CN212170018U - 抛光吸盘垫安装治具和边缘抛光装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种抛光吸盘垫安装治具和边缘抛光装置，所述抛光吸盘垫安装治具用于将吸盘垫圈和吸盘垫安装于抛光吸盘上，吸盘垫圈至少环绕安装于抛光吸盘的凸台的外周上，吸盘垫安装于吸盘垫圈和凸台的顶表面上；所述抛光吸盘垫安装治具包括可拆卸地环绕设置于凸台下方的抛光吸盘的外周上的支撑架，且支撑架位于吸盘垫圈的下方，以在凸台上安装吸盘垫圈和吸盘垫的过程中支撑吸盘垫圈和吸盘垫的边缘，并在吸盘垫圈和吸盘垫安装好之后拆除。本实用新型的技术方案能够避免抛光吸盘的凸台的侧壁和吸盘垫圈之间形成空隙，进而避免导致在空隙位置处的晶圆的底面产生凹坑缺陷，从而避免导致晶圆的良率下降。

Description

抛光吸盘垫安装治具和边缘抛光装置

技术领域

本实用新型涉及半导体制造设备领域，特别涉及一种抛光吸盘垫安装治具和边缘抛光装置。

背景技术

在半导体器件制造的过程中，一般需要对晶圆边缘进行抛光，以去除前道工序在边缘的缺陷(如划伤)，降低晶圆的边缘缺陷率，并将晶圆直径维持在一个稳定的范围以满足客户规格要求；同时，对于晶圆在清洗后的边缘颗粒清洗及外延制程的边缘缺陷率提供保证。

晶圆的边缘抛光一般在独立的边缘抛光装置上进行，参阅图1，图1是现有的边缘抛光装置的示意图，从图1中可看出，边缘抛光装置包括抛光吸盘11、吸盘垫圈12、吸盘垫13、抛光液入口14和抛光部15，抛光吸盘11、抛光液入口14和抛光部15均安装于一支撑单元(未图示)上。吸盘11具有一凸台(未图示)，在将晶圆16放置在抛光吸盘11上之前，先将吸盘垫圈12固定在抛光吸盘11的凸台的外周，再将吸盘垫13张贴在吸盘垫圈12和抛光吸盘11的顶表面上；在将晶圆16放置在吸盘垫13上之后，晶圆16被抛光吸盘11吸附固定住，抛光液从抛光液入口14滴到晶圆16上，抛光吸盘11带动晶圆16旋转，使得晶圆16上的抛光液被甩到晶圆16的边缘，同时，抛光部15也高速旋转以对晶圆16施加压力并与晶圆16维持相对运动，从而对晶圆16的边缘进行化学机械研磨。

由于在对晶圆16的边缘进行抛光的过程中会对晶圆16的边缘产生很高的压力，吸盘垫圈12需要有一定的空间弹性来减轻高压力在晶圆16上造成的边缘印记，因此，需要在吸盘垫圈12的下方留有一定的缓冲空间(即图1中的位于吸盘垫圈12下方的未被抛光吸盘11覆盖的环形区域)。但是，这个缓冲空间的存在会导致吸盘垫圈12和吸盘垫13在张贴的过程中下方无法得到足够的支撑，进而导致吸盘垫圈12和吸盘垫13张贴不紧密，使得在抛光吸盘11的凸台外周与吸盘垫圈12之间产生空隙(即图2中的空隙D1)，那么会导致吸盘垫13中的抛光液会进入空隙D1中并在空隙D1中积累，无法被清洗去除。并且，参阅图3，图3是图1所示的边缘抛光装置中的吸盘垫的示意图，从图3中可看出，由于吸盘垫13具有同心的多个环形圈131和连接环形圈131的多条支撑线条132，环形圈131之间有用于真空吸附晶圆16的间隙D2，间隙D2与空隙D1是相通的，空隙D1中长时间残留抛光液会导致抛光液穿过空隙D2与晶圆16的底面接触，进而对晶圆16的底面进行腐蚀，使得在空隙D1位置处的晶圆16底面的一圈产生凹坑缺陷，如图4中所示的晶圆16底面的一圈凹坑缺陷D3，从而导致晶圆的良率下降。

因此，需要提出一种抛光吸盘垫安装治具和边缘抛光装置，以避免在对晶圆进行边缘抛光的过程中导致晶圆的底面产生凹坑缺陷，进而避免导致晶圆的良率下降。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种抛光吸盘垫安装治具和边缘抛光装置，能够避免抛光吸盘的凸台的侧壁和吸盘垫圈之间形成空隙，进而避免导致在空隙位置处的晶圆的底面产生凹坑缺陷，从而避免导致晶圆的良率下降。

为实现上述目的，本实用新型提供了一种抛光吸盘垫安装治具，用于将吸盘垫圈和吸盘垫安装于抛光吸盘上，所述抛光吸盘具有一凸台，所述吸盘垫圈至少环绕安装于所述凸台的外周上，所述吸盘垫安装于所述吸盘垫圈和所述凸台的顶表面上，且所述吸盘垫圈和所述吸盘垫的外径均大于所述凸台下方的抛光吸盘的外径，所述抛光吸盘垫安装治具包括：支撑架，所述支撑架可拆卸地环绕设置于所述凸台下方的抛光吸盘的外周上，且所述支撑架位于所述吸盘垫圈的下方，以在所述凸台上安装所述吸盘垫圈和所述吸盘垫的过程中支撑所述吸盘垫圈和所述吸盘垫的边缘，并在所述吸盘垫圈和所述吸盘垫安装好之后拆除。

可选的，所述支撑架包括用于支撑所述吸盘垫圈和所述吸盘垫的边缘的支撑座和用于移动所述支撑座的把手，所述把手与所述支撑座固定连接。

可选的，所述支撑座至少覆盖所述吸盘垫圈和所述吸盘垫的未被所述抛光吸盘覆盖的边缘区域的底面。

可选的，所述支撑座为一圆环，所述圆环的内径与所述凸台下方的抛光吸盘的外径相等，所述圆环的外径不小于所述吸盘垫圈的外径和所述吸盘垫的外径。

可选的，所述圆环为一体成型；或者，所述圆环包括至少两个部件，且每个部件可拆卸地相互连接。

可选的，所述支撑座的高度与所述凸台下方的抛光吸盘的高度相同。

可选的，所述圆环的每个所述部件上均设置有一个所述把手。

可选的，所述把手包括连接部和持握部，所述持握部通过所述连接部与所述支撑座连接。

可选的，所述吸盘垫圈为一环形圈，所述吸盘垫圈的环形圈的内径与所述凸台的外径相等；所述吸盘垫包括同心的多个环形圈和连接各个环形圈的至少一支撑线条。

本实用新型还提供了一种边缘抛光装置，包括：本实用新型提供的所述抛光吸盘垫安装治具、具有凸台的抛光吸盘、依次安装于所述凸台上的吸盘垫圈和吸盘垫、用于将待抛光的晶圆移动到所述吸盘垫上的机械臂以及用于对所述晶圆进行抛光的抛光部，所述抛光部设置于所述晶圆的边缘外围。

与现有技术相比，本实用新型的技术方案具有以下有益效果：

1、本实用新型的抛光吸盘垫安装治具，由于吸盘垫圈至少环绕安装于抛光吸盘的凸台的外周上，吸盘垫安装于所述吸盘垫圈和所述凸台的顶表面上，且所述吸盘垫圈和所述吸盘垫的外径均大于所述凸台下方的抛光吸盘的外径；使得在将所述吸盘垫圈和所述吸盘垫安装于所述抛光吸盘上时，通过在所述吸盘垫圈的下方设置了环绕于凸台下方的抛光吸盘的外周上的支撑架，使得所述吸盘垫圈、所述吸盘垫以及所述抛光吸盘之间能够紧密贴合，避免在所述凸台的侧壁和所述吸盘垫圈之间形成空隙，进而避免抛光液在所述空隙中积累，从而避免导致在所述空隙位置处的所述晶圆的底面产生凹坑缺陷。

2、本实用新型的边缘抛光装置，由于包括本实用新型提供的所述抛光吸盘垫安装治具，使得吸盘垫圈、吸盘垫以及抛光吸盘之间能够紧密贴合，避免在抛光吸盘的凸台的侧壁和吸盘垫圈之间形成空隙，进而避免抛光液在空隙中积累，从而避免导致在空隙位置处的晶圆的底面产生凹坑缺陷。

附图说明

图1是现有的边缘抛光装置的示意图；

图2是图1所示的边缘抛光装置中的吸盘垫圈和吸盘垫张贴不紧密时的示意图；

图3是图1所示的边缘抛光装置中的吸盘垫的示意图；

图4是晶圆底面上的凹坑缺陷的示意图；

图5a～图5b是本实用新型一实施例的抛光吸盘垫安装治具的俯视示意图；

图6是采用图5a～图5b所示的抛光吸盘垫安装治具安装吸盘垫圈和吸盘垫时的示意图；

图7是采用图5a～图5b所示的抛光吸盘垫安装治具安装吸盘垫圈和吸盘垫之后的示意图。

其中，附图1～图7的附图标记说明如下：

11-抛光吸盘；12-吸盘垫圈；13-吸盘垫；131-环形圈；132-支撑线条；14-抛光液入口；15-抛光部；16-晶圆；21-抛光吸盘；211-凸台；212-底座；22-吸盘垫圈；23-吸盘垫；24-支撑架；241-支撑座；242-把手；2421-连接部；2422-持握部；25-工作台；26-旋转台。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、优点和特征更加清楚，以下对本实用新型提出的抛光吸盘垫安装治具和边缘抛光装置作进一步详细说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。

本实用新型一实施例提供一种抛光吸盘垫安装治具，参阅图5a至图7，图5a～图5b是本实用新型一实施例的抛光吸盘垫安装治具的俯视示意图，图6是采用图5a～图5b所示的抛光吸盘垫安装治具安装吸盘垫圈和吸盘垫时的示意图，图7是采用图5a～图5b所示的抛光吸盘垫安装治具安装吸盘垫圈和吸盘垫之后的示意图。从图5a至图7中可看出，所述抛光吸盘垫安装治具用于将吸盘垫圈22和吸盘垫23安装于抛光吸盘21上，所述抛光吸盘21具有一凸台211，所述吸盘垫圈22至少环绕安装于所述凸台211的外周上，所述吸盘垫23安装于所述吸盘垫圈22和所述凸台211的顶表面上，且所述吸盘垫圈22和所述吸盘垫23的外径均大于所述凸台211下方的抛光吸盘21的外径，所述抛光吸盘垫安装治具包括：支撑架24，所述支撑架24可拆卸地环绕设置于所述凸台211下方的抛光吸盘21的外周上，且所述支撑架24位于所述吸盘垫圈22的下方，以在所述凸台211上安装所述吸盘垫圈22和所述吸盘垫23的过程中支撑所述吸盘垫圈22和所述吸盘垫23的边缘，并在所述吸盘垫圈22和所述吸盘垫23安装好之后拆除。

其中，所述抛光吸盘21用于对待边缘抛光的晶圆进行真空吸附，使得在对所述晶圆的边缘抛光的过程中，所述晶圆能够被固定住。所述抛光吸盘21包括凸台211和底座212，所述凸台211位于所述底座212的顶表面的中心，且所述凸台211的外径小于所述底座212的外径。

所述吸盘垫圈22为一环形圈，环绕安装于所述凸台211的外周上，所述凸台211的外径与所述吸盘垫圈22的环形圈的内径相等，使得所述吸盘垫圈22能够与所述凸台211的侧壁紧密接触。所述凸台211的高度与所述吸盘垫圈22的厚度相同；所述吸盘垫23设置于所述吸盘垫圈22和所述凸台211的顶表面上。

所述凸台211和所述底座212的外圈均为圆形，且所述吸盘垫圈22和所述吸盘垫23的内外圈均为圆形，所述晶圆的直径大于所述吸盘垫圈22和所述吸盘垫23的外径，以使得能够对所述晶圆的边缘进行抛光。

所述吸盘垫圈22的外径可以等于或者略小于所述吸盘垫23的外径，以使得所述吸盘垫23能够覆盖所述吸盘垫圈22。

所述吸盘垫23的材质较软且具有吸水性，例如可以为无纺布，使得所述吸盘垫23与所述晶圆接触的时候避免划伤所述晶圆，且能够吸收抛光液。

所述吸盘垫圈22和所述吸盘垫23的外径均大于所述凸台211下方的抛光吸盘21的外径(即大于所述底座212的外径)，以使得在所述吸盘垫圈22的下方留有一定的缓冲空间，即位于所述吸盘垫圈22下方的未被所述底座212覆盖的环形区域。所述吸盘垫圈22的材质具有较大的强度和韧性，例如为塑料，以使得所述吸盘垫圈22对所述吸盘垫23起到支撑作用的同时，还能在所述晶圆的边缘受到抛光高压时，通过所述吸盘垫圈22的韧性以及所述吸盘垫圈22下方的缓冲空间，来减轻高压力在晶圆上造成的边缘印记。

但是，所述缓冲空间的存在会导致所述吸盘垫圈22和所述吸盘垫23在安装的过程中下方无法得到足够的支撑，导致所述吸盘垫圈22和所述吸盘垫23与所述抛光吸盘21之间安装不紧密，所述吸盘垫圈22不再与所述凸台211的顶表面齐平，而是向下倾斜并与所述凸台211的顶表面之间存在一定的夹角，且所述吸盘垫23的边缘也会发生向下倾斜，进而使得在所述抛光吸盘21的凸台211的外周与所述吸盘垫圈22之间形成空隙(即图2中的空隙D1)。

并且，由于所述吸盘垫23具有同心的多个环形圈和连接各个环形圈的至少一条支撑线条(可参阅图3)，相邻的所述环形圈之间有用于真空吸附所述晶圆的间隙(即图3中的间隙D2)。且所述吸盘垫23的最外圈和最内圈的环形圈的宽度大于位于二者之间的环形圈的宽度，以使得存在足够多的间隙能够确保对所述晶圆的真空吸附力足够的同时，还能使得所述吸盘垫23能够起到保护所述晶圆的底面不被划伤的作用。同时，所述吸盘垫23的最外圈的环形圈的内径小于所述凸台211的外径，以使得在所述吸盘垫圈22和所述吸盘垫23分别与所述抛光吸盘21之间安装紧密时，所述吸盘垫23的最外圈的环形圈能够覆盖到所述凸台211的侧壁与所述吸盘垫圈22的接触处。但是，如果在安装之后，所述吸盘垫圈22和所述吸盘垫23的边缘向下发生倾斜，则会导致所述吸盘垫23的最外圈的环形圈存在与所述凸台211的顶表面以及与所述吸盘垫圈22的顶表面脱离(脱胶)的情况，进而导致与所述吸盘垫23的最外圈的环形圈相邻的间隙会与所述空隙连通。

在对所述晶圆的边缘进行抛光的过程中，抛光液从所述晶圆上方的抛光液入口滴到所述晶圆上，所述抛光吸盘21带动所述晶圆旋转，使得所述晶圆上的抛光液被甩到所述晶圆的边缘，同时，设置于所述晶圆边缘外围的抛光部也高速旋转以对所述晶圆施加压力并与所述晶圆维持相对运动，从而对所述晶圆的边缘进行化学机械研磨。其中，由于所述吸盘垫23的材质具有吸水性，被甩到所述晶圆的边缘的抛光液会流到所述晶圆的底面，被所述吸盘垫23吸收；并且，在所述晶圆放置到所述吸盘垫23上之前也会经过一道抛光工艺，所述晶圆底面在前道工艺残留的抛光液也会被带到所述间隙中以及被所述吸盘垫23吸收。因此，所述间隙中以及所述吸盘垫23内部均会积累有抛光液；当所述抛光吸盘21的凸台211的外周与所述吸盘垫圈22之间形成的空隙与所述间隙连通时，所述间隙中的抛光液会进入到所述空隙中，导致所述空隙内也会积累抛光液。

而由于所述空隙的周围被所述凸台211、所述吸盘垫圈22以及所述吸盘垫23包围，即使每次边缘抛光之后对所述吸盘垫23进行清洗，所述空隙中的抛光液也很难被清洗去除。所述空隙中积累的抛光液的浓度会比所述晶圆下方的其它位置的抛光液的浓度都大，导致在对所述晶圆进行边缘抛光的过程中，所述空隙中的抛光液比其它位置的抛光液对所述晶圆的底面的腐蚀程度更大，进而导致在所述空隙位置处的所述晶圆的底面产生一圈凹坑缺陷(如图4中的缺陷D3)。因此，需要在对所述吸盘垫圈22和所述吸盘垫23进行安装的过程中就避免形成所述空隙。

为了避免形成所述空隙，需采用所述抛光吸盘垫安装治具将吸盘垫圈22和吸盘垫23安装于抛光吸盘21上，下面对所述抛光吸盘垫安装治具进行详细说明。

所述抛光吸盘垫安装治具包括支撑架24，所述支撑架24可拆卸地环绕设置于所述凸台211下方的抛光吸盘21的外周(即所述底座212的外周)上，且所述支撑架24位于所述吸盘垫圈22的下方，以在所述凸台211上安装所述吸盘垫圈22和所述吸盘垫23的过程中支撑所述吸盘垫圈22和所述吸盘垫23的边缘，并在所述吸盘垫圈22和所述吸盘垫23安装好之后拆除。

也就是说，先将所述支撑架24环绕设置于所述底座212的外周，再将所述吸盘垫圈22环绕安装于所述凸台211的外周，接着将所述吸盘垫23安装于所述凸台211和所述吸盘垫圈22的顶表面。参阅图6，在此过程中，由于所述支撑架24的存在，使得在对所述吸盘垫圈22和所述吸盘垫23的边缘(即未被所述底座212覆盖的环形区域)进行施力安装时，所述吸盘垫圈22以及所述吸盘垫23的边缘也不会向下倾斜，从而使得所述吸盘垫圈22、所述吸盘垫23以及所述抛光吸盘21之间能够紧密贴合，避免形成所述空隙；并且，安装的过程可以在一工作台25上进行。另外，如图7所示，安装完成之后，可以拆除所述支撑架24，并将安装好所述吸盘垫圈22和所述吸盘垫23的所述抛光吸盘21安装于一旋转台26上，所述旋转台26可以带动所述抛光吸盘21旋转以及对所述抛光吸盘21起到支撑作用。

另外，如图5a和图5b所示，所述支撑架24包括用于支撑所述吸盘垫圈22和所述吸盘垫23的边缘的支撑座241和用于移动所述支撑座241的把手242，所述把手242与所述支撑座241固定连接。

所述支撑座241至少覆盖所述吸盘垫圈22和所述吸盘垫23的未被所述抛光吸盘21覆盖的边缘区域的底面，以使得所述支撑座241能够对所述吸盘垫圈22和所述吸盘垫23的边缘起到支撑作用。

所述支撑座241的高度与所述凸台211下方的抛光吸盘21的高度相同，如图6所示，所述支撑座241的高度为h1；如图7所示，所述底座212的高度为h2，h1＝h2，以使得所述吸盘垫圈22的底表面与所述支撑座241的顶表面紧密贴合，进而使得在安装所述吸盘垫圈22和所述吸盘垫23的过程中，所述支撑座241能够支撑所述吸盘垫圈22。

所述支撑座241可以为一圆环，所述圆环的内径与所述凸台211下方的抛光吸盘21(即所述底座212)的外径相等，所述圆环的外径不小于所述吸盘垫圈22的外径和所述吸盘垫23的外径，以使得所述支撑座241能够对所述吸盘垫圈22和所述吸盘垫23的边缘起到支撑作用。

所述圆环可以为一体成型，如图5b所示，所述圆环为一个整体；此时，所述支撑架24需要从上往下环绕设置于所述底座212的外周。或者，如图5a所示，所述圆环可以包括至少两个部件，且每个部件可拆卸地相互连接，以拼接成一个圆环；此时，所述圆环的每个部件可以由外向内拼接于所述底座212的外周。

当所述圆环为一体成型时，所述圆环上可以设置至少一个把手242；当所述圆环包括至少两个部件时，所述圆环的每个所述部件上可以均设置有一个所述把手242，以用于移动所述支撑座241。

所述把手242可以包括连接部2421和持握部2422，所述持握部2422通过所述连接部2421与所述支撑座241连接。

另外，所述支撑架24的材质需满足无尘室要求，不得引入外来颗粒及金属污染。

综上所述，在将所述吸盘垫圈22和所述吸盘垫23安装于所述抛光吸盘21上时，由于在所述吸盘垫圈22的下方设置了环绕于所述凸台211下方的抛光吸盘21的外周上的所述支撑架24，使得所述吸盘垫圈22、所述吸盘垫23以及所述抛光吸盘21之间能够紧密贴合，避免在所述凸台211的侧壁和所述吸盘垫圈22之间形成所述空隙，进而避免抛光液在所述空隙中积累，从而避免导致在所述空隙位置处的所述晶圆的底面产生一圈凹坑缺陷。

本实用新型一实施例提供一种边缘抛光装置，包括：本实用新型提供的所述抛光吸盘垫安装治具、具有凸台的抛光吸盘、依次安装于所述凸台上的吸盘垫圈和吸盘垫、用于将待抛光的晶圆移动到所述吸盘垫上的机械臂以及用于对所述晶圆进行抛光的抛光部，所述抛光部设置于所述晶圆的边缘外围。

所述抛光吸盘垫安装治具包括一支撑架，可以将所述支撑架可拆卸地环绕设置于所述凸台下方的抛光吸盘的外周上，且所述支撑架位于所述吸盘垫圈的下方，以在所述凸台上安装所述吸盘垫圈和所述吸盘垫的过程中支撑所述吸盘垫圈和所述吸盘垫的边缘，并在所述吸盘垫圈和所述吸盘垫安装好之后拆除。由于采用了所述抛光吸盘垫安装治具安装所述吸盘垫圈和所述吸盘垫，使得所述吸盘垫圈、所述吸盘垫以及所述抛光吸盘之间能够紧密贴合，避免在所述凸台的侧壁和所述吸盘垫圈之间形成空隙，进而避免抛光液在所述空隙中积累，从而避免导致在所述空隙位置处的所述晶圆的底面产生一圈凹坑缺陷。

在所述吸盘垫圈和所述吸盘垫安装好之后，将所述抛光吸盘安装于抛光机台上，采用所述机械臂将待抛光的晶圆移动到所述吸盘垫上。抛光液从抛光液入口滴到所述晶圆上，所述抛光吸盘带动所述晶圆以一定的转速旋转，使得所述晶圆上的抛光液被甩到所述晶圆的边缘，同时，所述抛光部也以一定的转速旋转且与所述晶圆的旋转方向和转速不同，以使得所述抛光部与所述晶圆维持相对运动的同时，还对所述晶圆的边缘施加压力，从而对所述晶圆的边缘进行化学机械研磨。

上述描述仅是对本实用新型较佳实施例的描述，并非对本实用新型范围的任何限定，本实用新型领域的普通技术人员根据上述揭示内容做的任何变更、修饰，均属于权利要求书的保护范围。

Claims (10)

1.一种抛光吸盘垫安装治具，用于将吸盘垫圈和吸盘垫安装于抛光吸盘上，所述抛光吸盘具有一凸台，所述吸盘垫圈至少环绕安装于所述凸台的外周上，所述吸盘垫安装于所述吸盘垫圈和所述凸台的顶表面上，且所述吸盘垫圈和所述吸盘垫的外径均大于所述凸台下方的抛光吸盘的外径，其特征在于，所述抛光吸盘垫安装治具包括：支撑架，所述支撑架可拆卸地环绕设置于所述凸台下方的抛光吸盘的外周上，且所述支撑架位于所述吸盘垫圈的下方，以在所述凸台上安装所述吸盘垫圈和所述吸盘垫的过程中支撑所述吸盘垫圈和所述吸盘垫的边缘，并在所述吸盘垫圈和所述吸盘垫安装好之后拆除。

2.如权利要求1所述的抛光吸盘垫安装治具，其特征在于，所述支撑架包括用于支撑所述吸盘垫圈和所述吸盘垫的边缘的支撑座和用于移动所述支撑座的把手，所述把手与所述支撑座固定连接。

3.如权利要求2所述的抛光吸盘垫安装治具，其特征在于，所述支撑座至少覆盖所述吸盘垫圈和所述吸盘垫的未被所述抛光吸盘覆盖的边缘区域的底面。

4.如权利要求2所述的抛光吸盘垫安装治具，其特征在于，所述支撑座为一圆环，所述圆环的内径与所述凸台下方的抛光吸盘的外径相等，所述圆环的外径不小于所述吸盘垫圈的外径和所述吸盘垫的外径。

5.如权利要求4所述的抛光吸盘垫安装治具，其特征在于，所述圆环为一体成型；或者，所述圆环包括至少两个部件，且每个部件可拆卸地相互连接。

6.如权利要求2所述的抛光吸盘垫安装治具，其特征在于，所述支撑座的高度与所述凸台下方的抛光吸盘的高度相同。

7.如权利要求5所述的抛光吸盘垫安装治具，其特征在于，所述圆环的每个所述部件上均设置有一个所述把手。

8.如权利要求2或5所述的抛光吸盘垫安装治具，其特征在于，所述把手包括连接部和持握部，所述持握部通过所述连接部与所述支撑座连接。

9.如权利要求1所述的抛光吸盘垫安装治具，其特征在于，所述吸盘垫圈为一环形圈，所述吸盘垫圈的环形圈的内径与所述凸台的外径相等；所述吸盘垫包括同心的多个环形圈和连接各个环形圈的至少一支撑线条。

10.一种边缘抛光装置，其特征在于，包括：如权利要求1至9中任一项所述的抛光吸盘垫安装治具、具有凸台的抛光吸盘、依次安装于所述凸台上的吸盘垫圈和吸盘垫、用于将待抛光的晶圆移动到所述吸盘垫上的机械臂以及用于对所述晶圆进行抛光的抛光部，所述抛光部设置于所述晶圆的边缘外围。

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