KR20210048983A

KR20210048983A - 절삭 장치의 척 테이블

Info

Publication number: KR20210048983A
Application number: KR1020200118046A
Authority: KR
Inventors: 토모히로 카네코; 노리히사 아리후쿠; 히로시 사이토; 마사야스 후시다
Original assignee: 가부시기가이샤 디스코
Priority date: 2019-10-24
Filing date: 2020-09-15
Publication date: 2021-05-04
Also published as: TW202116482A; PH12020050367A1; JP2021068824A; SG10202010109VA; JP7390855B2

Abstract

(과제) 본 발명의 일 과제는 가공 코스트를 삭감하고, 납기를 단축할 수 있는 절삭 장치의 척 테이블을 제공하는 것이다.
(해결 수단) 절삭 장치의 척 테이블은, 통기성을 가지는 경질판과, 경질판의 표면 측에 고정되는 러버 플레이트를 가지는 본체부와, 본체부의 러버 플레이트의 유지면과 경질판의 이면이 노출되도록 본체부의 외주에 감합하고, 테이블 베이스에 본체부를 착탈 가능하게 고정하는 프레임부를 포함한다. 본체부의 러버 플레이트는, 피가공물을 유지하는 유지면과, 유지면으로 지지하는 피가공물의 분할 예정 라인에 대응하는 절삭 블레이드용 릴리프 홈과, 절삭 블레이드용 릴리프 홈으로 구획된 영역에 형성된 흡인 구멍을 포함한다.

Description

절삭 장치의 척 테이블{CHUCK TABLE OF CUTTING APPARATUS}

본 발명은, 절삭 장치의 척 테이블에 관한 것이다.

CSP(Chip Scale Package)나 QFN(Quad Flat Non-leaded package) 등의 수지 패키지 기판을 절삭 블레이드로 절삭하여 분할하는 절삭 장치가 알려져 있다. 수지 패키지 기판을 각 칩으로 분할하는 절삭 가공에 있어서는, 분할 예정 라인에 맞추어 형성된 릴리프 홈과 각 칩을 흡인 유지하는 흡인구를 가지는 척 테이블에 피가공물인 수지 패키지 기판을 고정하여 절삭하는 지그 다이서가 이용되는 경우가 있다(예컨대, 특허 문헌 1 참조). 이러한 척 테이블을 이용하는 경우, 점착 테이프로 환형 프레임에 고정된 피가공물을 가공하는 종래의 방법에 비해, 소모품인 점착 테이프가 불필요하게 되기 때문에 제조 코스트를 억제할 수 있다고 하는 이점이 있다.

일본 공개 특허 공보 2015-093335호 공보

그러나, 상기의 척 테이블을 이용하는 경우, 칩 사이즈의 변경 등의 디자인 변경이 발생했을 경우, 변경한 디자인에 맞춘 척 테이블을 작성할 필요가 있기 때문에, 척 테이블을 제조하는 코스트 및 전체 제조 기간이 증가하는 문제가 있었다. 또한, 상기의 척 테이블은, 릴리프 홈 및 흡인 구멍이 형성된 SUS(Steel　Use　Stainless) 등의 금속판과, 피가공물이 재치되는 영역에 있어서 금속판에 붙여진 피가공물을 보호하기 위한 러버 시트로 이루어진다. 그러나, SUS 등의 금속 가공은 어렵기 때문에, 전문업자에게 의뢰할 필요가 있다. 이에 따라, 또한, 코스트 삭감 및 납기 단축이 어려워진다고 하는 문제가 있었다.

따라서, 본 발명의 목적은, 가공 코스트를 삭감하고, 납기를 단축할 수 있는 절삭 장치의 척 테이블을 제공하는 것이다.

본 발명에 의하면, 서로 교차하는 복수의 분할 예정 라인이 형성된 판형의 피가공물을 흡인 유지하는 척 테이블과, 상기 척 테이블에 유지된 피가공물을 절삭 블레이드로 절삭하여 복수의 칩으로 분할하는 절삭 유닛과, 상기 척 테이블이 고정되는 테이블 베이스를 구비하는 절삭 장치에 이용되는 척 테이블로서, 통기성을 가지는 경질판과, 상기 경질판의 표면 측에 고정되는 러버 플레이트를 가지는 본체부와, 상기 본체부의 상기 러버 플레이트의 유지면과 상기 경질판의 이면이 노출되도록 상기 본체부의 외주에 감합하고, 상기 테이블 베이스에 상기 본체부를 착탈 가능하게 고정하는 프레임부를 구비하고, 상기 본체부의 상기 러버 플레이트는, 피가공물을 유지하는 상기 유지면과, 상기 유지면으로 지지하는 피가공물의 상기 분할 예정 라인에 대응하는 절삭 블레이드용 릴리프 홈과, 상기 절삭 블레이드용 릴리프 홈으로 구획된 영역에 형성된 흡인 구멍을 포함하고, 상기 테이블 베이스로부터의 부압(負壓)이 상기 경질판을 통해 상기 러버 플레이트의 상기 흡인 구멍에 전달되는 절삭 장치의 척 테이블이 제공된다.

바람직하게는, 상기 경질판은, 통기성이 있는 경질 수지 또는 다공성 세라믹스로 구성된다.

본 발명에 의하면, 척 테이블의 가공 코스트를 삭감하고, 그 납기를 단축할 수 있다.

도 1은, 실시형태와 관련되는 절삭 장치의 구성예를 나타내는 사시도이다.
도 2는, 도 1에 나타난 절삭 장치의 가공 대상의 피가공물의 외관을 나타내는 사시도이다.
도 3은, 도 2에 나타난 피가공물을 이면으로부터 본 외관을 나타내는 사시도이다.
도 4는, 도 1에 나타난 절삭 장치의 척 테이블 및 테이블 베이스의 구성예를 나타내는 분해 사시도이다.
도 5는, 도 1에 나타난 절삭 장치에 의한 절삭 가공의 일 상태를 나타내는 모식도이다.
도 6은, 도 1에 나타난 절삭 장치의 척 테이블의 본체부를 교환하는 일 상태를 나타내는 도면이다.

이하, 본 발명의 실시형태에 대해, 도면을 참조하면서 상세하게 설명한다. 이하의 실시형태에 기재한 내용에 의해 본 발명이 한정되는 것은 아니다. 또한, 이하에 기재한 구성요소에는, 당업자가 용이하게 상정할 수 있는 것, 실질적으로 동일한 것이 포함된다. 또한, 이하에 기재한 구성은 적절하게 조합하는 것이 가능하다. 또한, 본 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에서 구성의 다양한 생략, 치환 또는 변경을 실시할 수 있다.

본 발명의 실시형태와 관련되는 절삭 장치(1)의 척 테이블(10)에 대해서, 도면에 기초하여 설명한다. 우선, 실시형태와 관련되는 절삭 장치(1)의 전체 구성 및 가공 대상의 피가공물(100)의 구성에 대해 설명한다. 도 1은, 실시형태와 관련되는 절삭 장치(1)의 구성예를 나타내는 사시도이다. 도 2는, 도 1에 나타난 절삭 장치(1)의 가공 대상의 피가공물(100)의 외관을 나타내는 사시도이다. 도 3은, 도 2에 나타난 피가공물(100)을 다른 방향에서 본 외관을 나타내는 사시도이다. 이하의 설명에 있어서, X축 방향은, 수평면에 있어서의 일 방향이다. Y축 방향은, 수평면에 있어서, X축 방향에 직교하는 방향이다. Z축 방향은, X축 방향 및 Y축 방향에 직교하는 방향이다. 실시형태의 절삭 장치(1)는, 가공 이송 방향이 X축 방향이고, 인덱싱 이송 방향이 Y축 방향이고, 절입 이송 방향이 Z축 방향이다.

절삭 장치(1)는, 척 테이블(10)에 유지된 피가공물(100)을 절삭하는 장치이다. 피가공물(100)은, 도 2에 도시한 바와 같이, 절연성의 절연판 및 절연판의 내부에 매설되어 도전성의 금속에 의해 구성된 그랜드 라인을 가지고, 표면(102) 및 이면(103)에 전극이나 각종 배선이 형성된 배선 기판(101)을 구비한 패키지 기판이다. 피가공물(100)은, 배선 기판(101)의 표면(102)에 형성되는 복수의 분할 예정 라인(104)과, 격자형으로 교차하는 복수의 분할 예정 라인(104)에 의해서 구획된 각 영역에 형성되는 디바이스(105)를 가진다.

피가공물(100)은, 도 3에 도시한 바와 같이, 배선 기판(101)의 이면(103)에, 각 디바이스(105)와 각 디바이스(105)에 와이어 본딩에 의해 형성된 도시하지 않는 와이어를 밀봉하는 밀봉제(106)가 형성된다. 밀봉제(106)는, 에폭시 수지, 실리콘 수지, 우레탄 수지, 불포화 폴리에스테르 수지, 아크릴 우레탄 수지, 또는 폴리이미드 수지 등에 의해 구성된 이른바 몰드 수지이다. 피가공물(100)은, 배선 기판(101)의 이면(103)에 밀봉제(106)가 형성됨으로써, 요철을 가지고 있다. 피가공물(100)은, 각 분할 예정 라인(104)에 따라서 분할되어서, 개개의 디바이스(105)를 포함한 복수의 칩(107)으로 분할된다.

피가공물(100)의, 분할 예정 라인(104)의 수(數), 분할 예정 라인(104)끼리의 간격, 및 디바이스(105)의 수 등은, 실시형태로 한정되지 않는다. 즉, 품번이 다른 피가공물(100)은, 분할 예정 라인(104)의 수, 분할 예정 라인(104)끼리의 간격, 및 디바이스(105)의 수 등이 서로 다르다.

절삭 장치(1)는, 도 1에 도시한 바와 같이, 척 테이블(10)과, 테이블 베이스(50)와, 절삭 유닛(70)과, 급수 유닛(75)과, 촬상 유닛(80)과, X축 이동 유닛(91)과, Y축 이동 유닛(92)과, Z축 이동 유닛(93)과, 회전 이동 유닛(94)을 구비한다. 절삭 장치(1)는, 절삭 유닛(70)을 2 개 구비한, 즉 2 스핀들의 다이싱 소(SAW), 이른바 페이싱 듀얼 타입의 절삭 장치이다. 절삭 장치(1)는, 또한, 절삭 후의 피가공물(100)을 세정하는 세정 유닛, 절삭 전후의 피가공물(100)을 수용하는 카세트, 피가공물(100)을 카세트와 척 테이블(10)과 세정 유닛과의 사이에서 반송하는 반송 유닛 등을 구비하고 있어도 좋다. 절삭 장치(1)의 각 구성요소는, 도시하지 않는 컴퓨터인 제어 유닛에 의해서 제어된다.

척 테이블(10)은, 피가공물(100)을 유지면(31)으로 흡인 유지한다. 척 테이블(10)은, 점착 테이프 등 너머로 피가공물(100)을 흡인 유지하는 것이 아니라, 피가공물(100)을 직접 유지면(31)에 흡인 유지하고, 피가공물(100)로부터 개개로 분할된 칩(107)도 흡인 유지하는 것이다. 척 테이블(10)은, 실시형태에 있어서, 피가공물(100)의 외형보다 큰 직사각형 형상의 유지면(31)을 가진다. 척 테이블(10)은, 테이블 베이스(50)에 대해서 착탈 가능하다. 척 테이블(10)은, 테이블 베이스(50)의 흡인원 연통 구멍(53)을 통해, 흡인원(60)(도 5 참조)과 접속된다. 척 테이블(10)은, 흡인원(60)에 의해서 흡인됨으로써, 유지면(31)에 재치된 피가공물(100)을 흡인 유지한다. 척 테이블(10)의 상세한 구성에 대해서는, 후술하여 설명한다.

테이블 베이스(50)는, 척 테이블(10)이 고정된다. 테이블 베이스(50)는, 척 테이블(10)이 감합하는 직사각형 형상의 접시체이다. 테이블 베이스(50)는, 실시형태에 있어서, 절삭 유닛(70)의 하방의 가공 영역과, 절삭 유닛(70)의 하방으로부터 이격하여 피가공물(100)이 반입, 반출되는 영역에 걸쳐서, X축 이동 유닛(91)에 의해서 X축 방향으로 이동 가능한 X축 이동 베이스(4)에 설치된다. 테이블 베이스(50)는, 실시형태에 있어서, X축 이동 유닛(91)에 의해서 X축 방향으로 이동 가능하게 설치된 회전 이동 유닛(94)에 Z축 방향과 평행한 축심 둘레로 회전 가능하게 지지된다. 또한, X축 이동 베이스(4)의 상면은, 수평 방향을 따라서 평탄하게 형성되어 있다. 테이블 베이스(50)의 상세한 구성에 대해서는, 후술하여 설명한다.

절삭 유닛(70)은, 척 테이블(10)에 유지된 피가공물(100)을 절삭하여 복수의 칩(107)으로 분할하는 절삭 블레이드(71)를 착탈 가능하게 장착한 절삭 수단이다. 한쪽의 절삭 유닛(70)은, Y축 이동 유닛(92) 및 Z축 이동 유닛(93)을 통해, 장치 본체(2)로부터 입설한 도어형의 지지 프레임(3)의 한쪽의 기둥부에 설치된다. 다른 쪽의 절삭 유닛(70)은, Y축 이동 유닛(92) 및 Z축 이동 유닛(93)을 통해, 지지 프레임(3)의 다른 쪽의 기둥부에 설치된다. 또한, 지지 프레임(3)은, 한 쌍의 기둥부의 상단끼리를 수평빔에 의해 연결하여 이루어진다. 각각의 절삭 유닛(70)은, 척 테이블(10)에 유지된 피가공물(100)에 대해서, Y축 이동 유닛(92)에 의해 Y축 방향으로 이동 가능하고, 또한, Z축 이동 유닛(93)에 의해 Z축 방향으로 이동 가능하다. 절삭 유닛(70)은, Y축 이동 유닛(92) 및 Z축 이동 유닛(93)에 의해, 척 테이블(10)의 유지면(31)의 임의의 위치에 절삭 블레이드(71)를 위치시킬 수 있다. 절삭 유닛(70)은, 절삭 블레이드(71)와, 스핀들 하우징(72)과, 스핀들(73)을 구비한다.

절삭 블레이드(71)는, 대략 링 형상을 가지는 극박의 절삭 지석이다. 절삭 블레이드(71)는, 실시형태에 있어서, 이른바 허브 블레이드이고, 스핀들(73)에 장착되는 원환 형상의 원형 베이스와, 원형 베이스의 외주 가장자리에 배치되는 소정 두께의 원환 형상의 절삭날을 구비한다. 원형 베이스는, 도전성의 금속으로 구성된다. 절삭날은, 다이아몬드나 CBN(Cubic　Boron　Nitride) 등의 지립과, 금속이나 수지 등의 본드재(결합재)로 이루어진다.

스핀들 하우징(72)은, 후술하는 Z축 이동 유닛(93)에 의해서 Z축 방향으로 이동 가능한 Z축 이동 베이스(6) 상에 설치된다. 한쪽의 절삭 유닛(70)의 스핀들 하우징(72)은, Y축 이동 유닛(92) 및 Z축 이동 유닛(93)을 통해, 장치 본체(2)로부터 입설한 도어형의 지지 프레임(3)의 한쪽의 기둥부 측에 지지된다. 다른 쪽의 절삭 유닛(70)의 스핀들 하우징(72)은, Y축 이동 유닛(92) 및 Z축 이동 유닛(93)을 통해, 지지 프레임(3)의 다른 쪽의 기둥부 측에 지지된다. 각각의 스핀들 하우징(72)은, 척 테이블(10)에 유지된 피가공물(100)에 대해서, Y축 이동 유닛(92)에 의해 Y축 방향으로 이동 가능하고, 또한, Z축 이동 유닛(93)에 의해 Z축 방향으로 이동 가능하다.

스핀들(73)은, 스핀들 하우징(72) 내에 축심 둘레로 회전 가능하게 설치된다. 스핀들(73)은, 도시하지 않는 스핀들 모터 등이 구동하는 것에 의해 회전한다. 스핀들(73)은, 선단부에 절삭 블레이드(71)가 장착된다. 절삭 유닛(70)의 스핀들(73) 및 절삭 블레이드(71)의 축심은, 실시형태에 있어서, Y축 방향과 평행한 방향으로 설정된다.

급수 유닛(75)은, 절삭 유닛(70)에 의한 절삭 가공 중에, 피가공물(100) 및 절삭 블레이드(71)에 가공수를 공급한다. 급수 유닛(75)은, 도시하지 않는 급수원과, 급수 노즐(76)을 포함한다. 급수원은, 예컨대, 가공수를 저류하는 탱크와, 탱크의 가공수를 급수 노즐(76)에 공급하는 펌프를 포함한다. 급수 노즐(76)은, 절삭 유닛(70)과 일체적으로 이동하도록, 절삭 유닛(70)에 고정되어 있다. 급수 노즐(76)은, 급수원으로부터 공급되는 가공수를, 피가공물(100) 및 절삭 블레이드(71)에 공급한다.

촬상 유닛(80)은, 한쪽의 절삭 유닛(70)과 일체적으로 이동하도록, 한쪽의 절삭 유닛(70)에 고정되어 있다. 촬상 유닛(80)은, 척 테이블(10)에 유지된 피가공물(100)의 표면(102)의 소정 영역을 촬상하는 촬상 소자를 포함한다. 촬상 소자는, 예컨대, CCD(Charge-Coupled　Device) 촬상 소자 또는 CMOS(Complementary　MOS) 촬상 소자 등이다. 촬상 유닛(80)은, 예컨대, 척 테이블(10)에 유지된 피가공물(100)과 절삭 블레이드(71)의 위치 맞춤을 행하는 얼라인먼트를 수행하는 등을 위한 촬상 화상을 촬상하고, 취득한 촬상 화상을 제어 유닛 등에 출력한다.

X축 이동 유닛(91)은, 척 테이블(10)과, 절삭 유닛(70)을, 가공 이송 방향인 X축 방향으로 상대적으로 이동시키는 유닛이다. X축 이동 유닛(91)은, 실시형태에 있어서, 척 테이블(10)이 고정되는 테이블 베이스(50) 및 회전 이동 유닛(94)을, X축 이동 베이스(4)를 통해 X축 방향으로 이동시킨다. X축 이동 유닛(91)은, 예컨대, X축 방향에 평행한 축심 둘레로 회전 가능하게 설치된 주지의 볼 나사와, 볼 나사를 축심 둘레로 회전시키는 주지의 모터와, 테이블 베이스(50)가 설치되는 X축 이동 베이스(4)를 X축 방향으로 이동 가능하게 지지하는 주지의 가이드 레일을 구비한다. X축 이동 유닛(91)의 가이드 레일은, 실시형태에 있어서, 절삭 장치(1)의 장치 본체(2)에 설치되어 있다.

Y축 이동 유닛(92)은, 척 테이블(10)과, 절삭 유닛(70)을, 인덱싱 이송 방향인 Y축 방향으로 상대적으로 이동시키는 유닛이다. Y축 이동 유닛(92)은, 실시형태에 있어서, 절삭 유닛(70) 및 Z축 이동 유닛(93)을 Y축 방향으로 이동시킨다. Y축 이동 유닛(92)은, 예컨대, Y축 방향에 평행한 축심 둘레로 회전 가능하게 설치된 주지의 볼 나사와, 볼 나사를 축심 둘레로 회전시키는 주지의 모터와, Y축 이동 베이스(5)를 Y축 방향으로 이동 가능하게 지지하는 주지의 가이드 레일을 구비한다. Y축 이동 유닛(92)의 가이드 레일은, 실시형태에 있어서, 절삭 장치(1)의 지지 프레임(3)의 한 쌍의 기둥부의 상단끼리를 연결하는 수평빔 상에 설치되어 있다.

Z축 이동 유닛(93)은, 척 테이블(10)과, 절삭 유닛(70)을, 절입 이송 방향인 Z축 방향으로 상대적으로 이동시키는 유닛이다. Z축 이동 유닛(93)은, 실시형태에 있어서, 각각의 절삭 유닛(70)에 대응하여 2 개 설치된다. 각각의 Z축 이동 유닛(93)은, 실시형태에 있어서, 각각의 절삭 유닛(70)을 지지하는 각각의 Z축 이동 베이스(6)를 Z축 방향으로 이동시킨다. Z축 이동 유닛(93)은, 예컨대, 축심 둘레로 회전 가능하게 설치된 주지의 볼 나사와, 볼 나사를 축심 둘레로 회전시키는 주지의 모터와, 절삭 유닛(70)을 Z축 방향으로 이동 가능하게 지지하는 주지의 가이드 레일을 구비한다. Z축 이동 유닛(93)의 가이드 레일은, 실시형태에 있어서, Y축 이동 베이스(5) 상에 설치되어 있다.

회전 이동 유닛(94)은, 척 테이블(10)과, 절삭 유닛(70)을, Z축 방향과 평행한 축심 둘레로 회전시키는 유닛이다. 회전 이동 유닛(94)은, 실시형태에 있어서, 테이블 베이스(50)를 통해 척 테이블(10)을 Z축 방향과 평행한 축심 둘레로 회전시킨다. 회전 이동 유닛(94)은, 테이블 베이스(50)가 설치되는 X축 이동 베이스(4)와 함께 X축 방향으로 가공 이송된다.

다음에, 실시형태와 관련되는 척 테이블(10) 및 테이블 베이스(50)의 상세한 구성에 대해 설명한다. 도 4는, 도 1에 나타난 절삭 장치(1)의 척 테이블(10) 및 테이블 베이스(50)의 구성예를 나타내는 분해 사시도이다. 도 5는, 도 1에 나타난 절삭 장치(1)에 의한 절삭 가공의 일 상태를 나타내는 모식도이다. 도 6은, 도 1에 나타난 절삭 장치(1)의 척 테이블(10)의 본체부(11)를 교환하는 일 상태를 나타내는 도면이다.

도 4에 도시한 바와 같이, 척 테이블(10)은, 본체부(11)와, 프레임부(40)로 분해 가능하다. 또한, 척 테이블(10)은, 테이블 베이스(50)에 대해서 착탈 가능하다. 본체부(11)는, 피가공물(100)이 유지되는 척 테이블(10)의 유지면(31)을 가진다. 본체부(11)는, 경질판(20)과, 러버 플레이트(30)를 구비한다.

경질판(20)은, 피가공물(100)의 외형보다 큰 직사각형 형상의 판이다. 경질판(20)은, 통기성을 가진다. 경질판(20)은, 예컨대, 통기성을 가지는 경질 수지 또는 다공성 세라믹스이다. 통기성을 가지는 경질 수지란, 예컨대, 발포 우레탄, 발포 폴리에틸렌(PE: Polyethylene), 발포 폴리프로필렌(PP: Polypropylene) 등의 연속한 기포를 가지는 연포성(連泡性)을 가지고 또한 발진성(發塵性)이 낮은 재질의 수지이다. 경질판(20)은, 필러 등을 첨가하여 열수축을 억제한 경질 수지여도 좋다.

러버 플레이트(30)는, 경질판(20)과 거의 동 형상의 직사각형 형상의 판이다. 러버 플레이트(30)는, 경질판(20)의 표면 측에 접착재 등을 통해 적층되어 고정된다. 러버 플레이트(30)는, 예컨대, 비통기성의 우레탄 고무 등의 수지이다. 러버 플레이트(30)는, 유지면(31)과, 절삭 블레이드용 릴리프 홈(32)과, 흡인 구멍(33)을 구비한다. 유지면(31)은, 피가공물(100)을 유지하는 러버 플레이트(30)의 표면 측의 면이다. 절삭 블레이드용 릴리프 홈(32)은, 러버 플레이트(30)의 유지면(31)에 격자형으로 교차하여 형성되는 복수의 홈이다. 절삭 블레이드용 릴리프 홈(32)은, 유지면(31)으로 지지하는 피가공물(100)의 분할 예정 라인(104)에 대응한다. 흡인 구멍(33)은, 절삭 블레이드용 릴리프 홈(32)으로 구획된 영역에 형성되는 관통 구멍이다.

프레임부(40)는, 본체부(11)의 외주에 감합하는 직사각형 프레임 형상의 덮개이다. 프레임부(40)는, 테이블 베이스(50)에 본체부(11)를 착탈 가능하게 고정한다. 도 5에 도시한 바와 같이, 프레임부(40)와 테이블 베이스(50)의 사이에 끼워져 고정된 본체부(11)는, 러버 플레이트(30)의 유지면(31)과 경질판(20)의 이면(21)이 프레임부(40)의 개구(41)로부터 노출된다. 도 4에 도시한 바와 같이, 프레임부(40)는, 실시형태에 있어서, 4 개의 모서리부에 나사용 관통 구멍(42)과, 나사용 관통 구멍(42)에 나사 결합하는 나사(43)를 구비한다. 나사용 관통 구멍(42)은, 테이블 베이스(50)의 나사 구멍(54)에 대응한다.

테이블 베이스(50)는, 척 테이블(10)이 고정된다. 테이블 베이스(50)는, 상면으로부터 하방에 오목 형상으로 형성되는 오목부(51)를 가지는 직사각형 형상의 접시체이다. 테이블 베이스(50)의 오목부(51)의 바닥면 상에는, 경질판(20)의 이면(21) 측이 지지된다. 척 테이블(10)의 본체부(11)는, 오목부(51)의 바닥면 상에 재치된 상태로, 오목부(51) 내에 수용된다. 테이블 베이스(50)는, 오목부(51)의 바닥면으로부터 하방으로 오목 형상으로 형성되는 부압 전달실(52)과, 부압 전달실(52)의 바닥면에 형성되는 흡인원 연통 구멍(53)을 구비한다. 부압 전달실(52)은, 바람직하게는 러버 플레이트(30)의 흡인 구멍(33)이 형성되는 영역에 대응하는 영역을 포함하고 형성되는 직육면체 형상의 방이다. 부압 전달실(52)은, 오목부(51)에 연통한다. 흡인원 연통 구멍(53)은, 실시형태에서는 부압 전달실(52)의 바닥면 중앙에 원형으로 형성되지만, 본 발명에서는 이것으로 한정되지 않는다. 도 5에 도시한 바와 같이, 흡인원 연통 구멍(53)은, 흡인원(60)과 접속한다. 흡인원(60)과 흡인원 연통 구멍(53)을 접속하는 통로에는, 전환 밸브(61)가 설치되어 있어도 좋다. 전환 밸브(61)는, 통전되어 있는 상태에서만 흡인원(60)과 흡인원 연통 구멍(53)을 연통시킨다. 도 4에 도시한 바와 같이, 테이블 베이스(50)는, 실시형태에 있어서, 4 개의 모서리부에 나사 구멍(54)을 가진다. 나사 구멍(54)은, 프레임부(40)의 나사용 관통 구멍(42)에 대응한다.

도 5에 도시한 바와 같이, 테이블 베이스(50)는, 본체부(11)를 수납하고, 나사(43)에 의해서 프레임부(40)가 고정되는 것에 의해서, 부압 전달실(52)이 밀봉된다. 척 테이블(10)은, 흡인원(60)에 의한 흡인에 의해서 생기는 테이블 베이스(50)의 부압 전달실(52)의 부압이, 통기성을 가지는 경질판(20)을 통해 러버 플레이트(30)의 흡인 구멍(33)에 전달되는 것에 의해서, 피가공물(100)을 흡인 유지한다. 척 테이블(10)은, 실시형태에 있어서, 피가공물(100)의 밀봉제(106)를 포함하는 이면(103) 측을 흡인 유지한다. 이 때, 피가공물(100)의 분할 예정 라인(104)과 러버 플레이트(30)의 절삭 블레이드용 릴리프 홈(32)을 위치 맞춤하는 것에 의해서, 절삭 유닛(70)이 피가공물(100)을 절삭 가공할 때에, 절삭 블레이드(71)가 러버 플레이트(30)를 절삭하는 것을 억제할 수 있다.

본체부(11)는, 예컨대, 러버 플레이트(30)를 경질판(20)에 접착재 등으로 점착한 후, 러버 플레이트(30)에 절삭 블레이드용 릴리프 홈(32) 및 흡인 구멍(33)을 형성하는 것에 의해서 제조된다. 본체부(11)는, 러버 플레이트(30)에 절삭 블레이드용 릴리프 홈(32) 및 흡인 구멍(33)을 형성한 후, 절삭 블레이드용 릴리프 홈(32) 및 흡인 구멍(33)이 형성된 러버 플레이트(30)를 경질판(20)에 접착재 등으로 점착하는 것에 의해서 제조되어도 좋다.

러버 플레이트(30)의 절삭 블레이드용 릴리프 홈(32)의 수, 절삭 블레이드용 릴리프 홈(32)끼리의 간격, 및 흡인 구멍(33)의 수 등은, 대응하는 피가공물(100)의 분할 예정 라인(104)의 수, 분할 예정 라인(104)끼리의 간격, 및 디바이스(105)의 수 등에 따라 형성할 필요가 있다. 실시형태의 척 테이블(10)은, 대응하는 피가공물(100)의 분할 예정 라인(104)의 수, 분할 예정 라인(104)끼리의 간격, 및 디바이스(105)의 수 등에 따라, 절삭 블레이드용 릴리프 홈(32)의 수, 절삭 블레이드용 릴리프 홈(32)끼리의 간격, 및 흡인 구멍(33)의 수 등이 상이한 복수의 본체부(11)의 중, 하나의 본체부(11)를 선택해서 장착되는 것이 가능하다.

척 테이블(10)은, 테이블 베이스(50)에 대해서 착탈 가능하고, 본체부(11)와, 프레임부(40)로 분해 가능하다. 이에 따라, 도 6에 도시한 바와 같이, 프레임부(40)를 테이블 베이스(50)로부터 제거한 상태에서는, 프레임부(40)와 테이블 베이스(50)의 사이에 수납되는 본체부(11-1)를, 다른 본체부(11-2)로 교환하는 것이 가능하다. 본체부(11)의 교환에서는, 우선, 프레임부(40)를 테이블 베이스(50)에 고정하는 나사(43)를 제거한다. 다음에, 프레임부(40)를 테이블 베이스(50)로부터 들어올려 제거함으로써, 사용이 끝난 본체부(11-1)의 외주를 노출시킨다. 다음에, 테이블 베이스(50)에 수납되는 본체부(11-1)를 테이블 베이스(50)로부터 들어올려 제거한 후, 다른 본체부(11-2)를 테이블 베이스(50)의 오목부(51)의 바닥면에 재치시킨다. 또한, 프레임부(40)를 테이블 베이스(50)에 장착하여, 나사(43)에 의해서 고정함으로써, 교환을 완료한다.

이상 설명한 것처럼, 실시형태와 관련되는 절삭 장치(1)의 척 테이블(10)은, 본체부(11)와, 본체부(11)를 테이블 베이스(50)에 고정하기 위한 프레임부(40)를 구비한다. 본체부(11)는, 절삭 블레이드용 릴리프 홈(32) 및 흡인 구멍(33)이 수지인 러버 플레이트(30)에 형성되기 때문에, 가공이 용이하다. 이에 따라, 가공 코스트를 삭감하고, 납기를 단축할 수 있다. 또한, 프레임부(40)는, 테이블 베이스(50)에 대해서 본체부(11)를 착탈 가능하게 고정하므로, 본체부(11)만을 용이하게 교환할 수 있다. 이에 따라, 칩 사이즈의 변경 등의 디자인 변경이 발생했을 경우라도, 척 테이블(10)을 제조하는 코스트 및 전체의 제조 기간의 증가를 억제할 수 있다. 척 테이블(10)은, 예컨대, 절삭 부스러기를 흡인하여 경질판(20)에 막힘이 발생함으로써 흡인력이 저하했다고 해도, 저가로 형성할 수 있고, 또한 용이하게 본체부(11)의 교환을 할 수 있다.

또한, 종래의 척 테이블에서는, 유지면을 가지는 SUS 등의 금속판의 이면을 부압 전달실에 대면시키고, 금속판의 흡인 구멍에 부압 전달실로부터 직접 부압을 작용시키고 있었으므로, 유지면의 하방이 공동(空洞)이기 때문에, 가공 중에 유지면이 진동할 우려가 있었다. 이에 대해, 실시형태의 척 테이블(10)은, 러버 플레이트(30)가 통기성이 있는 경질판(20)에 고정되고, 경질판(20)이 테이블 베이스(50)의 오목부(51)에 수용되어서 오목부(51)의 바닥면에 재치되어 있기 때문에, 유지면(31)이 안정되게 고정된다. 이에 따라, 절삭 가공 중에 피가공물(100)이 어긋나는 것에 의한, 칩(107)의 외형의 어긋남이나 깨짐이 억제된다고 하는 효과도 발휘한다. 또한, 오목부(51)의 바닥면에 지지되는 경질판(20)에, 유지면(31)을 형성하는 러버 플레이트(30)가 지지되고 있으므로, 본체부(11)가 나사(43)로 체결되어 고정되어도 유지면(31)이 왜곡되기 어렵다고 하는 효과도 발휘한다.

또한, 본 발명은, 상기 실시형태로 한정되는 것은 아니다. 즉, 본 발명의 골자를 일탈하지 않는 범위에서 다양하게 변형하여 실시할 수 있다.

1 절삭 장치
10 척 테이블
11, 11-1, 11-2 본체부
20 경질판
21 이면
30 러버 플레이트
31 유지면
32 절삭 블레이드용 릴리프 홈
33 흡인 구멍
40 프레임부
50 테이블 베이스
52 부압 전달실
70 절삭 유닛
71 절삭 블레이드
100 피가공물
104 분할 예정 라인
107 칩

Claims

서로 교차하는 복수의 분할 예정 라인이 형성된 판형의 피가공물을 흡인 유지하는 척 테이블과, 상기 척 테이블에 유지된 피가공물을 절삭 블레이드로 절삭하여 복수의 칩으로 분할하는 절삭 유닛과, 상기 척 테이블이 고정되는 테이블 베이스를 구비하는 절삭 장치에 이용되는 척 테이블로서,
통기성을 가지는 경질판과, 상기 경질판의 표면 측에 고정되는 러버 플레이트를 가지는 본체부와,
상기 본체부의 상기 러버 플레이트의 유지면과 상기 경질판의 이면이 노출되도록 상기 본체부의 외주에 감합하고, 상기 테이블 베이스에 상기 본체부를 착탈 가능하게 고정하는 프레임부
를 구비하고,
상기 본체부의 상기 러버 플레이트는,
피가공물을 유지하는 상기 유지면과,
상기 유지면으로 지지하는 피가공물의 상기 분할 예정 라인에 대응하는 절삭 블레이드용 릴리프 홈과,
상기 절삭 블레이드용 릴리프 홈으로 구획된 영역에 형성된 흡인 구멍
을 포함하고,
상기 테이블 베이스로부터의 부압이 상기 경질판을 통해 상기 러버 플레이트의 상기 흡인 구멍에 전달되는 것인, 절삭 장치의 척 테이블.
제1항에 있어서, 상기 경질판은, 통기성이 있는 경질 수지 또는 다공성 세라믹스인 것인, 절삭 장치의 척 테이블.