JP2015153868A - 保持治具 - Google Patents
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Abstract
Description
また、保持治具のユーザー側で保持層の張り替えを行うことができない場合には保持治具ごとメーカーに送り、メーカー側で保持層の張り替えを行った後にユーザー側に送り返すといった作業が必要となりコスト高になるという問題がある。
板状の被加工物の大きさに対応した保持面を表面に備えた可撓性部材からなる保持シートと、該保持シートを着脱可能に支持する剛性部材からなる支持プレートと、を含み、
該保持シートは、板状の被加工物の大きさに対応した保持面を備えた被加工物保持部と、該被加工物保持部の裏面外周部に設けられた枠部とからなり、該被加工物保持部には板状の被加工物に設定された複数の分割予定ラインによって区画された複数のチップに対応した領域に形成され該保持面に開口する複数の吸引孔と、板状の被加工物に設定された複数の分割予定ラインと対応する領域に形成され切削ブレードの切れ刃を逃がす複数の逃がし溝が設けられており、
該支持プレートは、該保持シートの該被加工物保持部を支持し該複数の吸引孔に連通する複数の連通孔を備えたシート支持部と、該シート支持部と段差を持って該シート支持部を囲繞して設けられ該保持シートの該枠体を支持する枠体支持面を備えた基部とを具備し、該シート支持部には該保持シートの該被加工物保持部のズレを防止するためのズレ防止手段が設けられている、
ことを特徴とする保持治具が提供される。
また、上記保持シートの被加工物保持部に形成された複数の吸引孔は長孔で形成され、支持プレートのシート支持部に形成された連通孔は長孔からなる吸引孔の長手方向中央に位置付けられる円形で形成されており、上記ズレ防止手段は、支持プレートのシート支持部の上面に連通孔に隣接して複数個所に配設され被加工物保持部に設けられた該長孔からなる吸引孔の端辺に係合する係合ピンからなっている。
更に、板状の被加工物は複数のブロックに区分されており、保持シートは複数のブロックに対応する複数の保持シートを備え、支持プレートは複数の保持シートを支持する複数のシート支持部を備えている。
図2にはパッケージ基板1を保持するための本発明に従って構成された保持治具の斜視図が示されており、図3には図2に示す保持治具の構成部材を分解して示す斜視図が示されている。図2および図3に示す保持治具2は、パッケージ基板1の大きさに対応した保持面を表面に備えたゴム等の可撓性部材からなる保持シート3と、該保持シート3を着脱可能に支持するステンレス鋼等の剛性部材からなる支持プレート4と、保持シート3を支持プレート4に固定するための固定枠5を具備している。
図8および図9に示す保持治具20は、図10に示すパッケージ基板10に対応するものである。なお、図10に示すパッケージ基板10および図8および図9に示す保持治具20においては、上記パッケージ基板1および保持治具2の構成部材と同一部材には同一符号を付してその説明は省略する。
図10に示すパッケージ基板10は、3個のブロック10a、10b、10cからなっており、それぞれ所定の方向に延びる複数の第1の分割予定ライン111と、該第1の分割予定ライン111と直交する方向に延びる第2の分割予定ライン112が格子状に形成されている。そして第1の分割予定ライン111と第2の分割予定ライン112によって区画された複数の領域にそれぞれデバイス(チップサイズパッケージ)113が配置されている。
以上のように構成された保持シート30a、30b、30cと支持プレート40および固定枠50は、上記保持治具2と同様に組み付けられて図8に示す保持治具20を構成する。
図11に示す切削装置7は、略直方体状の装置ハウジング71を具備している。この装置ハウジング71内には、被加工物を保持する吸引テーブル72が切削送り方向である矢印Xで示す方向に移動可能に配設されている。吸引テーブル72の上面には吸引凹部721が設けられており、この吸引凹部721に図示しない吸引手段と連通する吸引口722が開口している。また、吸引テーブル72の上面における4隅には、上記保持治具2の4隅に設けられた位置決め用穴423が嵌合する位置きめピン723が立設されている。また、吸引テーブル72は、図示しない回転機構によって回転可能に構成されている。このように構成された吸引テーブル72は、図示しない切削送り手段によって、矢印X1で示す切削送り方向に移動せしめられるようになっている。
先ず、切削装置7の吸引テーブル72上に保持治具2を載置する。このとき、保持治具2の4隅に設けられた複数の位置決め用の穴423を吸引テーブル72の4隅に配設された位置決めピン723に嵌合することにより、保持治具2は所定の位置に位置付けられる。なお、位置決めピン723に替えて吸引テーブル72の4隅に雌ネジを形成し、保持治具2の4隅に設けられた複数の位置決め用の穴423にボルトを挿通して雌ネジに螺合することにより、吸引テーブル72に保持治具2を締結してもよい。このようにして吸引テーブル72に保持治具2を装着したならば、図示しない位置決め手段によって大まかに位置合わせされたパッケージ基板1を図示しない搬送手段によって保持シート3の被加工物保持部31に載置する。そして、図示しない引手段を作動することにより、吸引テーブル72の吸引口722、吸引凹部721、保持治具2を構成する支持プレート4のシート支持部41に設けられた複数の連通孔411および保持シート3の被加工物保持部31に設けられた複数の吸引孔312を介して保持治具2を構成する保持シート3の被加工物保持部31に載置されたパッケージ基板1の各デバイス113(チップ)に負圧が作用し、パッケージ基板1の各デバイス113(チップ)が保持治具2を構成する保持シート3の被加工物保持部31上に吸引保持される(パッケージ基板保持工程)。
このようにして分割されたデバイス113は、図示しない搬送トレイに収容されて次工程である組立工程に移送される。
113:デバイス
2:保持治具
3:保持シート
31:被加工物保持部
311:保持面
312:吸引孔
313:逃がし溝
32:枠部
4:支持プレート
41:シート支持部
411:連通孔
412:係合ピン
42:基部
421:枠部支持面
422:ボルト挿通穴
423:位置決め用穴
5:固定枠
51:開口
52:段差部
53:雌ネジ
6:締結ボルト
33a、33b、33c:ID凸部
43a、43b、43c:凹部
7:切削装置
72:吸引テーブル
73:スピンドルユニット
733:切削ブレード
Claims (4)
- 外周に切れ刃を有する切削ブレードによって板状の被加工物を設定された複数の分割予定ラインに沿って切断して複数のチップに分割する際に板状の被加工物を保持するための保持治具であって、
板状の被加工物の大きさに対応した保持面を表面に備えた可撓性部材からなる保持シートと、該保持シートを着脱可能に支持する剛性部材からなる支持プレートと、を含み、
該保持シートは、板状の被加工物の大きさに対応した保持面を備えた被加工物保持部と、該被加工物保持部の裏面外周部に設けられた枠部とからなり、該被加工物保持部には板状の被加工物に設定された複数の分割予定ラインによって区画された複数のチップに対応した領域に形成され該保持面に開口する複数の吸引孔と、板状の被加工物に設定された複数の分割予定ラインと対応する領域に形成され切削ブレードの切れ刃を逃がす複数の逃がし溝が設けられており、
該支持プレートは、該保持シートの該被加工物保持部を支持し該複数の吸引孔に連通する複数の連通孔を備えたシート支持部と、該シート支持部と段差を持って該シート支持部を囲繞して設けられ該保持シートの該枠体を支持する枠体支持面を備えた基部とを具備し、該シート支持部には該保持シートの該被加工物保持部のズレを防止するためのズレ防止手段が設けられている、
ことを特徴とする保持治具。 - 該保持シートの被加工物保持部と対応する大きさの開口を有し該保持シートの該枠部に係合する段差部を備えた固定枠を具備し、該固定枠は該支持プレートの該基部に固定される、請求項1記載の保持治具。
- 該保持シートの該被加工物保持部に形成された該複数の吸引孔は長孔で形成され、該支持プレートのシート支持部に形成された該連通孔は該長孔からなる吸引孔の長手方向中央に位置付けられる円形で形成されており、
該ズレ防止手段は、該支持プレートの該シート支持部の上面に該連通孔に隣接して複数個所に配設され該被加工物保持部に設けられた該長孔からなる吸引孔の端辺に係合する係合ピンからなっている、請求項1又は2記載の保持治具。 - 該板状の被加工物は複数のブロックに区分されており、該保持シートは該複数のブロックに対応する複数の保持シートを備え、該支持プレートは該複数の保持シートを支持する複数のシート支持部を備えている、請求項1〜3のいずれかに記載の保持治具。
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