JP5375643B2 - ウエハ保持機構、ウエハホルダ及び静電チャック - Google Patents
ウエハ保持機構、ウエハホルダ及び静電チャック Download PDFInfo
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Description
このように構成した本実施形態に係るウエハ保持機構100によれば、平面状の静電吸着面301に保持爪収容溝3Mを設けて保持爪22を収容する構成とし、ウエハW及びウエハホルダ2が載置される静電吸着面301を同一平面としているので、サイズの異なるウエハWを載置した場合でも、ウエハWに静電吸着面301を確実に接触させることができる。また、保持爪22のみが保持爪収容溝3Mに収容されるようにしているので、保持爪収容溝3Mのサイズを小さくすることができる。これにより、サイズの異なるウエハWを載置してウエハWが保持爪収容溝3Mを跨る場合であっても、ウエハWに接触しない部分を小さくすることができる。したがって、ウエハWの温度斑を生じにくくすることができ、温度制御性能を損なうことがなく、異なるサイズのウエハWそれぞれを十分に固定することができる。
なお、本発明は前記実施形態に限られるものではない。
W ・・・ウエハ
2 ・・・ウエハホルダ
21 ・・・開口孔
22 ・・・保持爪
3 ・・・静電チャック
301・・・静電吸着面
3M ・・・保持爪収容溝
221・・・突起部
2T ・・・テーパ面
23 ・・・支持体
3Ma・・・支持体収容溝
Claims (10)
- ウエハの形状に対応して形成され、そのウエハが収容される開口孔、及び当該開口孔の下側開口縁下方に延設され、前記開口孔にウエハが収容された状態でそのウエハの下面に接触して保持する保持爪を有するウエハホルダと、
概略平面状の静電吸着面を有し、当該静電吸着面に前記ウエハホルダ及びそれによって保持されたウエハが載置された状態で前記保持爪を収容する保持爪収容溝が形成された静電チャックとを備え、
前記静電吸着面において、前記ウエハホルダが載置される面が、前記ウエハが載置される面と同一平面上に形成されているウエハ保持機構。 - 前記静電チャックが、前記静電吸着面に前記ウエハホルダ及びそれによって保持されたウエハが載置された状態で、前記ウエハホルダ及び前記ウエハを静電吸着するものである請求項1記載のウエハ保持機構。
- 前記保持爪が、開口孔の下側開口縁全周から下方に延設されている請求項1又は2記載のウエハ保持機構。
- 前記ウエハホルダが、前記保持爪から開口孔内側に延設されて、当該保持爪のウエハ下面に接触するウエハ接触面と略同一平面上に位置する支持面を有し、当該支持面により前記ウエハ下面の少なくとも略中央部を支持する支持体を有し、
前記静電チャックが、前記支持体を収容する支持体収容溝を有する請求項1、2又は3記載のウエハ保持機構。 - 前記保持爪が、上方に延設する突起部を有し、当該突起部の上端が前記ウエハの下面に接触するものである請求項1、2又は3記載のウエハ保持機構。
- 前記突起部が、前記保持爪において周方向に略等間隔に3つ以上設けられている請求項5記載のウエハ保持機構。
- 前記静電吸着面に異なるサイズのウエハを保持する保持爪に対応した保持爪収容溝が形成されている請求項1、2、3、5又は6記載のウエハ保持機構。
- 前記静電吸着面に異なるサイズのウエハを保持する保持爪及び支持体に対応した保持爪収容溝及び支持体収容溝が形成されている請求項4記載のウエハ保持機構。
- 前記ウエハホルダにおける開口孔の上側開口縁全周にテーパ面が形成されている請求項1、2、3、4、5、6、7又は8記載のウエハ保持機構。
- ウエハの形状に対応して形成され、そのウエハが収容される開口孔、及び当該開口孔の下側開口縁下方に延設され、前記開口孔にウエハが収容された状態でそのウエハの下面に接触して保持する保持爪を有するウエハホルダが載置されるものであって、
概略平面状の静電吸着面を有し、当該静電吸着面に前記ウエハホルダ及びそれによって保持されたウエハが載置された状態で前記保持爪を収容する保持爪収容溝が形成され、
前記静電吸着面において、前記ウエハホルダが載置される面が、前記ウエハが載置される面と同一平面上に形成されている静電チャック。
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