JP2019036686A - 保持冶具の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
4 金属枠体(リードフレーム)
6a,6b,6c デバイス領域
8 分割予定ライン
12 電極
14 モールド樹脂層
16 保持冶具本体
17 保持冶具
18 切削装置
22 吸引テーブル
28 切削ブレード
32 保持部
32a 保持面
34 吸引凹部
35 吸引口
40 液状樹脂
40a 樹脂層
42 吸引源
46 シート状部材
52 予備逃げ溝
Claims (3)
- 交差する複数の分割予定ラインによってチップとなる複数の領域に区画された板状の被加工物を保持面で吸引保持する保持冶具の製造方法であって、
吸引保持する被加工物の該複数の領域に対応して該保持面に形成された吸引凹部と、該吸引凹部に開口した吸引口と、該吸引口と吸引源とを連通する吸引路と、を有する冶具本体を準備する冶具本体準備ステップと、
経時変化又は外的刺激によって所定の硬さに硬化して緩衝材となる液状樹脂を該冶具本体の該保持面に塗布する液状樹脂塗布ステップと、
塗布された該液状樹脂が硬化する前の半硬化状態である該液状樹脂の表面に、平坦で延性の低いシート状部材を密着させて載置した後、該シート状部材を吸引保持し、該保持面に塗布された該液状樹脂の表面を平坦に均す平坦化ステップと、
該シート状部材を保持したまま該液状樹脂を硬化させて樹脂層を形成する液状樹脂硬化ステップと、
該液状樹脂硬化ステップを実施した後、被加工物の該分割予定ラインに対面する領域の該樹脂層に覆われた該保持面を切削ブレードで切削し、該保持面に逃げ溝を形成する逃げ溝形成ステップと、
該樹脂層から該シート状部材を剥離する剥離ステップと、
を備えたことを特徴とする保持冶具の製造方法。 - 該液状樹脂塗布ステップでは、合成ゴムをスプレーで塗布する請求項1記載の保持冶具の製造方法。
- 該シート状部材は、ポリエチレン製のシートから構成される請求項1又は2記載の保持冶具の製造方法。
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