JPH0240477B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0240477B2 JPH0240477B2 JP57067880A JP6788082A JPH0240477B2 JP H0240477 B2 JPH0240477 B2 JP H0240477B2 JP 57067880 A JP57067880 A JP 57067880A JP 6788082 A JP6788082 A JP 6788082A JP H0240477 B2 JPH0240477 B2 JP H0240477B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cutting
- radius
- polygon
- blade
- diamond
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24D—TOOLS FOR GRINDING, BUFFING OR SHARPENING
- B24D5/00—Bonded abrasive wheels, or wheels with inserted abrasive blocks, designed for acting only by their periphery; Bushings or mountings therefor
- B24D5/12—Cut-off wheels
- B24D5/126—Cut-off wheels having an internal cutting edge
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は内周形スライシングマシン用のダイヤ
モンド切断砥石に関すものである。
モンド切断砥石に関すものである。
［発明の背景、従来の技術］
第１図のように薄い金属製の円環１（以下台金
と称す）の内周２に沿つてダイヤモンド砥石部３
を設けた構造で、またIDブレードともよばれる。
外周部のボルト穴４でテンシヨンヘツドに固定し
て太鼓の皮のように張上げ、テンシヨンヘツドと
ともに高速回転して使用する。
と称す）の内周２に沿つてダイヤモンド砥石部３
を設けた構造で、またIDブレードともよばれる。
外周部のボルト穴４でテンシヨンヘツドに固定し
て太鼓の皮のように張上げ、テンシヨンヘツドと
ともに高速回転して使用する。
張上げることにより台金の金属板は薄いにも拘
らず良く平坦を保ち、内周部すなわち砥石部の横
振れに対する抵抗が高い。このため大寸法の加工
物を、切屑として除去される切幅を小さく、高精
度で切断できる等、通常の外周形切断砥石では得
られない特長を有し、半導体材料、電子部品用ガ
ラス材などの切断に用いられている。
らず良く平坦を保ち、内周部すなわち砥石部の横
振れに対する抵抗が高い。このため大寸法の加工
物を、切屑として除去される切幅を小さく、高精
度で切断できる等、通常の外周形切断砥石では得
られない特長を有し、半導体材料、電子部品用ガ
ラス材などの切断に用いられている。
ダイヤモンド砥石部は電着法により造出する。
電着ダイヤモンド砥石は一般に切味良好の特長を
有するが、内周形切断砥石の場合は目詰りを生じ
易く、ドレシングにより切味を回復する作業を要
する。頻繁なドレシングが切断作業を中断して生
産性を害する。
電着ダイヤモンド砥石は一般に切味良好の特長を
有するが、内周形切断砥石の場合は目詰りを生じ
易く、ドレシングにより切味を回復する作業を要
する。頻繁なドレシングが切断作業を中断して生
産性を害する。
対策として内周円上にダイヤモンド砥石部を間
歇的に設けたIDブレードが提案されている（実
公昭49−39253号）。砥石部のない空位の部はいわ
ゆるチツプポケツトとなつて研削液の流入、切屑
の排出を助けるので目詰りが抑制される。この効
果の反面、加工物に対し、砥石部が断続的に当る
ための衝撃の悪影響があり、加工物に「切欠」を
生じ仕上面あらさも良くない。また内周円に沿つ
て構造が均一でない張上げによる張力によりID
ブレードが破断し易い。
歇的に設けたIDブレードが提案されている（実
公昭49−39253号）。砥石部のない空位の部はいわ
ゆるチツプポケツトとなつて研削液の流入、切屑
の排出を助けるので目詰りが抑制される。この効
果の反面、加工物に対し、砥石部が断続的に当る
ための衝撃の悪影響があり、加工物に「切欠」を
生じ仕上面あらさも良くない。また内周円に沿つ
て構造が均一でない張上げによる張力によりID
ブレードが破断し易い。
［発明が解決しようとする課題］
本発明の課題は目詰りを防ぎ、しかも加工物に
衝撃を与えることなく、破断の怖れもない内周形
スライシングマシン用ダイヤモンド切断砥石を提
供することにある。
衝撃を与えることなく、破断の怖れもない内周形
スライシングマシン用ダイヤモンド切断砥石を提
供することにある。
［課題を解決するための手段］
本発明の手段は次のとおりである。
すなわち、本発明は内周砥石部を円形に近い多
角形に成形し、多角形の形状が、多角形の辺の中
心点における半径と角における半径との差が30〜
100μｍであることを特徴とする内周形スライシ
ングマシン用ダイヤモンド切断砥石である。
角形に成形し、多角形の形状が、多角形の辺の中
心点における半径と角における半径との差が30〜
100μｍであることを特徴とする内周形スライシ
ングマシン用ダイヤモンド切断砥石である。
多角形においても内周砥石部の縁への中心から
の距離をかりに半径と呼ぶ。この意味の半径は多
角形の角６（第２図）において大きく、辺の中心
７において小さい。このため角の部は加工物に接
触しないのでチツプポケツトを形成し、研削液の
流入を助長して切味を向上し、切屑の排出を助成
して目詰りを防ぐ。
の距離をかりに半径と呼ぶ。この意味の半径は多
角形の角６（第２図）において大きく、辺の中心
７において小さい。このため角の部は加工物に接
触しないのでチツプポケツトを形成し、研削液の
流入を助長して切味を向上し、切屑の排出を助成
して目詰りを防ぐ。
加工物に当つて研削作用を働く部は辺の中心付
近で、７，７′，７″のように間歇的であるが、切
込みが徐々に変化するため衝撃はなく、加工物に
「切欠」を生じたり仕上面あらさを害したりする
ことはない。
近で、７，７′，７″のように間歇的であるが、切
込みが徐々に変化するため衝撃はなく、加工物に
「切欠」を生じたり仕上面あらさを害したりする
ことはない。
多角形の辺の中心点における半径と角における
半径との差、すなわちチツプポケツトの深さは30
〜100μｍで足り、とくに40〜60μｍが適切であ
る。チツプポケツトの差が30μｍより小さいとチ
ツプポケツトとしては不十分であり、又100μｍ
よりも大きいと角部からIDブレードを張り上げ
たときや、使用中に破断事故が発生しやすくな
る。この値と、平均半径の値とから多角形の角数
が定まる。第２図は半径の差を誇張した模式図の
ため角数の少ない多角形となつているが、上述の
法則から定まる角数は第２図よりもはるかに多
く、多角形は円に近似する。大径のIDブレード
においては 100角形前後となる。
半径との差、すなわちチツプポケツトの深さは30
〜100μｍで足り、とくに40〜60μｍが適切であ
る。チツプポケツトの差が30μｍより小さいとチ
ツプポケツトとしては不十分であり、又100μｍ
よりも大きいと角部からIDブレードを張り上げ
たときや、使用中に破断事故が発生しやすくな
る。この値と、平均半径の値とから多角形の角数
が定まる。第２図は半径の差を誇張した模式図の
ため角数の少ない多角形となつているが、上述の
法則から定まる角数は第２図よりもはるかに多
く、多角形は円に近似する。大径のIDブレード
においては 100角形前後となる。
以上の多角形IDブレードを製造するには、内
周穴を多角形とした台金に従来と同じ方法でダイ
ヤモンド砥粒を電着すればよい。
周穴を多角形とした台金に従来と同じ方法でダイ
ヤモンド砥粒を電着すればよい。
台金の製造は一般に小量生産には素材の金属板
を加工して所定の形状を切り出し、大量生産には
プレスにより打抜く。板材から切り出すにも、打
抜き用の金型の製作にも、加工には近時は数値制
御法が用いられる。数値制御法で多角形を造出す
るには、外接円８を想定してその円周を等分した
点６，６′，６″を指定し、これ等を逐次結ぶ直線
を指令すればよい。
を加工して所定の形状を切り出し、大量生産には
プレスにより打抜く。板材から切り出すにも、打
抜き用の金型の製作にも、加工には近時は数値制
御法が用いられる。数値制御法で多角形を造出す
るには、外接円８を想定してその円周を等分した
点６，６′，６″を指定し、これ等を逐次結ぶ直線
を指令すればよい。
すなわち内周が多角形の台金の製造には特殊の
設備、技術を要せず、従つて本発明のIDブレー
ドの製造に要する時間、経費は従来のIDブレー
ドと変らない。
設備、技術を要せず、従つて本発明のIDブレー
ドの製造に要する時間、経費は従来のIDブレー
ドと変らない。
［実施例］
公称外径21.5インチ、内径7.25インチに相当し
内周を90角形としたIDブレードを製作した。台
金はステンレス鋼SUS 301の厚さ0.13mmの硬圧延
板を材料とし、外径546mmおよび取付ボルト穴は
従来の21.5インチブレードに等しい。内周は正90
角形で直径は184.0mmである。この台金に粒径40
〜60μｍのダイヤモンドを電着した砥石部の肉厚
は0.28mmである。
内周を90角形としたIDブレードを製作した。台
金はステンレス鋼SUS 301の厚さ0.13mmの硬圧延
板を材料とし、外径546mmおよび取付ボルト穴は
従来の21.5インチブレードに等しい。内周は正90
角形で直径は184.0mmである。この台金に粒径40
〜60μｍのダイヤモンドを電着した砥石部の肉厚
は0.28mmである。
このIDブレードをスライシングマシンに取付
けて張上げ、直径100mmのシリコン単結晶を毎分
70mmの切断速度で切断した。得られたウエハはソ
リ、テーパについて全数規格値に入り、切断面に
はソーマークは認められず面あらさも良好であつ
た。とくにドレシングの頻度は従来の1/2となつ
た。
けて張上げ、直径100mmのシリコン単結晶を毎分
70mmの切断速度で切断した。得られたウエハはソ
リ、テーパについて全数規格値に入り、切断面に
はソーマークは認められず面あらさも良好であつ
た。とくにドレシングの頻度は従来の1/2となつ
た。
［発明の効果］
本発明によればチツプポケツトにより研削液の
流入を助け切味を増進し又切屑の排出を円滑にす
ることができる。
流入を助け切味を増進し又切屑の排出を円滑にす
ることができる。
第１図は従来の内周形ダイヤモンド切断砥石の
正面図、第２図は本発明に係る内周形スライシン
グマシン用ダイヤモンド切断砥石の一実施例を示
す一部の正面図である。
正面図、第２図は本発明に係る内周形スライシン
グマシン用ダイヤモンド切断砥石の一実施例を示
す一部の正面図である。
Claims (1)
- １ 内周砥石部を円形に近い多角形に成形し、多
角形の形状が、多角形の辺の中心点における半径
と角における半径との差が30〜100μｍであるこ
とを特徴とする内周形スライシングマシン用ダイ
ヤモンド切断砥石。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6788082A JPS58186572A (ja) | 1982-04-22 | 1982-04-22 | 内周形ダイヤモンド切断砥石 |
| DE19833300860 DE3300860C2 (de) | 1982-04-22 | 1983-01-13 | Innenlochsäge |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6788082A JPS58186572A (ja) | 1982-04-22 | 1982-04-22 | 内周形ダイヤモンド切断砥石 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58186572A JPS58186572A (ja) | 1983-10-31 |
| JPH0240477B2 true JPH0240477B2 (ja) | 1990-09-11 |
Family
ID=13357658
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6788082A Granted JPS58186572A (ja) | 1982-04-22 | 1982-04-22 | 内周形ダイヤモンド切断砥石 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58186572A (ja) |
| DE (1) | DE3300860C2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5218948A (en) * | 1988-03-11 | 1993-06-15 | Mitsubishi Kinzoku Kabushiki Kaisha | Inside diameter blade |
| DE3920946A1 (de) * | 1989-06-27 | 1991-01-03 | Held Kurt | Vorrichtung zur kontinuierlichen herstellung von laminaten |
| US6074282A (en) * | 1997-03-26 | 2000-06-13 | Sunnen Products Company | External hone and method of making and using the same |
| CN103182667A (zh) * | 2011-12-29 | 2013-07-03 | 自贡市江阳磁材有限责任公司 | 通过式磁瓦磨床电镀金刚石耐磨防窜瓦工装 |
| JP6076775B2 (ja) * | 2013-02-27 | 2017-02-08 | 三星ダイヤモンド工業株式会社 | スクライビングホイール、ホルダーユニット、スクライブ装置及びスクライビングホイールの製造方法 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB1297587A (ja) * | 1970-04-02 | 1972-11-22 |
-
1982
- 1982-04-22 JP JP6788082A patent/JPS58186572A/ja active Granted
-
1983
- 1983-01-13 DE DE19833300860 patent/DE3300860C2/de not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE3300860C2 (de) | 1984-03-01 |
| JPS58186572A (ja) | 1983-10-31 |
| DE3300860A1 (de) | 1983-11-03 |
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