KR102439405B1 - 드레서 툴 및 이 드레서 툴을 사용한 절삭 블레이드의 선단 형상 성형 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은, 절삭 블레이드의 선단을 용이하게 원하는 형상으로 성형할 수 있는 드레서 툴 및 상기 드레서 툴을 사용한 절삭 블레이드의 선단 형상 성형 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
원하는 형상의 반전 형상의 홈이 형성되어 있는 드레서 툴을 사용하여 절삭 블레이드의 선단을 원하는 형상으로 성형하는 절삭 블레이드의 성형 방법으로서, 상기 드레서 툴을 척 테이블로 흡인 유지하는 유지 단계와, 상기 절삭 블레이드를 고속 회전시키면서 상기 척 테이블에 유지된 상기 드레서 툴의 홈에 절입시키고, 상기 절삭 블레이드와 상기 척 테이블에 유지된 상기 드레서 툴을 상대적으로 이동시킴으로써, 상기 절삭 블레이드의 선단 형상을 원하는 형상으로 성형하는 성형 단계를 포함한다.

Description

드레서 툴 및 이 드레서 툴을 사용한 절삭 블레이드의 선단 형상 성형 방법{DRESSER TOOL AND TIP SHAPE MOLDING METHOD OF CUTTING BLADE USING THE DRESSER TOOL}
본 발명은, 절삭 블레이드의 선단 형상을 원하는 형상에 성형하는 드레서 툴 및 상기 드레서 툴을 사용한 절삭 블레이드의 선단 형상 성형 방법에 관한 것이다.
IC, LSI 등의 복수의 디바이스가 격자형으로 형성된 분할 예정 라인에 의해 구획되어 표면에 형성된 실리콘 웨이퍼(이하, 단순히 웨이퍼라고 칭하는 경우가 있음)는, 이면이 연삭되어 소정의 두께로 가공된 후, 절삭 장치에 의해 개개의 디바이스 칩으로 분할되고, 분할된 디바이스 칩은 휴대전화, 퍼스널 컴퓨터 등의 각종 전자기기에 널리 이용되고 있다.
웨이퍼를 개개의 디바이스 칩으로 분할할 때에는, 절삭 장치에 장착된 절삭 블레이드가 웨이퍼를 분할 예정 라인을 따라 절삭함으로써, 웨이퍼는 개개의 디바이스 칩으로 분할된다.
최근, 전자부품의 비용절감이 시장에서 요구되고 있고, 전자부품의 비용절감을 위한 방책의 하나로서 웨이퍼의 분할 예정 라인의 폭을 좁게 하여 1장의 웨이퍼로부터 생산할 수 있는 디바이스 칩의 개수를 늘리는 방법을 들 수 있다.
그러기 위해서는, 웨이퍼를 절삭하는 절삭 블레이드의 두께를 얇게 해야만 하는데, 얇게 하면 블레이드의 강도가 낮아지고, 절삭 가공 중에 블레이드의 절곡이 발생하여 절삭 블레이드가 파손되어 버린다고 하는 문제가 있다.
이 문제를 해결하는 기술로서, 일본 특허 공개 제2008-49412호 공보에는, 지립경이 큰 지립을 함유한 메탈 본드의 그린 시트를 중심층으로 하고, 지립경이 작은 지립을 함유한 메탈 본드의 그린 시트를 측면층으로 하여, 중심층의 양측에 측면층을 접합시켜 소결하고, 다층 구조의 절삭 블레이드를 작성하여, 이 다층 구조의 절삭 블레이드를 드레서 툴에 절입시킴으로써, 측면층을 기계적으로 제거하여 중심층을 돌출시키고, 절삭 블레이드의 선단에 볼록부를 형성한 볼록 형상 절삭 블레이드가 기재되어 있다.
이러한 구조를 갖는 절삭 블레이드에 의해, 실제로 가공에 기여하는 블레이드 선단의 볼록부는, 날 두께는 얇지만, 절삭 블레이드 자체가 충분한 두께를 갖고 있기 때문에, 블레이드 강도가 저하되지 않아, 절곡 등을 발생시키는 것이 방지된다.
[특허문헌 1] 일본 특허 공개 제2008-49412호 공보
그러나, 특허문헌 1에 개시된 다층 구조의 절삭 블레이드는, 다른 특성을 갖는 그린 시트(지석)를 작성하고, 이들 그린 시트를 접합시켜 소결하여 제조해야만 하여, 작업성이 나쁨과 더불어 비용에 과제를 갖고 있다.
본 발명은 이러한 점을 감안하여 이루어진 것으로서, 그 목적으로 하는 바는, 절삭 블레이드의 선단을 용이하게 원하는 형상으로 성형할 수 있는 드레서 툴 및 상기 드레서 툴을 사용한 절삭 블레이드의 선단 형상 성형 방법을 제공하는 것이다.
제1항에 기재된 발명에 따르면, 절삭 블레이드의 선단을 원하는 형상으로 성형하는 드레서 툴로서, 상기 원하는 형상의 반전 형상의 홈이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 드레서 툴이 제공된다.
바람직하게는, 드레서 툴에는, 상기 원하는 형상의 반전 형상의 홈이 서로 평행하게 복수 형성되어 있다.
제3항에 기재된 발명에 따르면, 제1항에 기재된 드레서 툴을 사용하여 절삭 블레이드의 선단을 원하는 형상으로 성형하는 절삭 블레이드의 선단 형상 성형 방법으로서, 상기 드레서 툴을 척 테이블로 흡인 유지하는 유지 단계와, 상기 절삭 블레이드를 고속 회전시키면서 상기 척 테이블에 유지된 상기 드레서 툴의 홈에 절입시키고, 상기 절삭 블레이드와 상기 척 테이블에 유지된 상기 드레서 툴을 상대적으로 이동시킴으로써, 상기 절삭 블레이드의 선단 형상을 원하는 형상으로 성형하는 성형 단계를 포함한 절삭 블레이드의 선단 형상 성형 방법이 제공된다.
제4항에 기재된 발명에 따르면, 제1항에 기재된 드레서 툴을 사용하여 절삭 블레이드의 선단을 원하는 형상으로 성형하는 절삭 블레이드의 선단 형상 성형 방법으로서, 상기 드레서 툴을 척 테이블로 흡인 유지하는 유지 단계와, 상기 절삭 블레이드를 고속 회전시키면서 상기 홈의 깊이보다 얕은 절입 깊이로 상기 척 테이블에 유지된 상기 드레서 툴의 제1 홈에 절입시키고, 상기 절삭 블레이드와 상기 척 테이블에 유지된 상기 드레서 툴을 상대적으로 이동시킴으로써, 상기 절삭 블레이드의 선단 형상을 수정하는 수정 단계와, 상기 제1 홈과 상이한 제2 홈에 상기 절삭 블레이드를 상기 절입 깊이로 절입시키고, 상기 절삭 블레이드와 상기 척 테이블에 유지된 상기 드레서 툴을 상대적으로 이동시킴으로써, 상기 절삭 블레이드의 선단 형상을 재수정하는 재수정 단계를 포함하고, 절입시키는 홈을 바꾸어 상기 재수정 단계를 복수회 반복함으로써, 상기 절삭 블레이드의 선단을 원하는 형상으로 성형하는 것을 특징으로 하는 절삭 블레이드의 선단 형상 성형 방법이 제공된다.
본 발명의 드레서 툴을 사용하여 절삭 블레이드를 드레싱함으로써, 다층 구조의 절삭 블레이드를 제작할 필요가 없고, 종래 구조의 절삭 블레이드의 선단에 원하는 형상을 성형할 수 있어, 작업성이 향상됨과 더불어 절삭 블레이드의 성형 비용을 낮게 억제할 수 있다.
도 1은 절삭 장치의 사시도이다.
도 2는 절삭 블레이드의 스핀들에의 장착 구조를 나타낸 분해 사시도이다.
도 3은 본 발명 실시형태에 따른 드레서 툴의 사시도이다.
도 4는 드레서 툴을 외주부가 환상 프레임에 장착된 다이싱 테이프에 접착시키는 모습을 나타낸 사시도이다.
도 5는 수정 단계 및 재수정 단계를 나타낸 사시도이다.
도 6은 수정 단계 및 재수정 단계를 설명한 측면도이다.
도 7의 (A)는 제1 실시형태의 드레서 툴에 의해 절삭 블레이드의 선단 형상을 성형하는 모습을 나타낸 단면도, 도 7의 (B)는 성형된 절삭 블레이드의 선단 형상을 나타낸 단면도이다.
도 8의 (A)∼도 8의 (C)는 제1 실시형태의 드레서 툴로 절삭 블레이드를 드레싱한 후의 홈의 형상의 변화를 나타낸 단면도, 도 8의 (A1)∼도 8의 (C1)은 도 8의 (A)∼도 8의 (C)에 대응하는 절삭 블레이드의 선단 형상을 나타낸 단면도이다.
도 9의 (A)는 제2 실시형태의 드레서 툴로 절삭 블레이드의 선단 형상을 성형하는 모습을 나타낸 단면도, 도 9의 (B)는 성형 후의 절삭 블레이드 선단의 단면도이다.
도 10의 (A)는 제3 실시형태의 드레서 툴로 절삭 블레이드의 선단을 성형하는 모습을 나타낸 단면도, 도 10의 (B)는 성형 후의 절삭 블레이드 선단의 단면도이다.
이하, 본 발명의 실시형태를 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 도 1을 참조하면, 절삭 장치(2)의 사시도가 도시되어 있다. 절삭 장치(2)는, 절삭 장치(2)의 각 구조 부분을 지지하는 베이스(4)를 나타내고 있다. 베이스(4)의 위쪽에는, 베이스를 덮는 외장 커버(6)가 설치되어 있다.
외장 커버(6)의 내측에는 공간이 형성되어 있고, 이 공간 내에 절삭 블레이드(10)를 갖는 절삭 유닛(8) 및 척 테이블(12) 등이 배치되어 있다. 절삭 유닛(10)은, 도시하지 않은 절삭 유닛 이동 기구에 의해 Y축 방향(인덱싱 이송 방향)으로 이동된다.
절삭 유닛(8)의 아래쪽에는, 웨이퍼 등의 피가공물을 유지하는 척 테이블(12)이 설치되어 있다. 척 테이블(12)은, 도시하지 않은 척 테이블 이동 기구에 의해 X축 방향(가공 이송 방향)으로 이동하고, 회전 기구에 의해 수직 방향(Z축 방향)으로 평행한 회전축 둘레로 회전한다.
베이스(4)의 전방의 코너부에는, 카세트 엘리베이터(16)가 배치되어 있다. 카세트 엘리베이터(16)의 상면에는, 웨이퍼 등의 복수의 피가공물(11)을 수용 가능한 카세트(18)가 배치된다. 카세트 엘리베이터(16)는, 승강 가능하게 구성되어 있고, 피가공물(11)을 적절히 반출·반입할 수 있도록, 카세트(18)의 높이를 조정한다.
외장 커버(6)의 전면(6a)에는, 사용자 인터페이스가 되는 터치 패널식 모니터(14)가 설치되어 있다. 이 모니터(14)는, 전술한 절삭 유닛(8), 절삭 유닛 이동 기구, 척 테이블(12), 척 테이블 이동 기구, 회전 기구, 카세트 엘리베이터(16) 등과 함께, 절삭 장치(2)의 각부를 제어하는 컨트롤러에 접속되어 있다.
도 2를 참조하면, 절삭 블레이드(10)를 스핀들(24)의 선단에 고정된 블레이드 마운트(26)에 장착하는 모습을 나타낸 분해 사시도가 도시되어 있다. 절삭 유닛(8)은, 스핀들 하우징(20) 내에 회전 가능하게 수용된 스핀들(24)을 포함하고 있고, 스핀들(24)의 선단부에는 블레이드 마운트(26)가 장착되어 너트(34)에 의해 고정되어 있다.
블레이드 마운트(26)는, 보스부(28)와, 보스부(28)와 일체적으로 형성된 고정 플랜지(30)로 구성되어 있고, 보스부(28)의 외주에는 수나사(32)가 형성되어 있다. 고정 플랜지(30)의 외주부에는 절삭 블레이드(10)에 접촉하여 지지하는 환상의 지지면(30a)이 형성되어 있다.
블레이드 마운트(26)의 보스부(28)에 절삭 블레이드(10)의 장착 구멍(10a)을 삽입하고, 착탈 플랜지(36)를 보스부(28)에 더 삽입하여, 고정 너트(38)를 블레이드 마운트(26)의 보스부(28)에 형성된 수나사(32)에 나사 결합하여 체결함으로써, 절삭 블레이드(10)는, 고정 플랜지(30)의 지지면(30a)과 착탈 플랜지(36)의 접촉면에 의해 양측에서 끼워져 스핀들(24)의 선단부에 장착된다.
절삭 블레이드(10)를 스핀들(24)의 선단부에 장착한 후, 척 테이블(12)에 유지된 드레서 툴(드레서 보드)을 고속 회전하는 절삭 블레이드(10)로 절삭함으로써, 절삭 블레이드(10)의 외주를 진원으로 정형하는 것이 바람직하다.
도 3을 참조하면, 본 발명 실시형태에 따른 드레서 툴(드레서 보드)(40)의 사시도가 도시되어 있다. 이 드레서 툴(40)은, 절삭 블레이드(10)의 선단을 원하는 형상으로 성형하는 드레서 툴로서, 그 표면(40a)에 원하는 형상의 반전 형상의 홈(42)이 서로 평행하게 복수 형성되어 있는 것을 특징으로 한다. 각 홈(42)의 깊이는 동일한 것이 바람직하다.
드레서 툴(40)은, 다이아몬드, CBN(Cubic Boron Nitride) 등의 초지립이나, WA(White Alundum), GC(Green Carborundum) 등의 일반 지립을 메탈 본드, 비트리파이드 본드, 레진 본드 등에 의해 시트형으로 굳혀 그린 시트를 형성하고, 이 그린 시트를 소결한 후, 단단하고 튼튼한 절삭 날을 갖는 절삭 블레이드로 표면(40a)을 소정 깊이 절삭함으로써 제조된다.
이러한 절삭 블레이드의 일례로서, 원반 형상의 SUS 플레이트(스테인리스 강판)의 외주부 선단에 다이아몬드 등의 초지립을 니켈 도금으로 전착한 와셔 타입의 블레이드를 사용할 수 있다.
대체 실시형태로서, 드레서 툴(40)에 대하여 흡수성을 갖는 파장(예컨대 355 ㎚)의 비교적 파워가 강한 레이저 빔을 드레서 툴(40)의 표면(40a)에 조사하여, 어블레이션에 의해 홈(42)을 형성하도록 하여도 좋다. 본 실시형태의 드레서 툴(40)에서는, 홈(42)의 단면 형상은 소정 깊이 및 소정 폭을 갖는 직사각형이다. 또한, 드레서 툴로는, 연강, SUS 등을 사용하여도 좋다.
이하, 드레서 툴(40)을 사용하여 절삭 블레이드(10)의 선단을 원하는 형상으로 성형하는 절삭 블레이드의 성형 방법에 대해서 설명한다. 우선, 도 4에 도시된 바와 같이, 드레서 툴(40)을 외주부가 환상 프레임(F)에 장착된 다이싱 테이프(T)에 접착하여 드레서 툴 유닛을 형성한다.
이 드레서 툴 유닛을, 도 1에 도시된 카세트(18) 내에 삽입하고, 카세트(18) 내로부터 반출한 후 반송 유닛으로 척 테이블(12)까지 반송하고, 도 5에 도시된 바와 같이, 척 테이블(12)로 다이싱 테이프(T)를 통해 드레서 툴(40)을 흡인 유지한다(유지 단계).
도 5에서, 절삭 블레이드(10)는 휠 커버(44)로 덮여 있고, 휠 커버(44)의 파이프(46)는 순수 등의 절삭수를 공급하는 절삭수 공급원에 접속되어 있다. 파이프(46)는 절삭 블레이드(10)를 사이에 끼우도록 설치된 절삭수 노즐(48)에 접속되어 있다. 그러나, 드레서 툴(40)에 의한 절삭 블레이드(10)의 선단 형상 성형시에는 절삭수 노즐(48)로부터 절삭수를 공급하지 않고서 절삭 블레이드의 드레싱을 실시한다. 또한, 필요에 따라 절삭수를 공급하여도 좋다.
계속해서, 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 절삭 블레이드(10)를 화살표(R1) 방향으로 고속 회전시키면서 홈(42)의 깊이보다 얕은 절입 깊이로, 척 테이블(12)에 유지된 드레서 툴(40)의 제1 홈(42)에 절입하고, 드레서 툴(40)을 유지한 척 테이블(12)을 도 6에서 화살표(X1) 방향으로 가공 이송함으로써, 절삭 블레이드(10)로 드레서 툴(40)을 절삭하고, 절삭 블레이드(10)의 선단 형상을 수정한다(수정 단계).
이 수정 단계를 실시함으로써, 드레서 툴(40)의 제1 홈(42) 부분이 절삭되어 홈(42)의 선단 부분을 제외하고 절삭 블레이드(10)의 폭과 대략 동일한 폭을 갖는 절삭홈이 형성된다. 절삭 블레이드(10)의 선단부 양측면은 드레서 툴(40)에 의해 다소 깎인다.
수정 단계를 실시한 후, 제1 홈(42)과 상이한 제2 홈(42)에 절삭 블레이드(10)를 수정 단계와 동일한 절입 깊이로 절입시키고, 척 테이블(12)을 화살표(X1) 방향으로 가공 이송함으로써, 절삭 블레이드(10)의 선단 형상을 재수정하는 재수정 단계를 실시한다.
이 재수정 단계를 복수회 실시한 후의 드레서 툴(40)의 홈(42)의 형상이 도 8의 (A)에 도시되어 있다. 드레서 툴(40)이 홈(42)의 선단 부분을 제외하고 절삭 블레이드(40)로 절삭되어, 폭이 넓은 홈(42a)이 형성된다.
이 때의 절삭 블레이드(10)의 선단 형상은 도 8의 (A1)에 도시되어 있고, 홈(42a)에 대응하여 절삭 블레이드(10)의 선단 부분의 측면이 깎여져 있으며, 선단에 홈(42)의 형상에 대응하는 볼록부(10b)가 형성되어 있다.
재수정 단계를 복수회 더 반복한 후에는, 도 8의 (B)에 도시된 바와 같이, 드레서 툴(40)이 절삭 블레이드(10)로 절삭됨으로써, 드레서 툴(40)의 표면(40a) 근방에는 홈(42)의 폭보다도 폭이 넓은 홈(42b)이 형성된다. 이 재수정 단계 종료 후의 절삭 블레이드(10)의 형상은, 도 8의 (B1)에 도시된 바와 같은 형상으로 되어 있고, 선단에 홈(42)의 형상에 대응하는 볼록부(10b)가 형성된다.
재수정 단계를 홈(42)을 바꾸어 복수회 더 반복한 후에는, 도 8의 (C)에 도시된 바와 같이, 드레서 툴(40)은 절삭 블레이드(10)에 의해 절삭되어, 드레서 툴(40)의 표면(40a) 근방에 홈(42)에 접속하는 도 8의 (B)에 도시된 홈(42b)보다도 폭이 좁은 홈(42c)이 형성된다.
이 재수정 단계 종료 후의 절삭 블레이드(10)의 선단 형상은, 도 8의 (C1)에 도시된 바와 같이, 절삭 블레이드(10)의 선단에 홈(42)의 형상에 대응하는 볼록부(10b)가 형성된 것이 된다.
재수정 단계를 복수회 더 반복함으로써, 도 7의 (A)에 도시된 바와 같이, 드레서 툴(40)의 홈(42)은 절삭 블레이드(10)에 의해 거의 절삭되지 않고서, 원래의 홈(42)의 형상에 대략 대응한 상태로 잔존한다. 이것으로서 재수정 단계는 종료한 것이 되고, 도 7의 (B)에 도시된 바와 같이, 절삭 블레이드(10)의 선단을 소정 길이의 볼록부(10b)를 갖는 원하는 형상으로 성형할 수 있다.
이하, 본 발명 실시예에 따른 절삭 블레이드의 선단 형상 성형 방법에 대해서 설명한다.
(실시예 1)
절삭 블레이드 : ＃800의 다이아몬드 지립의 레진 블레이드
두께 : 0.3 ㎜
드레서 툴 : WA＃1000(비트리파이드 본드)
홈 폭 : 0.1 ㎜
홈 깊이 : 0.7 ㎜
(가공 조건)
스핀들 회전수 : 20000 rpm
가공 이송 속도 : 0.5 ㎜/s
절입 깊이 : 0.5 ㎜
홈의 커트 개수 : 50개
전술한 조건에 의해 드레서 툴(40)로 절삭 블레이드(10)의 선단을 성형한 결과, 도 7의 (B)에 도시된 바와 같은 홈(42)의 폭에 대응하는 0.1 ㎜의 폭을 가지며 돌출 길이 0.5 ㎜의 볼록부(10b)를, 절삭 블레이드(10)의 선단에 성형할 수 있었다.
원하는 형상은 도 7에 도시된 직사각 형상으로 한정되지 않고, 예컨대 도 9의 (A)에 도시된 바와 같은 홈(42A)의 형상을 갖는 드레서 툴(40A)로 절삭 블레이드(10)의 선단을 성형하면, 도 9의 (B)에 도시된 바와 같이, 절삭 블레이드(10A)의 선단을 홈(42A)의 형상에 대응하는 볼록부(10c)로 성형할 수 있다.
또한, 다른 실시형태로서, 도 10의 (A)에 도시된 바와 같은 홈 형상(42B)을 갖는 드레서 툴(40B)로 절삭 블레이드(10)의 선단을 성형함으로써, 절삭 블레이드(10B)의 선단 형상을 도 10의 (B)에 도시된 바와 같은 볼록부(10d)로 성형할 수 있다.
또한, 비교적 긴 드레서 툴에 소정 형상의 홈을 형성하고, 절삭 블레이드(10)를 절삭함으로써 1회의 절삭으로 절삭 블레이드(10)의 선단을 원하는 형상으로 할 수도 있다.
2 : 절삭 장치 8 : 절삭 유닛
10 : 절삭 블레이드 12 : 척 테이블
24 : 스핀들 26 : 블레이드 마운트
30 : 고정 플랜지 36 : 착탈 플랜지
40 : 드레서 툴 42 : 홈

Claims (4)

  1. 드레서 툴을 사용하여 절삭 블레이드의 선단을 원하는 형상으로 성형하는 절삭 블레이드의 선단 형상 성형 방법에 있어서,
    상기 드레서 툴을 척 테이블로 흡인 유지하는 유지 단계로서, 상기 드레서 툴에는, 상기 원하는 형상의 반전 형상의 홈이 형성되어 있는 것인, 유지 단계와,
    상기 절삭 블레이드를 고속 회전시키면서 상기 척 테이블에 유지된 상기 드레서 툴의 홈에 절입시키고, 상기 절삭 블레이드와 상기 척 테이블에 유지된 상기 드레서 툴을 상대적으로 이동시킴으로써, 상기 절삭 블레이드의 선단에 상기 홈의 형상에 대응하는 볼록부를 형성하는 성형 단계
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 절삭 블레이드의 선단 형상 성형 방법.
  2. 드레서 툴을 사용하여 절삭 블레이드의 선단을 원하는 형상으로 성형하는 절삭 블레이드의 선단 형상 성형 방법에 있어서,
    상기 드레서 툴을 척 테이블로 흡인 유지하는 유지 단계로서, 상기 드레서 툴에는, 상기 원하는 형상의 반전 형상의 홈이 서로 평행하게 복수 형성되어 있는 것인, 유지 단계와,
    상기 절삭 블레이드를 고속 회전시키면서 상기 홈의 깊이보다 얕은 절입 깊이로 상기 척 테이블에 유지된 상기 드레서 툴의 제1 홈에 절입시키고, 상기 절삭 블레이드와 상기 척 테이블에 유지된 상기 드레서 툴을 상대적으로 이동시킴으로써, 상기 절삭 블레이드의 선단 형상을 수정하는 수정 단계와,
    상기 제1 홈과 상이한 제2 홈에 상기 절삭 블레이드를 상기 절입 깊이로 절입시키고, 상기 절삭 블레이드와 상기 척 테이블에 유지된 상기 드레서 툴을 상대적으로 이동시킴으로써, 상기 절삭 블레이드의 선단 형상을 재수정하는 재수정 단계
    를 포함하고,
    절입시키는 홈을 바꾸어 상기 재수정 단계를 복수회 반복함으로써, 상기 절삭 블레이드의 선단에 상기 홈의 형상에 대응하는 볼록부를 형성하는 것을 특징으로 하는 절삭 블레이드의 선단 형상 성형 방법.
  3. 삭제
  4. 삭제
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