JPS6231230Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 この考案は、円盤状工作物の鏡面加工時に前記
工作物を保持する円盤状工作物の回転用保持装置
に関し、前記工作物の着脱を容易にし、かつ高精
度に前記工作物を回転させるようにすることを目
的とする。

一般に、コンピユータのメモリ等に適用される
磁気デイスクなどの円盤状工作物の鏡面加工を行
なう場合、保持装置により、前記工作物を保持す
ると同時に、前記工作物を回転し、ダイヤモンド
バイトを用いた鏡面切削あるいはラツピング等の
手法により前記工作物に表面あらさ0.01μmRa以
下の高品質の鏡面加工面が形成されている。

しかし、0.01μmRa以下の表面あらさを確保す
るには、切削用のバイトの歯先が欠け、あるいは
砥石に目詰まりが生じないように、バイト、砥石
の管理を行なわなければならず、非常に煩わしい
という欠点がある。

そこで、第１図に示すような鏡面加工装置によ
る鏡面加工が行なわれている。すなわち、同図に
おいて、１は回転用治具２に保持されたアルミ材
からなるドーナツ形の円盤状工作物、３は先端部
が断面Ｕ字状の工具、４は工具３の先端部の左右
の内面に装着された研摩材保持体、５は両保持体
４の内面に装着され砥粒の付着された通水性のあ
る柔軟性研摩材であり、両研摩材５は左右対称的
に配置されている。６はそれぞれ工具３の先端部
および両保持体４を貫通して形成された加工液７
の供給路であり、加工液７は表面張力60dyn／cm
以下でかつアルミ材の表面酸化抑制機能を有す
る。

そして、治具２により工作物１を回転させると
ともに、工作物１の両面に対称的に配置された研
摩材５を押し付け、加工液７を供給路６から研摩
材５を通して工作物１の表面に供給し、工具３と
ともに研摩材５を治具２の回転軸に対して垂直方
向に、一方向または往復方向に移動させ、工作物
１の鏡面加工を行なつている。

したがつて、工作物１であるアルミ材は、加工
液７で表面酸化が抑制されながら、研摩材５に付
着した砥粒により微小な切り込みが与えられると
ともに、削り取られた加工くずが通水性の研摩材
５を通つて排出されるため、研摩材５の目詰まり
が抑制され、さらに柔軟性研摩材５が弾性を有す
るため、工作物１および工具３等の振動が吸収さ
れ、振動による工作物１全面での表面あらさの分
布および加工量分布の均一化が図れる。

ところで、表面あらさ0.01μmRa以下の高品質
の鏡面を得るには、研摩材５の目詰まりを抑制す
ることが重要であることは勿論、これ以外に工作
物１の保持を高精度にすることも重要となり、第
１図に示す装置の場合、治具２により、工作物１
は回転時にぶれることなく精度よく保持されてい
るが、工作物１の着脱を容易に行なうことができ
ないため、生産能率が低くなるという欠点があ
る。

この考案は、前記の点に留意してなされたもの
であり、回転用治具の端部に形成され真空ポンプ
に連通した凹部と、前記治具の端面にばねを介し
て装着された押付用の輪状体と、前記凹部に該凹
部を閉塞して嵌挿された保持体と、該保持体の周
面に形成され前記輪状体との間で円盤状工作物を
挟持する係止部とを備えた円盤状工作物の回転用
保持装置を提供するものである。

したがつて、この考案の円盤状工作物の回転用
保持装置によると、回転用治具の端部に真空ポン
プに連通して形成された前記凹部に、該凹部を閉
塞して嵌挿された保持体を設け、前記保持体の周
面に輪状体との間で円盤状工作物を挟持する係止
部を形成したことにより、前記真空ポンプを作
動、作動停止させるのみで、前記保持体を前記治
具に吸着および吸着解除させることができ、前記
工作物の着脱を容易に行なうことが可能をなり、
取り扱いが容易になるとともに、前記治具の端面
にばねを介して前記輪状体を装着したことによ
り、前記工作物を高精度に保持でき、回転時の前
記工作物のぶれをなくし、高精度に前記工作物を
回転させることができる。

つぎに、この考案を、その１実施例を示した第
２図以下の図面とともに詳細に説明する。

それらの図面において、８は回転用治具、９は
治具８の左端部に形成された凹部、１０は治具８
に形成され凹部９と真空ポンプ（図示せず）とを
連通する連通路、１１は押付用の輪状体であり、
輪状体１１に一体に形成された円筒体１２が凹部
１０に嵌挿されて輪状体１１が治具８の左端面に
装着されている。

１３は両端がそれぞれ治具８の左端面と輪状体
１１の右側面とに係止された複数個のばね、１４
は凹部９のほぼ中央部に形成された第１の段部、
１５は段部１４に形成された溝１６内に配設され
たＯリング、１７は工作物保持体であり、基部１
８および鍔部１９からなり、基部１８が工作物１
の中央部の透孔に挿通されて凹部１０に嵌挿さ
れ、基部１８のほぼ中央部に形成された第２の段
部２０がＯリング１６に圧接して凹部９を閉塞す
る。

２１は鍔部１９の周面に形成され輪状体１１と
の間で工作物１を挟持する係止部、２２は把持部
であり、保持体１７の左側面に形成されており、
把持部２２が把持されて保持体１７の着脱が行な
われる。

そして、工作物１の前記透孔に保持体１７の基
部１８を挿通し、前記透孔の周縁を係止部２１に
当接して工作物１を保持体１７に装着するととも
に、基部１８を凹部９に嵌挿して第２の段部２０
をＯリング１５に当接したのち、前記真空ポンプ
を作動すると、凹部９および連通路１０の圧力が
次第に低下して真空状態となり、凹部９、連通路
１０の圧力と外部の圧力との差により保持体１７
が治具８に吸着され、第２の段部２０がＯリング
１５に圧接して保持体１７により凹部９が密閉さ
れる。

このとき、保持体１７の吸着により、輪状体１
１が各ばね１３に抗して凹部９側に押されるた
め、輪状体１１が各ばね１３により保持体１７側
に付勢され、輪状体１１が工作物１に強く押し付
けられ、工作物１が係止部２１と輪状体１１との
間でがたつきなく挟持された状態となり、この状
態のまま治具８を第３図ａ中の矢印方向に回転す
ることにより、工作物１が回転する。

また、工作物１を保持体１７から取り外す場
合、前記真空ポンプを停止させ、凹部９および連
通路１０を真空リークすることにより、保持体１
７の治具８への吸着が解除され、工作物１を容易
に取り外すことができる。

したがつて、前記実施例によると、前記真空ポ
ンプを作動、作動停止させるのみで、保持体１７
を治具８に吸着、吸着解除させることが可能とな
り、工作物１の着脱を容易に行なうことができ、
取り扱いが容易になり、生産性の向上を図ること
ができる。

また、保持体１７の吸着時に、輪状体１１が各
ばね１３により付勢されて工作物１に強く押し付
けられるため、工作物１を高精度に保持でき、工
作物１をぶれることなく高精度に回転させること
が可能となり、高品質の鏡面を形成することがで
きる。

【図面の簡単な説明】

第１図は一般の鏡面加工装置を示し、同図ａは
正面図、同図ｂは右側面図、第２図以下の図面は
この考案の円盤状工作物の回転用保持装置の１実
施例を示し、第２図は斜視図、第３図ａは治具に
輪状体を装着した状態の一部切欠正面図、同図ｂ
は同図ａの左側面図、第４図ａは保持体の一部切
欠正面図、同図ｂは同図ａの左側面図である。 １……円盤状工作物、８……治具、９……凹
部、１１……輪状体、１３……ばね、１７……保
持体、２１……係止部。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 回転用治具の端部に形成され真空ポンプに連通
   した凹部と、前記治具の端面にばねを介して装着
   された押付用の輪状体と、前記凹部に該凹部を閉
   塞して嵌挿された保持体と、該保持体の周面に形
   成され前記輪状体との間で円盤状工作物を挟持す
   る係止部とを備えた円盤状工作物の回転用保持装
   置。