JP2000164536A - チャックテーブル - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 加工装置のチャックテーブルに被加工物を保
持して所要の加工を行う際に、被加工物に凹凸や反り等
があっても当該被加工物を安定的に保持することによ
り、被加工物がチャックテーブルからずれたり脱落した
りするのを防止して高精度な加工を可能とする。 【解決手段】 被加工物を直接支持する支持面２８を含
む支持テーブル２２と、支持テーブル２２の支持面２８
に形成された複数の凹部２９と、凹部２９に配設され支
持面２８から吸着部が僅かに突出する吸着パッド３０
と、吸着パッド３０に吸引作用を施す吸引源とを少なく
とも含むチャックテーブルを構成し、吸引源から吸着パ
ッド３０に供給される吸引力によって被加工物を吸引す
ることにより、被加工物の形状にならって保持できるよ
うにする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、各種の加工装置に
配設されて加工の際に被加工物を保持するチャックテー
ブルに関する。

【０００２】

【従来の技術】加工装置に配設されて被加工物を保持す
るチャックテーブルとしては、例えば図１０に示す構成
のチャックテーブル５０が知られている。このチャック
テーブル５０は、ポーラス部材からなる支持面５１と、
これに吸引作用を施す吸引源（図示せず）とからなり、
支持面５１において被加工物５２が吸引保持される。

【０００３】ところが、被加工物５２に凹凸や反りはあ
るような場合は被加工物５２と支持面５１との間に隙間
が生じるため、隙間から空気が入り込んで吸引源の真空
度が低下して吸引力が低下することがある。また、被加
工物５２に小穴があるような場合にも、その小穴から空
気が入り込んで吸引源の真空度が低下し、吸引力が低下
することがある。

【０００４】そこで、図１１に示すように、フレームＦ
の裏面側から貼着されたテープＴに被加工物５２を貼着
し、被加工物５２がテープＴを介してフレームＦに保持
されるようにして支持面５１においてテープＴが吸着さ
れるようにし、更にフレームＦを支持面５２の外側に設
けられたクランプ部５３によって固定することにより、
被加工物５２を固定する構成としているものもある。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、テープ
Ｔを貼着した場合でも凹凸や反りの程度がひどい場合に
は、テープＴから剥離したりして被加工物５２を安定的
に保持できない場合もある。かかる場合は、加工精度が
低下し、被加工物の品質も低くなるという問題がある。

【０００６】また、フレームＦにテープＴを貼着し、更
にテープＴに被加工物５２を貼着するには手間がかか
り、また専用のテープ貼り装置が必要になるなど、生産
性、経済性の点からも問題がある。

【０００７】このように、各種の加工装置に被加工物を
保持する場合においては、被加工物に凹凸や反り、小穴
等がある場合においても、被加工物を安定的に保持でき
るようにすることに解決すべき課題を有している。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の具体的手段として本発明は、加工装置に配設され、所
要の作業を行う際に被加工物を保持するチャックテーブ
ルであって、被加工物を直接支持する支持面を含む支持
テーブルと、該支持テーブルの支持面に形成された複数
の凹部と、該凹部に配設され支持面から吸着部が僅かに
突出する吸着パッドと、該吸着パッドに吸引作用を施す
吸引源とから少なくとも構成されるチャックテーブルを
提供するものである。

【０００９】そして、吸着パッドは合成ゴムにより構成
されること、支持テーブルは、テーブル本体に着脱自在
に配設されること、テーブル本体には、吸着パッドに吸
引作用を施す吸着パッド用吸引源と、支持テーブルを吸
引保持する支持テーブル用吸引源とが配設されること、
テーブル本体には、支持テーブルの位置決めをするため
の位置決め部が配設されること、支持テーブルの裏面に
は、吸着パッド用吸引源からの吸引作用を各吸着パッド
に伝達する伝達溝が形成されると共に、支持テーブル用
吸引源に連通し支持テーブルの保持力を高める保持溝が
形成されること、伝達溝と保持溝とは、シール性の高い
部材により仕切られること、所要の作業は、被加工物を
切削する切削作業であること、支持テーブルの支持面に
は、切削作用を施す切削ブレードの逃げ溝が形成される
ことを付加的要件とするものである。

【００１０】このように構成されるチャックテーブルに
おいては、被加工物を載置した際に吸着パッドが被加工
物の形状にならって変形して被加工物を吸着するため、
凹凸や反りのある被加工物でもその形状に合わせて吸着
することができ、被加工物がチャックテーブルからずれ
たり脱落したりすることがない。

【００１１】

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態として、図１
に示す切削装置１０に配設されるチャックテーブル２０
を例に挙げて説明する。この切削装置１０を用いて、例
えば矩形状の被加工物１１を切削するときは、被加工物
１１はカセット１２に収容され、カセット１２から搬出
入手段１３によって搬出され、搬送手段１４の旋回動に
よってチャックテーブル２０に載置され保持される。

【００１２】チャックテーブル２０に被加工物１１が保
持されると、チャックテーブル２０がＸ軸方向に移動
し、アライメント手段１５の直下に位置付けられて切削
すべき領域が検出され、更にチャックテーブル２０がＸ
軸方向に移動することによって切削手段１６の作用を受
けて検出された領域が切削される。

【００１３】チャックテーブル２０は、図２に示すテー
ブル本体２１と、その上に載置される図３及び図４に示
す支持テーブル２２とから概ね構成され、図３は支持テ
ーブル２２の表面を、図４は支持テーブル２２の裏面を
それぞれ示している。

【００１４】テーブル本体２１は、切削装置１０内に配
設された適宜の駆動手段に駆動されてＸ軸方向に移動可
能であり、図２に示すように、平面状の基台２３に位置
決め部２４、２５、吸着パッド用吸引源２６、支持テー
ブル用吸引源２７が配設された構成となっている。

【００１５】位置決め部２４、２５は、支持テーブル２
２が当接することにより支持テーブル２２の位置決めを
行う突起であり、例えば、支持テーブル２２が矩形状の
場合は、その隣り合う二辺が当接するように設けられ、
片方が位置決め部２４のように一辺と平行に当接するよ
うな形状に形成されていれば、他方は位置決め部２５の
ように形状を問わず何らかの突起でもよく、Ｘ軸方向及
びＹ軸方向の位置決めをガイドすることができる。

【００１６】基台２３の中心部に設けられた吸着パッド
用吸引源２６は、支持テーブル２２に対して被加工物１
１を吸引保持するための吸引力を供給する吸引源であ
る。また、支持テーブル用吸引源２７は、支持テーブル
２２を吸引保持するための吸引力を供給する吸引源であ
り、後述する支持テーブル２２の裏面構造に対応して複
数整列して設けられている。

【００１７】図３に示すように、支持テーブル２２の表
面である支持面２８には複数の凹部２９が設けられ、各
凹部２９からは合成ゴム等の柔軟な材質により形成され
た吸着パッド３０の吸着部３０ａが僅かに上方に突出し
ている。また、切削時に切削ブレードが切り込む位置に
は予めブレード逃げ溝３１が形成してある。

【００１８】図４に示すように、支持テーブル２２の裏
面には、その中心部に設けられた円形の窪みを中心とし
て伝達溝３２が四方に満遍なく張り巡らされるよう配設
されており、この伝達溝３２は、テーブル本体２１の吸
着パッド用吸引源２６からの吸引作用を各吸着パッド３
０に伝達するためのエアーの通り道となる。そして、伝
達溝３２には、多数の貫通孔３４が配設され、この貫通
孔３４は、図３に示した凹部２９に貫通している。

【００１９】図４に示すように、支持テーブル２２の裏
面には、伝達溝３２と交差しないようにして保持溝３３
が配設され、この保持溝３３はテーブル本体２１の支持
テーブル用吸引源２７に連通して支持テーブル２２の保
持力を高めている。また、伝達溝３２と保持溝３３とを
仕切る箇所である仕切り部４２は、テーブル本体２１に
密着して空気の漏れが生じないようにするため、例えば
シリコンのようなシール性の高い部材によって形成され
ている。

【００２０】テーブル本体２１に支持テーブル２２を載
置するときは、支持テーブル２２の二辺を位置決め部２
４、２５にそれぞれ当接させてＸ軸方向及びＹ軸方向の
位置決めを行う。そして、その状態で支持テーブル用吸
引源２７から吸引作用が施されることにより、支持テー
ブル２２がテーブル本体２１上に固定される。

【００２１】このように、支持テーブル２２はテーブル
本体２１に対して着脱自在であるため、被加工物の形状
や大きさに対応した種々のタイプを用意しておけば、切
削装置１０の構成を変更することなく、支持テーブルの
交換のみで容易に様々な形状や大きさの被加工物に対応
することができる。即ち、テーブル本体２１の吸着パッ
ド用吸引源２６や支持テーブル用吸引源２７の位置を変
更しなくても、支持テーブル２２の裏面に形成される伝
達溝３２、保持溝３３の形状を適宜変更することによ
り、形状や大きさの異なる支持テーブルを確実に支持す
ることができると共に、吸着パッド３０にも確実に吸引
作用を伝達することができる。

【００２２】また、支持テーブル２２をアルミニウム、
合成樹脂等の安価で比較的製造が容易な部材で構成すれ
ば、切削によって傷が付いて使用できなくなった支持テ
ーブルを新品の支持テーブルへ交換する際のコストもあ
まりかからず経済的である。

【００２３】図５に示すように、支持テーブル２２の凹
部２９に収容された吸着パッド３０は、貫通孔３４の外
周に嵌合しており、支持テーブル２２の上に被加工物１
１を載置すると、図６に示すように、凹部２９から突出
していた吸着パッド３０の吸着部３０ａが被加工物１１
の面にならって密着し、吸着パッド３０ａの孔が塞がれ
る。そして、図２に示したテーブル本体２１の吸着パッ
ド吸引源２６から伝達溝３２、多数の貫通孔３４を介し
て供給される吸引力によって被加工物１１が吸引保持さ
れる。

【００２４】ここで、吸着パッド３０は柔軟な材質によ
り形成されていると共に、図５に示したように支持面２
８から突出しているため、被加工物１１を載置した際、
被加工物１１に凹凸や反りがある場合でも、それになら
って変形して被加工物１１を吸着することができる。従
って、空気が漏れることがなく、確実に被加工物１１を
保持することができる。

【００２５】また、被加工物１１の凹凸や反りの程度が
高かったり、小穴があったりして空気漏れがある場合で
も、図５に示したように個々の吸着パッド３０は絞りが
効いているため、一部の吸着パッド３０において仮に空
気漏れがあったとしても、吸着パッド用吸引源２６の真
空度はあまり低下せず、全体としての吸着力はあまり変
化しないため、安定した保持をすることができる。従っ
て、被加工物１１がずれたり脱落したりすることがない
ため、切削を正確かつ確実に遂行することができ、被加
工物の品質も向上する。

【００２６】例えば、図７及び図８に示すように枠状の
不要部３５が残るように、回転する切削ブレード１６ａ
を用いて切削ライン３６〜４１を切削する場合は、図３
に示したように、不要部３５を保持する吸着パッド３０
を最も外側に配設し、不要部３５が切削後も保持される
ようにすれば、バラバラにならないため廃棄に手間がか
からず生産性も向上する。

【００２７】また、図９に示すように、支持テーブル２
２に予め切削ブレード１６ａの逃げ溝３１を形成してお
けば、切削時に受ける衝撃が少ないため、支持テーブル
２２の寿命を長くすることができると共に、切削ブレー
ド１６ａの寿命を長くすることもできる。

【００２８】

【発明の効果】以上説明したように、本発明に係るチャ
ックテーブルにおいては、被加工物を載置した際に吸着
パッドが被加工物の形状にならって変形して被加工物を
吸着するため、凹凸や反りのある被加工物でもその形状
に合わせて吸着することができる。従って、被加工物が
チャックテーブルからずれたり脱落したりすることがな
く、加工を正確かつ確実に遂行することができるため、
被加工物の品質も向上する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るチャックテーブルが配設される加
工装置の一例である切削装置を示す斜視図である。

【図２】同チャックテーブルを構成するテーブル本体を
示す斜視図である。

【図３】同チャックテーブルを構成する支持テーブルの
支持面を示す斜視図である。

【図４】同チャックテーブルを構成する支持テーブルの
裏面を示す斜視図である。

【図５】同チャックテーブルを構成する凹部及び吸着パ
ッドを示す断面図である。

【図６】同チャックテーブルを構成する支持テーブルの
上に被加工物を載置した状態を示す断面図である。

【図７】同チャックテーブルに保持された被加工物を枠
状の不要部が残るように切削する様子を示す斜視図であ
る。

【図８】枠状の不要部が残るように切削された被加工物
を示す平面図である。

【図９】ブレード逃げ溝を形成した支持テーブルに被加
工物が保持された様子を示す正面図である。

【図１０】従来のチャックテーブルに被加工物が保持さ
れた様子を示す斜視図である。

【図１１】テープを介してフレームに保持された被加工
物がクランプ部を備えた従来のチャックテーブルに保持
された様子を示す斜視図である。

【符号の説明】

１０……切削装置 １１……被加工物 １２……カセッ
ト １３……搬出入手段 １４……搬送手段 １５……アライメント手段 １６…
…切削手段 ２０……チャックテーブル ２１……テーブル本体 ２
２……支持テーブル ２３……基台 ２４、２５……位置決め部 ２６……吸
着パッド用吸引源 ２７……支持テーブル用吸引源 ２８……支持面 ２９
……凹部 ３０……吸着パッド ３０ａ……吸着部 ３１……ブレ
ード逃げ溝 ３２……伝達溝 ３３……保持溝 ３４……貫通孔 ３
５……不要部 ３６〜４１……切削ライン ４２……仕切り部 ５０……チャックテーブル ５１……支持面 ５２……
被加工物 ５３……クランプ部

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 加工装置に配設され、所要の作業を行う
   際に被加工物を保持するチャックテーブルであって、 被加工物を直接支持する支持面を含む支持テーブルと、
   該支持テーブルの該支持面に形成された複数の凹部と、
   該凹部に配設され該支持面から吸着部が僅かに突出する
   吸着パッドと、該吸着パッドに吸引作用を施す吸引源と
   から少なくとも構成されるチャックテーブル。
2. 【請求項２】 吸着パッドは合成ゴムにより構成される
   請求項１に記載のチャックテーブル。
3. 【請求項３】 支持テーブルは、テーブル本体に着脱自
   在に配設される請求項１または２に記載のチャックテー
   ブル。
4. 【請求項４】 テーブル本体には、吸着パッドに吸引作
   用を施す吸着パッド用吸引源と、支持テーブルを吸引保
   持する支持テーブル用吸引源とが配設される請求項３に
   記載のチャックテーブル。
5. 【請求項５】 テーブル本体には、支持テーブルの位置
   決めをするための位置決め部が配設される請求項３また
   は４に記載のチャックテーブル。
6. 【請求項６】 支持テーブルの裏面には、吸着パッド用
   吸引源からの吸引作用を各吸着パッドに伝達する伝達溝
   が形成されると共に、支持テーブル用吸引源に連通し支
   持テーブルの保持力を高める保持溝が形成される請求項
   ４または５に記載のチャックテーブル。
7. 【請求項７】 伝達溝と保持溝とは、シール性の高い部
   材により仕切られる請求項６に記載のチャックテーブ
   ル。
8. 【請求項８】 所要の作業は、被加工物を切削する切削
   作業である請求項１乃至７に記載のチャックテーブル。
9. 【請求項９】 支持テーブルの支持面には、切削作用を
   施す切削ブレードの逃げ溝が形成される請求項８に記載
   のチャックテーブル。