다. 축방향 신장은 리테이너 쿠션(120d)을 팽팽하게 당기므로 리테이너 쿠션(120d)은 기판(114) 상에 반경방향 힘(Fr)을 작용하는 신장된 다이아프램으로서 작용한다. 이는 주 유지력이 탄성 압축에 대한 반작용이고 신장된 다이아프램으로서의 작용이 보조 유지력을 제공하는 장착 구조(130a, 130b, 130c) 및 리테이너 쿠션(120a, 120b, 120c)과 대조적이다. 다양한 실시예에서, 크로스 부재(204)는 수용된 기판(114)이 직접적으로 정렬되는 기회에 쉽게 편향되도록 치수설정되어 리테이너 쿠션(120d)이 편향될 수 있고, 크로스 부재(204) 사이에, 수용된 기판(114)이 크로스 부재(204) 중 하나와 정렬되지 않을 때 리테이너 쿠션(120d)의 편향을 위한 공간이 존재한다.
도 16 내지 도 18을 참조하면, 본 개시내용의 일 실시예에서 장착 구조(130e) 및 리테이너 쿠션(120e)을 포함하는 기판 리테이너(110e)가 도시되어 있다. 장착 구조(130b)와 마찬가지로, 장착 구조(130e)는 크로스 부재(204)에 의해 분리된 측면 부재(202)를 갖는 프레임(200) 및 인접한 크로스 부재(204)를 가교하는 축방향 부재(212)를 포함한다. 또한, 장착 구조(130b)와 마찬가지로, 장착 구조(130e)는 그로부터 연장되는 장착 피처(208)를 포함할 수 있다.
장착 구조(130b)와는 달리, 모든 크로스 부재(204)가 측면 부재(202)를 분리 또는 가교하지는 않는다. 오히려, 복수의 크로스 부재(204) 중 제1 크로스 부재(204a) 및 제2 크로스 부재(204b)만이 측면 부재(202)를 분리 또는 가교한다. 도시된 실시예에서, 제1 및 제2 크로스 부재(204a, 204b)는 복수의 크로스 부재(204)의 최상부 및 최하부이다. 또한 도시된 실시예에서, 축방향 부재(212)는 제1 및 제2 크로스 부재(204a, 204b)와 정렬되어 협력하여 내부 프레임(270)을 한정한다. 일부 실시예에서, 플랜지 구조(272)는 내부 프레임(270)으로부터 연장되고, 플랜지 구조는 중심 개구(268)를 한정한다. 플랜지 구조는 스탠드 오프 부분(274) 및 측방향 부분(276)을 포함하고 내부 프레임(270)과 협력하여 언더컷(278)을 한정한다.
리테이너 쿠션(120e)은 플랜지 구조(272)와 결합하고 플랜지 구조(272)를 가교하도록 구성된다. 다른 개시된 리테이너 쿠션(120)과 마찬가지로, 리테이너 쿠션(120e)은 순응성 재료로 제조된 본체 부분(122)을 포함한다. 리테이너 쿠션(120e)은 본체 부분(122)으로부터 연장되는 대향 레일 부분들(282)을 또한 포함한다. 대안적으로, 리테이너 쿠션은 대향 측면들을 갖는 연속 레일 부분(282)을 포함한다. 각 레일 부분(282)은 본체 부분(122) 아래로 연장되고 언더컷(278) 내에서 정합하도록 구성된 립(284)을 포함한다. 립(284)과 본체 부분(122)은 협력하여 슬롯(285)을 한정한다. 도시된 실시예에서, 레일 부분(282)은 에지 부분(133e)의 주변부(286)를 한정한다. 또한 도시된 실시예에서, 리테이너 쿠션(120e)의 본체 부분(122)은 추가적인 지지부 없이 개구(268)에 걸쳐지는 중심 영역(134e)을 갖는다. 대안적으로, 밴드, 끈 및/또는 메쉬 구조와 같은 지지 구조(도시되지 않음)는 리테이너 쿠션(120e)의 본체 부분(122)에 추가적인 탄성 지지를 제공하도록 개구(268)를 가교할 수 있다. 일부 실시예에서, 레일 부분(282)은 연속적으로, 본체 부분(122)을 둘러싸며; 다른 실시예에서, 2개의 레일 부분(282)은 본체 부분(122)의 대향 에지들만을 따라서 연장된다.
조립시, 리테이너 쿠션(120e)의 레일 부분(들)(282)은 개구(268)를 덮기 위해 플랜지 구조(272)에 결합된다. 레일 부분(282)이 본체 부분(122)을 둘러싸거나 실질적으로 둘러싸는 구성에 대해, 리테이너 쿠션(120e)은 장착 구조(130e)의 플랜지 구조(272) 위에 스냅결합되어 플랜지 구조(272) 위에 캡을 효과적으로 형성한다. 예를 들어 세정 과정 전에 리테이너 쿠션(120e)을 제거하기 위해, 레일 부분(282)은 플랜지 구조(272)로부터 들어올려지거나 벗겨진다.
리테이너 쿠션(120e)이 2개의 분리되고 대향하는 레일 부분(282)을 포함하는 구성에 대해, 리테이너 쿠션(120e)은 플랜지 구조(272) 위로 일 단부로부터 미끄러질 수 있다. 플랜지 구조(272)는 플랜지 구조(272)의 측방향 부분(276)과 리테이너 쿠션(120e)의 레일 부분(282)에 의해 형성된 슬롯(285) 사이의 간섭을 증가시키는 돌출부(288)를 포함할 수 있다. 증가된 간섭은 리테이너 쿠션(120e)을 플랜지 구조(272)에 고정하는 데 도움을 줄 수 있다. 리테이너 쿠션(120e)을 제거하기 위해, 리테이너 쿠션(120e)은 플랜지 구조(272)의 측방향 부분(276)으로부터 미끄러진다.
작동 중에, 리테이너 쿠션(120e)의 본체(122)는 수용된 기판(114)의 에지와 결합한다. 일부 실시예에서, 리테이너 쿠션(120e)의 본체 부분(122)의 순응성 재료는 탄성 발포체 재료로 이루어지며, 수용된 기판 상에 반경방향 힘을 작용하기 위해 발포체의 압축에 의존한다. 다른 실시예에서, 순응성 재료는 기판 유지력을 작용하기 위해 수용된 기판(114)과 결합할 때 팽팽하게 되는, 리테이너 쿠션(120d)과 유사한, 신장되는 엘라스토머 재료이다. 실시예들은 서로 배타적이지 않으며, 그래서, 실시예는 기판 유지력을 작용하기 위해 발포체의 압축 및 신장된 엘라스토머 재료에 의존할 수 있다.
복합체 리테이너 쿠션(120e)의 사용 또한 고려되며, 여기서, 본체 부분(122)은 수용된 기판(114)과의 접촉을 위해 면 위에 배치된 탄성 발포체 재료를 갖는 엘라스토머 베이스를 포함한다. 탄성 발포체 재료는 접착제를 사용하지 않는 기술, 예를 들어 융합, 용접 또는 오버몰딩에 의해 엘라스토머 베이스에 결합될 수 있다.
도 19를 참조하면, 본 개시내용의 실시예에서 장착 구조(130f) 및 리테이너 쿠션(120f)을 포함하는 기판 리테이너(110f)가 도시되어 있다. 장착 구조(130b 내지 130e)와 마찬가지로, 장착 구조(130f)는 크로스 부재(204)에 의해 분리된 측면 부재(202)를 포함하고, 장착 피처(208)를 포함할 수 있다. 장착 구조(130f)는 또한 크로스 부재(204)에 의해 지지되는 중심 축방향 부재(300)를 포함한다. 중심 축방향 부재(300)는 축방향으로 연장되는 채널(302)을 한정한다. 리테이너 쿠션(120f)은 채널(302) 내에 배치된다.
도시된 실시예에서, 리테이너 쿠션(120f)은 원통형이고, 채널(302)은 원통형 형태와 합치되도록 아치형 또는 반원형 표면을 한정한다. 장착 구조(130f)는 리테이너 쿠션(120f)을 장착 구조(130f)에 고정하는 채널(302)의 대향 단부들에 배치된 클립(306)을 포함할 수 있다. 리테이너 쿠션(120f)은 발포체 튜브 또는 중공 0-링 코드 스톡으로 형성될 수 있다.
작동 중에, 리테이너 쿠션(120f)은 기판 리테이너(110a)의 리테이너 쿠션(120a)과 유사하게, 웨이퍼와 접촉하도록 장착 구조(130f)로부터 돌출된다.
도 20을 참조하면, 본 개시내용의 일 실시예에서 장착 구조(130g) 및 리테이너 쿠션(120g)을 포함하는 기판 리테이너(110g)가 도시되어 있다. 장착 구조(130g)는 장착 판(320)을 포함하고, 장착 구조(130b 내지 130f)와 유사하게, 장착 피처(208)를 포함할 수 있다. 장착 레일(322)은 장착 판(320)의 중심을 따라 축방향으로 연장된다. 리테이너 쿠션(120g)은 아치형 형상이고 장착 레일(322)에 결합된다. 일 실시예에서, 리테이너 쿠션(120g)은 원통형 튜브를 슬릿형성 및 펼침에 의해 형성된 아치 형상 시트 쿠션(324)을 포함한다. 펼쳐진 원통형 튜브는 아치 형상 시트 쿠션(324)을 레일(322)에 대해 예비 부하하도록 작용한다.
작동 중에, 리테이너 쿠션(120g)은 기판 리테이너(110a)의 리테이너 쿠션(120a)과 유사하게, 웨이퍼와 접촉하도록 장착 구조(130g)로부터 돌출된다.
현재까지 본 개시내용의 몇몇 예시적인 실시예들을 설명하였지만, 통상의 숙련자는 첨부된 청구범위의 범위 내에서 또 다른 실시예들이 만들어지고 사용될 수 있음을 쉽게 알 것이다. 이 문서에 의해 커버되는 본 개시내용의 많은 장점이 전술한 설명에 설명되어 있다. 그러나, 본 개시내용은 다수의 관점에서 단지 예시일 뿐이라는 것을 이해할 것이다. 본 개시내용의 범위를 벗어나지 않고, 특히, 부품의 형상, 크기 및 배열에 관한 세부 사항이 변경될 수 있다. 물론, 개시내용의 범위는 첨부된 청구범위를 표현하는 언어로 정의되어 있다.

Claims (20)

  1. 기판 용기용 기판 리테이너이며,
    외부 주변 부분, 중심 영역 및 두께 치수를 한정하는 두께를 갖는 본체 부분을 포함하는 리테이너 쿠션으로서, 본체 부분은 두께 치수에서 압축 가능한 순응성 재료로 형성되는 리테이너 쿠션, 및
    리테이너 쿠션을 외부 주변 부분에서 고정하고 중심 영역이 장착 구조에 대해 편향될 수 있게 하도록 구성된 장착 구조를 포함하는 기판 리테이너.
  2. 제1항에 있어서, 순응성 재료는 압력이 중심 영역에 가해질 때 압축 및 편향 양자 모두가 이루어질 수 있으며 그리고 발포체 재료, 고무 재료 또는 엘라스토머 재료 중 하나로 형성되는 기판 리테이너.
  3. 제2항에 있어서, 기판을 수용하기 위한 기판 용기를 조합으로 더 포함하며, 장착 구조는 기판을 기판 용기의 도어에 장착하도록 구성되고, 리테이너 쿠션은 기판과 결합하도록 구성된 제1 측면 및 도어를 향하고 장착 구조로부터 이격된 대향 측면을 갖고, 장착 구조는 기판에 대한 손상을 방지하기 위해 중심 영역이 편향될 수 있게 하도록 구성되는 기판 리테이너.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 장착 구조는 본체 부분의 전체 치수의 압축에 의해 리테이너 쿠션을 고정하도록 구성되며, 장착 구조는 접착제를 사용하지 않고 장착 구조 내에 리테이너 쿠션을 유지하도록 전체 치수의 압축에 응답하여 반작용력을 작용하고, 장착 구조는 기판 용기에 장착되도록 구성되는 기판 리테이너.
  5. 제4항에 있어서, 장착 구조는 리세스를 한정하며, 리테이너 쿠션은 리세스 내에 배치되는 기판 리테이너.
  6. 제5항에 있어서, 전체 치수는 두께 치수에 직교하는 측방향 치수인 기판 리테이너.
  7. 제6항에 있어서, 측방향 치수의 압축은 본체 부분을 만곡시켜 두께 치수의 방향으로 곡률을 한정하며, 장착 구조의 리세스는 곡률을 수용하도록 구성되는 기판 리테이너.
  8. 제6항에 있어서, 장착 구조는 리세스의 최소 측방향 치수를 한정하는 적어도 하나의 측방향 돌출부를 포함하는 기판 리테이너.
  9. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 장착 구조는 복수의 일체형 크로스 부재에 의해 분리된 측면 부재를 갖는 프레임을 포함하며, 각 크로스 부재는 장착 면을 한정하고, 리테이너 쿠션은 복수의 크로스 부재 각각의 장착 면에 결합되는 기판 리테이너.
  10. 제9항에 있어서, 복수의 크로스 부재 각각은 장착 면이 오목하거나 볼록하도록 아치형인 기판 리테이너.
  11. 제9항에 있어서, 장착 구조를 기판 용기에 결합하기 위해 프레임으로부터 연장되는 장착 피처를 포함하는 기판 리테이너.
  12. 제9항에 있어서, 복수의 크로스 부재 중 인접한 크로스 부재들을 가교하는 축방향 부재를 포함하는 기판 리테이너.
  13. 제9항에 있어서, 복수의 크로스 부재는 복수의 돌출부를 포함하며, 복수의 돌출부 중 적어도 하나는 복수의 크로스 부재 중 대응하는 하나에 배치되고, 복수의 돌출부는 본체 부분의 두께 내로 또는 본체 부분의 두께를 통해 연장되는 기판 리테이너.
  14. 제13항에 있어서, 리테이너 쿠션의 본체 부분은 본체 부분의 두께를 관통하는 복수의 장착 구멍을 한정하며, 각각의 구멍은 복수의 돌출부 중 대응하는 돌출부와 정합하기 위해 본체 부분 상에 위치되고, 각각은 복수의 돌출부 중 대응하는 돌출부와의 마찰 끼워 맞춤을 위해 치수설정되는 기판 리테이너.
  15. 제9항에 있어서, 본체 부분의 면으로부터 두께 치수 방향으로 연장되는 복수의 돌출부를 포함하며, 복수의 크로스 부재는 복수의 개구를 한정하고, 복수의 개구들 중 적어도 하나는 복수의 크로스 부재 각각에 의해 한정되고, 돌출부 각각은 복수의 개구와 정합하도록 본체 부분 상에 크기 및 위치 설정되는 기판 리테이너.
  16. 제15항에 있어서, 복수의 돌출부 및 복수의 개구는 리테이너 쿠션을 장착 구조에 고정하기 위해 그 사이의 마찰 끼워 맞춤을 위해 치수설정되며, 돌출부 및 본체 부분은 일체형인 기판 리테이너.
  17. 제15항에 있어서, 복수의 돌출부 각각은 네크 부분 및 네크 부분의 말단의 구근 부분을 포함하며, 네크 부분은 복수의 개구 중 대응하는 개구에 배치되고, 구근 부분은 복수의 크로스 부재 중 대응하는 하나의 제2 면에 대해 정합되어 리테이너 쿠션을 크로스 부재에 고정하고, 제2 면은 복수의 크로스 부재 중 대응하는 하나의 장착 면에 대향하는 기판 리테이너.
  18. 외부 주변 부분과 중심 영역을 가지며 순응성 재료로 형성된 본체 부분을 포함하는 리테이너 쿠션으로 기판을 유지하는 방법이며,
    기판을 기판 용기에 배치하는 단계, 및
    기판을 손상시키지 않도록 중심 영역을 편향시키면서 기판에 대해 리테이너 쿠션의 중심 영역을 가압함으로써 기판을 유지하는 단계를 포함하는 방법.
  19. 제18항에 있어서, 쿠션을 쿠션의 외부 주변 부분에서 장착 구조에 고정하는 단계와, 쿠션을 만곡된 구성으로 굴곡시키는 단계를 더 포함하는 방법.
  20. 제18항에 있어서, 리테이너 쿠션의 중심 영역을 기판에 대해 가압할 때 리테이너 쿠션을 압축하는 단계를 더 포함하는 방법.
KR1020187025243A 2016-02-05 2017-02-03 기판 용기용 쿠션 리테이너 KR102208275B1 (ko)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US201662292055P 2016-02-05 2016-02-05
US62/292,055 2016-02-05
PCT/US2017/016534 WO2017136743A1 (en) 2016-02-05 2017-02-03 Cushion retainer for substrate container

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20180119586A true KR20180119586A (ko) 2018-11-02
KR102208275B1 KR102208275B1 (ko) 2021-01-27

Family

ID=59500941

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020187025243A KR102208275B1 (ko) 2016-02-05 2017-02-03 기판 용기용 쿠션 리테이너

Country Status (5)

Country Link
US (1) US10872795B2 (ko)
KR (1) KR102208275B1 (ko)
CN (1) CN109075112A (ko)
TW (1) TWI729068B (ko)
WO (1) WO2017136743A1 (ko)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI641071B (zh) * 2018-01-08 2018-11-11 家登精密工業股份有限公司 容器門板抵持結構
TWI643285B (zh) * 2018-03-06 2018-12-01 段睿紘 緩衝器結構

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07302833A (ja) * 1994-05-09 1995-11-14 Hitachi Cable Ltd ウェハ用キャリア
JPH11330194A (ja) * 1998-05-13 1999-11-30 Sony Corp ウェハ搬送装置
JP2013118211A (ja) * 2011-12-01 2013-06-13 Tokyo Electron Ltd 基板収納容器
JP2015162476A (ja) * 2014-02-26 2015-09-07 信越ポリマー株式会社 基板収納容器

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5816410A (en) * 1994-07-15 1998-10-06 Fluoroware, Inc. Wafer cushions for wafer shipper
USH1762H (en) * 1995-10-26 1998-12-01 Kaempf; Ulrich Wafer restraining system
US6267245B1 (en) 1998-07-10 2001-07-31 Fluoroware, Inc. Cushioned wafer container
JP3556519B2 (ja) * 1999-04-30 2004-08-18 信越ポリマー株式会社 基板収納容器の識別構造及び基板収納容器の識別方法
TW511649U (en) * 2001-09-12 2002-11-21 Ind Tech Res Inst Wafer retainer
US6951284B2 (en) 2001-11-14 2005-10-04 Entegris, Inc. Wafer carrier with wafer retaining system
JP4218260B2 (ja) * 2002-06-06 2009-02-04 東京エレクトロン株式会社 被処理体の収納容器体及びこれを用いた処理システム
JP4213078B2 (ja) * 2004-05-07 2009-01-21 信越ポリマー株式会社 リテーナ及び基板収納容器
JP4667769B2 (ja) * 2004-06-11 2011-04-13 信越ポリマー株式会社 基板収納容器
JP4459015B2 (ja) * 2004-10-21 2010-04-28 信越ポリマー株式会社 基板収納容器
JP2006269771A (ja) 2005-03-24 2006-10-05 Miraial Kk 気密容器
EP1883105B8 (en) * 2005-05-06 2013-03-27 Shin-Etsu Polymer Co., Ltd. Substrate storage container and method of producing the same
WO2009060782A1 (ja) * 2007-11-09 2009-05-14 Shin-Etsu Polymer Co., Ltd. リテーナ及び基板収納容器
KR20110046035A (ko) 2009-10-28 2011-05-04 박종익 전방 리테이너
KR20130126620A (ko) 2010-10-19 2013-11-20 엔테그리스, 아이엔씨. 웨이퍼 쿠션을 구비한 전면 개방형 웨이퍼 컨테이너
SG11201407213TA (en) * 2012-05-04 2014-12-30 Entegris Inc Wafer container with door mounted shipping cushions
KR20140092548A (ko) * 2013-01-16 2014-07-24 삼성전자주식회사 웨이퍼 보관 장치

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07302833A (ja) * 1994-05-09 1995-11-14 Hitachi Cable Ltd ウェハ用キャリア
JPH11330194A (ja) * 1998-05-13 1999-11-30 Sony Corp ウェハ搬送装置
JP2013118211A (ja) * 2011-12-01 2013-06-13 Tokyo Electron Ltd 基板収納容器
JP2015162476A (ja) * 2014-02-26 2015-09-07 信越ポリマー株式会社 基板収納容器

Also Published As

Publication number Publication date
US10872795B2 (en) 2020-12-22
US20200168492A1 (en) 2020-05-28
WO2017136743A8 (en) 2018-11-08
TWI729068B (zh) 2021-06-01
WO2017136743A1 (en) 2017-08-10
KR102208275B1 (ko) 2021-01-27
TW201740493A (zh) 2017-11-16
CN109075112A (zh) 2018-12-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI429011B (zh) 用於晶圓容器之可重覆使用彈性襯墊
KR100904799B1 (ko) 밀봉 용기
JP4354818B2 (ja) ウェハ・コンテナ用のウェハ・エンクロージャ密封装置
KR101761166B1 (ko) 스프링들에 의해 안정화된 진공 그리퍼 조립체
JP4512634B2 (ja) 弾性位置決め構造体を有するクリーン容器
KR20180119586A (ko) 기판 용기용 쿠션 리테이너
US20150279711A1 (en) Substrate Storing Container
TWI634062B (zh) Substrate storage container
US20170186637A1 (en) Wafer container for receiving horizontally arranged wafers
US20100025287A1 (en) Wafer Container with Constraints
JP2016149492A (ja) 基板収納容器
JP2006339206A (ja) 基板対基板接続コネクタの保持装置
KR20220035198A (ko) 웨이퍼 쿠션
CN113741138A (zh) 光掩模盒及于一光掩模盒内固持一光掩模的方法
JP2016189373A (ja) 基板収納容器
US6041937A (en) Wafer cassette retainer in a wafer container
KR20090028973A (ko) 반도체 기판 이송용 캐리어 박스
WO2022215310A1 (ja) 基板収納容器
JP2004103937A (ja) 基板収納容器
JP2023544171A (ja) ウエハ容器およびそのためのサイズ適合システム
KR200319007Y1 (ko) 웨이퍼 수납용기의 기밀구조
JP2006024585A (ja) 基板収納容器

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
AMND Amendment
E902 Notification of reason for refusal
AMND Amendment
E601 Decision to refuse application
AMND Amendment
X701 Decision to grant (after re-examination)
GRNT Written decision to grant