JP2000164536A - チャックテーブル - Google Patents
チャックテーブルInfo
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Abstract
持して所要の加工を行う際に、被加工物に凹凸や反り等
があっても当該被加工物を安定的に保持することによ
り、被加工物がチャックテーブルからずれたり脱落した
りするのを防止して高精度な加工を可能とする。 【解決手段】 被加工物を直接支持する支持面28を含
む支持テーブル22と、支持テーブル22の支持面28
に形成された複数の凹部29と、凹部29に配設され支
持面28から吸着部が僅かに突出する吸着パッド30
と、吸着パッド30に吸引作用を施す吸引源とを少なく
とも含むチャックテーブルを構成し、吸引源から吸着パ
ッド30に供給される吸引力によって被加工物を吸引す
ることにより、被加工物の形状にならって保持できるよ
うにする。
Description
配設されて加工の際に被加工物を保持するチャックテー
ブルに関する。
るチャックテーブルとしては、例えば図10に示す構成
のチャックテーブル50が知られている。このチャック
テーブル50は、ポーラス部材からなる支持面51と、
これに吸引作用を施す吸引源(図示せず)とからなり、
支持面51において被加工物52が吸引保持される。
るような場合は被加工物52と支持面51との間に隙間
が生じるため、隙間から空気が入り込んで吸引源の真空
度が低下して吸引力が低下することがある。また、被加
工物52に小穴があるような場合にも、その小穴から空
気が入り込んで吸引源の真空度が低下し、吸引力が低下
することがある。
の裏面側から貼着されたテープTに被加工物52を貼着
し、被加工物52がテープTを介してフレームFに保持
されるようにして支持面51においてテープTが吸着さ
れるようにし、更にフレームFを支持面52の外側に設
けられたクランプ部53によって固定することにより、
被加工物52を固定する構成としているものもある。
Tを貼着した場合でも凹凸や反りの程度がひどい場合に
は、テープTから剥離したりして被加工物52を安定的
に保持できない場合もある。かかる場合は、加工精度が
低下し、被加工物の品質も低くなるという問題がある。
にテープTに被加工物52を貼着するには手間がかか
り、また専用のテープ貼り装置が必要になるなど、生産
性、経済性の点からも問題がある。
保持する場合においては、被加工物に凹凸や反り、小穴
等がある場合においても、被加工物を安定的に保持でき
るようにすることに解決すべき課題を有している。
の具体的手段として本発明は、加工装置に配設され、所
要の作業を行う際に被加工物を保持するチャックテーブ
ルであって、被加工物を直接支持する支持面を含む支持
テーブルと、該支持テーブルの支持面に形成された複数
の凹部と、該凹部に配設され支持面から吸着部が僅かに
突出する吸着パッドと、該吸着パッドに吸引作用を施す
吸引源とから少なくとも構成されるチャックテーブルを
提供するものである。
されること、支持テーブルは、テーブル本体に着脱自在
に配設されること、テーブル本体には、吸着パッドに吸
引作用を施す吸着パッド用吸引源と、支持テーブルを吸
引保持する支持テーブル用吸引源とが配設されること、
テーブル本体には、支持テーブルの位置決めをするため
の位置決め部が配設されること、支持テーブルの裏面に
は、吸着パッド用吸引源からの吸引作用を各吸着パッド
に伝達する伝達溝が形成されると共に、支持テーブル用
吸引源に連通し支持テーブルの保持力を高める保持溝が
形成されること、伝達溝と保持溝とは、シール性の高い
部材により仕切られること、所要の作業は、被加工物を
切削する切削作業であること、支持テーブルの支持面に
は、切削作用を施す切削ブレードの逃げ溝が形成される
ことを付加的要件とするものである。
おいては、被加工物を載置した際に吸着パッドが被加工
物の形状にならって変形して被加工物を吸着するため、
凹凸や反りのある被加工物でもその形状に合わせて吸着
することができ、被加工物がチャックテーブルからずれ
たり脱落したりすることがない。
に示す切削装置10に配設されるチャックテーブル20
を例に挙げて説明する。この切削装置10を用いて、例
えば矩形状の被加工物11を切削するときは、被加工物
11はカセット12に収容され、カセット12から搬出
入手段13によって搬出され、搬送手段14の旋回動に
よってチャックテーブル20に載置され保持される。
持されると、チャックテーブル20がX軸方向に移動
し、アライメント手段15の直下に位置付けられて切削
すべき領域が検出され、更にチャックテーブル20がX
軸方向に移動することによって切削手段16の作用を受
けて検出された領域が切削される。
ブル本体21と、その上に載置される図3及び図4に示
す支持テーブル22とから概ね構成され、図3は支持テ
ーブル22の表面を、図4は支持テーブル22の裏面を
それぞれ示している。
設された適宜の駆動手段に駆動されてX軸方向に移動可
能であり、図2に示すように、平面状の基台23に位置
決め部24、25、吸着パッド用吸引源26、支持テー
ブル用吸引源27が配設された構成となっている。
2が当接することにより支持テーブル22の位置決めを
行う突起であり、例えば、支持テーブル22が矩形状の
場合は、その隣り合う二辺が当接するように設けられ、
片方が位置決め部24のように一辺と平行に当接するよ
うな形状に形成されていれば、他方は位置決め部25の
ように形状を問わず何らかの突起でもよく、X軸方向及
びY軸方向の位置決めをガイドすることができる。
用吸引源26は、支持テーブル22に対して被加工物1
1を吸引保持するための吸引力を供給する吸引源であ
る。また、支持テーブル用吸引源27は、支持テーブル
22を吸引保持するための吸引力を供給する吸引源であ
り、後述する支持テーブル22の裏面構造に対応して複
数整列して設けられている。
面である支持面28には複数の凹部29が設けられ、各
凹部29からは合成ゴム等の柔軟な材質により形成され
た吸着パッド30の吸着部30aが僅かに上方に突出し
ている。また、切削時に切削ブレードが切り込む位置に
は予めブレード逃げ溝31が形成してある。
面には、その中心部に設けられた円形の窪みを中心とし
て伝達溝32が四方に満遍なく張り巡らされるよう配設
されており、この伝達溝32は、テーブル本体21の吸
着パッド用吸引源26からの吸引作用を各吸着パッド3
0に伝達するためのエアーの通り道となる。そして、伝
達溝32には、多数の貫通孔34が配設され、この貫通
孔34は、図3に示した凹部29に貫通している。
面には、伝達溝32と交差しないようにして保持溝33
が配設され、この保持溝33はテーブル本体21の支持
テーブル用吸引源27に連通して支持テーブル22の保
持力を高めている。また、伝達溝32と保持溝33とを
仕切る箇所である仕切り部42は、テーブル本体21に
密着して空気の漏れが生じないようにするため、例えば
シリコンのようなシール性の高い部材によって形成され
ている。
置するときは、支持テーブル22の二辺を位置決め部2
4、25にそれぞれ当接させてX軸方向及びY軸方向の
位置決めを行う。そして、その状態で支持テーブル用吸
引源27から吸引作用が施されることにより、支持テー
ブル22がテーブル本体21上に固定される。
本体21に対して着脱自在であるため、被加工物の形状
や大きさに対応した種々のタイプを用意しておけば、切
削装置10の構成を変更することなく、支持テーブルの
交換のみで容易に様々な形状や大きさの被加工物に対応
することができる。即ち、テーブル本体21の吸着パッ
ド用吸引源26や支持テーブル用吸引源27の位置を変
更しなくても、支持テーブル22の裏面に形成される伝
達溝32、保持溝33の形状を適宜変更することによ
り、形状や大きさの異なる支持テーブルを確実に支持す
ることができると共に、吸着パッド30にも確実に吸引
作用を伝達することができる。
合成樹脂等の安価で比較的製造が容易な部材で構成すれ
ば、切削によって傷が付いて使用できなくなった支持テ
ーブルを新品の支持テーブルへ交換する際のコストもあ
まりかからず経済的である。
部29に収容された吸着パッド30は、貫通孔34の外
周に嵌合しており、支持テーブル22の上に被加工物1
1を載置すると、図6に示すように、凹部29から突出
していた吸着パッド30の吸着部30aが被加工物11
の面にならって密着し、吸着パッド30aの孔が塞がれ
る。そして、図2に示したテーブル本体21の吸着パッ
ド吸引源26から伝達溝32、多数の貫通孔34を介し
て供給される吸引力によって被加工物11が吸引保持さ
れる。
り形成されていると共に、図5に示したように支持面2
8から突出しているため、被加工物11を載置した際、
被加工物11に凹凸や反りがある場合でも、それになら
って変形して被加工物11を吸着することができる。従
って、空気が漏れることがなく、確実に被加工物11を
保持することができる。
高かったり、小穴があったりして空気漏れがある場合で
も、図5に示したように個々の吸着パッド30は絞りが
効いているため、一部の吸着パッド30において仮に空
気漏れがあったとしても、吸着パッド用吸引源26の真
空度はあまり低下せず、全体としての吸着力はあまり変
化しないため、安定した保持をすることができる。従っ
て、被加工物11がずれたり脱落したりすることがない
ため、切削を正確かつ確実に遂行することができ、被加
工物の品質も向上する。
不要部35が残るように、回転する切削ブレード16a
を用いて切削ライン36〜41を切削する場合は、図3
に示したように、不要部35を保持する吸着パッド30
を最も外側に配設し、不要部35が切削後も保持される
ようにすれば、バラバラにならないため廃棄に手間がか
からず生産性も向上する。
2に予め切削ブレード16aの逃げ溝31を形成してお
けば、切削時に受ける衝撃が少ないため、支持テーブル
22の寿命を長くすることができると共に、切削ブレー
ド16aの寿命を長くすることもできる。
ックテーブルにおいては、被加工物を載置した際に吸着
パッドが被加工物の形状にならって変形して被加工物を
吸着するため、凹凸や反りのある被加工物でもその形状
に合わせて吸着することができる。従って、被加工物が
チャックテーブルからずれたり脱落したりすることがな
く、加工を正確かつ確実に遂行することができるため、
被加工物の品質も向上する。
工装置の一例である切削装置を示す斜視図である。
示す斜視図である。
支持面を示す斜視図である。
裏面を示す斜視図である。
ッドを示す断面図である。
上に被加工物を載置した状態を示す断面図である。
状の不要部が残るように切削する様子を示す斜視図であ
る。
を示す平面図である。
工物が保持された様子を示す正面図である。
れた様子を示す斜視図である。
物がクランプ部を備えた従来のチャックテーブルに保持
された様子を示す斜視図である。
ト 13……搬出入手段 14……搬送手段 15……アライメント手段 16…
…切削手段 20……チャックテーブル 21……テーブル本体 2
2……支持テーブル 23……基台 24、25……位置決め部 26……吸
着パッド用吸引源 27……支持テーブル用吸引源 28……支持面 29
……凹部 30……吸着パッド 30a……吸着部 31……ブレ
ード逃げ溝 32……伝達溝 33……保持溝 34……貫通孔 3
5……不要部 36〜41……切削ライン 42……仕切り部 50……チャックテーブル 51……支持面 52……
被加工物 53……クランプ部
Claims (9)
- 【請求項1】 加工装置に配設され、所要の作業を行う
際に被加工物を保持するチャックテーブルであって、 被加工物を直接支持する支持面を含む支持テーブルと、
該支持テーブルの該支持面に形成された複数の凹部と、
該凹部に配設され該支持面から吸着部が僅かに突出する
吸着パッドと、該吸着パッドに吸引作用を施す吸引源と
から少なくとも構成されるチャックテーブル。 - 【請求項2】 吸着パッドは合成ゴムにより構成される
請求項1に記載のチャックテーブル。 - 【請求項3】 支持テーブルは、テーブル本体に着脱自
在に配設される請求項1または2に記載のチャックテー
ブル。 - 【請求項4】 テーブル本体には、吸着パッドに吸引作
用を施す吸着パッド用吸引源と、支持テーブルを吸引保
持する支持テーブル用吸引源とが配設される請求項3に
記載のチャックテーブル。 - 【請求項5】 テーブル本体には、支持テーブルの位置
決めをするための位置決め部が配設される請求項3また
は4に記載のチャックテーブル。 - 【請求項6】 支持テーブルの裏面には、吸着パッド用
吸引源からの吸引作用を各吸着パッドに伝達する伝達溝
が形成されると共に、支持テーブル用吸引源に連通し支
持テーブルの保持力を高める保持溝が形成される請求項
4または5に記載のチャックテーブル。 - 【請求項7】 伝達溝と保持溝とは、シール性の高い部
材により仕切られる請求項6に記載のチャックテーブ
ル。 - 【請求項8】 所要の作業は、被加工物を切削する切削
作業である請求項1乃至7に記載のチャックテーブル。 - 【請求項9】 支持テーブルの支持面には、切削作用を
施す切削ブレードの逃げ溝が形成される請求項8に記載
のチャックテーブル。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP33386698A JP2000164536A (ja) | 1998-11-25 | 1998-11-25 | チャックテーブル |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP33386698A JP2000164536A (ja) | 1998-11-25 | 1998-11-25 | チャックテーブル |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000164536A true JP2000164536A (ja) | 2000-06-16 |
Family
ID=18270831
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP33386698A Pending JP2000164536A (ja) | 1998-11-25 | 1998-11-25 | チャックテーブル |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2000164536A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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-
1998
- 1998-11-25 JP JP33386698A patent/JP2000164536A/ja active Pending
Cited By (8)
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