JP7390855B2 - 切削装置のチャックテーブル - Google Patents
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Description
本発明の実施形態に係る切削装置1のチャックテーブル10について、図面に基づいて説明する。まず、実施形態に係る切削装置1の全体構成および加工対象の被加工物100の構成について説明する。図1は、実施形態に係る切削装置1の構成例を示す斜視図である。図2は、図1に示された切削装置1の加工対象の被加工物100の外観を示す斜視図である。図3は、図2に示された被加工物100を別の方向から視た外観を示す斜視図である。以下の説明において、X軸方向は、水平面における一方向である。Y軸方向は、水平面において、X軸方向に直交する方向である。Z軸方向は、X軸方向およびY軸方向に直交する方向である。実施形態の切削装置1は、加工送り方向がX軸方向であり、割り出し送り方向がY軸方向であり、切り込み送り方向がZ軸方向である。
10 チャックテーブル
11、11-1、11-2 本体部
20 硬質板
21 裏面
30 ラバープレート
31 保持面
32 切削ブレード用逃げ溝
33 吸引穴
40 枠体部
50 テーブルベース
52 負圧伝達室
70 切削ユニット
71 切削ブレード
100 被加工物
104 分割予定ライン
107 チップ
Claims (3)
- 互いに交差する複数の分割予定ラインが形成された板状の被加工物を吸引保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削ブレードで切削して複数のチップに分割する切削ユニットと、該チャックテーブルが固定されるテーブルベースと、を備える切削装置に用いられるチャックテーブルであって、
通気性を有する硬質板と、該硬質板の表面側に積層して固定されるラバープレートと、を有する本体部と、
該本体部の該ラバープレートの保持面と該硬質板の裏面とが露出するように該本体部の外周に嵌合するとともに、該テーブルベースに固定されることで該テーブルベースとの間に該本体部を挟んで着脱自在に固定する枠体部と、
を備え、
該本体部の該ラバープレートは、
被加工物を保持する該保持面と、
該保持面で支持する被加工物の該分割予定ラインに対応する切削ブレード用逃げ溝と、
該切削ブレード用逃げ溝で区画された領域に形成された吸引穴と、
を備え、
該テーブルベースからの負圧が該硬質板を介して該ラバープレートの該吸引穴に伝達される、
切削装置のチャックテーブル。 - 該テーブルベースは、
該本体部の該硬質板の裏面側を底面で支持する凹部と、
該凹部の底面から下方に凹形状に形成される負圧伝達室と、
を有し、
該本体部が該凹部の底面上に載置された状態で該本体部を該凹部内に収納し、該枠体部が固定されることで該負圧伝達室が密封される、
請求項1に記載の切削装置のチャックテーブル。 - 該硬質板は、通気性のある硬質樹脂またはポーラスセラミックスである、
請求項1または2に記載の切削装置のチャックテーブル。
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