JP7364692B2 - 基板吸引保持構造及び基板搬送ロボット - Google Patents
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Description
図1は、実施の形態1に係る基板吸引保持構造100が設けられたブレード9の構成例を示す平面図である。図2は、ブレード9を備える基板搬送ロボット1の構成例を示す側面図である。
以下では実施の形態2の構成について、実施の形態1との相違点を中心に述べる。図12は、実施の形態2に係る基板吸引保持構造の構成例を示す断面図である。
7 覆い体
8 真空源
10 吸引路
30 第2真空室
40 パッド本体
41 接触部
42 第1真空室
43 (第1真空室の)底壁部
44 支柱
65 (第1真空室の)底面
100 基板吸引保持構造
Claims (14)
- 環状の接触部と、前記接触部によって囲まれる第1真空室の底面を閉塞する底壁部とを有し、導電性を有するパッド本体と、
上面と、該上面を窪ませて形成した第2真空室とを有し、導電性を有するブレード本体と、
前記パッド本体に設けられ、前記パッド本体の前記接触部を前記第2真空室上で前記ブレード本体の前記上面よりも上方に位置させ、前記パッド本体を前記第2真空室に対して揺動可能に支持し、導電性を有する支柱と、
前記ブレード本体に固定され、前記第2真空室を覆う弾性体であって、前記支柱が挿通される挿通孔を有し、該挿通孔を形成する内周縁が前記支柱に接触する覆い体と、
前記第1真空室から延び、前記パッド本体の前記底壁部、前記第2真空室及び前記ブレード本体をこの順に通り、真空源に接続される吸引路と、を備える基板吸引保持構造。 - 前記支柱は前記パッド本体を一点支持する、請求項1に記載の基板吸引保持構造。
- 前記支柱は、前記底壁部の下面から下方に向かって延びる外周面と、前記外周面に連なる外周縁を有し、該外周縁から内側に向かうに従って下方に突出する又は該外周縁の内側の領域の一部が下方に突出する突起が形成されている底面とを有し、
前記第2真空室は、前記支柱の下端を収容し、前記突起が載置される底面を有する、請求項1又は2に記載の基板吸引保持構造。 - 前記吸引路は、前記底壁部を貫通するパッド本体内流路と、一端が前記パッド本体内流路に連続し、前記支柱を貫通し、他端が前記支柱の前記底面に開口する支柱内流路と、前記支柱内流路の前記他端と接続されている前記第2真空室と、前記ブレード本体に形成され、一方の端部が前記第2真空室に接続され、他方の端部が真空源に接続されるブレード内流路を含む、請求項3に記載の基板吸引保持構造。
- 前記突起は、円錐形、円錐台形、半球形、ドーム形、又は前記外周縁との間に段差を形成する柱形である、請求項3又は4に記載の基板吸引保持構造。
- 前記支柱と前記ブレード本体とは、前記突起を介して電気的に接続される、請求項3乃至5の何れか1項に記載の基板吸引保持構造。
- 環状の接触部と、前記接触部によって囲まれる第1真空室の底面を閉塞する底壁部とを有し、導電性を有するパッド本体と、
上面と、該上面を窪ませて形成した第2真空室とを有し、導電性を有するブレード本体と、
前記第2真空室に設けられ、前記パッド本体の前記接触部を前記第2真空室上で前記ブレード本体の前記上面よりも上方に位置させ、前記パッド本体を前記第2真空室に対して揺動可能に支持し、導電性を有する支柱と、
前記ブレード本体に固定され、前記第2真空室を覆う覆い体と、
前記第1真空室から延び、前記パッド本体の前記底壁部、前記第2真空室及び前記ブレード本体をこの順に通り、真空源に接続される吸引路と、を備え、
前記第2真空室は、底面を有し、
前記支柱は、該第2真空室の底面から上方に延びる外周面と、前記外周面に連なる外周縁を有し、該外周縁から内側に向かうに従って上方に突出する又は該外周縁の内側の領域の一部が上方に突出する突起が形成されている上面とを有する、基板吸引保持構造。 - 前記突起は、円錐形、円錐台形、半球形、ドーム形、又は前記外周縁との間に段差を形成する柱形である、請求項7に記載の基板吸引保持構造。
- 前記覆い体は、弾性体であり、前記支柱が挿通される挿通孔を有し、該挿通孔を形成する内周縁が前記支柱又は前記パッド本体に接触する、請求項7に記載の基板吸引保持構造。
- 前記パッド本体の材質は、導電性PEEK樹脂である、請求項1乃至9の何れか1項に記載の基板吸引保持構造。
- 前記覆い体は、導電性を有する、請求項1乃至10の何れか1項に記載の基板吸引保持構造。
- 前記覆い体の外周縁を覆う形状を有する固定枠と、
前記固定枠を前記ブレード本体に係脱可能に締結する締結具とを有する、請求項1乃至11の何れか1項に記載の基板吸引保持構造。 - 請求項1乃至12の何れか1項に記載の前記基板吸引保持構造が前記ブレード本体に保持される基板の中心を中心とする円周方向に複数並ぶブレードを備える基板搬送ロボット。
- 先端部に前記ブレードが設けられたロボットアームを更に有し、
前記接触部から前記ロボットアームまで連続する電気路を有する、請求項13に記載の基板搬送ロボット。
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