JP2009142992A - パッケージ基板の保持治具 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】分割予定ラインによって区画されて複数のパッケージデバイスが形成されたパッケージ基板を吸引保持するチャックテーブルに保持されチャックテーブルと切削対象のパッケージ基板との間に介在する保持治具5に、金属板の表面にパッケージ基板の分割予定ラインに対応する位置の切削ブレードの逃げ溝54と、金属板の表裏面を貫通し個々のパッケージデバイスを吸引保持する吸引孔53とを備え、金属板の表面には樹脂層55を被覆する。
【選択図】図4
Description
2:チャックテーブル
20:治具ベース 21:負圧伝達部
3:切削手段
30:切削ブレード 31:スピンドル 32:切削水ノズル 33:アライメント手段
4:パッケージ基板
40:パッケージデバイス 41:分割予定ライン
5:保持治具
50:ネジ穴 51:凹部 52:保持部 53:吸引孔 54:逃げ溝 55:樹脂層
56:固定部
Claims (2)
- 分割予定ラインによって区画されて複数のパッケージデバイスが形成されたパッケージ基板を吸引保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたパッケージ基板を切削して個々のパッケージデバイスに分割する切削ブレードを備えた切削手段とを少なくとも有する切削装置において使用され、該チャックテーブルを構成し該パッケージ基板を保持する保持治具であって、
該チャックテーブルは、該保持治具を固定すると共に該保持治具に該パッケージ基板を吸着させるための負圧を該保持治具に伝達する負圧伝達部を有する治具ベースを備え、
該保持治具は、金属板の表面の該パッケージ基板の分割予定ラインに対応する位置に形成された切削ブレードの逃げ溝と、該逃げ溝によって区画された領域に該金属板の表裏面を貫通して形成され個々のパッケージデバイスを吸引保持する吸引孔とを備え、該金属板の表面には樹脂層が被覆されたパッケージ基板の保持治具。 - 前記樹脂層は、ウレタン樹脂によって形成される請求項1に記載のパッケージ基板の保持治具。
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