JPS60257524A - 多層ブレ−ド式研削ホイ−ル - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 く技術分野〉 本発明は、半導体ウェーハの表面の如き硬脆材料の表面
を研削するのに適した多層ブレード式研削ホイールに関
する。

〈従来技術〉 特開昭５６−１０７８６９号公報には、半導体ウェーハ
の表面の如き硬脆材料の表面を研削するのに適した多層
ブレード式研削ホイールが開示されている。かかる研削
ホ、イールは、中心軸線を中心として回転駆動される支
持部材と、この支持部材の環状自由端縁部に同心状に配
設された少なくとも２枚のブレードとを具備する、ブレ
ードの各々は、上記中心軸線に対して例えば１３５度で
ある所要角度をなして支持部材の環状自由端縁部から突
出する研削部を有する。径方向に隣接して位置する２枚
のブレードのうちの、径方向内側に位置するブレードの
上記研削部は、上記中心軸線の方向に見て、径方向外側
に位置するブレードの上記研削部の先端を越えて突出し
ている。

而して、上記の通）の公知の多層ブレード式研削ホイー
ルは、硬脆材料の表面の研削に好都合に使用することが
できるものであるが、後に更に詳述する如く、研削精度
の一層の向上、ブレードの整形の容易化等の見地から、
各ブレード間の相対的位置関係、各ブレードの先端面の
形状等に改良すべき点が存在することが判明した。

〈発明の目的〉 本発明は上記事実に鑑みてなされたものであ広その主目
的は、上記の過多の公知の多層ブレード式研削ホイール
に改良を加えて研削精度を一層向上せしめることである
。

本発明の他の目的は、上記の過多の公知の多層ブレード
式研削ホイールに改良を加えて、研削精度を一層向上せ
しめると共に、ブレードの整形を容易化せしめることで
ある。

〈発明の要約〉 本発明によれば、環状自由端縁部を有し且つ中心軸線を
中心として回転駆動される支持部材と、該環状自由端縁
部に同心状に配設された少なくとも２枚のブレードとを
具備し、該ブレードの各々は該中心軸線に対して１００
乃至１６０度である角度αをなして該環状自由端縁部か
ら突出する研削部を有し、隣接して位置する２枚のブレ
ードのうちの、径方向内側に位置するブレードの該研削
部の先端は、該中心軸線の方向に見て長さｔだけ、径方
向外側に位置するブレードの該研削部の先端を越えて突
出している多層ブレード式研削ホイールにおいて； 該長さｔは、径方向内側に位置するブレードの該研削部
の厚さｔ以下（ｔ≦ｔ）である、ことを特徴とする多層
ブレード式研削ホイールが提供される。

本発明の多層ブレード式研削ホイールの好適実施態様に
おいては、隣接して位置する２枚のブレードの研削部は
径方向に見て間隔Ｂを置いて配設されておシ、上記間隔
Ｓは、径方向外側に位置するブレードの研削部の厚さ１
以上（ｓ≧ｔ）、特に上記厚さｔの５倍以上（８≧５ｔ
）である。また、隣接して位置する少なくとも２枚のブ
レードの研削部の先端面は、上記中心軸線に対して９０
度よシ小さく７０度以上、特に７５度以上、殊に８０度
以上の角度βをなす共通平面内に位置する。

更に、本発明の多層ブレード式研削ホイールの好適実施
態様においては、同心状に配設された少なくとも３枚の
ブレードを具備する、そして、隣接して位置する３枚の
ブレードのうちの、径方向外側に位置するブレードの研
削部の先端面は、上記中心軸線に対して９０度よｊｏ、
Ｊ−さく７０度以上、特に７５度以上、殊に８０度以上
の角度β１をなす平面内に位置し、径方向中間及び径方
向内側に位置する２枚のブレードの研削部の先端面は、
上記中心軸線に対して９０度よシ小さく上記角度β□よ
シ大きい角度β２をなす共通平面内に位置する。また、
隣接して位置する３枚のブレードのうちの、径方向外側
に位置するブレードの研削部と径方向中間に位置するブ
レードの研削とは径方向に見て間隔Ｓ工を置いて配設さ
れておシ、径方向中間に位置するブレードの研削部と径
方向内側に位置するブレードの研削部とは径方向に見て
間隔ｓ２を置いて配設されておシ、上記間隔８２は上記
間隔Ｂ１よりも小さい（８２（ｓｔ）。

〈発明の好適具体例〉 以下、本発明に従って構成された多層ブレード式研削ホ
イールの好適具体例を図示している添付図面を参照して
更に詳述する。

第１図を参照して説明すると、全体を番号２で示す研削
ホイールは、全体として環状の支持部材４を具備してい
る。この支持部材４は、アルミニウムの如き適宜の金属
材料から形成することができる。研削の際に使用される
冷却水等による支持部材４の腐食が問題になる場合には
、支持部材４の全体或いは一部を銅、チタン、真鍮、ス
テンレススチールの如き耐食性に優れた金属材料から形
成することもできる。

支持部材４の環状自由端縁部、即ち図示の場合は下端部
には、複数枚１図示の場合は３枚のブレード６ａ、６ｂ
及び６Ｃが同心状に配設されている。第１図と共に第２
図を参照して説明すると、支持部材４の下端部には、径
方向内側に位置する傾斜面８ａ、８ｂ及び８Ｃと径方向
外側に位置する弧状断面の切欠き１０ａ、１０ｂ及び１
０ｃによつて規定された３個の環状突出部１２ａ、１２
ｂ及び１２ｃが同心状に形成されている。そして、かか
る３個の環状突出部１２ｍ、１２ｂ及び１２ｃの夫々に
ブレード６ｍ、６ｂ及び６Ｃが配設されている。ブレー
ド６ｍ、６ｂ及び６０の各々は、環状突出部１２ａ、１
２ｂ及び１２ｃの夫々の内側傾斜面８ｍ、８ｂ及び８０
に沿って延びる被固着乃至被接着部１４ａ、１４ｂ及び
１４ｃと、環状突出部１２ａ、１２ｂ及び１２ｃの夫々
の下端を越えて下方に向って半径方向外方に突出してい
る研削部１６ａ、１６ｂ及び１６ｃとを有する。

ブレード６ｍ、６ｂ及び６Ｃの各々は、周方向に連続し
て延びる環状体であるのが好都合である。

また、ブレード６ｍ、６ｂ及び６Ｃの各々の研削部１６
ａ、１６ｂ及び１６ｃには、周方向に適宜の間隔を置い
て多数のスロツ）１８ａ、１８ｂ及び１８ｃが形成され
ているのが好都合である。ブレード６ａ、６ｂ及び６Ｃ
は、ニッケルイオンを含む電解液等を使用するそれ自体
は公知の電着法によって、望ましくは支持部材４め所定
位置上に直接的に、超砥粒をボンドして所要形状にせし
めると同時に固着する、ことによって好都合に形成する
ことができる。超砥粒としては、立方晶窒化硼素砥粒等
を使用することもできるが、天然又拡合成ダイヤモンド
砥粒を使用するのが好ましい。

超砥粒の粒度は、要求される研削面の仕上げ精度。

研削深さ等の諸条件に応じて適宜に選択することができ
る。

上記ブレード６ａ、６ｂ及び６Ｃの各々においては、研
削部１６ａ、１６ｂ及び１６ｃが、支持部材４の中心軸
線２０（第１図）に対して角度αａαｂ及びαＣをなし
て、支持部材４の上記環状突出部１２ａ、１２ｂ及び１
２ｃから突出していることが重要である。図示の具体例
においては、支持部材４の上記環状突出部１２ａ、１２
ｂ及び１２ｃにおける傾斜面８ａ、８ｂ及び８Ｃも中心
軸線２０に対して角度αａ、αｂ及びαＣをなして傾斜
せしめられておシ、ブレード６ｍ、６ｂ及び６Ｃの各々
の研削部１６ａ、１６ｂ及び１６ｃのみならず、被固着
乃至被接着部１４ｍ、１４ｂ及び１４０も中心軸線２０
に対して角度αａ、αｂ及びαＣをなして延びている。

ブレード６ｍ、６ｂ及び６Ｃの各々の研削部１６ｍ、１
６ｂ・及び１６ｃと中心軸線２０とが形成する上記角度
αａ、αｂ及びαＣは、１００乃至１６０度、好ましく
は１１０乃至１５０度、特に好ましくは１２０乃至１４
０度であるのが適切である。角度αａ、αｂ及びαＣが
過大になると、研削の際の研削抵抗が過大になシブレー
ド６ｍ、６ｂ及び６Ｃによる硬脆材料の所謂切れあじが
低下し、逆に角度αａ、αｂ及びαＣが過小に々ると、
研削の際にブレード６ａ、６ｂ及び６Ｃに作用する研削
面に垂直な方向の力に対するブレード６ａ、６ｂ及び６
Ｃの強度が弱くなシ、研削面上でブレード６ａ。

６ｂ及び６ｃが上下に振動し研削面に太きなうねシが生
成される傾向がある。ブレード６ｍ、６ｂ及び６Ｃの各
々の研削部１６ａ、１６ｂ及び１６ｅが夫々中心軸線２
ｏに対して形成する角度αａ、αｂ及びαＣは実質上同
一であるのが一般に好都合であるが、所望ならば相互に
異表らせることもできる。

また、ブレード６ａ、６ｂ及び６ｃの各々における研削
部１６ｍ、１６ｂ及び１６ｅは、その先端面２２ａ、２
２ｂ及び２２ｃが上記中心軸線２゜に対して角度βをな
して延びるように整形されていると共に、径方向中間に
位置する中間ブレード６ｂの研削部１６ｂの先端面２２
ｂは、径方向最。

外側に位置する外側ブレード６ａの先端面２２ａよシも
所定長さｔｌだけ中心軸線２ｏの方向に突出せしめられ
、そしてまた、径方向最内側に位置する内側ブレード６
ｃの研削部１６ｃの先端面２２ｃは、中間ブレード６ｂ
の研削部１６ｂの先端面２２ｂよシも所定長さｔ２だけ
中心軸線２０の方向に突出せしめられていることが望ま
しい（これらの点については、後に更に言及する）。

ブレード６ａ、６ｂ及び６ｃの各々の研削部１６ａ、１
６ｂ及び１６ａの、最先端部２４ｍ、２４ｂ及び２４ｃ
を除く部分の厚さｔａ、ｔｂ及びｔｅは、一般に、ｏ、
ｏ、ｓ゛乃至０．９０調、特に０．１０乃至０．７０朝
であるのが好ましい。上記厚さｔａ、ｔｂ及びｔｅが過
大になると研削精度が低下する傾向があシ、逆に過小に
なるとブレード６ａ、６ｂ及び６Ｃの強度が過小になる
傾向がある。上記厚さｔａ、ｔｂ及びｔｃは相互に実質
上同一でもよいし、相互に異なっていてもよい、また、
各研削部１６ａ、１６ｂ及び１６ｃの、最先端部２４ａ
、２４ｂ及び２４ｃを除く部分の厚さは、一般に実質上
均一であるのが好ましいが、例えば先端に向って漸次薄
くすることもできる。

上述した通シの多層ブレード式研削ホイール２を使用し
て硬脆材料の平面を研削する場合には、研削ホイール２
が研削機の回転軸に装着され、中心軸線２０を中心とし
て回転せしめられる。第３図を参照して説明すると、図
示の具体例においては、研削ホイール２の支持部材４が
取付部材２６に固定され、そしてこの取付部材２６が研
削機の回転軸２８に固定される。全体として略円盤状の
取付部材２６は、中央ハブ部３ｏ、この中央ハブ部３０
から下方に向って半径方向外方に延びる傾斜部３２及び
外側環状フ２ンジ部３４を有する。

研削ホイール２の支持部材４は、その上面を取付部材２
６の外側環状フランジ部３４の下面に油接せしめて、周
方向に間隔を置いた複数個の位置で止めねじ３６にて両
者を締結することＫよって、取付部材２６に固定される
。取付部材２６の中央ハブ部３０には、下方に向って漸
次小径にせしめられている貫通開口３８が形成されてい
る。回転軸２８の下端部も、下方に向って漸次小径にせ
しめられている。回転軸２８に取付部材２６の中央ハブ
部３０を被嵌し、そして中央ハブ部３０の下面を越えて
下方に突出するところの回転軸２８の最下端部に締結具
４０を装着することによって、回転軸２８に取付部材２
６が固定される。締結具４０の上面には円形凹部が形成
されておシ、かかる円形凹部の内周壁上部には雌螺条が
形成されており、一方回転軸２８の最下端部は小径円筒
形状であってその外周面には対応する雄螺条が形成され
ておシ、上記雌螺条と上記雄螺条とを螺合することによ
って回転軸２８の最下端部に締結具４０が固着される。

回転軸２８の中心部には孔４２が形成されている。また
、締結具４０には、上記円形凹部の下部から放射状に延
びる複数個の孔４４が形成されている。研削の際には、
例えば通常の水でよい冷却液が孔４２に供給され、次い
で孔４４を通して締結具４０から放射状に噴射される。

かかる冷却液は遠心力によって放射状に流れてブレード
６ｍ、６ｂ及び６ｃの研削部１６ａ。

ｉ６ｂ及び１６ｃのスロット１８ｍ、１８ｂ及び１８ｃ
を通って流れる。

第４図を参照して説明すると、例えば高純度シリコン、
ガリウムひ素又紘ガリウム多ん等の半導体材料から成る
略円板形状の半導体ウェーハである硬脆材料４６は、そ
の研削すべき平面を上方に向けて研削機の保持具（図示
していない）に保持される。保持具は、例えばその表面
に硬脆材料４６を吸着保持するそれ自体は周知の形態の
ものでよい。保持具上に保持された硬脆材料４６と回転
軸、２８（第３図）に装着された研削１イー″２とは・
研削ホイール２の中心軸線２０（第１図及び第３図）が
硬脆材料４６の研削すべき平面に対して略垂直になるよ
うに位置付けられる。更に詳しくは、一般に、矢印４８
で示すところの硬脆材料４６に対する研削ホイール２の
相対的移動方向に見て前端におけるブレード６の下端よ
シも後端におけるブレード６の下端が数十−程度高くな
るよりに極く僅かだけ硬脆材料４６の研削すべき平面に
対して研削ホイール２の中心軸線２０（第１図及び第３
図）を傾斜せしめて位置付けられる。そして、回転軸２
８が回転駆動され、かくして研削ホイール２が中心軸線
２０を中心として回転せしめられる。加えて、保持具を
矢印５０で示す方向に移動せしめることによって、或い
はこれに代えて又はこれに加えて回転軸２８を矢印４８
で示す方向に移動せしめるととＫよって、研削ホイール
２と硬脆材料４６とが矢印４８及び５０で示す方向、即
ち研削ホイール２の中心軸線２０に略垂直で且っ硬脆材
料４６の研削すべき平面に実質上平行な方向に相対的に
移動せしめられる。かくすると、第４図から容易に理解
される如く、最初に外側ブレード６ａが硬脆材料４６に
作用して研削深さｄ□で研削し、次いで中間ブレード６
ｂが硬脆材料４６に作用して研削深さｄ２”’１で研削
し、しかる後に内側ブレード６ｃが硬脆材料４６に作用
して研削深さｄ５”’ｌ−２で研削し、かくして合計研
削深さｄ＝ｄ□十ｄ２＋ｄ、で硬脆材料４６の平面が研
削される。

而して、上述した通力の多層ブレード式研削ホイール２
による研削おりては、次の事実が注目されねばならない
。即ち、外側ブレード６ａによる研削深さｄ工は、研削
ホイール２と硬脆材料４６の上下方向の相対的位置を調
整することによって適宜に調整することが可能である。

しかしながら、中間ブレード６ｂによる研削深さｄ２は
、外側ブレード６ａの研削部１６ａの先端面２２ａと中
間ブレード６ｂの研削部１６ｂの先端面２２ｂとの中心
軸線２０の方向における間隔ｔ工によって一義的に規定
され、内側ブレード６ｃによる研削深さｄ。

は、中間ブレード６ｂの研削部１６ｂの先端面２２ｂと
内側ブレード６ｃの研削部１６ｃの先端面２２Ｃとの中
心軸線２０の方向における間隔ｔ２によって一義的に規
定される。他方、本発明者等の経験によれば、ブレード
による研削深さがブレードの研削部の厚さ、更に詳しく
は最先端部を除いた部分の厚さを越えると、硬脆材料４
６の研削された平面に所謂荒れが発生して精度が低下す
る傾向がある。かような次第であるので、良好な研削を
遂行するためには、外側ブレード６＆の研削部１６ａの
先端面２２ａと中間ブレード６ｂの研削部１６ｂの先端
面２２ｂとの中心軸線２０の方向における間隔ｔ１は、
中間グレード６ｂの研削部１６ｂの厚さｔｂ以下（ｔ工
≦ｔｂ）に設定し、中間ブレード６ｂの研削部１６ｂの
先端面２２ｂと内側ブレード６ｃの研削部１６ｃの先端
面２２ｃとの中心軸線２０の方向における間隔ｔ２は、
内側ブレード６Ｃの研削部１６ｃの厚さｔｃ以下（ｔ２
≦ｔｃ）に設定することが重要である。

更にまた、上述した通シの多層ブレード式研削ホイール
２においては、外側ブレード６ａの研削部１６ａと中間
ブレード６ｂの研削部１６ｂとの径方向における間隔Ｂ
１は、中間ブレード６ｂの研削部１６ｂの厚さｔｂ以上
（Ｓ工≧ｔｂ）、特に５倍以上（８よ≧５ｔｈ）に設定
され、中間ブレード６ｂの研削部１６ｂと内側ブレード
６Ｃの研削部１６ｃとの径方向における間隔ｓ２は、内
側ブレード６Ｃの研削部１６ｃの厚さｔｃ以上（８２≧
ｔｃ）、特に５倍以上（８２≧５ｔｃ）に設定されてい
ることが好ましい。上記間隔８□及びｓ２が過剰に小さ
くなると、研削の際に生じる研削屑や研削粉が上方へ逃
げにくくなるため研削抵抗が太きくなシ、また硬脆材料
４６の研削された平面の精度が劣化する傾向がある。

上述した通りの多層ブレード式研削ホイール２において
は、更に、次の点が注目されるべきである。外側ブレー
ド６１の研削部１６＆の先端面２２ａと中間ブレード６
ｂの研削部１６ｂの先端面２２ｂと内側ブレード６ｃの
研削部１６ｃの先端面２２Ｃとは、原理的には相互に平
行であるのが好ましい。しかしながら、先端面２２ｍ、
２２ｂ及び２２Ｃを相互に平行にせしめる場合には、ブ
レードの整形が比較的困難になる。この点について更に
詳述すると、研削ホイール２の製作においては、例えば
上述した電着法等によって支持部材４の環状突出部１２
ａ、１２ｂ及び１２ｃにブレード６ａ。

６ｂ及び６ｃを配設した後に、一般に、ブレード６ａ、
６ｂ及び６ｃの研削部１６ｍ、１６ｂ及び１６ｃの先端
面２２ｍ、２２ｂ及び２２ｃをＰ９ｒ要の通シの形状に
整形するために、例えば研削ホイール２をその中心軸線
２０を中心として回転せしめながらブレード６ａ、６ｂ
及び６ｃの研削部１６ａ、１６ｂ及び１６ｃの先端面２
２ａ、２２ｂ及び２２ａに所要の砥石（かかる砥石は例
えば固定カーポランダム系砥粒製酸いは固定アランダム
系砥粒製でよい）を接触せしめ、かくして先端面２２ａ
、２２ｂ及び２２ｃを研磨することが必要である。然る
に、先端面２２ａ、２２ｂ及び２２ｅを相互に平行にぜ
閲るためには、先端面２２ａと先端面２２ｂとの間及び
先端面２２ｂと先端面２２ｃとの間には中心軸線２０の
方向に上記間隔ｔ工及びｔ２が存在する故に、先端面２
２ａ、２２ｂ及び２２Ｃに対して夫々別個に砥石を接触
せしめることが必要であるが、先端面２２ａ、２２ｂ及
び２２ｃの各々は環状であること並びに先端面２２ａ、
２２ｂ及び２２ｃの各々の半径方向幅及び半径方向間隔
は比較的小さいこと等に起因して、先端面２２ａ。

２２ｂ及び２２ｅに対して夫々別個に砥石を接触せしめ
ることは不可能ではないにしても相当困難であシ、そし
てまた先端面２２ｍ、２２ｂ及び２２Ｃの研磨に相当な
時間を要す。

これに対して、第２図に２点鎖線で示す如く、先端面２
２ａ、２２ｂ及び２２（ｌに対して共通の砥石５２を接
触せしめて先端面２２ｍ、２２ｂ及び２２ｃを同時に研
磨するようになせば、容易に理解される如く、整形操作
を充分容易且つ迅速に遂行することができる。かような
整形操作を遂行すると、第２図を参照することによって
理解される如く、必然的に、先端面２２ａ、２２ｂ及び
２２Ｃが共通平面５４内に位置することになるが、本発
明者等の経験によれば、上記共通平面５４が研削ホイー
ル２の中心軸線２０に対して形成する角度βが９０度よ
シ小さく７０度以上（９０度〉β≧７０度）、好ましく
は９０度〉１５７５度、特に好ましくは９０度〉β≧８
０度であるならば、充分に満足し得る結果を得ることが
できることが判明した。上記角度βが９０度以上の場合
には先端面２２ａ、２２ｂ及び２２ａ間における中心軸
線２０の方向の上記間隔ｔ□及びβ２が零乃至負の値に
力ってしまう。逆に上記角度βが７０度に満たないと、
先端面２２ａ、２２ｂ及び２２ｅの各々が中心軸線２０
に対して形成する角度βが過小になシ、研削精度が低下
する傾向がある。

而して、半導体ウェーハの如き硬脆材料４６の表面の研
削においては、合計研削深さｄ＝ｄ□十ｄ２＋ｄ、を過
剰に小さくせしめることなく、研削された表面の精度を
充分に高くせしめることが望まれることが少なくない。

かような要望を満足せしめるには、外側ブレード６ａに
よる研削深さｄよ及び中間ブレード６ｂによる研削深さ
ｄ２に対して、最後に硬脆材料４６０表面に作用し、従
って仕上げ研削を遂行する内側ブレード６Ｃによる研削
深さｄ、ｔ−相当小さくする（ｄ１≧ｄ２〉ｄ、〉０）
ことが必要である。かような場合には、次の通夛のブレ
ード整形手順を遂行することができる。第５図を参照し
て説明すると、最初に、２点鎖線５２Ａで示す如く、共
通の砥石を使用してブレード６ｍ、６ｂ及び６ｃの研削
部１６ａ、１６ｂ及び１６ｃの先端面２２ａ、２２ｂ及
び２２ｅを研磨し、かくして先端面２２ａ、２２ｂ及び
２２ｃが中心軸線２０に対して角度β□をなす共通平面
５４Ａ内に位置するようにせしめる。上記角度β１は、
第２図を参照して説明した角度βと同様、９０度〉β１
≧７０度、好ましくは９０度〉β、≧７５度、特に好ま
しくは９０度〉β□≧８０度である。しかる後に、２点
鎖５５２Ｂで示す如く、共通の砥石を使用して外側ブレ
ード６ａを除く中間ブレード６ｂ及び内側ブレード６ｃ
の研削部１６ｂ及び１６ｃの先端面２２ｂ及び２２ｅを
研磨し、かくして先端面２２ｂ及び２２ｅが共通平面５
４Ｂ内に位置するようにせしめる。共通平面５４Ｂが中
心軸線２０となす角度β２は、９０度〉β２〉β１であ
ることが重要である。

角度β２が角度β□よりも大きい（β２〉β□）ならば
、２点鎖線５２Ｂで示す如く共通の砥石を使用して中間
ブレード６ｂ及び内側ブレード６ｃの研削部１６ｂ及び
１６ａの先端面２２ｂ及び２２ｃ’ｉ研磨する際に、共
通の砥石が外側ブレード６ａの研削部１６ａに作用せし
められることはない。上述した通りのブレード整形手順
を遂行すれば、第５図から容易に理解される如く、外側
ブレード６ａの研削部１６ａの先端面２２１Ｌと中間ブ
レード６ｂの研削部１６ｂの先端面２２ｂとの中心軸線
２０の方向における間隔ｔ１、従って中間ブレード６ａ
による研削深さｄ２（第４図）を低減せしめることなく
、中間ブレード６ｂの研削部１６ｂの先端面２２ｂと内
側ブレード６Ｃの研削部１６ｃの先端面２２ｅとの中心
軸線２０の方向における間隔ｔ２、従って内側ブレード
６Ｃによる研削深さｄ、（第４図）を低減せしめること
ができる。かくして、上述した要件（ｄ１≧ｄ２〉ｄ、
〉０）ｔ−充足することができる。

上述した要件（ｄ１≧ｄ２＞ｄ、＞Ｏ）ｅ充足するため
には、上記の過多の成形手順を遂行することに加えて、
或いはこれに代えて、外側ブレード６ａの研削部１６ａ
と中間ブレード６ｂの研削５１６ｂとの径方向における
間隔８１に対して、中間ブレード６ｂの研削部１６ｂと
内側ブレード６ｃの研削部１ｂｃとの径方向における間
隔８２を比較的小さくする（Ｓ２（Ｓ工）こともできる
。かくすると、第５図に２点鎖線５４Ａで示す通夛の共
通の砥石を使用した１回の整形操作のみによっても、外
側プレード６ａの研削部１６ａの先端面２２ａと中間ブ
レード６ｂの研削部１６ｂの先端面２２ｂとの中心軸線
２０の方向における間隔ｔ１、従って中間ブレード６ｈ
による研削深さｄ２（第４図）を低減せしめることなく
、中間ブレード６ｂの研削部１６ｂの先端面２２ｂと内
側ブレード６Ｃの研削部１６Ｃの先端面２２ｃとの中心
軸線２０の方向における間隔ｔ２、従って内側ブレード
６Ｃによる研削深さｄ、（第４図）を低減せしめること
ができる。かくして、上述した要件（ｄ１≧ｄ２）ｄ、
）０）を充足することができる。

以上、添付図面を参照して本発明に従って改良された多
層ブレード式研削ホイールの具体例について詳細に説明
したが、本発明はかかる具体例に１限定されるものでは
なく、本発明の範囲を逸脱す１、ることなく種々の変形
乃至修正が可能であることは多言金製しない。

例えば、所望ならば、ブレードの研削部の周方向断面形
状を波形にせしめ、かくして自由端部の剛性を増大せし
めることもできる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明に従って改良された多層ブレード式研
削ホイールの一具体例を、一部を断面で示す側面図。 第２図は、第１図の多層ブレード式研削ホイールにおけ
るブレードを示す部分断面図。 第３図は、第１図の多層ブレード式研削ホイールを研削
機の回転軸に装着した状態を、一部を断面で示す側面図
。 第４図は、第１図の多層ブレード式研削ホイールによっ
て硬脆材料の平面を研削する状態を示す部分断面図。 第５図は、本発明に従って改良された多層ブレード式研
削ホイールの他の具体例におけるブレードを示す部分断
面図。 ２・・・多層ブレード式研削ホイール ４・・・支持部材 ６ａ、６ｂ及び６ｃ・・・ブレード １６ａ、１６ｂ及び１６ａ・・・ブレードの研削部２２
ａ、２２ｂ及び２２ｃ・・・ブレードの研削部の先端面 特許出願人株式会社ディスコ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、環状自由端縁部を有し且つ中心軸線を中心として回
   転駆動される支持部材と、該環状自由端縁部に同心状に
   配設された少なくとも２枚のブレードとを具備し、該ブ
   レードの各々は該中心軸線に対して１００乃至１６０度
   である角度αをなして該環状自由端縁部から突出する研
   削部を有し、隣接して位置する２枚のブレードのうちの
   、径方向内側に位置するブレードの該研削部の先端は、
   該中心軸線の方向に見て長さｔだけ、径方向外側に位置
   するブレードの該研削部の先端を越えて突出している多
   層ブレード式研削ホイールにおいて； 該長さｔは、径方向内側に位置するブレードの該研削部
   の厚さｔ以下（ｔ≦±）である、ことを特徴とする多層
   ブレード式研削ホイール。 ２、隣接して位置する２枚のブレードの該研削部は径方
   向に見て間隔畠を置いて配設されており、該間隔Ｓは、
   径方向外側に位置するブレードの該研削部の厚さｔ以上
   （Ｂ≧ｔ）である、特許請求の範囲第１項記載の多層ブ
   レード式研削ホイール。 ３、該間隔８は、径方向外側に位置するブレードの該研
   削部の厚さｔの５倍以上（ａ≧５ｔ）である、特許請求
   の範囲第２項記載の多層ブレード式研削ホイール。 ４、隣接して位置する少なくとも２枚のブレードの該研
   削部の先端面は、該中心軸線に対して９０度よシ小さく
   ７０度以上の角度β（９０度〉β≧７０度）をなす共通
   平面内に位置する、特許請求の範囲第１項から第３項ま
   でのいずれかに記載の多層ブレード式研削ホイール。 ５．該角度βは９０度よシ小さく７５度以上（９０度〉
   β≧７５度）である、特許請求の範囲第４項記載の多層
   ブレード式研削ホイール。 ６、該角度βは９０度よシ小さく８０度以上（９０度〉
   β≧８０度）である、特許請求の範囲第５項記載の多層
   ブレード式研削ホイール。 ７、同心状に配設された少なくとも３枚のブレードを具
   備し、隣接して位置する３枚のブレードのうちの、径方
   向外側に位置するブレードの該研削部の先端面は、該中
   心軸線に対して９０度より小さく７０度以上の角度β１
   （９０度〉β、≧７０度）をなす平面内に位置し、径方
   向中間及び径方向内側に位置する２枚のブレードの該研
   削部の先端面は、該中心軸線に対して９０度よｊＯ、Ｊ
   −さく該角度β１よ多大きい角度β２（９０度〉β２〉
   β１）をなす共通平面内に位置する、特許請求の範囲第
   １項から第３項までのいずれかに記載の多層ブレード式
   研削ホイール。 ８、該角度β１は９０度よシ小さく７５度以上（９０度
   〉β□≧７５度）である、特許請求の範囲第７項記載の
   多層ブレード式研削ホイール。 ９、該角度β□は９０度よシ小さく８０度以上（９０度
   〉β□≧８０度）である、特許請求の範囲第８項記載の
   多層ブレード式研削ホイール。 １０、同心状に配設された少なくとも３枚のブレードを
   具備し、隣接して位置する３枚のブレードのうちの、径
   方向外側に位置するブレードの該研削部と径方向中間に
   位置するブレードの該研削部とは径方向に見て間隔８１
   を置いて配設されており、径方向中間に位置するブレー
   ドの該研削部と径方向内側に位置するブレードの該研削
   １′ 部とは径方向に見て間隔８□を置いて配設されておシ、
   該間隔ｓ２は該間隔Ｓ工よりも小さい（す＜Ｓ□）、特
   許請求の範囲第１項から第９項までのいずれか按記載の
   多層ブレード式研削ホイール。 １１、該角度αは１１０乃至１５０度である、特許請求
   の範囲第１項から第１０項までのいずれかに記載の多層
   ブレード式研削ホイール。 １２、該角度α１２０乃至１４０度である、特許請求の
   範囲第１１項記載の多層ブレード式研削ホイール。 １３、該ブレードの各々の該研削部の厚さｔｉｌ：ｏ、
   ｏｓ乃至０．９０ｍである、特許請求の範囲第１項から
   第１２項までのいずれかに記載の多層ブレード式研削ホ
   イール。 １４、該厚さｔは０．１０乃至０．７０ｔｗｎテある、
   特許請求の範囲第１３項記載の多層ブレード式研削ホイ
   ール。