KR20100077628A - 웨이퍼 이송용 파드 - Google Patents

Abstract

본 발명에 따르면, 하부에 판상으로 구비된 안착플레이트; 상기 안착플레이트의 상면에 안착되는 웨이퍼 수납용 카셋트; 및 상기 안착플레이트와 기밀을 유지한 채 상기 카셋트를 덮도록 구비되되 상기 카셋트의 상부 판면에 탄성적으로 가압지지되는 지지홀더가 그 내부 천장에 구비된 착탈식의 커버;를 포함하는 웨이퍼 이송용 파드가 제공된다.

이에 의하면, 지지홀더에 탄성부가 구비되어 카셋트의 판면과 커버의 지지홀더가 동시에 접하지 않게 될 경우에도 탄성적으로 지지력이 조절되어 종래와 같이 내부에 파티클을 발생시키는 문제 및 운반시 카셋트가 유동하게 되는 문제는 근본적으로 막을 수 있다.

또한, 지지홀더 경사부의 넓은 면적으로 상기 손잡이의 경사면과 면접촉 유지됨으로써 상기 카셋트를 보다 안정적으로 가압 지지시킬 수 있게 된다.

SMIF, 파드, 웨이퍼, 카셋트, 지지홀더, 탄성부, 경사부

Description

웨이퍼 이송용 파드 {Pod for transferring an wafer}

본 발명은 웨이퍼 이송용 파드에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 웨이퍼가 카셋트 상에 수납되어 이송되는 웨이퍼 이송용 파드에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 웨이퍼 장비는 매우 깨끗한 환경을 요구한다. 반도체 웨이퍼를 이송하거나 저장할 때 내부에 작은 입자, 기체 또는 정전기가 포함되는 경우 반도체 웨이퍼 장비 또는 반도체 웨이퍼가 손상을 받게 된다. 그러므로 최근들어 입자가 없는 환경에서 반도체 웨이퍼를 이송하거나 저장하기 위한 기술들이 이용되고 있다.

이를 위한 종래 기술의 일례로 스미프(SMIF; Standard Mechanical Interface) 장치가 있는데, 이 스미프 장치는 좁은 공간의 청정실 등에서의 대기 콘트롤 및 프로세스 처리시 인위적인 실수 등을 방지하기 위한 것으로, 웨이퍼가 저장된 카셋트를 반도체 장비에 투입하거나 배출하는데 이용되는 장치이다.

이러한 스미프 장치는, 웨이퍼와, 복수의 웨이퍼를 적층시킬 수 있는 카셋트를 수납하기 위한 웨이퍼 이송용 파드(POD)와, 상기 파드를 저장하거나 인출하기 위한 포트, 및 상기 파드로부터 카셋트를 인출하여 반도체 장비 내부로 이송하는 아암 등을 포함하여 구성된다.

이들 중, 파드에 대해서 구체적으로 살펴보면, 하부에 판상으로 마련된 안착플레이트와, 상기 안착플레이트의 상부에 고정되게 놓여지는 웨이퍼 수납용 카셋트, 및 상기 안착플레이트와 기밀을 유지한 채 카셋트를 덮는 착탈식의 커버로 이루어진다.

특히, 상기 카셋트의 상면에는 돌출된 손잡이가 구비되고, 상기 커버의 천장에는 상기 손잡이의 양측 판면과 면접촉되어 카셋트의 상면을 가압 지지시킬 수 있도록 한 쌍의 강질성 지지홀더가 구비된다.

그런데, 카셋트 크리닝 등의 이유로 카셋트를 안착플레이트와 이탈시킨 후, 재결합시키는 과정에서 카셋트의 판면과 커버의 지지홀더들이 동시에 접하지 않게 될 경우, 지지홀더의 가압력이 카셋트의 판면 한쪽으로 치우쳐 내부에 파티클(Particle)을 발생시키게 되는 문제가 있다.

또한, 재결합 시 커버의 지지홀더들이 카셋트의 손잡이와 무리하게 접촉될 경우, 상기 지지홀더가 손상 또는 변형되어 카셋트의 상면에 대한 가압 지지력이 저하되어 운반시 카셋트가 유동하게 되는 문제가 있다.

본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로서, 파티클 발생을 방지하며, 카셋트 유동을 방지할 수 있는 웨이퍼 이송용 파드를 제공하는데 그 목적이 있다.

상기한 목적을 달성하기 위해 본 발명의 일 측면에 따른 웨이퍼 이송용 파드는 하부에 판상으로 구비된 안착플레이트; 상기 안착플레이트의 상면에 안착되는 웨이퍼 수납용 카셋트; 및 상기 안착플레이트와 기밀을 유지한 채 상기 카셋트를 덮도록 구비되되 상기 카셋트의 상부 판면에 탄성적으로 가압지지되는 지지홀더가 그 내부 천장에 구비된 착탈식의 커버;를 포함하여 구성된다.

여기서, 상기 카셋트의 상면에는, 양측으로 경사면을 형성하도록 상향 돌출되는 손잡이가 구비되는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 커버의 지지홀더는, 상면이 상기 커버의 내부 천장과 착탈가능하게 구비된 판상의 착탈부와, 상기 착탈부의 하면 양측으로 돌출되되 상기 손잡이의 경사면과 대응되어 내측면이 슬라이딩 접촉되는 한 쌍의 경사부, 및 상기 경사부들의 하측으로 각각 탄성지게 굴곡되어 단부가 상기 카셋트의 상부 판면과 탄성적으로 각각 접촉되는 한 쌍의 탄성부를 구비하는 것을 특징으로 한다.

전술한 바와 같이 본 발명에 따른 웨이퍼 이송용 파드에 의하면, 지지홀더에 탄성부가 구비되어 카셋트의 판면과 커버의 지지홀더가 동시에 접하지 않게 될 경우에도 탄성적으로 지지력이 조절되어, 종래와 같이 내부에 파티클을 발생시키는 문제 및 운반시 카셋트가 유동하게 되는 문제를 근본적으로 막을 수 있다.

또한, 지지홀더 경사부의 넓은 면적으로 상기 손잡이의 경사면과 면접촉 유지됨으로써 상기 카셋트를 보다 안정적으로 가압 지지시킬 수 있게 된다.

이하, 첨부된 도면을 참조로 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 이송용 파드에 대해 상세하게 살펴본다.

이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니 되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.

따라서, 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시예에 불과할 뿐이고, 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들은 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 이송용 파드의 조립을 나타내 보인 사시도, 도 2는 도 1의 조립완성된 웨이퍼 이송용 파드의 투영도, 도 3은 도 2의 "A" 부분을 확대한 도면, 도 4는 도 1의 지지홀더를 나타내 보인 사시도, 및 도 5는 도 4의 측면도이다.

도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 이송용 파드는 하부에 판상으로 구비된 안착플레이트(110)와, 상기 안착플레이트(110)의 상면에 안착되는 웨이퍼(W) 수납용 카셋트(120), 및 상기 안착플레이트(110)와 기밀을 유지한 채 상기 카셋트(120)를 덮도록 구비되는 착탈식의 커버(130)를 포함하여 구성된다.

여기서, 상기 카셋트(120)는 그 내부에 다수의 슬롯(Slot)이 구비되어 각각의 슬롯에 웨이퍼(W)가 수납 정렬되는 구조이며, 상면에는 양측으로 경사면(121a)을 형성하도록 상향 돌출되는 손잡이(121)가 구비된다.

한편, 상기 커버(130)의 내부 천장(130a)에는 도 2, 3에 도시된 바와 같이, 상기 카셋트(120)의 상부 판면에 탄성적으로 가압지지되는 지지홀더(131)가 구비되는데, 이 지지홀더(131)는 도 4, 5에 도시된 바와 같이, 상면이 상기 커버(130)의 내부 천장(130a)과 착탈가능하게 구비된 판상의 착탈부(131a)와, 상기 착탈부(131a)의 하면 양측으로 돌출되되 상기 손잡이(121)의 경사면(121a)과 대응되어 내측면이 슬라이딩 접촉되는 한 쌍의 경사부(131b), 및 상기 경사부(131b)들의 하측으로 각각 탄성지게 굴곡되어 단부가 상기 카셋트(120)의 상부 판면과 탄성적으로 각각 접촉되는 한 쌍의 탄성부(131c)가 일체형으로 형성된다.

여기서, 상기 경사부(131b)는 보다 넓은 면적으로 상기 손잡이(121)의 경사면(121a)과 면접촉됨으로써 상기 카셋트(120)를 보다 안정적으로 지지시킬 수 있다.

또한, 상기 탄성부(131c)들의 내측은 상기 경사부(131b) 내측면의 경사각도 를 잇도록 경사지게 형성되어 상기 경사부(131b)와 함께 상기 손잡이(121)의 경사면(121a)과 슬라이딩 접촉 가능하게 형성된다.

아울러, 상기 커버(130)와 안착플레이트(110)의 착탈구조 및 기밀유지 수단은 공지된 구성으로 본 발명의 요지를 명료하기 위해 그에 대한 설명은 생략하기로 한다.

이하, 도면을 참조하여 상술한 본 발명 웨이퍼 이송용 파드의 작용에 대해 살펴본다.

필요시 사용자가 파드의 커버(130)를 안착플레이트(110)로부터 이탈시킨 후, 공정 진행을 위해 커버(130)를 다시 안착플레이트(110)와 고정 결합시키게 된다.

이와 같이 커버(13)와 안착플레이트(110)가 고정 결합되는 과정에서 본 발명 커버(130)의 천장(130a)에 구비된 지지홀더(131)가 손잡이(121)와 간섭되지 않고, 면접촉식으로 가이드되면서 카세트(120)의 상부 판면에 탄성적으로 가압 지지된다.

즉, 카셋트(120)의 판면과 커버(130)의 지지홀더(131)의 양측이 기울어져 양측이 동시 접하지 않게 될 경우에도 탄성부(131c)로 인해 탄성적으로 지지력이 조절되어 종래와 같이 내부에 파티클(Particle)을 발생시키는 문제 및 운반시 카셋트(120)가 유동하게 되는 문제는 방지될 수 있다.

또한, 지지홀더(131) 경사부(131b)의 경사진 내측이 손잡이(121)의 경사면(121a)을 따라 슬라이딩됨과 아울러, 그 넓은 면적으로 상기 손잡이(121)의 경사면(121a)과 면접촉 유지됨으로써 상기 카셋트(120)를 보다 안정적으로 가압 지지시킬 수 있게 된다.

이상과 같이, 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나 이에 한정되지 않으며, 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 본 발명의 기술 사상과 아래에 기재될 특허청구범위의 균등범위 내에서 다양한 수정 및 변형 가능함은 물론이다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 이송용 파드의 조립을 나타내 보인 사시도,

도 2는 도 1의 조립완성된 웨이퍼 이송용 파드의 투영도,

도 3은 도 2의 "A" 부분을 확대한 도면,

도 4는 도 1의 지지홀더를 나타내 보인 사시도, 및

도 5는 도 4의 측면도이다.

** 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 **

110: 안착플레이트 120: 카셋트

121: 손잡이 121a: 경사면

130: 커버 131: 지지홀더

131a: 착탈부 131b: 경사부

131c: 탄성부 W: 웨이퍼

Claims (3)

1. 하부에 판상으로 구비된 안착플레이트;

   상기 안착플레이트의 상면에 안착되는 웨이퍼 수납용 카셋트; 및

   상기 안착플레이트와 기밀을 유지한 채 상기 카셋트를 덮도록 구비되되 상기 카셋트의 상부 판면에 탄성적으로 가압지지되는 지지홀더가 그 내부 천장에 구비된 착탈식의 커버;

   를 포함하는 웨이퍼 이송용 파드.
2. 제 1항에 있어서, 상기 카셋트의 상면에는,

   양측으로 경사면을 형성하도록 상향 돌출되는 손잡이가 구비되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송용 파드.
3. 제 1항에 있어서, 상기 커버의 지지홀더는,

   상면이 상기 커버의 내부 천장과 착탈가능하게 구비된 판상의 착탈부와,

   상기 착탈부의 하면 양측으로 돌출되되 상기 손잡이의 경사면과 대응되어 내측면이 슬라이딩 접촉되는 한 쌍의 경사부, 및

   상기 경사부들의 하측으로 각각 탄성지게 굴곡되어 단부가 상기 카셋트의 상부 판면과 탄성적으로 각각 접촉되는 한 쌍의 탄성부

   를 구비하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송용 파드.

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