KR100578510B1

KR100578510B1 - 글래스 연마기의 상정반

Info

Publication number: KR100578510B1
Application number: KR1020040055687A
Authority: KR
Inventors: 박영근
Original assignee: 희성전자 주식회사
Priority date: 2004-07-16
Filing date: 2004-07-16
Publication date: 2006-05-12
Also published as: KR20060006585A

Abstract

본 발명은 진공 흡착 방식을 적용한 엘시디(LCD) 글래스 연마장치의 상정반에 관한 것이다. 이러한 본 발명의 상정반은, 축에 연결된 상정반과 하정반 사이에 글래스를 위치시킨 후 연마제를 뿌리며 상정반과 하정반을 회전시켜 상기 글래스를 연마시키도록 된 글래스 연마장치에 있어서, 제어에 따라 진공상태를 만드는 진공장치를 더 구비하고, 상기 상정반이 연결된 상기 축에 진공호스를 삽입하기 위한 진공라인이 형성되어 있고, 상기 상정반이 바닥면의 패드를 부착하기 위한 부분에 다수의 진공라인 홈이 형성되어 있고, 상기 진공라인 홈은 다수의 연결 홀과 내부의 진공라인을 통해 상기 축으로부터 내려온 진공라인과 만나게 되어 있는 것이다. 또한, 패드는 상기 진공라인 홈과 동일한 위치에 진공 홀이 형성되어 패드와 진공라인 홈에 의해 형성된 공간이 진공상태가 되면 패드의 진공 홀을 통해 공기가 상기 상정반 내부로 흡입되어 패드에 연마대상인 글래스를 진공 흡착할 수 있도록 된 것이다. 따라서, 본 발명에 따르면 글래스의 탈부착이 용이하여 글래스의 손상을 방지하고, 탈부착에 따른 시간을 줄일 수 있으며, 연마제나 소모품의 손실을 줄여 비용을 절감할 수 있는 효과가 있다.

진공흡착, 연마장치, 글레스, 패드, 진공라인, 진공홀, 탈부착

Description

글래스 연마기의 상정반{Upper Plate of Glass Polisher}

도 1은 일반적인 글래스 연마기를 도시한 개략도,

도 2a는 글래스 연마기에서 종래의 상정반을 도시한 측단면도,

도 2b는 종래의 상정반에서 사용되는 패드를 도시한 개략도,

도 3은 본 발명에 따른 상정반을 도시한 측단면도,

도 4는 본 발명에 따른 상정반에서 패드를 제거한 상태의 바닥면을 도시한 평면도,

도 5는 도 4에서 상정반을 A-A방향으로 절단한 단면도,

도 6은 도 4에서 상정반을 B-B방향으로 절단한 단면도,

도 7은 본 발명에 따른 상정반에서 패드를 부착한 상태의 바닥면을 도시한 평면도,

도 8은 본 발명에 따른 상정반에서 패드를 도시한 개략도.

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

10,130: 상정반 20: 하정반

110: 축 112: 측면홀

114: 진공 라인 120: 연결부재

130a: 상정반의 상면 130b: 상정반의 바닥면

132: 내부 진공라인 134: 흡입 홀

136: 진공라인부 136V: 수직 진공라인 홈

136H: 수평 진공라인 홈 140: 패드

142: 진공홀 150: 글래스

본 발명은 글래스나 반도체 웨이퍼 등을 연마하는 글래스 연마장치에 관한 것으로, 특히 진공 흡착 방식을 적용한 엘시디(LCD) 글래스 연마장치의 상정반에 관한 것이다.

일반적으로, LCD나 각종 반도체 소자 제조공정에서는 글래스나 웨이퍼 등의 표면을 가공하는 연마장치가 필수적으로 사용된다.

일반적인 글래스 연마장치는 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 상정반(10)과 하정반(20)을 포함하여 연마제를 뿌려가면서 하정반(20)을 회전시켜 상정반(10)에 부착된 글래스(40)를 연마한다. 통상적으로 상정반(10)은 아암과 축에 의해 움직일 수 있으며 패드(14) 위에 연마대상을 장착한 후, 하정반(20)과 대향할 수 있도록 되어 있고, 하정반(20)은 하부의 전동모터(30)에 의해 대략 60rpm으로 회전되면서 상정반(10)과 함께 글래스(40)를 연마하도록 되어 있다. 이때 상정반(10)은 하정반(20) 위에서 좌우로 이동하면서 회전되고 엇갈린 하정반(20) 위에 연마제가 분출되면서 글래스(40)를 연마하도록 되어 있다.

도 2a는 글래스 연마기에서 종래의 상정반을 도시한 측단면도이고, 도 2b는 종래의 상정반에서 사용되는 패드를 도시한 개략도이다.

종래의 상정반(10)은 도 2a에 도시된 바와 같이, 축(11)에 연결부재(12)를 통해 베어링으로 연결되어 회동 가능한 원반형의 금속판으로 되어 있는데, 금속원반(13)의 바닥면 중앙부분에 4각형의 넓은 홈이 얇게 형성되어 도 2b에 도시된 바와 같은 패드(14)를 부착할 수 있도록 되어 있고, 이 패드(14)의 외부면에 연마대상인 글래스(40) 등을 부착하도록 되어 있다. 즉, 종래에 패드(14)는 도 2b에 도시된 바와 같이 양면(14a,14b)이 접착력을 갖고 있어 일면(14a)은 상정반측에 부착됨과 아울러 타면(14b)에 연마대상인 글래스(40)를 수동으로 부착하도록 되어 있다.

그런데 이와 같이 접착력을 갖는 패드를 이용하여 글래스를 부착할 경우, 연마 후 글래스를 떼어 놓는 과정에서 글래스가 잘 떨어지지 않아 글래스의 파손율이 높고 글래스가 오염되기 쉬운 문제점이 있다. 또한 글래스의 탈,부착시에 시간 손실이 크고, 연마제와 소모품의 손실도 큰 문제점이 있다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 상정반을 진공 흡착방식으 로 변경하여 글래스를 진공 흡착방식으로 접착하여 연마할 수 있도록 된 엘시디 글래스 연마기의 상정반을 제공하는데 그 목적이 있다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 상정반은, 축에 연결된 상정반과 하정반 사이에 글래스를 위치시킨 후 연마제를 뿌리며 상정반과 하정반을 회전시켜 상기 글래스를 연마시키도록 된 글래스 연마장치에 있어서, 제어에 따라 진공상태를 만드는 진공장치를 더 구비하고, 상기 상정반이 연결된 상기 축에 진공호스를 삽입하기 위한 진공라인이 형성되어 있고, 상기 상정반이 바닥면의 패드를 부착하기 위한 부분에 다수의 진공라인 홈이 형성되어 있고, 상기 진공라인 홈은 다수의 연결 홀과 내부의 진공라인을 통해 상기 축으로부터 내려온 진공라인과 만나게 되어 있는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 패드는 상기 진공라인 홈과 동일한 위치에 진공 홀이 형성되어 상기 패드와 진공라인 홈에 의해 형성된 공간이 진공상태가 되면 상기 패드의 진공 홀을 통해 공기가 상기 상정반 내부로 흡입되어 패드에 연마대상인 글래스를 진공 흡착할 수 있도록 된 것이고, 상기 진공라인 홈은 수직 진공라인 홈과 수평 진공라인 홈으로 이루어진 것이다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 자세히 설명하기로 한다.

도 3은 본 발명에 따른 상정반을 도시한 측단면도이고, 도 4는 본 발명에 따른 상정반에서 패드를 제거한 상태의 바닥면을 도시한 평면도이며, 도 5는 도 4에서 상정반을 A-A 방향으로 절단한 단면도, 도 6은 도 4에서 상정반을 B-B 방향으로 절단한 단면도이다.

본 발명에 따른 상정반은 도 3에 도시된 바와 같이, 원반형의 금속판(130)으로 되어 있는데 상면(130a)은 연결부재(120)내의 베어링을 통해 축(110)과 결합되어 회동 가능하게 되어 있고, 축(110)의 중앙 일부에는 진공 라인(114)이 형성되어 있으며 축(110)의 측면에는 진공 홀(112)이 형성되어 이 홀(112)을 통해 외부의 진공장치(200)로부터 진공 호스를 연결할 수 있도록 되어 있다.

또한 상정반 금속판의 바닥면(130b)에는 패드(140)를 부착하기 위한 4각형 부분(130c)에 도 4에 도시된 바와 같이 수직 진공라인 홈(136V)과 수평 진공라인 홈(136H)이 형성되어 있다. 그리고 상정반 바닥면(130b)의 수직 진공라인 홈(136V)과 수평 진공라인 홈(136H)에는 적절한 간격으로 상측으로 뚫린 4개의 연결 홀(134)이 형성되어 있고, 이 4개의 연결홀(134)이 금속원판(130)의 내부에 형성된 진공 라인(132)을 통해 축으로부터 내려온 진공라인(114) 부분과 만나게 되어 있다.

그리고 수직 진공라인 홈(136V)과 수평 진공라인 홈(136H) 위에는 도 7에 도시된 바와 같이 진공라인 홈(136)과 동일한 위치에 진공 홀(142)이 형성되어 배열된 패드(140)가 부착되어 패드(140)와 진공라인 홈(136)에 의해 형성된 공간이 진공상태가 되면 패드의 진공홀(142)을 통해 공기가 상정반 내부로 흡입되어 패드 (140)에 연마대상인 글래스(150)를 진공 흡착할 수 있도록 되어 있다.

도 4를 참조하면, 패드(140)가 부착될 상정반의 바닥면은 얇고 넓게 4각형(130c)으로 파여 있고, 이 부분에 수직 진공라인 홈(136V)과 수평 진공라인 홈(136H)이 형성된 것을 알 수 있다. 그리고 진공라인 홈(136)에는 상정반의 내부 수평 진공라인(132)과 연결되기 위한 4개의 구멍(134)이 형성되어 있고, 내부의 수평 진공라인(136H)은 축의 진공라인(114)과 연결되어 축의 측면에 진공호스를 통해 연결된 진공장치(200)가 동작하여 공기를 흡입할 경우에 바닥면의 수직 수평 가이드 홈(136V,136H)의 공기가 4개의 구멍(134)과 내부의 진공라인(132)을 거쳐 축의 진공 라인(114)을 통과하여 진공장치(200)로 빨려가도록 되어 있다.

그리고 상정반 바닥면(130b)의 패드 부착부분(130c)에는 도에 8도시된 바와 같이 일면은 접착제가 있고 타면은 매끈하며 수평 수직 진공라인(136)과 일치하는 위치에 진공 홀(142)이 형성된 패드(140)가 부착된다. 따라서 패드(140)의 접착제면을 상정반의 바닥면(130c)에 붙인 후 진공장치(200)를 동작시키면, 패드의 진공홀(142)을 통해 외부의 공기가 상정반을 거쳐 진공장치(200)로 흡입되면서 패드(140)의 매끄러운 면에 글래스(150)를 흡착시키게 된다.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면 상정반에 진공 흡착을 위한 진공라인과 진공 홀을 형성한 후 패드를 부착하여 연마 대상인 글래스 등을 진공으로 흡착하여 연마함으로써 글래스의 탈부착이 용이하여 글래스의 손상을 방지하고, 탈부착에 따른 시간을 줄일 수 있으며, 연마제나 소모품의 손실을 줄여 비용을 절감할 수 있는 효과가 있다.

Claims

축에 연결된 상정반과 하정반 사이에 글래스를 위치시킨 후 연마제를 뿌리며 상정반과 하정반을 회전시켜 상기 글래스를 연마시키도록 된 글래스 연마장치에 있어서,

제어에 따라 진공상태를 만드는 진공장치를 더 구비하고,

상기 상정반이 연결된 상기 축에 진공호스를 삽입하기 위한 진공라인이 형성되어 있고,

상기 상정반은 바닥면의 패드를 부착하기 위한 부분에 다수의 진공라인 홈이 형성되어 있고, 상기 진공라인 홈은 다수의 연결 홀과 내부의 진공라인을 통해 상기 축으로부터 내려온 진공라인과 연결되며,

상기 패드는 상기 진공라인 홈과 동일한 위치에 진공 홀이 형성되어 상기 상정반의 바닥면에 부착되며,

상기 패드와 진공라인 홈에 의해 형성된 공간이 진공상태가 되면 상기 패드의 진공 홀을 통해 공기가 상기 상정반 내부로 흡입되어 패드에 연마대상인 글래스를 진공 흡착할 수 있도록 구성된 것을 특징으로 하는 LCD 글래스 연마기의 상정반.
삭제
제1항에 있어서, 상기 진공라인 홈은

수직 진공라인 홈과 수평 진공라인 홈으로 이루어진 것을 특징으로 하는 LCD 글래스 연마기의 상정반.