JPH11260896A - ウエハのチャック機構 - Google Patents
ウエハのチャック機構Info
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- JPH11260896A JPH11260896A JP10080499A JP8049998A JPH11260896A JP H11260896 A JPH11260896 A JP H11260896A JP 10080499 A JP10080499 A JP 10080499A JP 8049998 A JP8049998 A JP 8049998A JP H11260896 A JPH11260896 A JP H11260896A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 径の異なる２種のウエハを吸着することがで
きる円筒状チャック機構の提供。チャック機構の穿孔樹
脂製シートと吸着板は同一のものを使用する。 【解決手段】 円筒状チャック機構に用いる吸着板とし
て、吸着板の外周縁にはヘッドに取りつけるボルト係止
用孔を少なくとも８個、同心円上に等間隔に設け、この
ボルト係止用孔の中心点と吸着板の中心点を結ぶ線上に
小径ウエハの外周縁より内側に位置する部分に同心円上
の多列の環状群の小孔を多数設け、吸着板の小径ウエハ
の外周縁より外側であって大径ウエハの外周縁の内側に
位置する部分には、前記線上より２２．５度等間隔にず
らして同心円上に環状群の小孔を少なくとも８個設けた
吸着板を用いることを特徴とするウエハのチャック機
構。
きる円筒状チャック機構の提供。チャック機構の穿孔樹
脂製シートと吸着板は同一のものを使用する。 【解決手段】 円筒状チャック機構に用いる吸着板とし
て、吸着板の外周縁にはヘッドに取りつけるボルト係止
用孔を少なくとも８個、同心円上に等間隔に設け、この
ボルト係止用孔の中心点と吸着板の中心点を結ぶ線上に
小径ウエハの外周縁より内側に位置する部分に同心円上
の多列の環状群の小孔を多数設け、吸着板の小径ウエハ
の外周縁より外側であって大径ウエハの外周縁の内側に
位置する部分には、前記線上より２２．５度等間隔にず
らして同心円上に環状群の小孔を少なくとも８個設けた
吸着板を用いることを特徴とするウエハのチャック機
構。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ベアウエハ、デバ
イス付ウエハ、磁気ディスクウエハ等のウエハを研磨す
る際に用いられるウエハのチャック機構に関する。
イス付ウエハ、磁気ディスクウエハ等のウエハを研磨す
る際に用いられるウエハのチャック機構に関する。
【０００２】
【従来の技術】ウエハの研磨は、図４に示すように、円
筒状の凹陥部を有するヘッド３の該凹陥部に中空状回転
軸２を軸承固定し、該回転軸の中心を貫通し、減圧吸着
機構へ連通する排気口（中空部）２ａを形成し、前記ヘ
ッドの底面にはチャンバー６用間隙部を設けて同心円上
の多列環状群の小孔５，５・・・を縦方向に貫通させた
剛体よりなる吸着板４をボルト８により係止し、この吸
着板の上面の全面へ柔軟性を有する樹脂製シート７であ
って、該樹脂製シートへ載置するウエハの外周の内側へ
位置する前記吸着板小孔と連通する小孔７ａを穿った樹
脂製シートを敷設し、この樹脂製シートに載置されたウ
エハ１０を前記回転軸２の排気口を減圧することにより
ウエハ吸着するチャック機構１を用い、このチャック機
構１の樹脂製シート７の上にウエハ１０を載置し、中空
状回転軸２を減圧してウエハ１０をチャック機構１に固
定後、これを水平方向に回転させつつ、ウエハの上方よ
り回転軸２０に軸承したヘッド２１内に固定して取り付
けた砥石２２または研磨布を下降させてウエハに砥石を
押圧し、ウエハ、砥石を同一方向、または逆方向に回転
させてウエハの研磨を行っている（「精密工学会誌」、
Ｖｏｌ．６２．Ｎｏ．４．１９９６年、４８６−４９０
頁。特開昭６１−２７４８７６号）。
筒状の凹陥部を有するヘッド３の該凹陥部に中空状回転
軸２を軸承固定し、該回転軸の中心を貫通し、減圧吸着
機構へ連通する排気口（中空部）２ａを形成し、前記ヘ
ッドの底面にはチャンバー６用間隙部を設けて同心円上
の多列環状群の小孔５，５・・・を縦方向に貫通させた
剛体よりなる吸着板４をボルト８により係止し、この吸
着板の上面の全面へ柔軟性を有する樹脂製シート７であ
って、該樹脂製シートへ載置するウエハの外周の内側へ
位置する前記吸着板小孔と連通する小孔７ａを穿った樹
脂製シートを敷設し、この樹脂製シートに載置されたウ
エハ１０を前記回転軸２の排気口を減圧することにより
ウエハ吸着するチャック機構１を用い、このチャック機
構１の樹脂製シート７の上にウエハ１０を載置し、中空
状回転軸２を減圧してウエハ１０をチャック機構１に固
定後、これを水平方向に回転させつつ、ウエハの上方よ
り回転軸２０に軸承したヘッド２１内に固定して取り付
けた砥石２２または研磨布を下降させてウエハに砥石を
押圧し、ウエハ、砥石を同一方向、または逆方向に回転
させてウエハの研磨を行っている（「精密工学会誌」、
Ｖｏｌ．６２．Ｎｏ．４．１９９６年、４８６−４９０
頁。特開昭６１−２７４８７６号）。
【０００３】研磨盤のウエハのチャック機構１として
は、外径の異なったウエハ（例えば６インチ径ウエハと
８インチ径ウエハ）の吸着に使用されることが要求され
ることもある。チャック機構の円筒状ヘッド３を共通と
してかかる径の異なるウエハの吸着に使用できるチャッ
ク機構として、次の３通りが行われている。 吸着板４は共通とし、吸着されるウエハの径に応じて
樹脂製シート７の小孔の穿孔を行なう（特開平４−１４
８４８号）。 吸着板４は共通とし、穿孔した樹脂製シート７を２
種、それぞれのウエハ用に用意する。 穿孔した樹脂製シート７は共通とし、吸着板４を２
種、それぞれのウエハ用に用意する。
は、外径の異なったウエハ（例えば６インチ径ウエハと
８インチ径ウエハ）の吸着に使用されることが要求され
ることもある。チャック機構の円筒状ヘッド３を共通と
してかかる径の異なるウエハの吸着に使用できるチャッ
ク機構として、次の３通りが行われている。 吸着板４は共通とし、吸着されるウエハの径に応じて
樹脂製シート７の小孔の穿孔を行なう（特開平４−１４
８４８号）。 吸着板４は共通とし、穿孔した樹脂製シート７を２
種、それぞれのウエハ用に用意する。 穿孔した樹脂製シート７は共通とし、吸着板４を２
種、それぞれのウエハ用に用意する。
【０００４】上記の方法において、６インチ径のウエ
ハと８インチ径のウエハの態様について図５を用いて説
明する。即ち、予じめ樹脂製シート７には吸着板の小孔
５の位置に合せて６インチ径のウエハ用の小孔７ａを同
心円上に多列環状群穿って用意しておき、６インチウエ
ハの研磨のときはこれ７を吸着板４に載置して用いる。
８インチウエハの場合は、この小孔７ａを穿った樹脂製
シート７の６インチの外、８インチの内の小孔７ｂに相
当する部分の小孔を吸着板４のかかる小孔５の位置に合
せて穿孔し、ついでこれを吸着板に載置して用いる。
ハと８インチ径のウエハの態様について図５を用いて説
明する。即ち、予じめ樹脂製シート７には吸着板の小孔
５の位置に合せて６インチ径のウエハ用の小孔７ａを同
心円上に多列環状群穿って用意しておき、６インチウエ
ハの研磨のときはこれ７を吸着板４に載置して用いる。
８インチウエハの場合は、この小孔７ａを穿った樹脂製
シート７の６インチの外、８インチの内の小孔７ｂに相
当する部分の小孔を吸着板４のかかる小孔５の位置に合
せて穿孔し、ついでこれを吸着板に載置して用いる。
【０００５】この方法では、樹脂製シートの在庫をの
方法よりは少くできる利点はあるが、泥縄式で緊急の注
文のウエハの研磨の際には間に合ない。の方法は、６
インチ用、８インチ用ウエハの２種の樹脂製シートを用
意する必要があり、樹脂製シートの在庫がより多くな
る。の方法は、樹脂製シート７として大きい径（８イ
ンチ）のウエハ用に合せた小孔７ａ，７ｂを同心円上に
多列環状群形成したものを共通とし、吸着板４として６
インチウエハ用に小孔４ａ，４ａ・・・を同心円上に多
列環状群穿った吸着板（図６参照）と、８インチウエハ
用に小孔４ａ，４ａ・・・，４ｂ，４ｂ・・・を同心円
上に多列環状群穿った吸着板（図７参照）を用いる。こ
の方法は、研磨されるウエハの径に対応して一々、ヘッ
ドから吸着板を取り外し、目的とするウエハの径に適合
する吸着板をヘッドに取りつける手間に時間を要する欠
点がある。
方法よりは少くできる利点はあるが、泥縄式で緊急の注
文のウエハの研磨の際には間に合ない。の方法は、６
インチ用、８インチ用ウエハの２種の樹脂製シートを用
意する必要があり、樹脂製シートの在庫がより多くな
る。の方法は、樹脂製シート７として大きい径（８イ
ンチ）のウエハ用に合せた小孔７ａ，７ｂを同心円上に
多列環状群形成したものを共通とし、吸着板４として６
インチウエハ用に小孔４ａ，４ａ・・・を同心円上に多
列環状群穿った吸着板（図６参照）と、８インチウエハ
用に小孔４ａ，４ａ・・・，４ｂ，４ｂ・・・を同心円
上に多列環状群穿った吸着板（図７参照）を用いる。こ
の方法は、研磨されるウエハの径に対応して一々、ヘッ
ドから吸着板を取り外し、目的とするウエハの径に適合
する吸着板をヘッドに取りつける手間に時間を要する欠
点がある。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、研磨される
ウエハの径が異なっていても、同一穿孔樹脂製シート、
同一吸着板を用いることができるウエハのチャック機構
の提供を目的とする。
ウエハの径が異なっていても、同一穿孔樹脂製シート、
同一吸着板を用いることができるウエハのチャック機構
の提供を目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の１は、円筒状の
凹陥部を有するヘッドの該凹陥部に中空状回転軸を軸承
固定し、該回転軸の中心を貫通し、減圧吸着機構へ連通
する排気口を形成し、前記ヘッドの底面にはチャンバー
用間隙部を設けて同心円上の多列環状群の小孔を縦方向
に貫通させた剛体よりなる吸着板をボルトにより係止
し、この吸着板の上面の全面へ柔軟性を有する樹脂製シ
ートであって、該樹脂製シートへ載置するウエハの外周
の内側へ位置する前記吸着板小孔と連通する小孔を穿っ
た樹脂製シートを敷設し、この樹脂製シートに載置され
たウエハを前記回転軸の排気口を減圧することによりウ
エハ吸着するチャック機構において、このチャック機構
は２つの異った径のウエハの吸着に兼用できるように樹
脂製シートには異った径のウエハに適用できるよう大径
のウエハ用の前記小孔を穿ち、かつ、吸着板には載置さ
れる小径のウエハの外周縁より内側の部分に相当する吸
着板の内側に同心円上の多列環状群の小孔を設け、大径
のウエハの外周縁の外側に位置する吸着板の周縁に同心
円上に等間隔で穿った少くとも８個のヘッドへの係止用
ボルト孔の中心と吸着板の中心点を結ぶ線上に前記同心
円上の多列環状群の小孔を設け、小径のウエハの外側で
大径のウエハの内側に位置する吸着板の部分には同心円
上の環状群の小孔を前記ボルト孔の中心と吸着板の中心
点を結ぶ線上から少くとも７．５度から３７．５度ずら
して設けたことを特徴とするウエハのチャック機構を提
供するものである。本発明の２は、上記チャック機構に
用いられる樹脂製シートに関するもので、該樹脂製シー
トは、同心円上の多列環状群の小孔を有し、載置される
小径のウエハの外縁より内側の部分は吸着板の同心円上
の多列環状群の小孔の位置と同じ位置に相当する樹脂製
シートの位置に同じ数の同心円上の多列環状群の小孔を
設け、載置される小径のウエハの外縁より外側部分であ
って、大径のウエハの外縁の内側部分に位置する樹脂製
シートの外周部には、前記吸着板の中心より２２．５度
ずらした位置に同心円上の環状群の小孔を吸着板のそれ
と同数設けた構造の樹脂シートを提供するものである。
凹陥部を有するヘッドの該凹陥部に中空状回転軸を軸承
固定し、該回転軸の中心を貫通し、減圧吸着機構へ連通
する排気口を形成し、前記ヘッドの底面にはチャンバー
用間隙部を設けて同心円上の多列環状群の小孔を縦方向
に貫通させた剛体よりなる吸着板をボルトにより係止
し、この吸着板の上面の全面へ柔軟性を有する樹脂製シ
ートであって、該樹脂製シートへ載置するウエハの外周
の内側へ位置する前記吸着板小孔と連通する小孔を穿っ
た樹脂製シートを敷設し、この樹脂製シートに載置され
たウエハを前記回転軸の排気口を減圧することによりウ
エハ吸着するチャック機構において、このチャック機構
は２つの異った径のウエハの吸着に兼用できるように樹
脂製シートには異った径のウエハに適用できるよう大径
のウエハ用の前記小孔を穿ち、かつ、吸着板には載置さ
れる小径のウエハの外周縁より内側の部分に相当する吸
着板の内側に同心円上の多列環状群の小孔を設け、大径
のウエハの外周縁の外側に位置する吸着板の周縁に同心
円上に等間隔で穿った少くとも８個のヘッドへの係止用
ボルト孔の中心と吸着板の中心点を結ぶ線上に前記同心
円上の多列環状群の小孔を設け、小径のウエハの外側で
大径のウエハの内側に位置する吸着板の部分には同心円
上の環状群の小孔を前記ボルト孔の中心と吸着板の中心
点を結ぶ線上から少くとも７．５度から３７．５度ずら
して設けたことを特徴とするウエハのチャック機構を提
供するものである。本発明の２は、上記チャック機構に
用いられる樹脂製シートに関するもので、該樹脂製シー
トは、同心円上の多列環状群の小孔を有し、載置される
小径のウエハの外縁より内側の部分は吸着板の同心円上
の多列環状群の小孔の位置と同じ位置に相当する樹脂製
シートの位置に同じ数の同心円上の多列環状群の小孔を
設け、載置される小径のウエハの外縁より外側部分であ
って、大径のウエハの外縁の内側部分に位置する樹脂製
シートの外周部には、前記吸着板の中心より２２．５度
ずらした位置に同心円上の環状群の小孔を吸着板のそれ
と同数設けた構造の樹脂シートを提供するものである。
【０００８】
【作用】外径の異なる２種のウエハを用いる際、大きい
径のウエハの場合は、吸着板４の小孔群４ａ，４ａ・・
・，４ｂ，４ｂ・・・と樹脂製シート７の小孔群７ａ，
７ａ・・・，７ｂ，７ｂ・・・の位置が一致するよう樹
脂製シート７は吸着板４に取りつけられる。小さい径の
ウエハの場合は、大きい径のウエハの場合と比較して中
心点より２２．５度ずらして樹脂製シート７を吸着板４
に取りつけることにより、吸着板４の小径用ウエハ用の
小孔４ａ，４ａ・・・は樹脂製シート７の小径用ウエハ
用の小孔７ａ，７ａ・・・と位置が一致し、小径ウエハ
の外縁より外側の吸着板の小孔４ｂ，４ｂ・・・は、こ
れら小孔４ｂ，４ｂ・・・に位置する樹脂製シート７に
孔が穿たれていないので中空回転軸２の中空部が減圧さ
れても吸着板４の小孔４ｂ，４ｂ・・・は樹脂製シート
７により盲にされているので、チャック機構１のチャン
バー６内の減圧は有効に働らく。
径のウエハの場合は、吸着板４の小孔群４ａ，４ａ・・
・，４ｂ，４ｂ・・・と樹脂製シート７の小孔群７ａ，
７ａ・・・，７ｂ，７ｂ・・・の位置が一致するよう樹
脂製シート７は吸着板４に取りつけられる。小さい径の
ウエハの場合は、大きい径のウエハの場合と比較して中
心点より２２．５度ずらして樹脂製シート７を吸着板４
に取りつけることにより、吸着板４の小径用ウエハ用の
小孔４ａ，４ａ・・・は樹脂製シート７の小径用ウエハ
用の小孔７ａ，７ａ・・・と位置が一致し、小径ウエハ
の外縁より外側の吸着板の小孔４ｂ，４ｂ・・・は、こ
れら小孔４ｂ，４ｂ・・・に位置する樹脂製シート７に
孔が穿たれていないので中空回転軸２の中空部が減圧さ
れても吸着板４の小孔４ｂ，４ｂ・・・は樹脂製シート
７により盲にされているので、チャック機構１のチャン
バー６内の減圧は有効に働らく。
【０００９】
【発明の実施の形態】［実施例］以下、図面を用いて本
発明を説明する。説明を簡単とするため、６インチと８
インチのウエハ兼用のチャック機構を例に挙げて説明す
る。図１は、本発明のウエハのチャック機構の吸着板の
上面図を、図２は図１に示される吸着板のＩ−Ｉ断面
図、図３は樹脂製シートの上面図である。図１と２にお
いて、１はチャック機構、２は中空回転軸、２ａは中空
部、３はヘッド、４は吸着板、４ａ，４ａ，・・・は同
心円上に多列環状に設けた６インチウエハ用の小孔４
ｂ，４ｂ・・・は８インチウエハ用小孔で、これらは図
２に示すように吸着板を上下に貫通している。
発明を説明する。説明を簡単とするため、６インチと８
インチのウエハ兼用のチャック機構を例に挙げて説明す
る。図１は、本発明のウエハのチャック機構の吸着板の
上面図を、図２は図１に示される吸着板のＩ−Ｉ断面
図、図３は樹脂製シートの上面図である。図１と２にお
いて、１はチャック機構、２は中空回転軸、２ａは中空
部、３はヘッド、４は吸着板、４ａ，４ａ，・・・は同
心円上に多列環状に設けた６インチウエハ用の小孔４
ｂ，４ｂ・・・は８インチウエハ用小孔で、これらは図
２に示すように吸着板を上下に貫通している。
【００１０】これら小孔４ａ，４ａ・・・，４ｂ，４ｂ
・・・は、上端が直径１ｍｍ、チャンバー６側の孔５は
直径４ｍｍとして穿孔してあり、小孔４ａ，４ｂと孔５
は連通している。６はチャンバー、８′はボルト用孔で
直径７ｍｍで雌ネジ切りしてある。９は吸着板４の高さ
調整用ボルト係止用ネジ孔である。吸着板４のボルト８
の係止用孔８は、等間隔に４５度づつずらして同心円上
に８個設けられている。６インチ用ウエハ吸着用小孔４
ａ，４ａ，・・・は、前記ボルト係止用孔８の相対向す
る孔８，８を結ぶ線上に、同心円上に３列または４列群
をなして６インチウエハの外周より内側となる位置に設
けられている。図１においては、ウエハの吸着を更に強
固とするために、中心点とボルト係止孔８′を結ぶ線状
より７．５度ずれた環状のところに１列、１５度ずれた
環状のところに２列、２２．５度ずれた環状のところに
１列の小孔４ａ′，４ａ″，４ａ′″・・・を穿ってあ
る。
・・・は、上端が直径１ｍｍ、チャンバー６側の孔５は
直径４ｍｍとして穿孔してあり、小孔４ａ，４ｂと孔５
は連通している。６はチャンバー、８′はボルト用孔で
直径７ｍｍで雌ネジ切りしてある。９は吸着板４の高さ
調整用ボルト係止用ネジ孔である。吸着板４のボルト８
の係止用孔８は、等間隔に４５度づつずらして同心円上
に８個設けられている。６インチ用ウエハ吸着用小孔４
ａ，４ａ，・・・は、前記ボルト係止用孔８の相対向す
る孔８，８を結ぶ線上に、同心円上に３列または４列群
をなして６インチウエハの外周より内側となる位置に設
けられている。図１においては、ウエハの吸着を更に強
固とするために、中心点とボルト係止孔８′を結ぶ線状
より７．５度ずれた環状のところに１列、１５度ずれた
環状のところに２列、２２．５度ずれた環状のところに
１列の小孔４ａ′，４ａ″，４ａ′″・・・を穿ってあ
る。
【００１１】吸着板の６インチウエハの外周縁より外側
であって、８インチウエハの外周縁より内側の部分に
は、ボルト係止用孔８と中心点を結ぶ線上には小孔を設
けず、この線上より２２．５度ずれた同一円上の環状に
少なくとも８個の小孔４ｂ，４ｂ・・・を設ける。必要
により８インチウエハをより強固にチャックするため、
中心点とボルト係止用孔８′を結ぶ線上より７．５度ず
らした同心円上に小孔群４ｂ′，４ｂ′・・・を、同線
上より３０度ずらした同心円上に小孔群４ｂ″，４ｂ″
・・・を穿ってもよい。
であって、８インチウエハの外周縁より内側の部分に
は、ボルト係止用孔８と中心点を結ぶ線上には小孔を設
けず、この線上より２２．５度ずれた同一円上の環状に
少なくとも８個の小孔４ｂ，４ｂ・・・を設ける。必要
により８インチウエハをより強固にチャックするため、
中心点とボルト係止用孔８′を結ぶ線上より７．５度ず
らした同心円上に小孔群４ｂ′，４ｂ′・・・を、同線
上より３０度ずらした同心円上に小孔群４ｂ″，４ｂ″
・・・を穿ってもよい。
【００１２】図３は穿孔した樹脂製シート７を示すもの
で、６インチウエハの外周縁より内側の樹脂製シート７
の部分には上記吸着板４の小孔４ａ，４ａ′，４ａ″，
４ａ′″・・・と同一位置に同一個数の小孔７ａ，７
ａ′，７ａ″，７ａ′″・・・を同一円上に多列群設
け、６インチウエハの外周縁の外側部分であって、８イ
ンチウエハの外周縁の内側部分に位置する樹脂製シート
７の部分は、吸着板４のそれに相応する小孔４ｂ，４
ｂ′，４ｂ″・・・の位置を吸着板４のボルト係止用孔
８′と中心点を結ぶ線上より２２．５度等間隔にずらし
た位置に小孔７ｂ，７ｂ′，７ｂ″・・・を樹脂製シー
トを貫通させて穿つ。
で、６インチウエハの外周縁より内側の樹脂製シート７
の部分には上記吸着板４の小孔４ａ，４ａ′，４ａ″，
４ａ′″・・・と同一位置に同一個数の小孔７ａ，７
ａ′，７ａ″，７ａ′″・・・を同一円上に多列群設
け、６インチウエハの外周縁の外側部分であって、８イ
ンチウエハの外周縁の内側部分に位置する樹脂製シート
７の部分は、吸着板４のそれに相応する小孔４ｂ，４
ｂ′，４ｂ″・・・の位置を吸着板４のボルト係止用孔
８′と中心点を結ぶ線上より２２．５度等間隔にずらし
た位置に小孔７ｂ，７ｂ′，７ｂ″・・・を樹脂製シー
トを貫通させて穿つ。
【００１３】吸着板４への樹脂製シートの載置は接着剤
や両面粘着テープを用いて貼着してもよいし、中空回転
軸を減圧にして強制的に行ってもよい。又、樹脂製シー
トの寸法を大径のウエハの外周縁より幅広くとり、ピン
を用いて吸着板の位置決め用孔９内にピンで仮止めして
もよい。ウエハの径により吸着板に樹脂製シートを載置
させる際、大径用のウエハのときは、樹脂製シートを小
径のウエハのときより、中心線から２２．５度回転させ
て取りつけることにより、同一ヘッドが利用できる。
や両面粘着テープを用いて貼着してもよいし、中空回転
軸を減圧にして強制的に行ってもよい。又、樹脂製シー
トの寸法を大径のウエハの外周縁より幅広くとり、ピン
を用いて吸着板の位置決め用孔９内にピンで仮止めして
もよい。ウエハの径により吸着板に樹脂製シートを載置
させる際、大径用のウエハのときは、樹脂製シートを小
径のウエハのときより、中心線から２２．５度回転させ
て取りつけることにより、同一ヘッドが利用できる。
【００１４】本発明において、６インチウエハと８イン
チウエハの両方を載置するには吸着板の４外周縁にはヘ
ッドに取りつけるボルト係止用孔を少なくとも８個、同
心円上に等間隔に設け、小径のウエハが載置される小径
の外周縁より内側の吸着板部分には吸着板の中心点を結
ぶ線上に小径ウエハの外周縁より内側に位置する部分に
同心円上の多列の環状群の小孔を多数設け、吸着板の載
置される小径ウエハの外周縁より外側であって大径ウエ
ハの外周縁の内側に位置する吸着板の部分には、前記線
上より７．５度〜３７．５度等間隔にずらして同心円上
に環状群の小孔を少なくとも８個設けた吸着板であれば
よい。ずらす角度は、７．５度の１倍、２倍、３倍、４
倍、５倍である７．５度、１５度、２２．５度、３０
度、３７．５度が好ましい。
チウエハの両方を載置するには吸着板の４外周縁にはヘ
ッドに取りつけるボルト係止用孔を少なくとも８個、同
心円上に等間隔に設け、小径のウエハが載置される小径
の外周縁より内側の吸着板部分には吸着板の中心点を結
ぶ線上に小径ウエハの外周縁より内側に位置する部分に
同心円上の多列の環状群の小孔を多数設け、吸着板の載
置される小径ウエハの外周縁より外側であって大径ウエ
ハの外周縁の内側に位置する吸着板の部分には、前記線
上より７．５度〜３７．５度等間隔にずらして同心円上
に環状群の小孔を少なくとも８個設けた吸着板であれば
よい。ずらす角度は、７．５度の１倍、２倍、３倍、４
倍、５倍である７．５度、１５度、２２．５度、３０
度、３７．５度が好ましい。
【００１５】本発明の別の実施態様として、図８に示す
８インチ用穿孔樹脂シートと図９に示す吸着板を用いて
もよい。図９に示される吸着板では、吸着盤のボルト係
止用孔８′と吸着盤の中心点を結ぶ線上に大径のウエハ
の外周縁より内側であって、小径のウエハの外周縁より
外側の部分に位置する場所に同心円上に環状に小孔４ｂ
を設け、６インチウエハの外周縁より内側の部分には、
ボルト係止用孔８′と吸着板の中心点を結ぶ線上には小
孔４ａ，４ａ・・・を設けず、該線より２２．５度ずら
した同心円上の多列環状群に小孔４ａ，４ａ・・・を設
けている。
８インチ用穿孔樹脂シートと図９に示す吸着板を用いて
もよい。図９に示される吸着板では、吸着盤のボルト係
止用孔８′と吸着盤の中心点を結ぶ線上に大径のウエハ
の外周縁より内側であって、小径のウエハの外周縁より
外側の部分に位置する場所に同心円上に環状に小孔４ｂ
を設け、６インチウエハの外周縁より内側の部分には、
ボルト係止用孔８′と吸着板の中心点を結ぶ線上には小
孔４ａ，４ａ・・・を設けず、該線より２２．５度ずら
した同心円上の多列環状群に小孔４ａ，４ａ・・・を設
けている。
【００１６】
【発明の効果】チャック機構１に吸着されるウエハの径
が異なっていても、同一の穿孔樹脂製シート７、樹脂板
４を用いてウエハをチャック機構に取りつけることがで
きる。
が異なっていても、同一の穿孔樹脂製シート７、樹脂板
４を用いてウエハをチャック機構に取りつけることがで
きる。
【図１】本発明のウエハのチャック機構に用いられる吸
着板をヘッドに収納した上面図である。
着板をヘッドに収納した上面図である。
【図２】ヘッドに収納された吸着板の図１におけるＩ−
Ｉ断面図である。
Ｉ断面図である。
【図３】穿孔樹脂製シートの上面図である。
【図４】研磨盤の一部を切り欠いた平面図である。
【図５】従来の穿孔樹脂シートの上面図である。
【図６】従来の６インチウエハ用の吸着板である。
【図７】従来の８インチウエハ用の吸着板である。
【図８】樹脂製シートの上面図である。
【図９】チャック機構の上面図である。
１ チャック機構 ２ 中空状回転軸 ３ ヘッド ４ 吸着板 ４ａ 小孔 ４ｂ 小孔 ５ 吸引用小孔 ６ チャンバー ７ 穿孔樹脂製シート ７ａ 小孔 ７ｂ 小孔 ８ ボルト ８′ ボルト係止用孔 １０ ウエハ
Claims (5)
- 【請求項１】 円筒状の凹陥部を有するヘッドの該凹陥
部に中空状回転軸を軸承固定し、該回転軸の中心を貫通
し、減圧吸着機構へ連通する排気口を形成し、前記ヘッ
ドの底面にはチャンバー用間隙部を設けて同心円上の多
列環状群の小孔を縦方向に貫通させた剛体よりなる吸着
板をボルトにより係止し、この吸着板の上面の全面へ柔
軟性を有する樹脂製シートであって、該樹脂製シートへ
載置するウエハの外周の内側へ位置する前記吸着板小孔
と連通する小孔を穿った樹脂製シートを敷設し、この樹
脂製シートに載置されたウエハを前記回転軸の排気口を
減圧することによりウエハ吸着するチャック機構におい
て、このチャック機構は２つの異った径のウエハの吸着
に兼用できるように樹脂製シートには異った径のウエハ
に適用できるよう大径のウエハ用の前記小孔を穿ち、か
つ、吸着板には載置される小径のウエハの外周縁より内
側の部分に相当する吸着板の内側に同心円上の多列環状
群の小孔を設け、大径のウエハの外周縁の外側に位置す
る吸着板の周縁に同心円上に等間隔で穿った少くとも８
個のヘッドへの係止用ボルト孔の中心と吸着板の中心点
を結ぶ線上に前記同心円上の多列環状群の小孔を設け、
小径のウエハの外側で大径のウエハの内側に位置する吸
着板の部分には同心円上の環状群の小孔を前記ボルト孔
の中心と吸着板の中心点を結ぶ線上から少くとも７．５
度から３７．５度ずらして設けたことを特徴とするウエ
ハのチャック機構。 - 【請求項２】 吸着板の載置される小径のウエハの外周
縁外側と大径のウエハの外周縁より内側の部分には、１
５度の等間隔で同心円上の小孔が穿かれていることを特
徴とする請求項１に記載のウエハのチャック機構。 - 【請求項３】 吸着板の載置される大径のウエハの外周
より外側の位置となる外周縁にはボルト孔の同心円上に
１対の吸着板の高さ調整用ボルト係止用ネジ孔が設けら
れていることを特徴とする、請求項１に記載のウエハの
チャック機構。 - 【請求項４】 樹脂製シートは、同心円上の多列環状群
の小孔を有し、載置される小径のウエハの外縁より内側
の部分は吸着板の同心円上の多列環状群の小孔の位置と
同じ位置に相当する樹脂製シートの位置に同じ数の同心
円上の多列環状群の小孔を設け、載置される小径のウエ
ハの外縁より外側部分であって、大径のウエハの外縁の
内側部分に位置する樹脂製シートの外周部には、前記吸
着板の中心より２２．５度ずらした位置に同心円上の環
状群の小孔を吸着板のそれと同数設けたものであること
を特徴とする請求項３に記載のウエハのチャック機構。 - 【請求項５】 円筒状の凹陥部を有するヘッドの該凹陥
部に中空状回転軸を軸承固定し、該回転軸の中心を貫通
し、減圧吸着機構へ連通する排気口を形成し、前記ヘッ
ドの底面にはチャンバー用間隙部を設けて同心円上の多
列環状群の小孔を縦方向に貫通させた剛体よりなる吸着
板をボルトにより係止し、この吸着板の上面の全面へ柔
軟性を有する樹脂製シートであって、該樹脂製シートへ
載置するウエハの外周の内側へ位置する前記吸着板小孔
と連通する小孔を穿った樹脂製シートを敷設し、この樹
脂製シートに載置されたウエハを前記回転軸の排気口を
減圧することによりウエハ吸着するチャック機構におい
て、このチャック機構は２つの異った径のウエハの吸着
に兼用できるように前記吸着板の外周縁にはヘッドに取
りつけるボルト係止用孔を少なくとも８個、同心円上に
等間隔に設け、小径のウエハが載置される小径の外周縁
より内側の吸着板部分には吸着板の中心点を結ぶ線上に
小径ウエハの外周縁より内側に位置する部分に同心円上
の多列の環状群の小孔を多数設け、吸着板の載置される
小径ウエハの外周縁より外側であって大径ウエハの外周
縁の内側に位置する吸着板の部分には、前記線上より２
２．５度等間隔にずらして同心円上に環状群の小孔を少
くとも８個設けた吸着板を用いることを特徴とするウエ
ハのチャック機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10080499A JPH11260896A (ja) | 1998-03-13 | 1998-03-13 | ウエハのチャック機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10080499A JPH11260896A (ja) | 1998-03-13 | 1998-03-13 | ウエハのチャック機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11260896A true JPH11260896A (ja) | 1999-09-24 |
Family
ID=13720014
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10080499A Pending JPH11260896A (ja) | 1998-03-13 | 1998-03-13 | ウエハのチャック機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11260896A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1136887A2 (en) * | 2000-03-16 | 2001-09-26 | Asm Lithography B.V. | Substrate holder for lithographic apparatus |
| JP2005243888A (ja) * | 2004-02-26 | 2005-09-08 | Nitto Denko Corp | 粘着シート貼付け方法およびこれを用いた装置 |
| JP2006517351A (ja) * | 2003-02-07 | 2006-07-20 | 東京エレクトロン株式会社 | 高圧処理の間に半導体基板を強固に保持するためにコーティングを用いる方法および装置 |
| JP4593007B2 (ja) * | 2001-05-23 | 2010-12-08 | 東京エレクトロン株式会社 | 載置装置 |
| JP2011023433A (ja) * | 2009-07-14 | 2011-02-03 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウエーハ搬送装置 |
| JP5732583B1 (ja) * | 2014-09-30 | 2015-06-10 | 株式会社 ベアック | 平板状部材吸引装置 |
-
1998
- 1998-03-13 JP JP10080499A patent/JPH11260896A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1136887A2 (en) * | 2000-03-16 | 2001-09-26 | Asm Lithography B.V. | Substrate holder for lithographic apparatus |
| EP1136887A3 (en) * | 2000-03-16 | 2003-06-18 | ASML Netherlands B.V. | Substrate holder for lithographic apparatus |
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