JP2023544171A - ウエハ容器およびそのためのサイズ適合システム - Google Patents

ウエハ容器およびそのためのサイズ適合システム Download PDF

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Abstract

ウエハ容器は、ポッドと、扉と、頂壁を有するウエハカセットと、ベースプレートと、付勢部材と、を含む。ポッドは、側壁と、閉鎖端と、開放端と、を含む。扉によって閉じられるとき、ベースプレートは扉とウエハカセットとの間に位置付けられ、付勢部材はウエハカセットとポッドの閉鎖端との間で圧縮される。閉じられたポッドの内部空間内にウエハカセットを固定するためのサイズ適合システムは、ベースプレートと、付勢部材と、を含む。ベースプレートは、ベースプレートとウエハカセットを連結するための突起と、ベースプレートと扉を連結するためのノッチの、少なくとも一方を含む。付勢部材はウエハカセットとポッドの閉鎖端との間で圧縮されて配設されることになる。【選択図】図１

Description

本開示は一般に、ウエハ容器内でのウエハカセットの固定に関する。より詳細には、本開示は、ウエハ容器のポッド内でのウエハカセットの固定に関する。
ウエハ容器は、外側ポッドと一緒に収容されているウエハカセットを含み得る。ウエハカセットは、移動時、または落下、衝突などの衝撃を受けたとき、ポッドの残りの部分に対して移動する場合がある。ウエハカセットの移動は、ポッド、カセット、もしくはウエハの損傷につながる、または望ましくない粒子の発生につながる可能性がある。ウエハ容器は、特定のサイズのウエハカセットを収容するように構成され得る。各ポッドは、あるサイズのウエハカセットを保持するように特に構成された（例えば、サイズ決定された、位置決めされた、等）特徴を有し得る。例えば、「２００ｍｍ」ウエハ容器は、「２００ｍｍ」ウエハカセット（すなわち、２００ｍｍ幅のウエハを保持するようなサイズのウエハカセット）を確実に収容するように構成されたポッドを含み得る。
本開示は一般に、ウエハ容器のポッド内でのウエハカセットの固定に関する。
扉とウエハカセットとの間でベースプレートを使用し、ウエハカセットとポッドの閉鎖端との間に１つまたは複数の付勢部材を使用することで、ウエハ容器は、ベースプレートおよび１つまたは複数の付勢部材が閉じられたポッドに対するウエハカセットの移動を制限することによって、その閉じられたポッド内でより小さいサイズのウエハ容器を確実に保持するように適合され得る。
ある実施形態では、ウエハ容器は、ポッドと、扉と、ウエハカセットと、ベースプレートと、付勢部材と、を含む。ポッドは、１つまたは複数の側壁と、１つの閉鎖端と、１つの開放端と、１つまたは複数の側壁および１つの閉鎖端によって画定される１つの内部空間と、を含む。ウエハカセットは頂壁を含む。扉はポッドの開放端を閉じるように構成される。ポッドの開放端が扉によって閉じられるとき、ベースプレートは扉とウエハカセットとの間に位置付けられ、付勢部材は、ウエハカセットの頂壁とポッドの閉鎖端との間で圧縮され、ウエハカセットおよびベースプレートを扉に押し付ける。
ある実施形態では、開放端が扉によって閉じられるとき、付勢部材はウエハカセットをベースプレートに押し付ける。
ある実施形態では、付勢部材は、第１の端部と、第１の端部と反対側の第２の端部と、第１の弾性屈曲部と、第２の弾性屈曲部と、を含む。第１の端部は、第１の弾性屈曲部および第２の弾性屈曲部を介して第２の端部に接続される。
ある実施形態では、開口部が扉によって閉じられるとき、付勢部材の第１の端部はポッドに接触し、付勢部材の第２の端部はウエハカセットに接触する。
ある実施形態では、付勢部材の圧縮によって、第１の弾性屈曲部の屈曲角度が小さくなり、第２の弾性屈曲部の屈曲角度が大きくなる。
ある実施形態では、開口部が扉によって閉じられるとき、付勢部材はウエハカセットの頂壁からポッドの閉鎖端まで延在する。
ある実施形態では、ポッドの閉鎖端は、内向き表面と、閉鎖端の内向き表面から離れる方に延在するチャネルと、を含み、付勢部材は付勢部材の長さに沿って延在するリブを含む。付勢部材は、付勢部材のリブが閉鎖端のチャネル内に配設されることによってポッドに取り付けられる。
ある実施形態では、ベースプレートは、頂部と、頂部から延在する突起と、を含み、ウエハカセットの基部はスロットを含む。開口部が扉によって閉じられるとき、突起はスロットの中へと延びて、ウエハカセットとベースプレートを連結する。
ある実施形態では、ベースプレートはノッチを有する底部を含み、扉は、内向き表面と、内向き表面から延在する突起と、を含む。開口部が扉によって閉じられるとき、突起はノッチの中へと延びて、ベースプレートと扉を連結する。
ある実施形態では、扉の突起とベースプレートの突起は同じ形状を有する。
ある実施形態では、サイズ適合システムは、閉じられたポッドの内部空間内にウエハカセットを固定するように構成される。内部空間は、１つまたは複数の側壁と、１つの閉鎖端と、閉じられたポッドの扉で閉じられる１つの開放端と、によって画定される。サイズ適合システムは、ウエハカセットと扉との間の内部空間内に配設されるように構成されているベースプレートと、内部空間内にウエハカセットとポッドの閉鎖端との間で圧縮されて配設されるように構成されている付勢部材と、を含む。圧縮された付勢部材は、ウエハカセットおよびベースプレートを扉に押し付けるように構成される。
ベースプレートは、頂部と、底部と、ベースプレートの頂部から延在する突起およびベースプレートの底部にあるノッチの少なくとも一方と、を有する。突起は、ベースプレートをウエハカセットに連結するべく、ウエハカセットのスロット内へと延びるように構成されている。ノッチは、ベースプレートと扉を連結するべく扉の突起を受けるように構成されている。
ある実施形態では、ベースプレートはノッチを含む。
ある実施形態では、ベースプレートは突起とノッチとを含む。
ウエハ容器の実施形態の分解図である。 ウエハ容器用のベースプレートの実施形態の上面斜視図である。 ある実施形態に係る、図２のベースプレートの底面斜視図である。 ある実施形態に係る、図２のベースプレートの一部の拡大図である。 ウエハ容器用の付勢部材の実施形態の正面斜視図である。 ある実施形態に係る、図５Ａにおける付勢部材の側面図である。 ウエハ容器用のウエハカセットの実施形態の底面図である。 ウエハ容器用のポッドの実施形態の底面図である。 ある実施形態に係る、図１のウエハ容器の断面図である。 ある実施形態に係る、図８に示されているような連結されたベースプレートおよびウエハカセットの断面図である。 ある実施形態に係る、図８に示されているような連結されたベースプレートおよびウエハカセットの断面図である。
同様の数字は同様の特徴を表す。
詳細な説明
本開示は一般に、ウエハ容器のウエハポッド内にウエハカセットを固定することに関する。ウエハ容器は半導体製造中などに基板を運ぶために使用される。例えば、ウエハの形態の基板を加工して半導体デバイスを形成することができる。より具体的には、本開示は、ベースプレートと、ウエハポッド内にウエハカセットを固定するための付勢部材と、を有するシステムに関する。いくつかの実施形態では、組み立てられたときのウエハ容器は、ベースプレートと、より小さいウエハカセットをより大きいウエハポッドと固定するための付勢部材と、を含む。
図１は、ウエハ容器１の実施形態の分解図である。ウエハ容器１は、ポッド１０と、扉３０と、ウエハカセット４０と、ベースプレート６０と、付勢部材８０Ａ、８０Ｂと、を含む。組み立てられると、ウエハカセット４０は、ポッド１０および扉３０によって画定される内部空間１２内に収容される。
ある実施形態では、サイズ適合システムは、ベースプレート６０と、１つまたは複数の付勢部材８０Ａ、８０Ｂと、を含む。サイズ適合システムは、ポッド１０内にウエハカセット４０を固定するように構成される。ベースプレート６０は、ポッド１０に対するウエハカセット４０の水平移動を制限するように構成され、一方、１つまたは複数の付勢部材８０Ａ、８０Ｂは、ポッド１０に対するウエハカセット４０の垂直移動を制限するように構成される。サイズ適合システムは、より小さいウエハカセット（例えばウエハカセット４０）がポッド内で安全かつ確実に搬送されるようポッド（例えば、ポッド１０）を適合させるために使用され得る。例えば、ポッドは、第１のサイズのウエハカセットを安全かつ確実に搬送するように構成されてもよく、サイズ適合システムは、第２のより小さいサイズのウエハカセット（例えば、第２のウエハカセットは第１のウエハカセットよりも小さいサイズを有する）が安全かつ確実に搬送されるよう、ポッドを適合させるために使用され得る。
ウエハ容器１は、１つまたは複数のウエハを保持するのに適した任意のそのような容器、例えば、標準的機械的インターフェース（ＳＭＩＦ）のポッドであり得る。ウエハ容器１は、例えば、半導体ウエハの処理、搬送、および／または保管中に、１つまたは複数のウエハ（図示せず）を保持するために使用され得る。
ウエハカセット４０は、半導体ウエハなどの１つまたは複数のウエハ（図示せず）が収納されるように構成された内部空間を有する容器である。１つまたは複数のウエハは各々、ウエハカセット４０の壁から延在する１つまたは複数のウエハ支持部内に保持することができる。例えば、ウエハカセット４０は、対応するウエハを支持するように各々構成されている、複数の棚４２を含み得る。ある実施形態では、ポッド４０は、第１のサイズのウエハ（例えば２００ｍｍウエハ、等）を保持するように構成された棚を有する第１のウエハカセット（図示せず）を保持するように構成され、ウエハカセット４０は、より小さいサイズのウエハ（例えば１５０ｍｍウエハ、等）を保持するように構成される。
ポッド１０は、１つまたは複数の側壁１４と、１つの閉鎖端１６と、閉鎖端１６の反対側の１つの開放端１８（図１ではよく見えていない）と、を含む。１つまたは複数の側壁１４は、切れ目のない壁を形成する任意の数および配置の側壁とすることができ、それら１つまたは複数の側壁１４は、開放端１８が扉３０によって閉じられるときに、閉鎖端１６と共に内部空間１２を画定できるようになっている。ある実施形態では、一続きの湾曲した壁である１つの側壁１４が存在する。ある実施形態では、１つまたは複数の側壁１４は４つの側壁であり、長方形または正方形の形状を形成する。扉３０が取り付けられこれにより開放端１８が閉じられると、ポッド１０および扉３０は、ウエハカセット４０、ベースプレート６０、および付勢部材８０Ａ、８０Ｂが収納されるように構成された、内部空間１２を画定する。
扉３０はポッド１０の開放端１８を閉じるように構成される。扉３０は、ポッド１０の１つまたは複数の側壁１４によって画定されるものと概ね同様の形状を有し得る。扉３０は、扉３０をポッド１０に接合してウエハ容器１を密閉（例えば、内部空間１２を密閉）するための、１つまたは複数の係合機構を含み得る。扉３０は、その長さ方向および幅方向によって定められる平面を有し得る。組み立てられたウエハ容器１の内部構成について、以下で更に詳細に検討する。
扉３０は内向き表面３２を含む。扉３０の内向き表面３２は、ポッド１０が扉３０で閉じられるとき、ウエハ容器１の内部空間１２の方に面する。内向き表面３２は、ポッド１０の閉鎖端１６の方に面することができる。扉３０は、扉３０の内向き表面３２から延在する突起３４－１を含む。ポッド１０が扉３０で閉じられるとき、突起３４－１、３４－２は、内向き表面３２から内部空間１２内へと延びる。例えば、突起３４－１、３４－２は、内向き表面３２から上向きの方向に延在する（例えば、ポッド１０の閉鎖端１６に向かって垂直方向Ｄ１に延在する）ことができる。
ある実施形態では、突起３４－１、３４－２は、ウエハカセット４０よりも大きいサイズのウエハカセット（図示せず）と直接係合するように構成される。例えば、上記したより大きいサイズのウエハカセットは、ウエハカセット４０よりも大きい幅を有するウエハを運ぶために、ウエハカセット４０よりも大きい幅を有し得る（例えば、より大きいサイズのウエハカセットは２００ｍｍウエハを運ぶためのサイズであるが、ウエハカセット４０は、１５０ｍｍウエハ、１００ｍｍウエハ、等のより小さいウエハを運ぶためのサイズである）。ウエハ容器１が組み立てられると、ベースプレート６０は、扉３０の少なくとも１つの突起３４－１を介して扉３０と連結される。ある実施形態では、扉３０は、突起３４－１、３４－２のうちの１つまたは複数を含み得る。扉３０とベースプレート６０の連結について、以下で更に詳細に検討する。
ウエハカセット４０は、頂壁４４と、頂壁４４の反対側の基部４８と、を含む。頂壁４４および基部４８は、ウエハカセット４０の頂部および底部をそれぞれ画定し得る。頂壁４４は上側表面４６を含む。ウエハ容器１が組み立てられると、ウエハカセット４０の頂壁４４の上側表面４６は、ポッド１０の閉鎖端１６の方に面する。例えば、頂壁４４の上側表面４６は垂直方向Ｄ１に向けられる。
図２はある実施形態に係る、ベースプレート６０の上面斜視図である。ベースプレート６０は、頂部６２と、頂部６２の反対側の底部６８（図１ではよく見えていない）と、を含む。ベースプレート６０は、ベースプレート６０の頂部６２から延在する突起６４－１、６４－２を含む。突起６４－１、６４－２の各々は、ベースプレート６０の頂部６２から上向きに（例えば垂直方向Ｄ１に）延在する。ある実施形態では、扉３０の突起３４－１のうちの１つまたは複数は、ベースプレート６０の突起６４－１のうちの１つまたは複数と同じ形状を有する（例えば図１を参照）。ある実施形態では、ベースプレート６０は、１つまたは複数の突起６４－１、６４－２を含み得る。
図２に示すように、ベースプレート６０の頂部６２はまた、ウエハカセット４０を支持するための１つまたは複数のパッド６６も含み得る。パッド６６はベースプレート６０の上側表面に付着され得る。ウエハ容器１が組み立てられると、ウエハカセット４０の基部４８は、ベースプレートの頂部６２の１つまたは複数のパッド６６上に定置される。例えば、パッド６６は、ベースプレート６０（突起６４－１、６４－２を除く）の最上部の支持表面を提供し得る。パッド６６は、ウエハカセット４０およびその中の任意のウエハの容器に加わる下向きの力を低減するようなクッションを提供し得る。
図３はベースプレート６０の底部６８の斜視図である。ベースプレート６０は、ベースプレート６０の底部６８に形成された１つまたは複数のコネクタ７０を含む。１つまたは複数のコネクタ７０は、扉３０の１つまたは複数の突起３４－１と係合して、扉３０とベースプレート６０を連結するように構成される。ある実施形態では、各コネクタ７０は、対応する扉３０の突起３４－１と係合するように構成される。
図４は図３のコネクタ７０のうちの１つの拡大図である。ベースプレート６０の底部６８はノッチ７２を含む。ノッチ７２はコネクタ７０に形成される。ノッチ７２は、扉３０とベースプレート６０を連結するための突起３４－１を受け入れるように各々構成される。コネクタ７０とその対応する突起３４－１の係合は、この突起３４－１が上記コネクタ７０のノッチ７２のうちの少なくとも１つの中に延びることによって行われる。ウエハ容器１が組み立てられると、上記対応する突起３４－１は少なくとも１つのノッチ７２内へと延び、突起３４－１を上記少なくとも１つのノッチ７２と連結する。図４に示すように、本実施形態のコネクタ７０は、対応する突起３４－１と係合するための６つのノッチ７２を含む。ある実施形態では、コネクタ７０は１つまたは複数のノッチ７２を含み得る。ある実施形態では、コネクタ７０は単一のノッチ７２を含み得る。ある実施形態では、コネクタ７０は、（例えば、水平方向Ｄ２および直交する水平方向Ｄ３のいずれに沿う移動も制限するための）互いに垂直に配置される２つのノッチ７２を含み得る。
ウエハ容器１が組み立てられると、扉３０とベースプレート６０は、１つまたは複数のコネクタ７０が突起３４－１のうちの１つまたは複数にそれぞれ係合することにより、１つに連結される。特に、扉３０およびベースプレート６０は、少なくとも１つのコネクタ７０がその対応する扉３０の突起３４－１と係合することによって、横方向において連結される。扉３０とベースプレート６０との間の横方向における連結は、扉３０とベースプレート６０との間の摺動移動を制限する連結である。例えば、コネクタ７０によって提供される横方向の連結は、少なくとも１つの水平方向における（例えば、水平方向Ｄ２の方向における、水平方向Ｄ３の方向における、等）、扉３０とベースプレート６０との間の移動を制限する。ある実施形態では、コネクタ７０は、水平方向Ｄ２および第２の水平方向Ｄ３の各々に沿った、扉３０とベースプレート６０との間の移動を制限するように構成される。ある実施形態では、コネクタ７０のうちの少なくとも１つは、水平方向Ｄ２および第２の水平方向Ｄ３の各々に沿った扉３０とベースプレート６０との間の移動を制限するよう、その対応する扉３０の突起３４－１と係合するように構成される。
図４に示すように、ノッチ７２は、ノッチ７２の長さにわたって次第に減少する幅を有し得る。例えば、ノッチ７２の幅は、その開口部から次第に狭くなる。ベースプレート６０が扉３０に押し付けられると、突起３４－１はその対応するコネクタ７０の少なくとも１つのノッチ７２内に押し入れられる。ノッチ７２の形状は、ベースプレート６０が扉３０に押し付けられると突起３４－１が上記少なくとも１つのノッチ７２に押し込まれるように構成される。１つまたは複数の突起３４－１をそれらの対応する１つまたは複数のノッチ７２に押し込むことにより、ベースプレート６０を扉３０上に有利に保持し、ベースプレート６０が扉３０から意図せず取り外されること（例えば連結解除、等）を防ぐことができる。例えば、このことにより、ウエハカセット４０をベースプレート６０から持ち上げるときに、ベースプレート６０が誤ってウエハカセット４０と一緒に取り外されることを防止できる。
突起３４－１の位置は、扉３０の実施形態が異なれば異なる場合がある。例えば、図２に示すような後方にある突起３４－１の対は第１の位置にある。別の実施形態では、後方にある突起３４－１の対は、突起がより広く離間している第２の位置を有し得る（例えば、図２における後方にある突起３４－１の対は、水平方向Ｄ３においてより広く離間している）。
図３および図４に示すように、コネクタ７０の対（例えば、後方にあるコネクタ７０の対）は、第１の開口部７４および第２の開口部７６を各々含み得る。開口部７４、７６の各々は、少なくとも１つのノッチ７２を有して形成されている。コネクタ７０の各開口部７４、７６は２つ以上のノッチ７２を含むことができ、ノッチ７０のうちの少なくとも１つは、開口部７４、７６によって共有され得る。
第１の開口部７４の対は、第２の開口部７６の対よりも互いに近接して位置決めされている（例えば、水平方向Ｄ１における２つの第１の開口部７４の間の距離は、水平方向Ｄ１における２つの第２の開口部７６の間の距離よりも小さい）。第１の開口部７４は、それらが第１の位置にある後方の突起のセット（例えば、図２で位置決めされているような突起３４－１）を有する扉と係合するように位置決めされる。第２の開口部７６は、それらが第２の位置にある後方の突起の対を有する扉（例えば、図２に示すよりも水平方向Ｄ３に広く離間させた突起３４－１を有する扉の実施形態）と係合するように位置決めされる。開口部７４、７６の２つの対によって、ベースプレート６０を、扉３０の２つの異なる実施形態（例えば、狭い間隔の突起を有する第１の扉の実施形態、より広い間隔の突起を有する第２の扉の実施形態）と共に使用することが可能になる。
図５Ａは付勢部材８０Ａの実施形態の正面斜視図である。図５Ｂは付勢部材８０Ａの側面図である。付勢部材８０Ａは、第１の端部８２Ａと、第２の端部８４Ａと、第１の弾性屈曲部８６Ａと、第２の弾性屈曲部８８Ａと、を含む。第２の端部８４Ａは、付勢部材８０Ａの長さＬ１に沿った第１の端部８２Ａの反対側にある。付勢部材８０Ａの長さＬ１は、その第１の端部８２Ａからその第２の端部８４Ａまで延びている。ポッド１０に取り付けられると、付勢部材８０Ａの長さＬ１は垂直方向Ｄ１に沿って延びる。
第１の端部８２Ａは、第１の弾性屈曲部８６Ａおよび第２の弾性屈曲部８８Ａを介して第２の端部８４Ａに接続される。例えば、第１の端部８２Ａは、連続した第１の弾性屈曲部８６Ａおよび第２の弾性屈曲部８８Ａを介して第２の端部８４Ａに接続される。第１の弾性屈曲部８６Ａは、第１の端部８２Ａと第２の弾性屈曲部８８Ａとの間にある。第２の弾性屈曲部８８Ａは、第１の弾性屈曲部８６Ａと第２の端部８４Ａとの間にある。
第１の弾性屈曲部８６Ａは屈曲角α１を有し、第２の弾性屈曲部８８Ａは屈曲角α２を有する。付勢部材８０Ａは、その第２の端部８４Ａが上向きに押し上げられると圧縮されるように構成される。例えば、付勢部材８０Ａは、垂直方向Ｄ１においてその第２の端部８４Ａに加わる力Ｆ１によって圧縮されるように構成される。付勢部材８０Ａの長さＬ１は圧縮されるにつれ短くなる。圧縮により第１の弾性屈曲部８６Ａの屈曲角度α１が小さくなり、第２の弾性屈曲部８８Ａの屈曲角度α２が大きくなる。ある実施形態では、付勢部材８０Ａは、その第１の弾性屈曲部８６Ａを畳み、その第２の弾性屈曲部８８Ａを延ばすことによって圧縮を行う。付勢部材８０Ａは復元力のある可撓性ポリマーで製作される。付勢部材８０Ａのポリマーは、弾性屈曲部８６Ａ、８８Ａの屈曲を許容すると同時に、付勢部材８０Ａがもはや圧縮されていない状態ではないときに弾性屈曲部８６Ａ、８８Ａをそれぞれの元の形状（例えば、元の屈曲角度α１、元の屈曲角度α２、等）に戻す復元性を有するように構成される。付勢部材は、例えばポリカーボネートで製作されてもよいが、これに限定されない。ある実施形態では、付勢部材８０Ａ全体が単一の材料から形成（例えば成形）され得る。
付勢部材８０Ａは、圧縮されると下向きに押圧を行うように構成されている。例えば、圧縮された付勢部材８０Ａの第２の端部８４Ａは、垂直方向下向きの方向Ｄ４の力Ｆ２を加える。垂直方向下向きの方向Ｄ４は、垂直方向上向きの方向Ｄ１とは逆方向である。例えば、下向きの力Ｆ２は、緊張した弾性屈曲部８６Ａ、８８Ａがそれらの圧縮されていない形状に戻ろうとすることによって生じる。
付勢部材８０Ａは、付勢部材８０Ａの長さＬ１に沿って延在する少なくとも１つの剛性支持部９２Ａを含む。少なくとも１つの剛性支持部９２Ａは、第１の端部８２Ａと第１の弾性屈曲部８６Ａとの間に設けることができる。付勢部材８０Ａの、第１の端部８２Ａから第１の弾性屈曲部８６Ａまで延びる部分は、少なくとも１つの剛性支持部９２Ａを含み、剛性を有するように構成される。例えば、付勢部材８０Ａの上記の部分は、剛性構造を有し、付勢部材８０Ａが圧縮されているときに屈曲しないように構成される。ある実施形態では、付勢部材９０Ａは単一の材料から製作されても（例えば、単一の材料から成形されても）よく、１つまたは複数の剛性支持部９２Ａは付勢部材９０Ａの当該部分に剛性をもたらし得る。
付勢部材８０Ａはリブ９０Ａの対も含む。リブ９０Ａは付勢部材８０Ａの両側にあり、付勢部材８０Ａの長さＬ１に沿って延在する。リブ９０Ａは、付勢部材８０Ａの第１の端部８２Ａに設けることができる。リブ９０Ａは、付勢部材８０Ａの第１の端部８２Ａと第１の弾性屈曲部８６Ａとの間に位置付けられる。リブ９０Ａは、ポッド１０の（図７および図８に示す）対応するチャネル２２Ａ内へと摺動するように各々構成される。付勢部材８０Ａは、リブ９０Ａの各々がポッド１０の対応するチャネル２２Ａ内に配設されることによって、ポッド１０に取り付けることができる。付勢部材８０Ａの取り付けについて、以下で更に詳細に検討する。
図６はウエハカセット４０の底面図である。ウエハカセット４０の基部４８は、下側表面５０と、スロット５２－１、５２－２と、を含む。スロット５２－１、５２－２はウエハカセット４０の底部に形成されている。スロット５２－１、５２－２は１つまたは複数の側壁によって形成されている。本実施形態では、ウエハカセット４０は、２つの第１のスロット５２－１と、２つの第２のスロット５２－１と、を含む。各第１のスロット５２－１は、ベースプレート４８の下側表面５０から延在する複数の側壁５４－１によって画定される。図６に示すように、各スロット５２－１は開放側５６－１も含み得る。例えば、水平面に沿って、各第１のスロット５２－１は、複数の側壁５４－１と開放側５６－１とによって囲まれている。
各第２のスロット５２－２は、複数の側壁５４－２によって画定される。図６に示すように、各スロット５２－２は開放側５６－２も含み得る。例えば、水平面に沿って、各第１のスロット５２－２は、複数の側壁５４－２と開放側５６－２とによって囲まれている。基部４８は、２つの第２のスロット５２－２の各々の側壁５４－２のうちの少なくとも１つを提供する突出部５８を含み得る（例えば、突出部５８は、第２のスロット５２－２の第１のものの側壁５４－２と、第２のスロット５２－２の第２のものの側壁５４－２と、を提供する）。ある実施形態では、突出部５８は、スロット５２－２同士の間で垂直に延在する壁であってもよい。第１のスロット５２－１および第２のスロット５２－２は、垂直方向において（例えば、図６の紙面に進入する方向に沿って、図１の垂直方向Ｄ１に沿って）重なっていてもよい。
図７はポッド１０の底面図である。ポッド１０は、１つの閉鎖端１６と、１つの開放端１８と、１つまたは複数の側壁１４とを含む。ポッド１０はまた、付勢部材８０Ａ、８０Ｂをポッド１０に取り付けるためのチャネル２２Ａ、２２Ｂも含み得る。ポッド１０の閉鎖端１６は、内向き表面２０と、チャネル２２Ａ、２２Ｂと、を含む。内向き表面２０は、ウエハ容器１の内側空間１２に面している。チャネル２２Ａ、２２Ｂの各々は、閉鎖端１６の内向き表面２０から延在する。例えば、各チャネル２２Ａ、２２Ｂは、閉鎖端１６の内向き表面２０から、ポッド１０の開放端１８に向かって垂直方向Ｄ４に延在し得る（例えば図８を参照）。
ポッド１０は、第１の付勢部材８０Ａ用のチャネル２２Ａの対と、第２の付勢部材８０Ａ用のチャネル２２Ｂの対と、を含み得る。例えば、付勢部材８０Ａの各リブ９０Ａは、チャネル２２Ａのうちの対応する１つの中に配設される。付勢部材８０Ａは、その第１の端部８２Ａを２つのチャネル２２Ａの間に摺動させることによって、ポッド１０に取り付けることができる。付勢部材８０Ａの第１の端部８２Ａにある各リブ９０Ａは、対応するチャネル２２Ａ内へと摺動する。付勢部材８０Ａの第１の端部８２Ａは、その対応するチャネル２２Ａの対の間に配設される。付勢部材８０Ａは、付勢部材８０Ａとポッド１０を連結するための、ポッド１０のその対応するスロット２２Ａ内に配設される少なくとも１つのリブ９０Ａを有する。ある実施形態では、付勢部材８０Ａは、２つのチャネル２２Ａの間に圧入されることにより、チャネル２２Ａ内に保持される。
チャネル２２Ａによって提供される取り付けは、付勢部材８０Ａの第１の端部８２Ａとポッド１０の閉鎖端１６との間の摺動移動を制限するように構成され得る。例えば、チャネル２２Ａ、２２Ｂによって提供される取り付けは、付勢部材８０Ａの第１の端部８２Ａとポッド１０の閉鎖端１６との間の、（例えば、水平方向Ｄ２への、第２の水平方向Ｄ３への、等の）水平移動を制限し得る。チャネル２２Ａとそれらの対応する付勢部材８０Ａとの間の取り付けはまた、付勢部材８０Ａがもはや圧縮されていないとき（例えば、ウエハ容器１からウエハカセット４０を取り出すためにポッド１０が開かれるとき、等）、付勢部材８０Ａをポッド１０上に保持するようにも構成され得る。
図８はウエハ容器１の底面図である。図８の断面は、（ウエハ容器１が組み立てられたときの）図１の線ＩＩＸ－ＩＩＸに沿ったものである。組み立てられると、ポッド１０の開放端１８は扉３０で閉じられ、ウエハカセット４０、ベースプレート６０、および付勢部材８０Ａ、８０Ｂは、内部空間１２内に収容される。扉３０は、ポッド１０の開放端１８を封止し、内部空間１２を密閉することができる。ウエハカセット４０は、ベースプレート６０および扉３０の上に積み重ねられ、ベースプレート６０と、圧縮された１つまたは複数の付勢部材８０Ａ、８０Ｂとの間に位置付けられる。ベースプレート６０は扉３０上に積み重ねられ、扉３０とウエハカセット４０との間に位置付けられる。ウエハカセット４０の基部４８はベースプレート６０の頂部６２に接触し、ベースプレート６０の底部６８は扉３０の内向き表面３２に接触する。例えば、ベースプレート６０の底部６８の外壁は、扉３０の内向き表面３２に接触し得る。
ウエハ容器１が組み立てられると、突起６４－１、６４－２は各々がポッド１０の閉鎖端１６に向かって延びる。各突起６４－１、６４－２は、ウエハカセット４０の基部４８にあるスロット５２－１、５２－２（図６および図８に示す）のうちの１つの中へと延びるように構成される。突起６４－１、６４－２と対応するスロット５２－１、５２－２との係合により、ベースプレート６０とウエハカセット４０とが連結される。特に、対応するスロット５２－１、５２－２内へと延びる突起６４－１、６４－２は、ウエハカセット４０とベースプレート６０を横方向において連結する。ウエハカセット４０とベースプレート６０との間の横方向における連結は、ウエハカセット４０とベースプレート６０との間の摺動移動を制限する連結である。例えば、突起６４－１、６４－２によって提供される横方向における連結により、ウエハカセット４０とベースプレート６０との間の少なくとも１つの水平方向への（例えば、水平方向Ｄ２への、水平方向Ｄ２に垂直な水平方向Ｄ３への、等の）移動が制限される。ある実施形態では、突起６４－１、６４－２は、水平方向Ｄ２および第２の水平方向Ｄ３の各々に沿った、ウエハカセット４０とベースプレート６０との間の移動を制限するように構成される。ある実施形態では、突起６４－１およびその対応するスロット５２－１のうちの１つは、水平方向Ｄ２および第２の水平方向Ｄ３の各々に沿った移動を制限するように構成される。図８に示すように、第１の突起３４－１は、第２の突起６４－１がその対応するスロット５２－１に到達するように、スロット５２－２を通って延在し得る。
図８に示すように、扉３０の突起３４－１は、ウエハカセット４０のスロット５２－１と垂直方向に整列されない（例えば、突起３４－１はスロット５２－１内に嵌合しない、突起３４－１は水平移動を防止するようにスロット５２－１の側壁に当接することがない）。例えば、ポッド１０は、もともとはウエハカセット４０よりも大きいウエハカセットと共に使用されるように設計されている場合がある。大きい方のウエハカセットは、（例えば水平方向Ｄ３において）ウエハカセット４０よりも大きい幅を有する。ウエハカセット４０をより大きいウエハカセットから縮小すると、その結果スロット５２－１のうちの少なくとも１つがその対応する突起３４－１ともはや整列されなくなる。ベースプレート６０および１つまたは複数の付勢部材８０Ａ、８０Ｂは、ウエハ容器１の内部空間１２内にウエハカセット４０を適切に固定するのに適合しない構成を有するポッド１０および扉３０内に、ウエハカセット４０を固定するように構成される。
簡潔にするために、以下の説明は第１の付勢部材８０Ａに向けられる。第２の付勢部材８０Ｂを含むウエハ容器１の実施形態は、第１の付勢部材８０Ａについて説明したのと同様の構成を有し得ることを諒解されたい。図示した実施形態では、２つの付勢部材８０Ａ、８０Ｂは有利には、ウエハカセット４０に対して水平面に沿ってより一貫した下向きの圧力を提供し得る。別の実施形態では、ウエハ容器１は、単一の付勢部材８０Ａを有するように構成され得る。
図８に示すように、付勢部材８０Ａは、ウエハカセット４０とポッド１０の閉鎖端１６との間に位置付けられる。付勢部材８０Ａは、カセット４０の頂壁４４の上側表面４６から、ポッド１０の閉鎖端１６の内向き表面２０まで延在する。閉じられたポッド１０内で、付勢部材８０Ａは、ウエハカセット４０の頂壁４４とポッド１０の閉鎖端１６との間で圧縮される。組み立てられたウエハ容器１内の付勢部材８０Ａは、ウエハカセット４０の頂壁４４とポッド１０の閉鎖端１６との間に圧縮されて配設されるように構成される。
ポッド１０の開放端１８を扉３０で閉じることによって、付勢部材８０Ａが圧縮される。連結されたウエハカセット４０およびベースプレート６０の（例えば垂直方向Ｄ１における）高さは、付勢部材８０Ａの第２の端部８４Ａ（非圧縮時）と閉じられた扉３０との間の垂直方向の空間より大きい。扉３０が図８に示すようなその閉じられた位置に移動されると（例えば、ポッド１０の開放端１８を封止するべく垂直方向上向きに移動されると）、積み重ねられた扉３０、ベースプレート６０、およびウエハカセット４０は、付勢部材８０Ａに逆らって上向きに押しやられ、付勢部材８０Ａを圧縮する。ウエハカセット４０の頂壁４４は、付勢部材８０Ａの第２の端部８４Ａを垂直方向上向きに（例えば垂直方向Ｄ１に）押す。第２の端部８４Ａは、ポッド１０の閉鎖端１６に近づくように垂直方向上向きに移動し、付勢部材８０Ａは、ウエハカセット４０とポッド１０の閉鎖端１６との間で圧縮される。
付勢部材８０Ａの第１の端部８２Ａはポッド１０の閉鎖端１６に接触し、付勢部材８０Ａの第２の端部８４Ａはウエハカセット４０の頂壁４４に接触する。例えば、第１の端部８２Ａは閉鎖端１６の内向き表面２０に接触し、第２の端部８４Ａはウエハカセット４０の頂壁４４の上側表面４６に接触する。第２の端部８４Ａは、接触が最小限になるようにウエハカセット４０の平坦面に接触する（例えば、ウエハカセット４０の上側表面４６の平坦な部分に接触する）。
圧縮は、付勢部材８０Ａによって下向きの力（例えば、図５Ｂの下向きの力Ｆ２）が加わるようにこれを緊張させる。圧縮された付勢部材８０Ａは、ウエハカセット４０の頂壁４４を押し下げる。圧縮された付勢部材８０Ａは、ウエハカセット４０およびベースプレート６０を扉３０の内向き表面３２に押し付ける。圧縮された付勢部材８０Ａは、ウエハカセット４０をベースプレート６０の頂部６２に押し付け、このことによりベースプレート６０が扉３０の内向き表面３２に押し付けられる。ウエハカセット４０およびベースプレート６０は、圧縮された付勢部材８０Ａと扉３０との間で、垂直方向に沿って（例えば、垂直方向Ｄ１に、垂直方向Ｄ４に）圧迫される。
圧縮された付勢部材８０Ａによって加えられる下向きの力によって、ウエハカセット４０およびベースプレート６０の上向きの移動（例えば、垂直方向上向きの方向Ｄ１への移動）が概ね防止される。圧縮された付勢部材８０Ａによる下向きの力はまた、カセット４０がベースプレート６０から連結解除されることを防止するように、および、ベースプレート６０が扉３０から連結解除されることを防止するように、更に構成される。例えば、下向きの力は、ベースプレート６０の突起６４－１、６４－２をカセット４０のそれらの対応するスロット５２－１、５２－２から引き出すのに十分な大きさの、カセット４０の垂直方向上向きの移動を防止するように構成される。例えば、下向きの力は、扉３０の突起３４－１をベースプレート６０のその対応する１つまたは複数のノッチ７２から引き出すのに十分な大きさの、扉３０に対するカセット４０およびベースプレート６０の垂直方向上向きの移動を防止するように構成される。
上で検討したように、ベースプレート６０は、ウエハカセット４０および扉３０の各々に横方向において連結されている。ベースプレート６０は、ウエハカセット４０を扉３０に横方向において連結する。閉じられた扉３０は、ベースプレート６０が閉じられた扉３０を介してポッド１０に対して横方向においてウエハカセット４０に連結するように、ポッド１０に接合される。ウエハ容器１が組み立てられると、ベースプレート６０は、ポッド１０に対するウエハカセット４０の（例えば、水平方向Ｄ２への、水平方向Ｄ３への、等の）水平移動を、有利に制限できる。
図９Ａは、図８の連結されたウエハカセット４０およびベースプレート６０の断面図である。図９Ａの断面図は、図８の線ＩＸＡ－ＩＸＡに沿った水平断面図である。ベースプレート６０の突起６４－２は、ウエハカセット４０の第２のスロット５２－２内へと延びる。突起６４－２の各々は、ウエハカセット４０の第２のスロット５２－２の少なくとも１つの側壁５４－２に接触するように構成され得る。突起６４－２とスロット５２－２との間の接触により、ウエハカセット４０とベースプレート６０との間の（例えば、第１の水平方向Ｄ２への、第２の水平方向Ｄ３への）水平移動が防止される。図９Ａに示すように、ウエハカセット４０の突出部５８は、突起６４－２の対の間の空間に収まることができる。突出部５８は、この対の突起６４－２の各々を直接収縮させることができる。突出部５８は対の突起６４－２の各々に接触して、少なくとも１つの水平方向への（例えば水平方向Ｄ２への）移動を防止するようになっている。
図９Ｂは、図８の連結されたウエハカセット４０およびベースプレート６０の断面図である。図９Ｂの断面図は、図８の線ＩＸＢ－ＩＸＢに沿った水平断面図である。ベースプレート６０の突起６４－１は、ウエハカセット４０の第１のスロット５２－１内へと延びる。突起６４－１の各々は、ウエハカセット４０の第１のスロット５２－１の少なくとも１つの側壁５４－１に接触するように構成され得る。突起６４－１とスロット５２－１との間の接触により、ウエハカセット４０とベースプレート６０との間の水平移動（例えば、ベースプレート６０上でのウエハカセット４０の摺動、第１の水平方向Ｄ２への移動、第２の水平方向Ｄ３への移動）が防止される。図９Ｂに示すように、第２の突起６２－１は、ウエハカセット５０の第１のスロット５２－１内へと延びないように構成される。例えば、図９Ａおよび図９Ｂが示すように、第１の突起６４－１は、（例えば、図８に示すような垂直方向Ｄ１において）第２の突起６４－２よりも大きい高さを有し得る。一般に、圧縮された付勢部材８０Ａは、ポッド１０に対するウエハカセット４０の垂直移動を有利に制限することができ、このときベースプレート６０は、ポッド１０に対するウエハカセット４０の水平移動を制限する。付勢部材８０Ａおよびベースプレート６０は、ウエハ容器１内でウエハカセット４０を安全かつ確実に搬送できるように、内部空間１２内でのウエハカセット４０の移動を制限する。
態様：
態様１～１０のうちのいずれかを、態様１１～１８のうちのいずれかと組み合わせることができる。
態様１．１つまたは複数の側壁、１つの閉鎖端、１つの開放端、ならびに１つまたは複数の側壁および閉鎖端によって画定される１つの内部空間を含む、ポッドと、ポッドの開放端を閉じるように構成されている扉と、頂壁を含むウエハカセットと、ベースプレートと、付勢部材と、を備え、開放端が扉によって閉じられるとき、ベースプレートは扉とウエハカセットとの間に位置付けられ、付勢部材は、ウエハカセットの頂壁とポッドの閉鎖端との間で圧縮され、ウエハカセットおよびベースプレートを扉に押し付ける、ウエハ容器。
態様２．開放端が扉によって閉じられるとき、付勢部材はウエハカセットをベースプレートに押し付ける、態様１に記載のウエハ容器。
態様３．付勢部材は、第１の端部と、第１の端部の反対側の第２の端部と、第１の弾性屈曲部と、第２の弾性屈曲部と、を含み、第１の端部は、第１の弾性屈曲部および第２の弾性屈曲部を介して第２の端部に接続されている、態様１または２に記載のウエハ容器。
態様４．開口部が扉によって閉じられるとき、付勢部材の第１の端部はポッドに接触し、付勢部材の第２の端部はウエハカセットに接触する、態様３に記載のウエハ容器。
態様５．付勢部材の圧縮によって、第１の弾性屈曲部の屈曲角度が小さくなり、第２の弾性屈曲部の屈曲角度が大きくなる、態様３または４に記載のウエハ容器。
態様６．開口部が扉によって閉じられるとき、付勢部材はウエハカセットの頂壁からポッドの閉鎖端まで延在する、態様１から５のいずれか１つに記載のウエハ容器。
態様７．ポッドの閉鎖端は、内向き表面と、閉鎖端の内向き表面から離れる方に延在するチャネルと、を含み、付勢部材は付勢部材の長さに沿って延在するリブを含み、付勢部材は、付勢部材のリブが閉鎖端のチャネル内に配設されることによってポッドに取り付けられる、態様１から６のいずれか１つに記載のウエハ容器。
態様８．ベースプレートは、頂部と、頂部から延在する突起と、を含み、ウエハカセットの基部はスロットを含み、開口部が扉によって閉じられるとき、突起はスロットの中へと延びて、ウエハカセットとベースプレートを連結する、態様１から７のいずれか１つに記載のウエハ容器。
態様９．ベースプレートはノッチを有する底部を含み、扉は、内向き表面と、内向き表面から延在する突起と、を含み、開口部が扉によって閉じられるとき、突起はノッチの中へと延びて、ベースプレートと扉を連結する、態様１から８のいずれか１つに記載のウエハ容器。
態様１０．ベースプレートは、頂部と、頂部から延在する突起と、を含み、ウエハカセットの基部はスロットを含み、開口部が扉によって閉じられるとき、突起はスロットの中へと延びて、ウエハカセットとベースプレートを連結し、扉の突起とベースプレートの突起は同じ形状を有する、態様９に記載のウエハ容器。
態様１１．閉じられたポッドの内部空間内にウエハカセットを固定するためのサイズ適合システムであって、内部空間は、１つまたは複数の側壁、１つの閉鎖端、および閉じられたポッドの扉で閉じられた１つの開放端によって画定されており、サイズ適合システムは、頂部および底部を有するベースプレートであり、ベースプレートはウエハカセットと扉との間の内部空間内に配設されるように構成されており、ベースプレートの頂部から延在する突起であり、ベースプレートをウエハカセットに連結するべくウエハカセットのスロット内へと延びるように構成されている、突起、および、ベースプレートの底部にあるノッチであり、ベースプレートと扉を連結するべく扉の突起を受けるように構成されている、ノッチ、のうちの少なくとも一方を含む、ベースプレートと、内部空間内にウエハカセットとポッドの閉鎖端との間で圧縮されて配設されるように構成されている付勢部材であって、圧縮されている付勢部材はウエハカセットおよびベースプレートを扉に押し付ける、付勢部材と、を含む、サイズ適合システム。
態様１２．付勢部材は、内部空間内にウエハカセットとポッドの閉鎖端との間で圧縮されて配設されるとき、ウエハカセットをベースプレートに押し付けるように構成されている、態様１１に記載のサイズ適合システム。
態様１３．付勢部材は、第１の端部と、第１の端部の反対側の第２の端部と、第１の弾性屈曲部と、第２の弾性屈曲部と、を含み、第１の端部は、第１の弾性屈曲部および第２の弾性屈曲部を介して第２の端部に接続されている、態様１１または１２に記載のサイズ適合システム。
態様１４．付勢部材は、付勢部材の第１の端部がポッドに接触し、付勢部材の第２の端部がウエハカセットに接触するように。内部空間内にウエハカセットとポッドの閉鎖端との間で圧縮されて配設されるように構成されている、態様１３に記載のサイズ適合システム。
態様１５．付勢部材は、圧縮によって第１の弾性屈曲部の屈曲角度を小さくし、第２の弾性屈曲部の屈曲角度を大きくするように構成されている、態様１３または１４に記載のサイズ適合システム。
態様１６．ポッドの閉鎖端は、内向き表面と、閉鎖端の内向き表面から離れる方に延在するチャネルと、を含み、付勢部材は付勢部材の長さに沿って延在するリブを含み、付勢部材は、付勢部材のリブを閉鎖端のチャネル内へと摺動させることによってポッドに取り付けられるように構成されている、態様１１から１５のいずれか１つに記載のサイズ適合システム。
態様１７．ベースプレートはノッチを含む、態様１１から１６のいずれか１つに記載のサイズ適合システム。
態様１８．ベースプレートは突起とノッチとを含む、態様１１から１７のいずれか１つに記載のサイズ適合システム。
本願において開示される例はあらゆる点において例示的であり限定的ではないものと見なされるべきである。本発明の範囲は前述の説明によってではなくむしろ付属の特許請求の範囲によって示され、そこには特許請求の範囲の等価性の意味および範囲に含まれる全ての変更が包含されることが意図されている。

Claims (18)

  1. １つまたは複数の側壁、１つの閉鎖端、１つの開放端、ならびに前記１つまたは複数の側壁および前記閉鎖端によって画定される１つの内部空間を含む、ポッドと、
    前記ポッドの前記開放端を閉じるように構成されている扉と、
    頂壁を含むウエハカセットと、
    ベースプレートと、
    付勢部材と、を備え、
    前記開放端が前記扉によって閉じられるとき、前記ベースプレートは前記扉と前記ウエハカセットとの間に位置付けられ、前記付勢部材は、前記ウエハカセットの前記頂壁と前記ポッドの前記閉鎖端との間で圧縮され、前記ウエハカセットおよび前記ベースプレートを前記扉に押し付ける、
    ウエハ容器。
  2. 前記開放端が前記扉によって閉じられるとき、前記付勢部材は前記ウエハカセットを前記ベースプレートに押し付ける、請求項１に記載のウエハ容器。
  3. 前記付勢部材は、第１の端部と、前記第１の端部の反対側の第２の端部と、第１の弾性屈曲部と、第２の弾性屈曲部と、を含み、前記第１の端部は、前記第１の弾性屈曲部および前記第２の弾性屈曲部を介して前記第２の端部に接続されている、請求項１に記載のウエハ容器。
  4. 前記開口部が前記扉によって閉じられるとき、前記付勢部材の前記第１の端部は前記ポッドに接触し、前記付勢部材の前記第２の端部は前記ウエハカセットに接触する、請求項３に記載のウエハ容器。
  5. 前記付勢部材の前記圧縮によって、前記第１の弾性屈曲部の屈曲角度が小さくなり、前記第２の弾性屈曲部の屈曲角度が大きくなる、請求項３に記載のウエハ容器。
  6. 前記開口部が前記扉によって閉じられるとき、前記付勢部材は前記ウエハカセットの前記頂壁から前記ポッドの前記閉鎖端まで延在する、請求項１に記載のウエハ容器。
  7. 前記ポッドの前記閉鎖端は、内向き表面と、前記閉鎖端の前記内向き表面から離れる方に延在するチャネルと、を含み、前記付勢部材は前記付勢部材の長さに沿って延在するリブを含み、
    前記付勢部材は、前記付勢部材の前記リブが前記閉鎖端の前記チャネル内に配設されることによって前記ポッドに取り付けられる、
    請求項１に記載のウエハ容器。
  8. 前記ベースプレートは、頂部と、前記頂部から延在する突起と、を含み、前記ウエハカセットの基部はスロットを含み、
    前記開口部が前記扉によって閉じられるとき、前記突起は前記スロットの中へと延びて、前記ウエハカセットと前記ベースプレートを連結する、
    請求項１に記載のウエハ容器。
  9. 前記ベースプレートはノッチを有する底部を含み、前記扉は、内向き表面と、前記内向き表面から延在する突起と、を含み、
    前記開口部が前記扉によって閉じられるとき、前記突起は前記ノッチの中へと延びて、前記ベースプレートと前記扉を連結する、
    請求項１に記載のウエハ容器。
  10. 前記ベースプレートは、頂部と、前記頂部から延在する突起と、を含み、前記ウエハカセットの基部はスロットを含み、
    前記開口部が前記扉によって閉じられるとき、前記突起は前記スロットの中へと延びて、前記ウエハカセットと前記ベースプレートを連結し、
    前記扉の前記突起と前記ベースプレートの前記突起は同じ形状を有する、
    請求項９に記載のウエハ容器。
  11. 閉じられたポッドの内部空間内にウエハカセットを固定するためのサイズ適合システムであって、前記内部空間は、１つまたは複数の側壁、１つの閉鎖端、および前記閉じられたポッドの扉で閉じられた１つの開放端によって画定されるサイズ適合システムにおいて、
    頂部および底部を有しており、前記ウエハカセットと前記扉との間の前記内部空間内に配設されるように構成されているベースプレートであって、
    前記ベースプレートの頂部から延在する突起であり、前記ベースプレートを前記ウエハカセットに連結するべく前記ウエハカセットのスロット内へと延びるように構成されている、突起、および、
    前記ベースプレートの底部にあるノッチであり、前記ベースプレートと前記扉を連結するべく前記扉の突起を受けるように構成されている、ノッチ
    のうちの少なくとも一方を含む、ベースプレートと、
    前記内部空間内に前記ウエハカセットと前記ポッドの閉鎖端との間で圧縮されて配設されるように構成されている付勢部材であって、圧縮されている前記付勢部材は前記ウエハカセットおよび前記ベースプレートを前記扉に押し付ける、付勢部材と
    を含む、サイズ適合システム。
  12. 前記付勢部材は、前記内部空間内に前記ウエハカセットと前記ポッドの前記閉鎖端との間で圧縮されて配設されるとき、前記ウエハカセットを前記ベースプレートに押し付けるように構成されている、請求項１１に記載のサイズ適合システム。
  13. 前記付勢部材は、第１の端部と、前記第１の端部の反対側の第２の端部と、第１の弾性屈曲部と、第２の弾性屈曲部と、を含み、前記第１の端部は、前記第１の弾性屈曲部および前記第２の弾性屈曲部を介して前記第２の端部に接続されている、請求項１１に記載のサイズ適合システム。
  14. 前記付勢部材は、前記付勢部材の前記第１の端部が前記ポッドに接触し、前記付勢部材の前記第２の端部が前記ウエハカセットに接触するように、前記内部空間内に前記ウエハカセットと前記ポッドの前記閉鎖端との間で圧縮されて配設されるように構成されている、請求項１３に記載のサイズ適合システム。
  15. 前記付勢部材は、前記圧縮によって前記第１の弾性屈曲部の屈曲角度を小さくし、前記第２の弾性屈曲部の屈曲角度を大きくするように構成されている、請求項１３に記載のサイズ適合システム。
  16. 前記ポッドの前記閉鎖端は、内向き表面と、前記閉鎖端の前記内向き表面から離れる方に延在するチャネルと、を含み、
    前記付勢部材は前記付勢部材の長さに沿って延びるリブを含み、前記付勢部材は、前記付勢部材の前記リブを前記閉鎖端の前記チャネル内へと摺動させることによって前記ポッドに取り付けられるように構成されている、
    請求項１１に記載のサイズ適合システム。
  17. 前記ベースプレートは前記ノッチを含む、請求項１１に記載のサイズ適合システム。
  18. 前記ベースプレートは前記突起と前記ノッチとを含む、請求項１７に記載のサイズ適合システム。
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US7304720B2 (en) * 2002-02-22 2007-12-04 Asml Holding N.V. System for using a two part cover for protecting a reticle
FR2902235B1 (fr) * 2006-06-09 2008-10-31 Alcatel Sa Dispositif de transport, de stockage et de transfert de substrats
KR20100077628A (ko) * 2008-12-29 2010-07-08 주식회사 동부하이텍 웨이퍼 이송용 파드
EP2544965B1 (en) * 2010-03-11 2019-05-22 Entegris, Inc. Thin wafer shipper
US10850279B2 (en) * 2015-03-27 2020-12-01 Entegris, Inc. Bottom opening pod with magnetically coupled casssettes

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