JP7208700B2 - 切削装置のチャックテーブルユニット及び被加工物の分割方法 - Google Patents
切削装置のチャックテーブルユニット及び被加工物の分割方法 Download PDFInfo
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Description
11a 領域
11b カーフ(切り口)
13 フレーム基板
13a 表面
13b 裏面
15 樹脂層(モールド樹脂)
17 分割予定ライン(ストリート)
19 マーカー
21 構造物
2 切削装置
4 基台
4a 開口
6 テーブルカバー
8 防塵防滴カバー
10 テーブル基台
12 チャックテーブルユニット
14 テーブル本体
14a 吸引領域
14b 外周領域
14c ねじ孔
16 保持プレート
16a 保持面
18 樹脂プレート
18a 連続気泡
20 シート固定枠
20a 開口
20b 貫通孔
20c 凸部
22 ねじ
24 シート着脱ユニット
26 バルブ
28 吸引源
30a,30b 切削ユニット
32 支持構造
34a,34b 移動ユニット(移動機構)
36 Y軸ガイドレール
38a,38b Y軸移動プレート
40a,40b Y軸ボールネジ
42 Y軸パルスモータ
44a,44b Z軸ガイドレール
46a,46b Z軸移動プレート
48a,48b Z軸ボールネジ
50 Z軸パルスモータ
52a,52b ハウジング
54 撮像ユニット(カメラ)
60 スピンドル
62 切削ブレード
Claims (8)
- 格子状の分割予定ラインによって複数の領域に区画された板状の被加工物を切削ブレードで切削して分割する切削装置のチャックテーブルユニットであって、
上面の大きさが該被加工物の表面の大きさ以上であり吸引力が作用する吸引領域を有するテーブル本体と、
該テーブル本体上に着脱可能に固定され、該被加工物の表面を吸引保持する保持面を有する保持プレートと、を備え、
該保持プレートは、
該保持面となる表面から裏面に連通する複数の連続気泡を該被加工物に対応する領域に備えた、弾性を有する樹脂プレートと、
該樹脂プレートを該テーブル本体上に着脱可能に固定するシート固定枠と、を備え、
複数の該連続気泡はそれぞれ、他の該連続気泡と連結されておらず、
該保持面で吸引保持された該被加工物を該切削ブレードで切削する際、該樹脂プレートが該被加工物とともに切削されることを特徴とする切削装置のチャックテーブルユニット。 - 該樹脂プレートは、該分割予定ラインによって区画された領域に対応する領域と、該分割予定ラインによって区画された領域に対応しない領域とに、該連続気泡を備えることを特徴とする請求項1に記載の切削装置のチャックテーブルユニット。
- 該連続気泡は、直径が100μm以上800μm以下の気泡によって構成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の切削装置のチャックテーブルユニット。
- 該テーブル本体は、ポーラス状の該吸引領域と、該吸引領域を囲む外周領域とを備えることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の切削装置のチャックテーブルユニット。
- 該樹脂プレートは、ウレタン又はゴムでなることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の切削装置のチャックテーブルユニット。
- 該被加工物は、表面から突出し該樹脂プレートに埋没する構造物を備え、
該樹脂プレートの厚さは、該構造物の高さ以上であることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の切削装置のチャックテーブルユニット。 - 該樹脂プレートの厚さは、該切削ブレードの厚さ以上であることを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の切削装置のチャックテーブルユニット。
- 格子状の分割予定ラインによって複数の領域に区画された板状の被加工物を切削ブレードで該分割予定ラインに沿って切削することによって該被加工物を複数のチップに分割する被加工物の分割方法であって、
請求項1乃至7のいずれかに記載のチャックテーブルユニットを用いて、該樹脂プレートを介して該テーブル本体上で該被加工物を吸引保持する保持ステップと、
該分割予定ラインに沿って、該切削ブレードを該樹脂プレートに至る深さで該被加工物に切り込ませ、該被加工物を複数の該チップに分割する分割ステップと、を備えることを特徴とする被加工物の分割方法。
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2018
- 2018-10-17 JP JP2018196140A patent/JP7208700B2/ja active Active
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