JP5226394B2 - フランジの端面修正方法 - Google Patents
フランジの端面修正方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5226394B2 JP5226394B2 JP2008156840A JP2008156840A JP5226394B2 JP 5226394 B2 JP5226394 B2 JP 5226394B2 JP 2008156840 A JP2008156840 A JP 2008156840A JP 2008156840 A JP2008156840 A JP 2008156840A JP 5226394 B2 JP5226394 B2 JP 5226394B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- flange
- face
- holding
- correcting
- grindstone
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000012937 correction Methods 0.000 title claims description 45
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 18
- 239000004575 stone Substances 0.000 claims description 2
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 29
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 7
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 2
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 2
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000000284 extract Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 229920000098 polyolefin Polymers 0.000 description 1
- 229920000915 polyvinyl chloride Polymers 0.000 description 1
- 239000004800 polyvinyl chloride Substances 0.000 description 1
- 239000000047 product Substances 0.000 description 1
- 229920002994 synthetic fiber Polymers 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Dicing (AREA)
- Jigs For Machine Tools (AREA)
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
- Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)
Description
10 保持手段
11 保持面
31 ブレード
32 スピンドル
35 ナット
36 フランジ
36c 端面
50 フランジ端面修正治具
51 砥石
52 固定部
53 基台部
60 端面修正用シート
61 貫通孔
Claims (3)
- 回転可能に支持されたスピンドルの先端にナットによって固定されてワークを切削加工するブレードを挟持するフランジの端面修正方法であって、
負圧によってワークを保持する保持面を有する保持手段に、前記フランジの端面を修正する砥石と該砥石を固定する固定部と該固定部を支持する基台部とを有するフランジ端面修正治具の前記基台部を、前記保持面以上の面積を有し少なくとも前記基台部と前記保持面とに挟まれる領域に貫通孔を有する端面修正用シートを介して保持するステップと、
前記フランジの端面を、前記保持手段に保持された前記端面修正治具の前記砥石に接触させるように位置付けるステップと、
前記フランジを回転させて前記砥石により該フランジの端面を修正するステップと、
を含むことを特徴とするフランジの端面修正方法。 - 前記端面修正用シートとして、屈曲性を有するシートを用いることを特徴とする請求項1に記載のフランジの端面修正方法。
- 前記保持面がポーラス部材で形成された前記保持手段を用いることを特徴とする請求項1または2に記載のフランジの端面修正方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008156840A JP5226394B2 (ja) | 2008-06-16 | 2008-06-16 | フランジの端面修正方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008156840A JP5226394B2 (ja) | 2008-06-16 | 2008-06-16 | フランジの端面修正方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009297855A JP2009297855A (ja) | 2009-12-24 |
JP5226394B2 true JP5226394B2 (ja) | 2013-07-03 |
Family
ID=41545284
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008156840A Active JP5226394B2 (ja) | 2008-06-16 | 2008-06-16 | フランジの端面修正方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5226394B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11351651B2 (en) * | 2017-11-16 | 2022-06-07 | Disco Corporation | Cutting apparatus |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011183501A (ja) * | 2010-03-08 | 2011-09-22 | Disco Corp | 切削ブレードのドレッシング方法 |
JP5613439B2 (ja) * | 2010-04-15 | 2014-10-22 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
JP5996382B2 (ja) * | 2012-11-06 | 2016-09-21 | 株式会社ディスコ | 切削装置のチャックテーブル |
JP6444230B2 (ja) * | 2015-03-24 | 2018-12-26 | 株式会社ディスコ | 切削ブレードの交換方法 |
JP6430329B2 (ja) | 2015-05-13 | 2018-11-28 | Towa株式会社 | 切断装置及び切断方法 |
JP6486785B2 (ja) * | 2015-07-09 | 2019-03-20 | 株式会社ディスコ | 端面修正治具および端面修正方法 |
JP2017024093A (ja) * | 2015-07-17 | 2017-02-02 | Towa株式会社 | 切断装置及び切断方法 |
JP7043346B2 (ja) * | 2018-05-18 | 2022-03-29 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
CN109732155B (zh) * | 2019-01-29 | 2021-02-09 | 上海槎南工贸发展有限公司 | 一种三向定位夹具 |
JP7169948B2 (ja) * | 2019-09-03 | 2022-11-11 | Towa株式会社 | フランジ端面修正装置、切断装置、フランジ端面修正方法及び切断品の製造方法 |
CN112296815A (zh) * | 2020-10-21 | 2021-02-02 | 安徽科技学院 | 一种风力发电机叶片的打磨设备 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH031172Y2 (ja) * | 1985-05-16 | 1991-01-16 | ||
JP3472390B2 (ja) * | 1995-06-09 | 2003-12-02 | 株式会社ディスコ | フランジ端面修正治具 |
JP4388164B2 (ja) * | 1999-06-25 | 2009-12-24 | 株式会社トプコン | 異なるサイズの接触面を有するアダプターと、これを用いた異物検査装置 |
JP4649059B2 (ja) * | 2001-05-25 | 2011-03-09 | アピックヤマダ株式会社 | ワーク搬送装置及びダイシング装置 |
JP4629548B2 (ja) * | 2005-10-03 | 2011-02-09 | 株式会社目白プレシジョン | 投影露光装置 |
-
2008
- 2008-06-16 JP JP2008156840A patent/JP5226394B2/ja active Active
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11351651B2 (en) * | 2017-11-16 | 2022-06-07 | Disco Corporation | Cutting apparatus |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009297855A (ja) | 2009-12-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5226394B2 (ja) | フランジの端面修正方法 | |
US7608523B2 (en) | Wafer processing method and adhesive tape used in the wafer processing method | |
JP4874602B2 (ja) | ウエーハの加工方法およびウエーハの加工方法に用いる粘着テープ | |
JP4763389B2 (ja) | 切削工具 | |
JP5717571B2 (ja) | 切削装置 | |
JP6576135B2 (ja) | 切削ブレードの先端形状成形方法 | |
TW201600246A (zh) | 磨削裝置及矩形基板之磨削方法 | |
TWI770322B (zh) | 切割裝置 | |
JP5679887B2 (ja) | フランジの端面修正方法 | |
TWI408726B (zh) | Sheet attachment and attachment method | |
TW201544244A (zh) | 磨削裝置及矩形基板之磨削方法 | |
JP5148925B2 (ja) | フレームクランプ | |
JP5340832B2 (ja) | マウントフランジの端面修正方法 | |
CN110497270B (zh) | 切削装置 | |
JP2009297882A (ja) | 加工装置 | |
JP2008254132A (ja) | チャックテーブル | |
JP5384193B2 (ja) | 被加工物の保持ユニット | |
JP5340835B2 (ja) | マウントフランジの端面修正方法 | |
JP5081600B2 (ja) | 修正器具 | |
JP2015089606A (ja) | 加工装置 | |
JP7486893B2 (ja) | ブレード交換装置及びブレード交換装置の調整方法 | |
JP2010010339A (ja) | 研削方法 | |
JP7152882B2 (ja) | 被加工物ユニットの保持方法 | |
JP6850569B2 (ja) | 研磨方法 | |
JP2012187693A (ja) | ドレス材及びドレッシング方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110513 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130124 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130226 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130314 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5226394 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160322 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |