JPH031172Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 この考案は、半導体ウエハ、セラミツクス、ガ
ラス等のような脆性硬質材料からなる被加工物
に、溝入れ加工を行なつたり、あるいは切断分離
するための加工（以下単にダイシング加工とい
う）を行なうダイシングマシンにおいて、外周刃
を有するブレードをドレツシングする場合のドレ
ツシングプレート固定装置に関するものである。

ダイシングマシンにより被加工物にダイシング
加工を行なう場合の被加工物固定の方法として、
被加工物を載置するテーブルの中央部分にポーラ
スメタルのような多孔性物質を配設し、吸引作用
により被加工物をこの多孔性物質上に吸着固定す
る方法、あるいは多孔性物質の代わりに多数の小
孔を穿設した板材を配設し、これに被加工物を吸
着固定する方法等がある。

ところで、上記したように外周刃を有するブレ
ードを高速回転させ、被加工物のダイシング加工
を行なうダイシングマシンにおいて、ブレードの
切れ味が低下した場合には、被加工物の代わりに
ドレツシングプレートを吸着テーブル上に固定
し、このドレツシングプレートを切断することに
よりブレードのドレツシングを行なう。ところ
が、第１図に示すように多孔性物質１０等を配設
された吸着テーブル１２上に、ドレツシングプレ
ート１４を吸着固定しようとしても、多孔性物質
１０に対し、ドレツシングプレート１４が小さい
場合には、吸気効果がドレツシングプレート１４
に作用せず、固定することが出来ない。そこで従
来は、ドレツシングが必要となつたときには、多
孔性物質１０を配設した吸着テーブル１２をダイ
シングマシンから取り外し、同心円等の吸着溝を
施したドレツシング専用の吸着テーブルと交換
し、これにドレツシングプレートを吸着固定させ
てドレツシングを行ない、再び被加工物吸着用テ
ーブルに交換し、ダイシング加工を継続するとい
う方法が採用されていた。従つてこの従来方法
は、ドレツシング専用の吸着テーブルを準備しな
ければならず不経済である上に、極めて作業性が
悪いという欠点があつた。

本考案は上記したような従来装置の欠点を解決
し、被加工物を吸着固定するためのテーブル上に
簡単にドレツシングプレートを吸着固定すること
のできる装置を提供するものである。

以下図面に従つて本考案の一実施例について説
明する。第２図は本考案の側断面図、第３図は同
平面図である。１２は、その中央にポーラスメタ
ルのような多孔性物質１０を配設した吸着テーブ
ル、１６は中央位置にドレツシングプレート１４
を挿入保持できる孔１８を穿設されたドレツシン
グプレート保持板、２０は前記ドレツシングプレ
ート保持板１６およびドレツシングプレート１４
を一体に貼り付けるためのフレキシブル性能を有
する素材からなり、上面に接着機能を有する接着
テープである。前記接着テープ２０の大きさは、
前記多孔性物質１０を覆うことの出来る大きさの
ものが使用される。

すなわち、ダイシング加工を行う加工物、たと
えば、半導体ウエハを載置しているウエハリング
（ウエハをダイシング加工すると加工チツプがバ
ラバラになるため該リングの下に接着テープを貼
り、その上にウエハを載置して、ダイシング加工
するためのウエハ保持リング）の大きさと同等の
ものが使用される。

このような構成において、ブレードの切れ味低
下によりドレツシングを必要とするときには、予
め接着テープ２０上に一体に貼り付けられている
ドレツシングプレート保持板１６およびドレツシ
ングプレート１４を、吸着テーブル１２上に載置
すれば、吸引作用が多孔性物質１０を介して、接
着テープ２０の全面に及び、従つてドレツシング
プレート１４は吸着テーブル１２上に吸着固定さ
れる。次いでドレツシングプレート１４を切断す
ることによつて、ブレードのドレツシングを行な
つて後、接着テープ２０、つまりドレツシングプ
レート１４等を取り除いて被加工物のダイシング
加工を継続する。なお、上記実施例においては、
ドレツシングプレート保持板１６に穿設された孔
は、ドレツシングプレート１４の形状に合わせて
角孔となつているが、必ずしもこれに限らず、例
えば半導体ウエハに対してダイシング加工を行な
う場合の半導体ウエハを固定するメタルフレーム
のように円形孔であつてもよい。

第４図は本考案の他の実施例であつて、２２は
吸着テーブル１２上の多孔性物質１０を覆うこと
のできる大きさの、例えば合成樹脂のようなフレ
ツキシブルな板状部材で、この上に直接ドレツシ
ングプレートを接着固定するか、もしくは凹部を
設けて嵌合固定するものである。この実施例にお
いては、フレツキシブル部材２２を使用している
ため、吸引作用により吸着テーブル上に密着固定
することができる。

なお、上記いずれの実施例においても、中央に
は多孔性物質１０を配設した吸着テーブルの例に
ついて説明したが、多数の小孔を穿設された板材
を配設した吸着テーブルの場合でも本考案は全く
同様に適用可能である。

以上詳述したように、本考案によれば、ドレツ
シングプレートを簡単な装置によつて、被加工物
を吸着固定するための吸着テーブル上に固定する
ことができるので、ドレツシングプレート専用の
吸着テーブルを別に準備しておくような不経済が
なく、かつドレツシング必要時に、その都度専用
の吸着テーブルと交換するというような作業上の
煩雑さもない、極めて実用的効果の高いドレツシ
ングプレート固定装置を提供することができた。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来装置の側断面図、第２図は本考案
の側断面図、第３図は同平面図、第４図は本考案
の他の実施例側断面図。 １０：多孔性物質、１２：吸着テーブル、１
４：ドレツシングプレート、１６：ドレツシング
プレート保持板、１８：孔、２０：接着テープ、
２２：フレツキシブル部材。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 高速回転するブレードにより、吸着テーブル
   上に載置された被加工物に、ダイシング加工を
   行なうダイシングマシンにおいて、前記吸着テ
   ーブルの吸着面を覆うことができ、かつフレキ
   シブルな性能の素材からなり、上面に接着機能
   を有するテープにドレツシングプレートを固定
   し、ドレツシング時には前記テープを吸着テー
   ブル上に吸着固定することを特徴とするドレツ
   シングプレート保持装置。 (2) 実用新案登録請求の範囲第１項の記載におい
   て、前記テープ上のドレツシングプレートを中
   央に挿入することのできる孔を形成されたドレ
   ツシングプレート保持板をも有することを特徴
   とするドレツシングプレート保持装置。 (3) 実用新案登録請求の範囲第１項の記載におい
   て、前記テープはドレツシングプレートを固定
   する面が平面もしくはドレツシングプレートを
   嵌合固定するための凹部を形成してなるドレツ
   シングプレート保持装置。