JP2016054256A - 切断装置並びに吸着機構及びこれを用いる装置 - Google Patents
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Abstract
Description
2 基板
3 封止樹脂
4 第1の切断線(切断線)
5 第2の切断線(切断線)
6 領域
7 吸着治具
8 金属プレート(プレート)
9 吸着部材
10 突起
11 第1の切断溝
12 第2の切断溝
13 吸着孔
14 貫通孔
15 吸引通路
16 切断用テーブル(テーブル)
17 基台
18 空間
19 吸引口
20 配管
21 真空ポンプ(吸引機構)
22 切断装置
23 基板供給機構
24 移動機構
25 回転機構
26 アライメント用のカメラ
27A、27B スピンドル
28A、28B 回転刃
29 検査用ステージ
30 複数の製品Pからなる集合体
31 検査用のカメラ
32 インデックステーブル
33 移送機構
34 良品用トレイ
35 不良品用トレイ
A 基板供給ユニット
B 基板切断ユニット
C 検査ユニット
D 収容ユニット
P 製品
CTL 制御部
Claims (18)
- 複数の切断線によって囲まれる複数の領域を有する被切断物が載置されるテーブルと、前記被切断物を吸引する吸引機構と、前記被切断物を切断する切断手段と、前記テーブルと前記切断手段とを相対的に移動させる移動機構とを備え、前記被切断物を個片化して前記複数の領域のそれぞれに対応する複数の製品を製造する際に使用される切断装置であって、
前記テーブルが有する基台と、
前記基台の上に取り付けられた吸着治具と、
前記吸着治具が有するプレートと、
前記プレートの上に設けられた吸着部材と、
前記吸着部材に設けられ前記複数の領域にそれぞれ対応する複数の突起と、
前記複数の突起のそれぞれにおける上面から前記吸着部材の底面まで貫通する複数の吸着孔と、
前記プレートに設けられ前記複数の吸着孔にそれぞれ連通する複数の貫通孔と、
前記基台に設けられ前記複数の貫通孔につながる空間とを備え、
前記吸着部材は振動吸収材からなり、少なくとも前記空間と前記複数の貫通孔と前記複数の吸着孔とを順次経由して前記吸引機構が前記被切断物又は前記複数の製品を吸引することによって、前記被切断物又は前記複数の製品が前記吸着治具に吸着されることを特徴とする切断装置。 - 請求項1に記載された切断装置において、
温度が5℃〜30℃の範囲において前記振動吸収材の損失係数tanδが最大値を有することを特徴とする切断装置。 - 請求項2に記載された切断装置において、
温度が5℃〜30℃の範囲において前記振動吸収材の損失係数tanδが0.5以上であることを特徴とする切断装置。 - 請求項2に記載された切断装置において、
温度が10℃〜30℃の範囲において前記振動吸収材の損失係数tanδが0.7以上であることを特徴とする切断装置。 - 請求項2に記載された切断装置において、
温度が15℃〜25℃の範囲において前記振動吸収材の損失係数tanδが1.0以上であることを特徴とする切断装置。 - 請求項1〜5のいずれかに記載された切断装置において、
前記振動吸収材のショア硬さがA40〜A60であることを特徴とする切断装置。 - 複数の対象物を吸着するテーブルを備えた吸着機構であって、
前記テーブルが有する基台と、
前記基台の上に取り付けられた吸着治具と、
前記吸着治具が有するプレートと、
前記プレートの上に設けられた吸着部材と、
前記吸着部材に設けられ前記複数の対象物にそれぞれ対応する複数の突起と、
前記複数の突起のそれぞれにおける上面から前記吸着部材の底面まで貫通する複数の吸着孔と、
前記プレートに設けられ前記複数の吸着孔にそれぞれ連通する複数の貫通孔と、
前記基台に設けられ前記複数の貫通孔につながり、かつ、吸引機構につながることができる空間とを備え、
前記吸着部材は振動吸収材からなり、少なくとも前記空間と前記複数の貫通孔と前記複数の吸着孔とを順次経由して前記複数の対象物が吸引されることによって、前記複数の対象物が前記吸着治具に吸着されることを特徴とする吸着機構。 - 請求項7に記載された吸着機構において、
温度が5℃〜30℃の範囲において前記振動吸収材の損失係数tanδが最大値を有することを特徴とする吸着機構。 - 請求項8に記載された吸着機構において、
温度が5℃〜30℃の範囲において前記振動吸収材の損失係数tanδが0.5以上であることを特徴とする吸着機構。 - 請求項8に記載された吸着機構において、
温度が10℃〜30℃の範囲において前記振動吸収材の損失係数tanδが0.7以上であることを特徴とする吸着機構。 - 請求項8に記載された吸着機構において、
温度が15℃〜25℃の範囲において前記振動吸収材の損失係数tanδが1.0以上であることを特徴とする吸着機構。 - 請求項7〜11のいずれかに記載された吸着機構において、
前記振動吸収材のショア硬さがA40〜A60であることを特徴とする吸着機構。 - 複数の対象物を吸着するテーブルと、該テーブルを有する吸着機構と、前記複数の対象物を吸引する吸引機構とを備えた装置であって、
前記テーブルは、
基台と、
前記基台の上に取り付けられた吸着治具と、
前記吸着治具が有するプレートと、
前記プレートの上に設けられた吸着部材と、
前記吸着部材に設けられ前記複数の対象物にそれぞれ対応する複数の突起と、
前記複数の突起のそれぞれにおける上面から前記吸着部材の底面まで貫通する複数の吸着孔と、
前記プレートに設けられ前記複数の吸着孔にそれぞれ連通する複数の貫通孔と、
前記基台に設けられ前記複数の貫通孔につながる空間とを備え、
前記吸着部材は振動吸収材からなり、少なくとも前記空間と前記複数の貫通孔と前記複数の吸着孔とを順次経由して前記吸引機構が前記複数の対象物を吸引することによって、前記複数の対象物が前記吸着治具に吸着されることを特徴とする装置。 - 請求項13に記載された装置において、
温度が5℃〜30℃の範囲において前記振動吸収材の損失係数tanδが最大値を有することを特徴とする装置。 - 請求項14に記載された装置において、
温度が5℃〜30℃の範囲において前記振動吸収材の損失係数tanδが0.5以上であることを特徴とする装置。 - 請求項14に記載された装置において、
温度が10℃〜30℃の範囲において前記振動吸収材の損失係数tanδが0.7以上であることを特徴とする装置。 - 請求項14に記載された装置において、
温度が15℃〜25℃の範囲において前記振動吸収材の損失係数tanδが1.0以上であることを特徴とする装置。 - 請求項13〜17のいずれかにされた装置において、
前記振動吸収材のショア硬さがA40〜A60であることを特徴とする装置。
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