JP7102157B2 - 切断装置及び切断品の製造方法 - Google Patents
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Description
テーブルと、気圧保持機構と、切断機構とを含み、
前記テーブルにより、切断対象物が吸引されて保持され、
前記気圧保持機構により、前記切断対象物が保持された前記テーブルの外側の気圧が、大気圧よりも高い気圧に保持され、
前記切断機構により、前記テーブルに保持された前記切断対象物が切断されることを特徴とする。
テーブルにより、切断対象物を吸引して保持する切断対象物保持工程と、
前記切断対象物が保持された前記テーブルの外側の気圧を、大気圧よりも高い気圧に保持する気圧保持工程と、
前記テーブルに保持された前記切断対象物を切断する切断工程と、
を含むことを特徴とする。
さらに、切断室を含み、
前記切断室内では、前記気圧保持機構により前記テーブルの外側の気圧が大気圧よりも高い気圧に保持された状態とされ、前記テーブルに保持された前記切断対象物が前記切断機構により切断されて切断品が製造される、
切断装置であってもよい。
さらに、切断室と、加圧室と、減圧室とを含み、
前記切断室内で、前記切断対象物が切断されて切断品が製造され、
前記加圧室は、前記切断室の切断対象物搬入側に配置され、
前記減圧室は、前記切断室の切断品搬出側に配置され、
前記加圧室と前記切断室とが接続され、かつ、前記加圧室及び前記切断室内部が大気圧よりも高い気圧に保持された状態で、前記切断対象物が、前記加圧室から前記切断室に搬入され、
前記減圧室と前記切断室とが接続された状態で、前記切断品が、前記切断室から前記減圧室に搬出され、その後、前記減圧室と前記切断室との接続が遮断され、かつ、前記減圧室内部が前記切断対象物切断時よりも低い気圧に減圧された状態で、前記切断品が、前記減圧室内部から外部に搬出される、
切断装置であってもよい。
前記気圧保持機構が、格納室と、操作部とを含み、
前記格納室内部に、前記テーブルと前記切断機構とが格納され、
前記操作部により、前記格納室内部の気圧が、大気圧よりも高い気圧に保持される、
切断装置であってもよい。
切断室を用い、
前記切断工程を、前記切断室内で行なう、
切断品の製造方法であってもよい。
切断室と、加圧室と、減圧室とを用い、
前記切断工程を、前記切断室内で行ない、
さらに、切断対象物搬入工程と、切断品搬出工程とを含み、
前記切断対象物搬入工程は、前記加圧室と前記切断室とが接続され、かつ、前記加圧室及び前記切断室内部が大気圧よりも高い気圧に保持された状態で、前記切断対象物を前記加圧室から前記切断室に搬入する工程であり、
前記切断品搬出工程は、前記減圧室と前記切断室とが接続された状態で、前記切断工程で前記切断対象物が切断された切断品を、前記切断室から前記減圧室に搬出し、その後、前記減圧室と前記切断室との接続を遮断してから、前記減圧室内部が前記切断対象物切断時よりも低い気圧に減圧された状態で、前記切断品を前記減圧室内部から外部に搬出する工程である、
切断品の製造方法であってもよい。
11 溝
12 貫通孔
20 パッケージ基板(切断対象物)
20b パッケージ部品(切断品)
21 基板
21b 切断された基板
22 樹脂(硬化樹脂)
22b 切断された樹脂(硬化樹脂)
30 回転刃(切断機構)
31 刃本体
32 フランジ(固定部材)
1000、1000b 切断装置
1010 基板供給機構(切断対象物供給機構)
1020 制御部
1030 ゲートバルブ
1100 加圧室
1200 切断室(気圧保持機構)
1210 気圧調整器(気圧保持機構)
1220 排水減圧器
1230 スピンドル(切断機構)
1241、1242 蛇腹
1250 受け板
1260 排水流動部
1270 排出口
1300 減圧室
1330 ゲートバルブ
1400 検査テーブル
1500 トレイ
2000 格納室(気圧保持機構)
2100 操作部(気圧保持機構)
X1 テーブル10による吸引方向を表す矢印
Y1 パッケージ基板20に圧力がかかる方向を表す矢印
Claims (4)
- テーブルと、気圧保持機構と、切断機構と、切断室と、加圧室と、減圧室とを含み、
前記テーブルにより、切断対象物が吸引されて保持され、
前記気圧保持機構により、前記切断対象物が保持された前記テーブルの外側の気圧が、大気圧よりも高い気圧に保持され、
前記切断機構により、前記テーブルに保持された前記切断対象物が切断され、
前記切断室内では、前記気圧保持機構により前記テーブルの外側の気圧が大気圧よりも高い気圧に保持された状態とされ、前記テーブルに保持された前記切断対象物が前記切断機構により切断されて切断品が製造され、
前記加圧室は、前記切断室の切断対象物搬入側に配置され、
前記減圧室は、前記切断室の切断品搬出側に配置され、
前記加圧室と前記切断室とが接続され、かつ、前記加圧室及び前記切断室内部が大気圧よりも高い気圧に保持された状態で、前記切断対象物が、前記加圧室から前記切断室に搬入され、
前記減圧室と前記切断室とが接続された状態で、前記切断品が、前記切断室から前記減圧室に搬出され、その後、前記減圧室と前記切断室との接続が遮断され、かつ、前記減圧室内部が前記切断対象物切断時よりも低い気圧に減圧された状態で、前記切断品が、前記減圧室内部から外部に搬出されることを特徴とする切断装置。 - 前記気圧保持機構が、格納室と、操作部とを含み、
前記格納室内部に、前記テーブルと前記切断機構とが格納され、
前記操作部により、前記格納室内部の気圧が、大気圧よりも高い気圧に保持される、
請求項1記載の切断装置。 - 前記気圧保持機構により、前記切断対象物が保持された前記テーブルの外側の気圧が、1.1×105Pa以上に保持される、請求項1又は2記載の切断装置。
- テーブルにより、切断対象物を吸引して保持する切断対象物保持工程と、
前記切断対象物が保持された前記テーブルの外側の気圧を、大気圧よりも高い気圧に保持する気圧保持工程と、
前記テーブルに保持された前記切断対象物を切断室内で切断する切断工程と、
を含み、
さらに、加圧室を用いる切断対象物搬入工程と、減圧室を用いる切断品搬出工程とを含み、
前記切断対象物搬入工程は、前記加圧室と前記切断室とが接続され、かつ、前記加圧室及び前記切断室内部が大気圧よりも高い気圧に保持された状態で、前記切断対象物を前記加圧室から前記切断室に搬入する工程であり、
前記切断品搬出工程は、前記減圧室と前記切断室とが接続された状態で、前記切断工程で前記切断対象物が切断された切断品を、前記切断室から前記減圧室に搬出し、その後、前記減圧室と前記切断室との接続を遮断してから、前記減圧室内部が前記切断対象物切断時よりも低い気圧に減圧された状態で、前記切断品を前記減圧室内部から外部に搬出する工程であることを特徴とする切断品の製造方法。
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