JP2008254132A - チャックテーブル - Google Patents
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Abstract
【課題】
ウェーハの剥がれを無くし、精密に加工することが可能となるウェーハのチャックテーブルを提供すること。
【解決手段】
ポーラス板7が接合されるチャックテーブル基台2の接合面8上に形成された溝3A〜3Fと、負圧を伝達する流路5と溝3A〜3Fとを連通させる穴4A〜4Eとは、内周部に位置する穴4Aよりも外周部に位置する穴4Eの方が大きい内径であって、内周部に位置する溝3Aよりも外周部に位置する溝3Fの方が広い幅であり、外周部により大きな負圧を伝達する。
【選択図】図1
ウェーハの剥がれを無くし、精密に加工することが可能となるウェーハのチャックテーブルを提供すること。
【解決手段】
ポーラス板7が接合されるチャックテーブル基台2の接合面8上に形成された溝3A〜3Fと、負圧を伝達する流路5と溝3A〜3Fとを連通させる穴4A〜4Eとは、内周部に位置する穴4Aよりも外周部に位置する穴4Eの方が大きい内径であって、内周部に位置する溝3Aよりも外周部に位置する溝3Fの方が広い幅であり、外周部により大きな負圧を伝達する。
【選択図】図1
Description
本発明は、半導体装置や電子部品等の素材となるウェーハが吸着載置されるチャックテーブルに関する。
半導体装置や電子部品等の素材となるシリコン等のウェーハは、インゴットの状態から内周刃やワイヤーソー等のスライシング装置でスライスされた後、その周縁の割れや欠け等を防止するために外周部に面取り加工が施される。面取り加工に使用される面取り装置は、ウェーハ外周部を研削する外周部用砥石や、方位の基準位置となるV字状のノッチ部を研削するノッチ部用砥石等の各種砥石が複数取り付けられ、これらの砥石をスピンドルにより高速に回転させて加工を行なう。加工の際には、ウェーハを回転するチャックテーブル上に吸着載置し、Xガイド、Yガイド、及びZガイドの各ガイド軸によりウェーハと砥石とを相対的に移動させ、砥石に形成された面取り用の溝へウェーハ外周部を当てることにより面取り加工を行う。
図3に面取り装置の例を示す。図3は面取り装置の側面図である。面取り装置10は、ウェーハ送りユニット20、砥石回転ユニット50、図示しないウェーハ供給/収納部、ウェーハ洗浄/乾燥部、ウェーハ搬送手段、及び面取り装置各部の動作を制御するコントローラ等から構成されている。
ウェーハ送りユニット20は、本体ベース11上に載置されたX軸ベース21、2本のX軸ガイドレール22、22、4個のX軸リニアガイド23、23、…、ボールスクリュー及びサーボモータから成るX軸駆動手段25によって図のX方向に移動されるXテーブル24を有している。
Xテーブル24には、2本のY軸ガイドレール26、26、4個のY軸リニアガイド27、27、…、図示しないボールスクリュー及びサーボモータから成るY軸駆動手段によって図のY方向に移動されるYテーブル28が組込まれている。
Yテーブル28には、2本のZ軸ガイドレール29、29と図示しない4個のZ軸リニアガイドによって案内され、ボールスクリュー及びステッピングモータから成るZ軸駆動手段30によって図のZ方向に移動されるZテーブル31が組込まれている。
Zテーブル31には、θ軸モータ32、θスピンドル33が組込まれ、θスピンドル33にはウェーハWを吸着載置するチャックテーブル34が取り付けられており、チャックテーブル34はチャックテーブル回転軸心CWを中心として図のθ方向に回転される。チャックテーブル34の上面は、図示しない真空源と連通する吸着面になっており、面取り加工されるウェーハW、または面取り加工を行う砥石をツルーイングするツルーイング砥石T(以下、ツルアーと称する)が載置されて吸着固定される。
このウェーハ送りユニット20によって、ウェーハW及びツルアーは図のθ方向に回転されるとともに、X、Y、及びZ方向に移動される。
砥石回転ユニット50は、複数の外周粗研削用溝が形成された外周加工砥石52が取り付けられ、図示しない外周砥石モータによって軸心CHを中心に回転駆動される外周砥石スピンドル51、外周加工砥石52の上方に取付けられた外周精研スピンドル54及び外周精研モータ56、ノッチ粗研スピンドル60及びノッチ粗研モータ62、ノッチ精研スピンドル57及びノッチ精研モータ59を有している。
外周精研スピンドル54にはウェーハWの外周を仕上げ研削する面取り用砥石である外周精研削砥石55が取付けられている。ノッチ粗研スピンドル60にはノッチ粗研削砥石61が、またノッチ精研スピンドル57には、ノッチ部を仕上げ研削する面取り砥石であるノッチ精研削砥石58が取付けられている。
外周精研削砥石55、ノッチ粗研削砥石61、及びノッチ精研削砥石58は、ロータリー63が回転することにより、それぞれ加工位置へ移動する。
外周精研削砥石55とノッチ精研削砥石58とは、チャックテーブル34上面に載置されたツルアーT、またはチャックテーブル下部に取り付けられたツルアーTによりツルーイングされ外周精研削用溝が形成される。
このような面取り装置としては例えば、特許文献1に記載されるウェーハ面取り装置が提案されている。
特開2005−153085号公報
前述の通り、半導体装置や電子部品等の素材となるウェーハは、インゴットの状態から内周刃やワイヤーソー等のスライシング装置でスライスされ、面取り装置のチャックテーブル上に吸着載置されて各種砥石により外周部の面取り加工が行われる。このとき、チャックテーブル上に吸着載置されたウェーハは、外周部を加工する為にチャックテーブル上から外周部が飛び出すように吸着載置されている。
近年、加工されるウェーハの厚みは、半導体装置や電子部品等の小型、薄型化に伴いより薄く加工されるようになり、ウェーハに反りが発生しやすく、加工中にウェーハが歪む場合があった。このような反りのあるウェーハは、チャックテーブルへ吸着載置する際に強固に吸着されにくく、外周部にかかる加工抵抗により加工中にチャックテーブル外周部より剥がれ始める問題が発生する。また、加工中に生じたウェーハの歪みにより、ウェーハが強く引かれ、吸着しているチャックテーブルの外周部付近から剥がれ始め、加工精度が非常に悪くなる問題も発生していた。
本発明は、このような問題に対して成されたものであり、ウェーハの剥がれを無くし、精密に加工することが可能となるウェーハのチャックテーブルを提供することを目的としている。
本発明は前記目的を達成するために、ウェーハが吸着される多孔質材料からなる吸着板がチャックテーブル基台に接合されて製造されるチャックテーブルにおいて、前記吸着板が接合される前記チャックテーブル基台の接合面上には、前記ウェーハを吸着するための負圧を伝達する複数の溝が同心円状に形成され、前記チャックテーブル基台の内部には前記溝と連通する複数の穴と前記負圧を発生させる吸引装置に接続される接続穴とが設けられた流路が形成され、前記溝は内周部に位置する溝より、外周部に位置する溝の幅が広く、前記接続穴は前記接合面まで達することの無い位置まで形成されていることを特徴としている。
また、本発明はウェーハが吸着される多孔質材料からなる吸着板がチャックテーブル基台に接合されて製造されるチャックテーブルにおいて、前記吸着板が接合される前記チャックテーブル基台の接合面上には、前記ウェーハを吸着するための負圧を伝達する複数の溝が同心円状に形成され、前記チャックテーブル基台の内部には前記溝と連通する複数の穴と前記負圧を発生させる吸引装置に接続される接続穴とが設けられた流路が形成され、前記溝に連通する複数の穴は、内周部に位置する溝に連通する穴よりも外周部に位置する溝に連通する穴の内径が大きく、前記接続穴は前記接合面まで達することの無い位置まで形成されていることを特徴としている。
更に、本発明はウェーハが吸着される多孔質材料からなる吸着板がチャックテーブル基台に接合されて製造されるチャックテーブルにおいて、前記吸着板が接合される前記チャックテーブル基台の接合面上には、前記ウェーハを吸着するための負圧を伝達する複数の溝が同心円状に形成され、前記チャックテーブル基台の内部には前記溝と連通する複数の穴と前記負圧を発生させる吸引装置に接続される接続穴とが設けられた流路が形成され、前記溝は内周部に位置する溝より、外周部に位置する溝の幅が広く、且つ前記溝に連通する複数の穴は、内周部に位置する溝に連通する穴よりも外周部に位置する溝に連通する穴の内径が大きく、且つ前記接続穴は前記接合面まで達することの無い位置まで形成されていることも特徴としている。
本発明によれば、セラミックポーラス等の多孔質材料からなる吸着板がチャックテーブル基台に接着接合されて製造されるチャックテーブルにおいて、吸着版が接合されるチャックテーブル基台上の接合面には同心円状の溝が複数形成されている。
チャックテーブル基台内部には、各溝に連通する複数の穴とウェーハを吸着するための負圧を発生させる吸引装置と接続される接続穴とがけられている流路が形成されている。
吸引装置でエアを吸引することにより発生した負圧は、接続穴より流路に伝わり、各溝に連通する穴と各溝とから吸着板の各部に伝わりウェーハを吸引する。
このとき、溝は内周部に位置する溝より、外周部に位置する溝の幅が広く形成されている。または、溝に連通する複数の穴は、内周部に位置する溝に連通する穴よりも外周部に位置する溝に連通する穴の内径が大きく形成されている。更には、接続穴は吸着板が接合される面まで達してチャックテーブルを貫通してしまうことが無い位置まで形成されている。
これらにより、チャックテーブル外周部で吸引されるエアの量が増え、ウェーハを吸着する力が上がり、ウェーハの剥がれが無くなり精密に加工することが可能となる。
また、本発明は内周部に位置する前記溝の最小幅は1mmであって、外周部に位置する前記溝の最大幅は5mmであること、および内周部に位置する溝に連通する前記穴の最小内径は2mmであって、外周部に位置する溝に連通する前記穴の最大内径は6mmであることも特徴としている。
本発明によれば最適な吸着力でウェーハ各部が吸着され、ウェーハの剥がれが無くなり精密に加工することが可能となる。
以上説明したように、本発明のチャックテーブルによれば、外周部の吸着力が上がりウェーハの剥がれが無く、精密に加工することが可能となる。
以下、添付図面に従って本発明に係るチャックテーブルの好ましい実施の形態について詳説する。
まず初めに、本発明に係わるチャックテーブルの構成について説明する。図1はチャックテーブルの構造を示した斜視図、図2はチャックテーブル基台の上面図と断面図である。
チャックテーブル1は、図1に示すように、チャックテーブル基台2に形成された接合面8上に吸着板としてのポーラス板7が接着剤等を用いて接合されることにより製造される。チャックテーブル1は、図3に示す面取り装置10や、各種の加工装置等に取り付けられ、各装置に設けられた吸引装置により発生した負圧によりウェーハWを吸着保持する。なお、チャックテーブル1が面取り装置10に取り付けられる場合は、チャックテーブル1の外径はウェーハWの外径よりも小さくなる。
ポーラス板7は、セラミック等を用いた多孔質材料により形成され、吸引装置により発生しチャックテーブル基台2内部を通して接合面8より伝達される負圧が、多孔質の隙間を通ってポーラス板7の表面(接合面8と接合している面とは逆の面)へ伝達されてウェーハWを吸着保持する。
チャックテーブル基台2には、図2に示すように内部に複数の流路5と、接合面8上に同心円状に形成された溝3A、3B、3C、3D、3E、3F及び直線状の溝3G、3H、3Iと、流路5より溝3A〜3Iへ連通する穴4A、4B、4C、4D、4Eと、裏面側(接合面8と対向する面。またはチャックテーブル1が各種装置に設置される面)に流路5へ貫通する接続穴6が形成されている。
同心円上に形成された溝3A〜3Fは、チャックテーブル基台2の中心部に近い溝3A、3Bの溝幅よりも、チャックテーブル基台2の外周部に近い溝3E、3Fの幅のほうがより広く、溝3A〜3Fの幅は、最小の幅が1mm、最大の幅が5mmとなっている。なお、この最小と最大の溝幅の範囲であり、内周部に位置する溝3Aよりも外周部に位置する溝3Fの方が広い幅であれば、溝3A〜3Fの溝幅はいずれの値であってもよい。
直線状の溝3G〜3Iは、接合面8上の流路5A上部に位置する場所に形成され、同心円上に形成された溝3A〜3Fを相互に連通させる。
穴4A〜4Eは、溝3A〜3Eと溝3G〜3Iとが交差する位置に形成され、流路5と溝3A〜3Iとを連通させる。穴4A〜4Eは、チャックテーブル基台2の中心部に近い穴4A、4Bの内径よりも、チャックテーブル基台2の外周部に近い穴4D、4Eの内径のほうがより大きく、穴4A〜穴4Eの内径は、最小内径が2mm、最大内径が6mmとなっている。なお、この最小と最大の内径の範囲であり、内周部に位置する穴4Aよりも外周部に位置する穴4Eの方が大きい内径であれば、穴4A〜4Eの内径はいずれの値であってもよい。
接続穴6は、チャックテーブル基台裏面の中央部に形成され、チャックテーブル基台2の裏面側が各種装置に設置されることにより、各種装置に備えられた吸引装置と接続され、吸引装置により発生された負圧をチャックテーブル1に伝達する。
接続穴6は、接合面8まで達する位置までは形成されず、接続穴6がポーラス板7の中央部へ直接負圧を伝達することがなく、流路5内へ負圧を伝達する。流路5へ伝達された負圧は、穴4A〜4Eより溝3A〜3Iへ伝達される。溝3A〜3Iに伝達された負圧は、ポーラス板7の多孔質の隙間を通ってポーラス板7の表面へ伝達されワークWを吸着保持する。
このとき、接続穴6へ伝達された負圧がポーラス板7の中央部へ直接伝達されずに流路5へ伝達され、穴4A〜4Eは内周部に位置する穴4Aよりも外周部に位置する穴4Eの方が大きい内径であるため、外周部側の穴4Eにより大きな負圧が伝達される。更に、溝3A〜3Fは内周部に位置する溝3Aよりも外周部に位置する溝3Fの方が広い幅であるため、溝3Fの上部に位置するポーラス板7の外周部付近に内周部よりもより大きな負圧が伝達される。これにより、チャックテーブル1の外周部付近での吸着力が上がりウェーハW外周部付近が強固に吸着され、外周部にかかる加工抵抗により加工中にチャックテーブル1よりウェーハWが剥がれることがなくなる。
以上説明したように、本発明のチャックテーブルによれば、外周部付近に形成された負圧を伝える穴や溝が内周部より大きく形成されることにより、チャックテーブル外周部の吸着力が上がりウェーハの剥がれが無く、精密に加工することを可能とする。
なお、本実施の形態では、面取り装置に取り付けられる場合のチャックテーブルについて説明したが、本発明のチャックテーブルはこれに限らず、多孔質の吸着板を用いたチャックテーブルを使用する加工装置であれば同様に好適に使用可能である。
1…チャックテーブル、2…チャックテーブル基台、3A,3B,3C,3D,3E,3F,3G,3H,3I…溝、4A,4B,4C,4D,4E…穴、5…流露、6…接続穴、7…ポーラス板(吸着板)、8…接合面、10…面取り装置、20…ウェーハ送りユニット、24…Xテーブル、28…Yテーブル、33…θスピンドル、34…チャックテーブル、50…砥石回転ユニット、52…外周加工砥石、55…外周精研削砥石、58…ノッチ精研削砥石、61…ノッチ粗研削砥石、W…ウェーハ
Claims (5)
- ウェーハが吸着される多孔質材料からなる吸着板がチャックテーブル基台に接合されて製造されるチャックテーブルにおいて、
前記吸着板が接合される前記チャックテーブル基台の接合面上には、前記ウェーハを吸着するための負圧を伝達する複数の溝が同心円状に形成され、前記チャックテーブル基台の内部には前記溝と連通する複数の穴と前記負圧を発生させる吸引装置に接続される接続穴とが設けられた流路が形成され、
前記溝は内周部に位置する溝より、外周部に位置する溝の幅が広く、前記接続穴は前記接合面まで達することの無い位置まで形成されていることを特徴とするチャックテーブル。 - ウェーハが吸着される多孔質材料からなる吸着板がチャックテーブル基台に接合されて製造されるチャックテーブルにおいて、
前記吸着板が接合される前記チャックテーブル基台の接合面上には、前記ウェーハを吸着するための負圧を伝達する複数の溝が同心円状に形成され、前記チャックテーブル基台の内部には前記溝と連通する複数の穴と前記負圧を発生させる吸引装置に接続される接続穴とが設けられた流路が形成され、
前記溝に連通する複数の穴は、内周部に位置する溝に連通する穴よりも外周部に位置する溝に連通する穴の内径が大きく、前記接続穴は前記接合面まで達することの無い位置まで形成されていることを特徴とするチャックテーブル。 - ウェーハが吸着される多孔質材料からなる吸着板がチャックテーブル基台に接合されて製造されるチャックテーブルにおいて、
前記吸着板が接合される前記チャックテーブル基台の接合面上には、前記ウェーハを吸着するための負圧を伝達する複数の溝が同心円状に形成され、前記チャックテーブル基台の内部には前記溝と連通する複数の穴と前記負圧を発生させる吸引装置に接続される接続穴とが設けられた流路が形成され、
前記溝は内周部に位置する溝より、外周部に位置する溝の幅が広く、且つ前記溝に連通する複数の穴は、内周部に位置する溝に連通する穴よりも外周部に位置する溝に連通する穴の内径が大きく、且つ前記接続穴は前記接合面まで達することの無い位置まで形成されていることを特徴とするチャックテーブル。 - 内周部に位置する前記溝の最小幅は1mmであって、外周部に位置する前記溝の最大幅は5mmであることを特徴とする請求項1または請求項3に記載のチャックテーブル。
- 内周部に位置する溝に連通する前記穴の最小内径は2mmであって、外周部に位置する溝に連通する前記穴の最大内径は6mmであることを特徴とする請求項2または請求項3に記載のチャックテーブル。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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2007
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