JP5709370B2 - 切削装置及び切削方法 - Google Patents
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Description
6a,6b,6c デバイス領域
8a,8b 分割予定ライン
22 治具ベース
28 保持治具
30 保持テーブル
32 切削ブレード
40 切削ブレード用逃げ溝
42 吸引孔
44 流体噴出孔
Claims (2)
- 互いに直交する複数の分割予定ラインによって区画された複数の領域にそれぞれデバイスが配設されるとともに樹脂で封止されたパッケージ基板を保持する保持テーブルと、該保持テーブルで保持されたパッケージ基板を切削する切削ブレードを含む切削手段とを備えた切削装置であって、
該保持テーブルは、
該パッケージ基板を保持する保持面と、該保持面に保持されるパッケージ基板の直交する分割予定ラインに対応する位置に形成された直交する複数の切削ブレード用逃げ溝と、該切削ブレード用逃げ溝で区画された各領域に形成された複数の吸引孔とを有する保持治具と、
該吸引孔に負圧を伝達する負圧伝達部と、該保持治具が載置される載置面とを有する治具ベースとから構成され、
該保持治具は、該切削ブレード用逃げ溝の全ての交差点位置に開口する複数の流体噴出孔を含み、
該治具ベースは、該流体噴出孔に連通して流体供給源に接続される流体供給路を含むことを特徴とする切削装置。 - 請求項1記載の切削装置を用いてパッケージ基板を切削する切削方法であって、
前記保持テーブル上にパッケージ基板を載置するステップと、
前記吸引源を作動させて該保持テーブルで該パッケージ基板を吸引保持するステップと、
該保持テーブルで吸引保持された該パッケージ基板の前記分割予定ラインを前記切削ブレードで切削するとともに、前記流体供給源を作動させて前記流体噴出孔から前記切削ブレード用逃げ溝内に流体を供給して該切削ブレードを冷却するステップと、
を具備したことを特徴とする切削方法。
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