JPS6022500B2 - 位置合せ載置方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、液体の表面張力を利用して、被載直物を載台
の中心位置に戦層せしめる位置合せ載贋方法に関するも
のである。

載台の中心位置にＩＣ（集積回路）用ウェハのような薄
い円板状被載置物を載層するためには、従来は戦台上面
に位置合せのための印を付けこれに合せて手で戦層した
り、または自動的に行なうには載台上面に係止部を設け
これに係止するようにして載直したりする方法がとられ
ていた。

しかしこれらの方法は印は付けたり合せたり、係止部を
設けたり、係止したりするなど作業が煩雑となり、しか
も後者は構造上係止部を設けられない場合には利用でき
ないという欠点があった。本発明は上述の点に鑑みなさ
れたもので、戦台上面と同等かまたはやや小さい面積を
有する薄板状の被萩置物を戦台の中心位置に戦贋する場
合、これらの間に、これらに付着する液体層を形成しこ
の表面張力を利用して被較贋物を敦台の中心位薄に移動
して位置合せするようにしたものである。

以下、本発明の一実施例として戦台上にシリコンウェハ
を吸着固定する場合を図面に基づいて説明する。

第１図、第２図において、１は基台で、この基台１は回
転軸２に取付けられ、研摩、切削などの加工時に連続し
て回転移動できるようになっている。

前記基台１には吸着固定用の戦台３，３，３，３がねじ
などによって取付けられている。この場合３は、気孔率
の大きな物質からなる円板状の吸着部４と気孔率の小さ
な物質からなるリング状の外縁部５とから構成されてい
る。前記載台３と基台１との係合部には、ェアの吸引用
および洗浄液の噴出用の溝７が形成され、この溝７は導
通孔８を介して吸気装置および洗浄装置に連結されてい
る。このような構成において、一般的研削作業時には、
吸気装置を作動させると、導通孔８を介して溝７で載台
３が基台１に吸引されるとともに、吸着部４内部のヱア
が吸引されるので、被載暦部としてのシリコンウェハ９
は戦台３の吸着面に略一様な力で吸着固定される。

この状態で研削作業が行なわれ、作業が終了すると、洗
浄装置を作動させて、導通孔８を介して溝７から洗浄用
の水が吸着部４内部を通って載台３の吸着面、基台１上
面へと流れるので、研削後のウェハ９を吸着面から浮き
上がらせて取り去るとともに、吸着部４内面および吸着
面の研削屑やごみを洗い流すものである。ここで、未研
削の新しいウェハ９′を戦台３の吸着面の中心位置に位
置合せ戦暦する作用を説明する。

前記洗浄装置から洗浄水を送り込むと、聯合３の吸着面
上に水がゆっくりと噴き出し、水の層１０が形成される
。

つぎに、被載置物としての薄い円板状の未研削ウェハ９
′をその面積の少なくとも半分以上が戦台３上に載るよ
うにして戦直する。すると、このウェハ９′と載台３と
は水で濡らされ、水はその接触部分が凹んだ状態となる
。そして、戦台３上の外気と接している部分の水の表面
張力によって吸引され、したがって結果としてウヱハ９
′は載台３の中心方向に力を受け中心位置まで移動して
表面張力が全体として均合つたとき静止する。なお、ウ
ェハ９′を最初に戦台３上に載せるときにはゥェハ９′
の少なくとも半分程度は戦台３上と重合することが必要
である。

前記実施例では、戦台３を基台１よりもかなり高くした
。

そのため、戦台３から溢れた水は、直接基台１の上を流
れて排出される。これに対し、ウェハが小さなもの１９
である場合には、第３図および第４図の拡大図に示すよ
うに基台１′と載台３′とを略同一平面にすることが望
ましい。したがってこの場合は、載台３′の外周に排水
溝１６を形成し、溢れた水を排水溝１６へ落し図示しな
い排水口から排水する。なお、第３図の基台１′の径と
、第１図の戦台３の径とを同じにし、相互に交換結合す
ると至便である。前記実施例では、数台３，３′の吸着
面上に液体層１０，１０′を形成した後に、ウェハ９，
９′１９を戦遣して所定の中心位置に移動せしめるよう
にしたが、これに限られるものではない。

すなわち、ウェハ９，９′１９を載台３，３′の吸着面
中心位置近くに載畳した後に洗浄用の水を吸着面とウェ
ハ９，９′，１９との間にゆっくりと噴き出させて、こ
の水によってできた液体層１０，１０′の表面張力によ
りウェハ９，９′，１９を所定の中心位置に移動しめる
ようにしてもよい。前記実施例では、ウェハ９，９′，
１９を所定の中心位置に移動させるための張力は、洗浄
用の水で形成された液体層１０，１０′の表面張力を利
用したが、これに限るものではなく、別個に吸着部４に
穿談された孔や吸着部４以外のところから送り込まれた
水やその他の液体で形成された液体層の表面張力を利用
するものでもよい。

前記実施例では液体として水を利用したが、表面張力で
移動させるには、少なくとも戦台と被載置物とに付着す
る性質をもち、したがって、液体の端面に凹みが形成さ
れるものでなければならない。この性質を有するもので
あれば水に限られるものではない。また、前記実施例で
は被数置物として薄い円板の場合を説明したが、薄い板
状であって、円に近いものであれば角状であってもよい
。

本発明は上記のように載台３，３′と被載置物の間に液
体層１０，１０′を形成することにより、その表面張力
の利用して彼戦贋物を自動的に戦台３，３′の中心位置
に戦暦できるとともに、被載置物に陽がつくのを防止で
きる。

また、吸着部と外縁部とからなる吸着固定用の戦台に利
用した場合には、吸着部の内部および表面を洗浄するた
めの水を液体層形成に兼用できるので極めて簡易に実施
できる。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明による位置合せ方法を用いた研削装置の実
施例を示すもので、第１図は平面図、第２図は第１図の
Ａ−Ａ線拡大断面図、第３図は他の実施例における平面
図、第４図は第３図のＢ−Ｂ線拡大断面図である。 １，１′・・・基台、２・・・・・・回転軸、３，３′
・・・・・・載台、４・・・・・・吸着部、５・・・外
縁部、７・・・・・・溝、８・・・・・・導通孔、９，
９′１９・・・・・・シリコンウェハ、１０，１０′・
・・・・・液体層、１６・・・・・・排水溝。 第１図第２図 第３図 第４図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 載台の上面と略同一形状の薄板状被載置物をその面
   積の少なくとも半分以上が該載置台上に載るように載置
   し、該被載置物の載置と同時に或いはその前又は後に、
   該載台の上面のほぼ全体に亘つて液体の層を生成するに
   充分な量の液体を供給して該載台の上面及び該被載置物
   の下面に付着する液体の層を生成し、該液体の表面張力
   によつて該被載置物を該載台の上面の実質上中心位置に
   移動せしめる、ことを特徴とする位置合せ載置方法。 ２ 該載台の少なくとも中央部は有孔物質から形成され
   ており、該載台の下側から該載台を通して該載台の上面
   に該液体をゆつくりと噴出せしめて、該載台の上面に該
   液体の層を生成する。 特許請求の範囲第１項記載の位置合せ載置方法。３ 該
   載台を通して下方にエアを吸引して該被載置物を該載台
   の上面に吸着し、次いで該被載置物の上面に研削作業を
   施し、しかる後に該載台の上面に該液体の層を生成して
   該被載置物を該載台の上面から浮き上がらせ、次いで該
   載台の上面から該被載置物を取り去り、しかる後に次の
   被載置物を該載台の面に生成されている該液体の層上に
   載置する、特許請求の範囲第２項記載の位置合せ載置方
   法。