JP2001113435A - 基板の吸着部材，固定装置及び切断装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 基板を確実に固定することができる基板の吸
着部材，及びこれを用いた基板の固定装置及び基板の切
断装置を提供する。 【解決手段】 プリント配線板８を固定するための固定
テーブル７に取付けてプリント配線板８を吸着するため
の吸着部材１である。吸着部材１は，プリント配線板を
吸着するための吸着パッド１１と，吸着パッドを固定テ
ーブルに固定するための固定部１３とからなる。吸着パ
ッド１１は，軟質材からなり，プリント配線板を吸引す
る吸引口１５が開口している。プリント配線板８の固定
装置４は，固定テーブル７と，固定テーブル７にそれぞ
れ独立して取付けられた複数の吸着部材１とからなる。
プリント配線板の切断装置は，固定装置４と，切断工具
５とを設けている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【技術分野】本発明は，プリント配線板などの基板を吸
着するための吸着部材，該吸着部材を用いた基板の固定
装置及び切断装置に関する。

【０００２】

【従来技術】プリント配線板は，パターン形成をした後
に，ダイサーなどにより切断することにより個片化さ
れ，製品となる。ここで，プリント配線板の切断の際に
は，図６に示すごとく，バキューム固定方式にて，固定
テーブル９７にプリント配線板９８を吸着させて固定す
る。固定テーブル９７の裏面側には，真空室９７０が設
けられている。真空室９７０は，真空ポンプ９６１及び
真空タンク９６２からなる真空装置９６に連結してい
る。

【０００３】真空室９７０の上面には，開口部９７１が
設けられている。真空室９７０の上面は，開口部９７１
に対応する部分に吸引穴９１０を有する板ゴム９１によ
り被覆されている。板ゴム９１により固定テーブル９７
を被覆するのは，プリント配線板９８との吸着性を高め
るためである。板ゴム９１は，ブロック型であり，部分
的に劣化・損傷したときにその部分を含むブロックを交
換するように構成されている。なお，図６において，符
号９２，９６３は，真空ホースである。

【０００４】

【解決しようとする課題】しかしながら，プリント配線
板には，反りが発生することがある。特に熱履歴が繰り
返されるビルドアップ多層プリント配線板は，反りが大
きく，最大１０ｍｍの反りが発生することもある。この
ため，反りが発生したプリント配線板９８を，固定テー
ブル９７により固定すると，板ゴム９１とプリント配線
板９８との間から空気漏れ（リーク）が発生し，プリン
ト配線板が浮いてしまう。また，このような反りが発生
したプリント配線板９８を固定テーブル９７に固定して
切断すると，個片化されたプリント配線板９８が，固定
テーブル９７から外れてしまうおそれもある。

【０００５】また，板ゴムを部分的に取り換えた場合に
は，ゴムの硬度，厚さにばらつきがある。このため，板
ゴム全体の表面性状を合せにくい。また，板ゴムにはプ
リント配線板が当たり，板ゴムに傷が発生しやすく，ゴ
ムの劣化が早い。

【０００６】本発明はかかる従来の問題点に鑑み，基板
を確実に固定することができる基板の吸着部材，及びこ
れを用いた基板の固定装置及び基板の切断装置を提供し
ようとするものである。

【０００７】

【課題の解決手段】請求項１の発明は，基板を固定する
ための固定テーブルに取付けて基板を吸着するための吸
着部材であって，上記吸着部材は，基板を吸着するため
の吸着パッドと，該吸着パッドを固定テーブルに固定す
るための固定部とからなり，上記吸着パッドは軟質材か
らなり，該吸着パッドには基板を吸引する吸引口が開口
していることを特徴とする基板の吸着部材である。

【０００８】本発明の吸着部材は，吸引口が開口する軟
質の吸着パッドを有している。この吸着部材を固定テー
ブルに取付け，基板をその上に載置する。すると，基板
が，吸着パッドに開口している吸引口に吸引され，吸着
パッドに対して吸着する。また，吸着パッドは，軟質材
からなるため，反りが発生した基板であっても，基板の
反りに追従して，基板を吸着する。したがって，基板と
吸着パッドとの間に空気漏れが発生しにくく，基板の浮
きを防止でき，基板を確実に固定することができる。

【０００９】吸着パッドに用いる軟質材としては，ゴム
を用いることが好ましい。ゴムは軟質で弾性を有するた
め，これを吸着パッドに用いることにより，空気漏れを
防止し，吸着パッドが更に基板に吸着しやすくなる。吸
着パッドに開口している吸引口は，減圧吸引力により，
基板を吸引する。吸引口は，例えば，固定テーブルの裏
面側に設けた真空室に通じている。吸着パッドの形状
は，固定テーブル側から外方側に向けて徐々に拡大して
いることが好ましい。これにより，吸着パッドの基板に
対する吸着力が増大する。

【００１０】請求項２の発明は，基板を固定するための
固定テーブルと，基板を吸着するための複数の吸着部材
とからなり，上記複数の吸着部材は，それぞれ独立して
固定テーブルに取付けられており，上記吸着部材は，基
板を吸着するように固定テーブルから突出して設けられ
た軟質材からなる吸着パッドと，該吸着パッドを固定テ
ーブルに固定するための固定部とからなり，上記固定テ
ーブルの裏面側には，真空室が設けられており，上記吸
着パッドには，上記真空室に通ずる吸引口が開口してい
ることを特徴とする基板の固定装置である。

【００１１】本固定装置は，上記吸着部材を，基板固定
用の固定テーブルに取付けたものである。基板を固定す
るための固定テーブルには，吸着パッドを有する吸着部
材が設けられ，吸着パッドには，吸引口が開口してい
る。そのため，基板を固定テーブルの上に配置し真空吸
引を開始すると，吸引口付近が減圧される。このため，
基板が吸引口に吸引され，吸引口が設けられている吸着
パッドに対して吸着する。

【００１２】また，吸着パッドは，軟質材からなるた
め，反りが発生した基板に対しても吸着する。したがっ
て，基板と吸着パッドとの間に空気漏れが発生しがた
く，基板の浮きを防止でき，基板を確実に固定すること
ができる。

【００１３】また，複数の吸着部材は，それぞれ独立し
て固定テーブルに対して固定されているため，吸着部材
の個別交換が可能である。また，新旧の吸着パッドが固
定テーブル上に混在したり又は吸着パッドに材質劣化や
損傷が生じても，吸着パッドは軟質材であるため，基板
の形状に追従して，基板に対する高い吸着性を保持でき
る。

【００１４】基板の両端は反り量が大きい部分である。
そのため，ここからの空気の漏れを防止するには，基板
の形状に追従して吸着する吸着部材を，固定テーブルに
おける，少なくとも基板の両端が配置される部位に，１
または２以上設けられていることが好ましい。

【００１５】請求項３の発明は，請求項２の基板の固定
装置と，基板を切断するための切断工具とからなること
を特徴とする基板の切断装置である。

【００１６】本切断装置は，基板を上記固定装置により
固定しているため，切断時に基板を確実に固定すること
ができる。なお，切断工具としては，ダイサー，ルータ
などがある。

【００１７】

【発明の実施の形態】実施形態例１ 本発明の実施形態に係る基板の切断装置について，図１
〜図５を用いて説明する。本例の切断装置は，図１に示
すごとく，プリント配線板８を固定するための固定装置
４と，プリント配線板８を切断するための切断工具５と
を有している。固定装置４は，プリント配線板８を固定
するための固定テーブル７と，プリント配線板８を吸着
するための複数の吸着部材１とからなる。複数の吸着部
材１は，それぞれ独立して固定テーブル７に取付けられ
ている。

【００１８】図２に示すごとく，吸着部材１は，プリン
ト配線板８を吸着するように固定テーブル７から突出し
て設けられた吸着パッド１１と，胴体部１２と，吸着パ
ッド１１を固定テーブル７に固定するための固定部１３
とからなる。

【００１９】吸着パッド１１は，ゴム製の軟質材（ＰＩ
ＳＣＯ ＶＰ４×２０ＥＥＡ）であり，図３（ａ）に示
すごとく，逆長円錐台形状である。胴体部１２は，固定
テーブル７に設けた凹状の取付穴７０の中に挿入されて
いる。固定部１３は，ネジ切りされており，ネジ穴７３
にネジ留めされている。吸着パッド１１の中央には，胴
体部１２及び固定部１３を貫通する吸引口１５が開口し
ている。吸引口１５は，固定部１３の端部において，固
定テーブル７の裏面側に設けられた真空室７４にも開口
している。

【００２０】図２に示すごとく，固定テーブル７には，
吸着部材１を取付けるための凹状の取付穴７０が多数設
けられている。取付穴７０の底部には，ネジ穴７３が開
口している。ネジ穴７３には，吸着部材１の固定部１３
がネジ留めされている。

【００２１】図４（ｂ）に示すごとく，固定テーブル７
における，プリント配線板８の両端に対応する部分に
は，多数の吸着部材１がそれぞれ独立して取付けられて
いる。固定テーブル７における，プリント配線板８の中
央部に対応する部分には，真空室７４に通ずる吸引用の
円形状の開口部９７１が複数開口している。

【００２２】図１，図２に示すごとく，固定テーブル７
の裏面側には，テーブル支持部７５が設けられている。
テーブル支持部７５の内部には，真空ホース２が開口す
る真空室７４が設けられている。図１に示すごとく，固
定テーブル７の真空室７４は，真空ホース２を介して真
空装置６と連結している。真空装置６は，空気を吸引す
るための真空ポンプ６１と，真空タンク６２と，真空ポ
ンプ６１と真空タンク６２との間を連結する真空ホース
６３とからなる。

【００２３】固定テーブル７は，平面方向（Ｘ−Ｙ方
向）に移動するように移動装置（図示略）に装着されて
いる。図５に示すごとく，切断装置５は，ダイサーであ
り，高速回転する切断ブレード５０と，切断ブレード５
０を支持するための支持体５１とを有している。支持体
５１は，平面方向に移動するプリント配線板８に対し
て，その切断部位のみを切断するように，切断ブレード
５０を上下動させるように制御されている。

【００２４】次に，本例の切断装置を用いて，プリント
配線板の切断方法について説明する。まず，図１に示す
ごとく，固定テーブル７の上にプリント配線板８を配置
する。次に，真空ポンプ６１を作動させ，真空タンク６
２を開弁する。すると，固定テーブル７の内部の真空室
７４が急激に減圧され，吸着パッド１中央の吸引口１５
にプリント配線板８が吸引され吸着パッド１に吸着す
る。また，プリント配線板８の中央部は，それに対応す
る位置に設けた開口部９７１によって吸引される。これ
により，プリント配線板８が固定テーブル７に対して固
定される。

【００２５】次に，図４に示すごとく，プリント配線板
８を固定したまま固定テーブル７を平面方向に移動させ
て，プリント配線板８を平面方向に移動させる。プリン
ト配線板８の切断箇所８１が切断ブレード５０の下方に
位置したときに，切断ブレード５０は下降してプリント
配線板８の切断箇所８１を切断する。切断箇所８１の切
断が終了すると，切断ブレード５０は上昇し，次の切断
箇所が下方に位置するのを待つ。このようにしてプリン
ト配線板のすべての切断箇所の切断を行う。これによ
り，個片化基板８０を得る。

【００２６】次に，本例の作用及び効果について説明す
る。吸着パッド１１は，ゴム製の軟質材からなるため，
プリント配線板８に反りが生じていても，プリント配線
板８の形状に追従して，プリント配線板８に対して吸着
する。したがって，プリント配線板８と吸着パッド１１
との間に空気漏れが発生しがたく，プリント配線板の浮
きを防止でき，プリント配線板を確実に固定することが
できる。

【００２７】本例では，固定テーブル７におけるプリン
ト配線板８の中央部に対応する部分にも開口部９７１を
設けてプリント配線板８を吸引しているが，プリント配
線板８の両側端に対応する部分にはより吸着力の強い吸
着部材１を配列している。このため，反りが大きくなる
傾向にあるプリント配線板８の両側端に吸着部材１が強
く吸着する。それゆえ，かかる両端に対応する部分に吸
着部材１を設けることにより，単に開口部９７１ばかり
でプリント配線板８を固定テーブル７に固定するより
も，より強固に固定できる。

【００２８】

【発明の効果】本発明によれば，基板を確実に固定する
ことができる基板の吸着部材，及びこれを用いた基板の
固定装置及び基板の切断装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施形態例１の切断装置の説明図。

【図２】実施形態例１における，固定テーブルの断面
図。

【図３】実施形態例１における，吸着部材の平面図
（ａ），斜視図（ｂ），及び側面図（ｃ）。

【図４】実施形態例１における，プリント配線板を配置
した固定テーブルを示すための図４（ｂ）のＡ−Ａ線矢
視断面図（ａ），及び固定テーブルの平面図（ｂ）。

【図５】実施形態例１における，切断装置の平面図
（ａ）及び側面図（ｂ）。

【図６】従来例における，基板の固定装置の説明図。

【符号の説明】

１．．．吸着部材， １１．．．吸着パッド， １２．．．本体部， １３．．．固定部， １５．．．吸引口， ２．．．真空ホース， ４．．．固定装置， ５．．．切断工具， ６．．．真空装置， ７．．．固定テーブル， ７４．．．真空室， ８．．．プリント配線板， ８０．．．個片化基板，

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板を固定するための固定テーブルに取
   付けて基板を吸着するための吸着部材であって，上記吸
   着部材は，基板を吸着するための吸着パッドと，該吸着
   パッドを固定テーブルに固定するための固定部とからな
   り，上記吸着パッドは軟質材からなり，該吸着パッドに
   は基板を吸引する吸引口が開口していることを特徴とす
   る基板の吸着部材。
2. 【請求項２】 基板を固定するための固定テーブルと，
   基板を吸着するための複数の吸着部材とからなり，上記
   複数の吸着部材は，それぞれ独立して固定テーブルに取
   付けられており，上記吸着部材は，基板を吸着するよう
   に固定テーブルから突出して設けられた軟質材からなる
   吸着パッドと，該吸着パッドを固定テーブルに固定する
   ための固定部とからなり，上記固定テーブルの裏面側に
   は，真空室が設けられており，上記吸着パッドには，上
   記真空室に通ずる吸引口が開口していることを特徴とす
   る基板の固定装置。
3. 【請求項３】 請求項２の固定装置と，基板を切断する
   ための切断工具とからなることを特徴とする基板の切断
   装置。