JP2011253918A - 吸着治具、吸着方法、及び基板処理装置 - Google Patents
吸着治具、吸着方法、及び基板処理装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011253918A JP2011253918A JP2010126447A JP2010126447A JP2011253918A JP 2011253918 A JP2011253918 A JP 2011253918A JP 2010126447 A JP2010126447 A JP 2010126447A JP 2010126447 A JP2010126447 A JP 2010126447A JP 2011253918 A JP2011253918 A JP 2011253918A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- suction
- base
- holding
- substrate
- semiconductor wafer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Abstract
【解決手段】 基体と、基体から突出して形成され、先端部に、当接位置の板状保持対象物の局所的形状に応じて変形可能で、板状保持対象物の受け口を構成する当接部材を備える3以上の吸着部と、吸着部の当接部材の形成位置から、吸着部及び基体の内部に形成され、基体の内部から外部に通じる吸気孔とを有する吸着治具を提供する。
【選択図】 図2
Description
10a カセット
20 アライナ(位置合わせ部)
30 吸着治具
31 基体
32a〜32c 吸着部
33a〜33c パッド
34a〜34c 吸気孔
40 真空ポンプ
50 XYステージ
60 レーザ照射室(基板処理部)
70 ロボットアーム(搬送機構)
80 半導体ウエハ
90、90a 矩形
Claims (11)
- 基体と、
前記基体から突出して形成され、先端部に、当接位置の板状保持対象物の局所的形状に応じて変形可能で、板状保持対象物の受け口を構成する当接部材を備える3以上の吸着部と、
前記吸着部の前記当接部材の形成位置から、前記吸着部及び前記基体の内部に形成され、前記基体の内部から外部に通じる吸気孔と
を有する吸着治具。 - 前記受け口は、前記基体側が小さく、前記基体から離れるにつれて大きくなるラッパ型形状を備える請求項1に記載の吸着治具。
- 前記受け口の外径は10mm未満である請求項1または2に記載の吸着治具。
- (a)板状の保持対象物を準備する工程と、
(b)前記保持対象物を、3以上の支持位置で、前記支持位置の前記保持対象物の局所的形状に応じて変形可能で、前記保持対象物の受け口を構成する当接部材を当接し、吸引して保持する工程と
を有する吸着方法。 - 前記3以上の支持位置は、前記保持対象物の平面形状を画定する外形線が形成する図形を、該図形の重心を中心にして4分の3に縮小した図形の周及び内部に相当する領域に存する請求項4に記載の吸着方法。
- 前記工程(b)において、前記保持対象物を、前記保持対象物に働く重力の3倍以上の大きさの吸引力で吸引する請求項4または5に記載の吸着方法。
- 前記受け口は、前記保持対象物側が大きく、前記保持対象物から離れるにつれて小さくなるラッパ型形状を備える請求項4〜6のいずれか1項に記載の吸着方法。
- 前記板状の保持対象物は、厚さ300μm以下、そり量0.5mm以上である請求項4〜7のいずれか1項に記載の吸着方法。
- 半導体基板を収納配置する基板配置部と、
前記半導体基板の位置合わせを行う位置合わせ部と、
前記半導体基板に対して処理を行う基板処理部と、
前記半導体基板を保持し、保持した前記半導体基板を、前記基板配置部、前記位置合わせ部、前記基板処理部の三者間で移動させることのできる搬送機構と
を有し、
前記位置合わせ部、前記搬送機構の少なくとも一方は、前記半導体基板を保持する機構として、
基体と、前記基体から突出して形成され、先端部に、当接位置の前記半導体基板の局所的形状に応じて変形可能で、前記半導体基板の受け口を構成する当接部材を備える3以上の吸着部と、前記吸着部の前記当接部材の形成位置から、前記吸着部及び前記基体の内部に形成され、前記基体の内部から外部に通じる吸気孔とを備える吸着治具と、
前記吸着治具の前記吸気孔と接続され、前記吸気孔内の空気を除去することができる真空ポンプと
を含む基板処理装置。 - 前記吸着治具の前記受け口は、前記基体側が小さく、前記基体から離れるにつれて大きくなるラッパ型形状を備える請求項9に記載の基板処理装置。
- 前記吸着治具の前記受け口の外径は10mm未満である請求項9または10に記載の基板処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010126447A JP2011253918A (ja) | 2010-06-02 | 2010-06-02 | 吸着治具、吸着方法、及び基板処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010126447A JP2011253918A (ja) | 2010-06-02 | 2010-06-02 | 吸着治具、吸着方法、及び基板処理装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011253918A true JP2011253918A (ja) | 2011-12-15 |
Family
ID=45417625
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010126447A Pending JP2011253918A (ja) | 2010-06-02 | 2010-06-02 | 吸着治具、吸着方法、及び基板処理装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2011253918A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014118250A (ja) * | 2012-12-14 | 2014-06-30 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | 搬送アーム、搬送装置および搬送方法 |
KR20160021030A (ko) * | 2014-08-14 | 2016-02-24 | 가부시기가이샤 디스코 | 반송 장치 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03270048A (ja) * | 1990-03-19 | 1991-12-02 | Fujitsu Ltd | 真空チャック |
JPH0584682A (ja) * | 1991-03-29 | 1993-04-06 | Hitachi Ltd | 真空チヤツク装置 |
JPH07136885A (ja) * | 1993-06-30 | 1995-05-30 | Toshiba Corp | 真空チャック |
JPH08195429A (ja) * | 1994-11-18 | 1996-07-30 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 真空吸着装置 |
JP2001113435A (ja) * | 1999-10-13 | 2001-04-24 | Ibiden Co Ltd | 基板の吸着部材,固定装置及び切断装置 |
-
2010
- 2010-06-02 JP JP2010126447A patent/JP2011253918A/ja active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03270048A (ja) * | 1990-03-19 | 1991-12-02 | Fujitsu Ltd | 真空チャック |
JPH0584682A (ja) * | 1991-03-29 | 1993-04-06 | Hitachi Ltd | 真空チヤツク装置 |
JPH07136885A (ja) * | 1993-06-30 | 1995-05-30 | Toshiba Corp | 真空チャック |
JPH08195429A (ja) * | 1994-11-18 | 1996-07-30 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 真空吸着装置 |
JP2001113435A (ja) * | 1999-10-13 | 2001-04-24 | Ibiden Co Ltd | 基板の吸着部材,固定装置及び切断装置 |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014118250A (ja) * | 2012-12-14 | 2014-06-30 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | 搬送アーム、搬送装置および搬送方法 |
US9653337B2 (en) | 2012-12-14 | 2017-05-16 | Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd. | Transport arm, transport apparatus and transport method |
KR20190009403A (ko) * | 2012-12-14 | 2019-01-28 | 도오꾜오까고오교 가부시끼가이샤 | 반송 아암, 반송 장치 및 반송 방법 |
KR102326624B1 (ko) * | 2012-12-14 | 2021-11-15 | 도오꾜오까고오교 가부시끼가이샤 | 반송 아암, 반송 장치 및 반송 방법 |
KR20160021030A (ko) * | 2014-08-14 | 2016-02-24 | 가부시기가이샤 디스코 | 반송 장치 |
KR102374913B1 (ko) * | 2014-08-14 | 2022-03-16 | 가부시기가이샤 디스코 | 반송 장치 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI752990B (zh) | 接合裝置及接合系統 | |
JP4985513B2 (ja) | 電子部品の剥離方法及び剥離装置 | |
TWI646627B (zh) | Adsorption mechanism, adsorption method, manufacturing device and manufacturing method | |
US20210060798A1 (en) | Die pickup module and die bonding apparatus including the same | |
US10410908B2 (en) | Substrate processing apparatus and substrate holding device | |
JPWO2019142708A1 (ja) | 接合装置、および接合方法 | |
US9711383B2 (en) | Fabrication method of semiconductor devices and fabrication system of semiconductor devices | |
US11600515B2 (en) | Die pickup module and die bonding apparatus including the same | |
JP6861872B2 (ja) | 接合装置および接合システム | |
KR20180049481A (ko) | 기판 본딩 장치 및 그를 이용한 반도체 소자의 제조 방법 | |
TWI756428B (zh) | 檢查裝置、檢查系統及位置對準方法 | |
JP2011253918A (ja) | 吸着治具、吸着方法、及び基板処理装置 | |
CN114975208B (zh) | 一种晶圆取放方法及减薄机 | |
JP6366223B2 (ja) | 半導体チップのピックアップ装置 | |
TW201939659A (zh) | 基板處理裝置及基板處理方法 | |
KR102556329B1 (ko) | 반도체 기판을 지지하는 진공척 | |
CN108074848B (zh) | 垫片、晶圆堆叠结构、吸附式移动装置与晶圆移动方法 | |
TWI501349B (zh) | Wafer adsorption head | |
CN114600230A (zh) | 基板吸引保持构造以及基板搬运机器人 | |
JP2018026415A (ja) | 接合装置および接合システム | |
CN216980525U (zh) | 一种晶圆对准装置 | |
JP2010140921A (ja) | ボール搭載装置、ボール搭載方法及び電子部品の製造装置 | |
TWI600104B (zh) | 墊片、晶圓堆疊結構、吸附式移動裝置與晶圓移動方法 | |
TWI839869B (zh) | 基板處理裝置及基板處理方法 | |
KR102158819B1 (ko) | 반도체 패키지 픽업 장치 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110909 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120914 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20121016 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20121128 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130319 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130509 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20130924 |