JPH0513492Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0513492Y2 JPH0513492Y2 JP9542587U JP9542587U JPH0513492Y2 JP H0513492 Y2 JPH0513492 Y2 JP H0513492Y2 JP 9542587 U JP9542587 U JP 9542587U JP 9542587 U JP9542587 U JP 9542587U JP H0513492 Y2 JPH0513492 Y2 JP H0513492Y2
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- Japan
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- abrasive grain
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- Expired - Lifetime
Links
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Landscapes
- Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
「産業上の利用分野」
本考案は、半導体素子の切断分割や磁気ヘツド
等の超精密溝入れ加工などに用いられるハブ付き
極薄刃砥石に関する。
等の超精密溝入れ加工などに用いられるハブ付き
極薄刃砥石に関する。
「従来の技術」
この種のハブ付き極薄刃砥石として、従来より
第３図に示すようなものが使用されている。
第３図に示すようなものが使用されている。
この砥石は、金属めつき相中に超砥粒を分散し
てなる薄肉円環状の砥粒層１の一面側に、これよ
りも径の小さな円環状のアルミ製ハブ２を固定し
たものであり、このハブ２の他面側が砥石駆動装
置に固定され、使用に供される。
てなる薄肉円環状の砥粒層１の一面側に、これよ
りも径の小さな円環状のアルミ製ハブ２を固定し
たものであり、このハブ２の他面側が砥石駆動装
置に固定され、使用に供される。
「考案が解決しようとする問題点」
ところが、上記のハブ付き極薄刃砥石にあつて
は、例えば第３図のように凹部を有する被削材Ｗ
に溝入れ加工を行なう場合に、ハブ２の外周縁が
被削材Ｗと接触し、加工に支障をきたすという欠
点があつた。
は、例えば第３図のように凹部を有する被削材Ｗ
に溝入れ加工を行なう場合に、ハブ２の外周縁が
被削材Ｗと接触し、加工に支障をきたすという欠
点があつた。
この問題は、砥粒層１の刃先部の突出幅を大き
くすれば当然解決されるが、その場合には刃先部
の剛性および強度が不足し、研削中に振れが生じ
て加工精度が低下したり、砥粒層１が破断したり
するなどのおそれがあり、実施は困難だつた。
くすれば当然解決されるが、その場合には刃先部
の剛性および強度が不足し、研削中に振れが生じ
て加工精度が低下したり、砥粒層１が破断したり
するなどのおそれがあり、実施は困難だつた。
「問題点を解決するための手段」
本考案は上記問題を解決するためになされたも
ので、ハブの砥粒層側の端部外周縁には、砥粒層
と接合される肉薄のフランジ部が一体に形成した
ことを特徴とし、このフランジ部によつて砥粒層
の刃先部を補強し、その研削中の振れや破断を防
いで、ハブの厚肉部分と刃先部との距離を大きく
とることを可能とする。
ので、ハブの砥粒層側の端部外周縁には、砥粒層
と接合される肉薄のフランジ部が一体に形成した
ことを特徴とし、このフランジ部によつて砥粒層
の刃先部を補強し、その研削中の振れや破断を防
いで、ハブの厚肉部分と刃先部との距離を大きく
とることを可能とする。
「実施例」
以下、図面を用いて本考案の実施例を詳細に説
明する。
明する。
第１図は一実施例のハブ付き極薄刃砥石を示
し、符号１０はNi，Co等の金属めつき相中にダ
イヤモンド，CBN等の超砥粒を分散してなる厚
さ数十〜100μｍ程度の薄肉円環状の砥粒層、１
１は該砥粒層１０の一面に固定されたハブであ
る。
し、符号１０はNi，Co等の金属めつき相中にダ
イヤモンド，CBN等の超砥粒を分散してなる厚
さ数十〜100μｍ程度の薄肉円環状の砥粒層、１
１は該砥粒層１０の一面に固定されたハブであ
る。
このハブ１１はアルミニウム等の両性金属から
なり、その砥粒層側の端部には砥粒層１０に接合
される薄肉一定厚のフランジ部１１Ａ、反対側の
端部には砥石駆動装置のマウントに外周を挾持さ
れる被固定部１１Ｂが一体形成されている。
なり、その砥粒層側の端部には砥粒層１０に接合
される薄肉一定厚のフランジ部１１Ａ、反対側の
端部には砥石駆動装置のマウントに外周を挾持さ
れる被固定部１１Ｂが一体形成されている。
前記フランジ部１１Ａの厚さは、50〜500μｍ
程度であることが望ましく、50μｍ未満では強度
不足を来し、500μｍ以上では従来の問題を改善
できない。また、砥粒層１の刃先突出量は、加工
すべき被削材の形状等に応じて決定される。
程度であることが望ましく、50μｍ未満では強度
不足を来し、500μｍ以上では従来の問題を改善
できない。また、砥粒層１の刃先突出量は、加工
すべき被削材の形状等に応じて決定される。
次に、上記の砥石の製造方法を、第２図を用い
て説明する。まず、形成すべき砥粒層１０よりも
所定寸法だけ径の大きいフランジ部１１Ａを有す
るハブ１１を用意し、このハブ１１に所定にマス
キングを施した後、めつき装置にセツトして、フ
ランジ部１１Ａを含むハブ１１の一面に一定厚さ
の砥粒層１０を円環状に形成する。次いで、砥粒
層１０およびフランジ部１１Ａの外周部を外周研
摩装置によつて研磨し、砥粒層１０の真円度を高
めた後、突出させるべき刃先量に対応するフラン
ジ部の外周部分Ｐを露出させてマスキング治具で
全体を遮蔽し、アルカリエツチング液に浸して、
両性金属であるフランジ部１１Ａの露出部分Ｐを
溶解する。そして水洗後、マスキング治具を取り
外し、砥粒層１０の溶解部分Ｐと接触していた砥
粒面をエツチングし、金属めつき相を薄く溶解し
て超砥粒を突出させ、ハブ付き極薄刃砥石を得
る。
て説明する。まず、形成すべき砥粒層１０よりも
所定寸法だけ径の大きいフランジ部１１Ａを有す
るハブ１１を用意し、このハブ１１に所定にマス
キングを施した後、めつき装置にセツトして、フ
ランジ部１１Ａを含むハブ１１の一面に一定厚さ
の砥粒層１０を円環状に形成する。次いで、砥粒
層１０およびフランジ部１１Ａの外周部を外周研
摩装置によつて研磨し、砥粒層１０の真円度を高
めた後、突出させるべき刃先量に対応するフラン
ジ部の外周部分Ｐを露出させてマスキング治具で
全体を遮蔽し、アルカリエツチング液に浸して、
両性金属であるフランジ部１１Ａの露出部分Ｐを
溶解する。そして水洗後、マスキング治具を取り
外し、砥粒層１０の溶解部分Ｐと接触していた砥
粒面をエツチングし、金属めつき相を薄く溶解し
て超砥粒を突出させ、ハブ付き極薄刃砥石を得
る。
このような構成からなるハブ付き極薄刃砥石に
あつては、フランジ部１１Ａによつて砥粒層１０
の刃先部を補強し、研削中の振れや破断を防いで
いるので、ハブ１１の厚肉部分と、砥粒層１０の
刃先との距離を大きく設定することが可能であ
る。したがつて、第１図のように被削材Ｗの深い
凹部内に切り込みを行なう場合などにも、ハブ１
１の厚肉部分が被削材Ｗと接触することがなく、
従来のハブ付き極薄刃砥石では困難だつた、この
種の複雑な加工作業を容易に行なうことができ
る。
あつては、フランジ部１１Ａによつて砥粒層１０
の刃先部を補強し、研削中の振れや破断を防いで
いるので、ハブ１１の厚肉部分と、砥粒層１０の
刃先との距離を大きく設定することが可能であ
る。したがつて、第１図のように被削材Ｗの深い
凹部内に切り込みを行なう場合などにも、ハブ１
１の厚肉部分が被削材Ｗと接触することがなく、
従来のハブ付き極薄刃砥石では困難だつた、この
種の複雑な加工作業を容易に行なうことができ
る。
また、この砥石では、製造時に薄いフランジ部
１１Ａの外周部分Ｐを溶解するだけでよいので、
ハブの厚肉な外周部分をエツチングする必要があ
つた従来品（第３図中二点鎖線Ｑ参照）と比べて
エツチング量が少なく済み、製造効率を高めるこ
とができる。
１１Ａの外周部分Ｐを溶解するだけでよいので、
ハブの厚肉な外周部分をエツチングする必要があ
つた従来品（第３図中二点鎖線Ｑ参照）と比べて
エツチング量が少なく済み、製造効率を高めるこ
とができる。
なお、上述の例では、フランジ部１１Ａが一定
厚であつたが、外周側に向けて若干薄くなる形状
であつてもよい。
厚であつたが、外周側に向けて若干薄くなる形状
であつてもよい。
「考案の効果」
以上説明したように、本考案のハブ付き極薄刃
砥石によれば、ハブの厚肉部分と刃先部との距離
を大きく設定した場合にも、フランジ部によつて
砥粒層の刃先部を補強して、振れや破断を防止す
ることができる。したがつて、被削材の深い凹部
内に切り込みを行なう場合などにも、ハブが被削
材と接触することがなく、従来のハブ付き極薄刃
砥石では困難だつた、この種の複雑な加工作業を
容易に行なうことが可能である。
砥石によれば、ハブの厚肉部分と刃先部との距離
を大きく設定した場合にも、フランジ部によつて
砥粒層の刃先部を補強して、振れや破断を防止す
ることができる。したがつて、被削材の深い凹部
内に切り込みを行なう場合などにも、ハブが被削
材と接触することがなく、従来のハブ付き極薄刃
砥石では困難だつた、この種の複雑な加工作業を
容易に行なうことが可能である。
第１図は本考案の一実施例のハブ付き極薄刃砥
石を示す断面図、第２図は同砥石の製造途中での
断面図、第３図は従来のハブ付き極薄刃砥石を示
す断面図である。 １０……砥粒層、１１……ハブ、１１Ａ……フ
ランジ部、１１Ｂ……被固定部、Ｗ……被削材。
石を示す断面図、第２図は同砥石の製造途中での
断面図、第３図は従来のハブ付き極薄刃砥石を示
す断面図である。 １０……砥粒層、１１……ハブ、１１Ａ……フ
ランジ部、１１Ｂ……被固定部、Ｗ……被削材。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 薄肉円環状の砥粒層の一面側に、これよりも外
径の小さな円環状のハブを固定してなるハブ付き
極薄刃砥石において、 前記ハブの砥粒層側の端部外周縁には、砥粒層
と接合される肉薄のフランジ部が一体に形成され
ていることを特徴とするハブ付き極薄刃砥石。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9542587U JPH0513492Y2 (ja) | 1987-06-22 | 1987-06-22 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9542587U JPH0513492Y2 (ja) | 1987-06-22 | 1987-06-22 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS641860U JPS641860U (ja) | 1989-01-09 |
| JPH0513492Y2 true JPH0513492Y2 (ja) | 1993-04-09 |
Family
ID=30959938
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9542587U Expired - Lifetime JPH0513492Y2 (ja) | 1987-06-22 | 1987-06-22 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0513492Y2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2893822B2 (ja) * | 1990-03-20 | 1999-05-24 | 三菱マテリアル株式会社 | ハブ付薄刃砥石の製造方法 |
| JPH0732246Y2 (ja) * | 1990-06-07 | 1995-07-26 | 東海旅客鉄道株式会社 | スプリング式摩耗防止き電分岐装置 |
-
1987
- 1987-06-22 JP JP9542587U patent/JPH0513492Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS641860U (ja) | 1989-01-09 |
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