JP2022151351A - 保持テーブル - Google Patents

Abstract

【課題】撮像カメラのレンズに加工液が付着することを抑制することができる保持テーブルを提供すること。【解決手段】保持テーブル１は、保持面２１を含む透明板２と、透明板２を支持する環状支持面３１を含む環状支持部材３と、透明板２の外縁部を環状支持部材３とともに挟持する押さえ部材４とを備え、透明板２には保持面２１に開口した吸引溝２３と保持面２１の背面２４の背面側開口２５と吸引溝２３から背面側開口２５に至る透明板流路２６が形成され、環状支持部材３には透明板２の背面側開口２５に接続し環状支持面３１に開口するとともにエジェクタ６４とエアー供給源６２とに切り替え自在にバルブ６６，６８，６９を介して接続される環状溝６１が形成され、環状支持面３１には環状溝６１の両側に環状支持面３１に開口しエジェクタ６４に接続される一対の環状吸引溝７が形成される。【選択図】図５

Description

本発明は、加工装置で利用される保持テーブルに関する。

通常の保持テーブルは、金属からなる枠体にポーラス板を接着剤で貼り合わせ形成している。接着剤によってポーラス板の上面高さが均一にならないため、貼り合わせた後、枠体とともにポーラス板の上面を研削して平坦化している。保持テーブルは保持面の開口を介して被加工物を吸引保持するとともに、加工後の被加工物にエアブローして被加工物を保持面から剥離させている。

一方で被加工物を保持する保持部材をガラス板等の透明部材で構成し、保持テーブルを介して被加工物の被保持面側を撮像する切削装置も提案されている（例えば、特許文献１及び特許文献２参照）。ガラス板は、枠体とともに研削することが難しいため、ガラス板を環状の支持体で支持し上側の押え部材で上下から挟み込み接着剤を使用することなく固定することが考えられる。そして、撮像カメラは環状の支持体の内側に位置づけられることでガラス板を介して被加工物を撮像する。

特開２０１０－０８７１４１号公報 特開２０１０－０８２６４４号公報

しかし、特許文献１及び特許文献２に示された保持部材をガラス板で構成した保持テーブルは、加工中に被加工物や切削ブレードに対して供給される切削液がガラス板と支持体の界面から進入して環状の支持体の内側に到達し、滴下することで撮像カメラの対物レンズに加工液が付着してしまうおそれがある。

例えば、支持体とガラス板間にゴムパッキンを介在させることも考えられるが、パッキンにより保持面上面高さがばらつくおそれがある。

撮像カメラのレンズに加工液が付着すると、被加工物の撮像画像に加工液が写り込み、鮮明な撮像画像を得ることが難しいという問題が生じる。

本発明の目的は、撮像カメラのレンズに加工液が付着することを抑制することができる保持テーブルを提供することである。

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の保持テーブルは、被加工物を保持する保持テーブルと、該保持テーブルで保持された被加工物に加工を施す加工手段と、被加工物に加工液を供給する加工液供給手段と、該保持テーブルを介して被加工物の下面側を撮像する撮像手段と、を備えた加工装置で使用される該保持テーブルであって、被加工物を保持する保持面を含む透明板と、該透明板を支持する環状支持面を含む環状支持部と、該環状支持部に支持された該透明板の外周を該環状支持部とともに挟持する押さえ部と、を備え、該透明板には、該保持面に開口した保持面側開口と、該保持面の背面の背面側開口と、該保持面側開口から該背面側開口に至る透明板流路が形成され、該環状支持部には、該透明板の該背面側開口に接続するよう形成され該環状支持面に開口するとともに吸引源とエアー供給源とに切り替え自在にバルブを介して接続される環状溝が形成され、該環状溝は該透明板流路とともに被加工物を吸引またはエアブローする被加工物用流路を構成し、該環状支持面には、該環状溝の両側に形成され該環状支持面に開口するとともに吸引源に接続されて該透明板を吸引保持する一対の環状吸引溝が形成されることを特徴とする。

本発明は、撮像カメラのレンズに加工液が付着することを抑制することができるという効果を奏する。

図１は、実施形態１に係る保持テーブルを備える加工装置の構成例を示す斜視図である。 図２は、図１に示された加工装置の保持テーブルと下方撮像カメラを示す斜視図である。 図３は、実施形態１に係る保持テーブルの平面図である。 図４は、図３中のＩＶ－ＩＶ線に沿う断面図である。 図５は、図４中のＶ部を拡大して示す断面図である。

本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。

〔実施形態１〕
本発明の実施形態１に係る保持テーブルを図面に基づいて説明する。図１は、実施形態１に係る保持テーブルを備える加工装置の構成例を示す斜視図である。図２は、図１に示された加工装置の保持テーブルと下方撮像カメラを示す斜視図である。図３は、実施形態１に係る保持テーブルの平面図である。図４は、図３中のＩＶ－ＩＶ線に沿う断面図である。図５は、図４中のＶ部を拡大して示す断面図である。

実施形態１に係る保持テーブル１は、図１に示す加工装置１００を構成する。図１に示された加工装置１００は、被加工物２００を切削（加工に相当する）する切削装置である。図１に示された加工装置１００の加工対象の被加工物２００は、シリコン、サファイヤ、ガリウムヒ素、又はＳｉＣ（炭化ケイ素）等などを基板２０１とする円板状の半導体ウェーハや光デバイスウェーハ等のウェーハである。被加工物２００は、基板２０１の表面２０２に複数の分割予定ライン２０３によって格子状に区画された領域にデバイス２０４が形成されている。

デバイス２０４は、例えば、ＩＣ（Integrated Circuit）、又はＬＳＩ（Large Scale Integration）等の集積回路、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）、又はＣＭＯＳ（Complementary Metal Oxide Semiconductor）等のイメージセンサである。実施形態１では、被加工物２００は、基板２０１の表面２０２の裏側の裏面２０５に金属膜２０６が形成されている。被加工物２００は、裏面２０５に金属膜２０６が形成されているので、裏面２０５側から赤外線カメラで撮像しても、分割予定ライン２０３を検出することができないものである。

実施形態１において、被加工物２００は、表面２０２にテープ２１１が貼着されるとともに、テープ２１１の外周縁が環状のフレーム２１０に装着されて、テープ２１１により、フレーム２１０の内側に支持されて、裏面２０５側の金属膜２０６を上方に向けている。なお、実施形態１では、被加工物２００は、基板２０１の裏面２０５に金属膜２０６が形成されているが、本発明では、金属膜２０６が形成されていなくても良く、テープ２１１に裏面２０５が貼着されて、表面２０２側を上方に向けていても良い。

図１に示された加工装置１００は、被加工物２００を保持テーブル１で保持し分割予定ライン２０３に沿って切削ブレード１２１で切削して、個々のデバイス２０４に分割する切削装置である。加工装置１００は、図１に示すように、保持ユニット１１０と、切削ユニット１２０と、移動ユニット１３０と、上方撮像カメラ１４０と、制御ユニット１９０とを備える。

保持ユニット１１０は、図２に示すように、移動ユニット１３０のＸ軸移動ユニット１３１により水平方向と平行なＸ軸方向に移動される筐体１１１と、筐体１１１上に鉛直方向に沿うＺ軸方向と平行な軸心回りに回転可能に設けられた保持テーブル１とを備える。

実施形態１では、筐体１１１は、Ｘ軸移動ユニット１３１によりＸ軸方向に移動されかつ水平方向と平行な下板１１２と、下板１１２の外縁から立設した側板１１３と、外縁が側板１１３の上端に連なりかつ下板１１２と平行な上板１１４とを備える。

保持テーブル１は、加工装置１００で使用されるものであって、被加工物２００を保持面２１上に保持するとともに上板１１４に軸心回りに回転自在に支持されている。保持テーブル１は、図２、図３及び図４に示すように、透明板２と、環状支持部材３（環状支持部に相当）と、押さえ部材４（押さえ部に相当）と、フレーム保持部５と、被加工物用流路６（図５に示す）とを備える。

透明板２は、被加工物２００の外径よりも外径が大きくかつ厚みが一様の円板状に形成され、保持テーブル１が筐体１１１の上板１１４に設置されると、上面が水平方向と平行となる。透明板２の上面は、被加工物２００を保持する保持面２１である。即ち、透明板２は、被加工物２００を保持する保持面２１を含む。

透明板２は、石英ガラス、ホウケイ酸ガラス、サファイア、フッ化カルシウム、フッ化リチウム、フッ化マグネシウム等の透明（透光性を有する）でかつ非通気性を有する非多孔質材から構成される。透明板２は、保持面２１にテープ２１１を介して被加工物２００が載置されて、被加工物２００及び被加工物２００の外周のテープ２１１を保持する。また、透明板２は、外周である外縁部に厚みが段階的に薄くなり、かつ保持テーブル１が筐体１１１の上板１１４に設置されると、上面が保持面２１よりも下方に位置する段部２２（図４及び図５に示す）が全周に亘って形成されている。

また、実施形態１では、透明板２には、図５に示すように、保持面２１に開口した保持面側開口である吸引溝２３と、保持面２１の背面（裏）側の透明板２の背面２４の背面側開口２５と、吸引溝２３から背面側開口２５に至る透明板流路２６が形成されている。吸引溝２３は、保持面２１から凹の溝に形成され、図３に示すように、保持面２１と同軸な環状部２３１と、環状部２３１に両端が連通しかつ保持面２１の中心で互いに交差する複数の直線部２３２とを備える。環状部２３１は、内外径が被加工物２００の外径よりも小さいリング状に形成されている。直線部２３２は、保持面２１の径方向と平行な直線状に延在し、実施形態１では、２本設けられている。

透明板流路２６は、透明板２を厚み方向に沿って貫通した孔であり、実施形態１では、一端が吸引溝２３の環状部２３１に開口している。透明板流路２６は、他端が透明板２の背面２４に開口した背面側開口２５である。

環状支持部材３は、ステンレス鋼等で構成され、開口３３を中央に有した円環状に形成されている。環状支持部材３は、筐体１１１の上板１１４にＺ軸方向と平行な軸心回りに回転自在に支持されている。環状支持部材３の内径は、透明板２の外径よりも小さく、環状支持部材３の外径は、透明板２の外径よりも大きい。

環状支持部材３は、内縁部に透明板２を支持する環状支持面３１を全周に亘って含んでいる。環状支持面３１は、環状支持部材３が、筐体１１１の上板１１４に支持されると、水平方向と平行になる。環状支持面３１は、透明板２の外周である外縁部が載置される。

押さえ部材４は、環状支持部材３の環状支持面３１に支持された透明板２の外縁部を環状支持部材３とともに挟持するものである。押さえ部材４は、ステンレス鋼などで構成され、内径が透明板２の外径よりも小さく、外径が透明板２の外径よりも大きな円環状に形成されている。

押さえ部材４は、内縁部に段部２２の上面に載置される被載置部４１を備え、外縁部にボルト４２を通すボルト通し孔４３を備えている。押さえ部材４は、被載置部４１が段部２２の上面に載置され、ボルト通し孔４３を通ったボルト４２が環状支持部材３に設けられたねじ孔３２に螺合することにより、環状支持部材３に固定され、透明板２の外縁部を環状支持部材３とともに挟持して、透明板２を環状支持部材３に固定する。なお、押さえ部材４の少なくとも被載置部４１の上面は、保持面２１と同一平面上に位置する。

実施形態１において、保持テーブル１は、環状支持部材３の環状支持面３１上に支持された透明板２の外縁部の段部２２に押さえ部材４の被載置部４１が載置され、ボルト通し孔４３を通ったボルト４２が環状支持部材３に設けられたねじ孔３２に螺合することにより透明板２が環状支持部材３に固定される。なお、実施形態１では、保持テーブル１は、透明板２と、環状支持部材３と、押さえ部材４とが互いに同軸となる位置に配置されている。

フレーム保持部５は、フレーム２１０を保持するものであって、環状支持部材３の外縁部に固定されて、透明板２即ち保持面２１の外周側に配置されている。フレーム保持部５は、環状支持部材３の外縁部に周方向に間隔あけて複数配置され、上面にフレーム２１０が載置されるフレーム支持部５１と、フレーム支持部５１の上面に載置されたフレーム２１０を吸引保持するバキュームパッド５２とを備える。バキュームパッド５２は、図示しない吸引源に接続されている。

被加工物用流路６は、被加工物２００を保持面２１に吸引保持、又は保持面２１上の被加工物２００に向かって加圧された気体を噴射する（以下、エアブローすると記載する）ものである。被加工物用流路６は、図５に示すように、前述した透明板流路２６と、環状支持部材３に形成された環状溝６１と、エアー供給源６２と、噴射流路６３と、吸引源であるエジェクタ６４と、吸引流路６５とを備える。

環状溝６１は、透明板２の背面側開口２５に接続するよう形成され、環状支持面３１に開口している。実施形態１では、環状溝６１は、環状支持部材３の環状支持面３１から凹の溝に形成されて、環状支持面３１に開口している。環状溝６１は、環状支持面３１と同軸でかつ内外径が吸引溝２３の環状部２３１の内外径と等しいリング状に形成されて、環状支持部材３に固定された透明板２に形成された背面側開口２５と接続（即ち連通）している。環状溝６１は、背面側開口２５と連通することで、透明板流路２６とともに被加工物用流路６を構成する。

エアー供給源６２は、加圧されたエアーを供給するものである。噴射流路６３は、一端がエアー供給源６２に連通し、他端が環状溝６１に連通して、エアー供給源６２からの加圧されたエアーを環状溝６１に供給して、吸引溝２３からエアーを噴射させるものである。噴射流路６３は、開閉弁である第１バルブ６６が設けられている。

エジェクタ６４は、エアー供給源６２と流路６７により接続され、流路６７内を通してエアー供給源６２から加圧されたエアーが供給される。エジェクタ６４は、加圧されたエアーが供給されると、負圧を生じる。なお、流路６７は、開閉弁である第２バルブ６８が設けられている。

吸引流路６５は、一端がエジェクタ６４に連通し、他端が噴射流路６３の中央部に連通して、エジェクタ６４が生じた負圧を環状溝６１に供給して、吸引溝２３から気体などを吸引するものである。吸引流路６５は、開閉弁である第３バルブ６９が設けられている。

流路６３，６５，６７及びバルブ６６，６８，６９により、環状溝６１は、エジェクタ６４とエアー供給源６２とに切り替え自在にバルブ６６，６８，６９及び流路６３，６５，６７を介して接続される。環状溝６１は、第１バルブ６６が閉じられ、第２バルブ６８と第３バルブ６９とが開かれて、エジェクタ６４が生じた負圧が供給され、エジェクタ６４からの負圧により吸引溝２３から気体を吸引することで、保持面２１上の被加工物２００をテープ２１１を介して保持面２１に吸引保持する。

環状溝６１は、第１バルブ６６と第２バルブ６８とが開かれ、第３バルブ６９が閉じられて、エアー供給源６２から加圧された気体が供給され、エアー供給源からの加圧された気体を吸引溝２３から噴射することで、保持面２１上の被加工物２００に向かってテープ２１１を介してエアブローして、保持面２１から被加工物２００を離脱させる。

また、実施形態１に係る保持テーブル１は、環状支持面３１には一対の環状吸引溝７が形成されている。即ち、実施形態１に係る保持テーブル１は、環状支持面３１に形成された一対の環状吸引溝７を更に備える。

環状吸引溝７は、環状支持部材３の環状支持面３１の内縁部に、環状溝６１の環状支持部材３の内外周の両側に形成され、環状支持面３１に開口するとともに、エジェクタ６４に接続されている。環状吸引溝７は、環状支持部材３の環状支持面３１のから凹の溝に形成されて、環状支持面３１に開口している。

実施形態１では、環状吸引溝７は、一対設けられ、環状支持面３１即ち環状溝６１と同軸に配置されている。一方の環状吸引溝７は、内外径が環状溝６１の内外径よりも小さく形成され、環状溝６１よりも環状支持面３１の内周側に配置されている。他方の環状吸引溝７は、内外径が環状溝６１の内外径よりも大きく形成され、環状溝６１よりも環状支持面３１の外周側に配置されている。

環状吸引溝７は、それぞれ、第２吸引路７１により吸引流路６５のエジェクタ６４と第３バルブ６９との間に接続している。このために、保持テーブル１は、環状吸引溝７とエジェクタ６４とを接続する第２吸引路７１を備える。第２吸引路７１は、一端が吸引流路６５のエジェクタ６４と第３バルブ６９との間に連通し、他端が一端から２つに分岐して、それぞれ環状吸引溝７に連通している。環状吸引溝７は、第２バルブ６８が開かれて、エジェクタ６４が生じた負圧が供給され、エジェクタ６４からの負圧により透明板２を環状支持部材３の環状支持面３１に吸引保持する。

また、環状吸引溝７は、エジェクタ６４からの負圧により透明板２と環状支持部材３の環状支持面３１との間に浸入した液体を吸引する。一方の環状吸引溝は、透明板２と環状支持部材３の環状支持面３１との間に浸入した液体を吸引して、この液体が環状支持部材３の内縁から滴下されることを規制する。他方の環状吸引溝は、透明板２と環状支持部材３の環状支持面３１との間に浸入した液体を吸引して、この液体が環状支持部材３の外縁から滴下されることを規制する。

保持テーブル１は、第１バルブ６６が閉じられ、第２バルブ６８と第３バルブ６９とが開かれて、エジェクタ６４が生じた負圧により保持面２１上の被加工物２００をテープ２１１を介して保持面２１に吸引保持するとともに、エジェクタ６４が生じた負圧により環状支持部材３の環状支持面３１に透明板２を吸引保持する。また、保持テーブル１は、第１バルブ６６と第２バルブ６８とが開かれ、第３バルブ６９が閉じられて、エアー供給源６２から加圧された気体が供給され、エアー供給源６２からの加圧された気体を保持面２１上の被加工物２００に向かってテープ２１１を介してエアブローするとともに、エジェクタ６４が生じた負圧により環状支持部材３の環状支持面３１に透明板２を吸引保持する。

また、実施形態１では、保持ユニット１０は、筐体１１の上板１１４に円形の貫通孔１１５を設けている。貫通孔１１５は、保持テーブル１の透明板２と環状支持部材３と押さえ部材４と互いに同軸となる位置に配置されている。

移動ユニット１３０は、保持テーブル１と切削ユニット１２０とを相対的に移動させるものである、移動ユニット１３０は、図２に示す加工送りユニットであるＸ軸移動ユニット１３１と、図１に示す割り出し送りユニットであるＹ軸移動ユニット１３２と、図１に示す切り込み送りユニットであるＺ軸移動ユニット１３３と、図２に示す保持テーブル１をＺ軸方向と平行な軸心回りに回転する回転移動ユニット１３４とを備える。

Ｘ軸移動ユニット１３１は、保持ユニット１０の筐体１１の下板１１２をＸ軸方向に移動させることで、保持テーブル１と切削ユニット１２０とをＸ軸方向に相対的に移動させるものである。Ｘ軸移動ユニット１３１は、保持テーブル１に被加工物２００が搬入出される搬入出領域１０３と、被加工物２００に保持された被加工物２００が切削される加工領域１０４とに亘って保持テーブル１をＸ軸方向に移動させる。

Ｙ軸移動ユニット１３２は、切削ユニット１２０を水平方向と平行でかつＸ軸方向に直交するＹ軸方向に移動させることで、保持テーブル１と切削ユニット１２０とをＹ軸方向に相対的に移動させるものである。Ｚ軸移動ユニット１３３は、切削ユニット１２０をＸ軸方向とＹ軸方向との双方と直交する鉛直方向と平行なＺ軸方向に移動させることで、保持テーブル１と切削ユニット１２０とをＺ軸方向に相対的に移動させるものである。

Ｘ軸移動ユニット１３１、Ｙ軸移動ユニット１３２及びＺ軸移動ユニット１３３は、軸心回りに回転自在に設けられた周知のボールねじ、ボールねじを軸心回りに回転させる周知のモータ及び保持テーブル１又は切削ユニット１２０をＸ軸方向、Ｙ軸方向又はＺ軸方向に移動自在に支持する周知のガイドレールを備える。

回転移動ユニット１３４は、保持テーブル１をＺ軸方向と平行な軸心回りに回転するものである。回転移動ユニット１３４は、保持テーブル１を軸心回りに１８０度を超え、３６０度未満の範囲で回転する。回転移動ユニット１３４は、筐体１１の側板１１３に固定されたモータ１４１と、モータ１４１の出力軸に連結されたプーリ１４２と、保持テーブル１の環状支持部材３の外周に巻回されかつプーリ１４２により軸心回りに回転されるベルト１４３とを備えている。回転移動ユニット１３４は、モータ１４１を回転すると、プーリ１４２及びベルト１４３を介して保持テーブル１を軸心回りに回転する。また、実施形態１では、回転移動ユニット１３４は、軸心回りの一方向と、一方向の逆方向の他方向との双方において、保持テーブル１を２２０度回転させることが可能である。

切削ユニット１２０は、保持テーブル１の透明板２で保持された被加工物２００に切削ブレード１２１で切削を施す加工手段である。切削ユニット１２０は、保持テーブル１の透明板２に保持された被加工物２００に対して、Ｙ軸移動ユニット１３２によりＹ軸方向に移動自在に設けられ、かつ、Ｚ軸移動ユニット１３３によりＺ軸方向に移動自在に設けられている。切削ユニット１２０は、Ｙ軸移動ユニット１３２及びＺ軸移動ユニット１３３などを介して、装置本体１０１から立設した支持フレーム１０２に設けられている。

切削ユニット１２０は、Ｙ軸移動ユニット１３２及びＺ軸移動ユニット１３３により、保持テーブル１の保持面２１の任意の位置に切削ブレード１２１を位置付け可能となっている。切削ユニット１２０は、切削ブレード１２１と、Ｙ軸移動ユニット１３２及びＺ軸移動ユニット１３３によりＹ軸方向及びＺ軸方向に移動自在に設けられたスピンドルハウジング１２２と、スピンドルハウジング１２２に軸心回りに回転自在に設けられかつモータにより回転されるとともに先端に切削ブレード１２１が装着されるスピンドル１２３と、加工液供給手段である切削水ノズル１２４とを備える。

切削ブレード１２１は、保持テーブル１で保持された被加工物２００を切削するものであって、略リング形状を有する極薄の切削砥石である。実施形態１において、切削ブレード１２１は、円環状の円形基台と、円形基台の外周縁に配設されて被加工物２００を切削する円環状の切り刃とを備える所謂ハブブレードである。切り刃は、ダイヤモンドやＣＢＮ（Cubic Boron Nitride）等の砥粒と、金属や樹脂等のボンド材（結合材）とからなり所定厚みに形成されている。なお、本発明では、切削ブレード１２１は、切り刃のみで構成された所謂ワッシャーブレードでもよい。

スピンドル１２３は、モータにより軸心回りに回転することで、切削ブレード１２１を軸心回りに回転させる。なお、切削ユニット１２０の切削ブレード１２１及びスピンドル１２３の軸心は、Ｙ軸方向と平行である。切削水ノズル１２４は、スピンドルハウジング１２２の先端に設けられ、切削ブレード１２１による被加工物２００の切削中に被加工物２００及び切削ブレード１２１に、加工液供給源１２５からの加工液である切削水を供給するものである。なお、実施形態１において、切削水は、純水である。

上方撮像カメラ１４０は、切削ユニット１２０と一体的に移動するように、切削ユニット１２０に固定されている。上方撮像カメラ１４０は、保持テーブル１に保持された被加工物２００を上方から撮像する撮像素子を複数備えている。撮像素子は、例えば、ＣＣＤ（Charge-Coupled Device）撮像素子又はＣＭＯＳ（Complementary MOS）撮像素子である。上方撮像カメラ１４０は、保持テーブル１の透明板２に保持された被加工物２００を撮像して、得た画像を制御ユニット１９０に出力する。

また、加工装置１００は、図２に示すように、保持テーブル１の透明板２の下方に配設され透明板２で保持された被加工物２００の下面である表面２０２側を透明板２を介して撮像する撮像手段である下方撮像カメラ１５０を備える。下方撮像カメラ１５０は、保持テーブル１の透明板２に保持された被加工物２００の表面２０２側を透明板２越しに被加工物２００の下方から撮像するものである。このために、透明板２で保持された被加工物２００は、下方撮像カメラ１５０により開口３３を通して透明板２を介して撮像される。

図２は、下方撮像カメラ１５０を保持ユニット１０のＹ軸方向の隣りに示している。しかしながら、実際の加工装置１００では、下方撮像カメラ１５０は、保持テーブル１の透明板２の下方に配置されている。また、下方撮像カメラ１５０は、装置本体１０１に設けられた第２Ｙ軸移動ユニット１３５によりＹ軸方向に移動自在に配置され、第２Ｙ軸移動ユニット１３５によりＹ軸方向に移動される移動プレート１３６から立設した立設柱１３７に設けられた第２Ｚ軸移動ユニット１３８によりＺ軸方向に移動自在に配置されている。実施形態１では、下方撮像カメラ１５０は、第２Ｚ軸移動ユニット１３８によりＺ軸方向に移動自在な昇降部材に一端が取り付けられた水平延在部材１３９の他端に取り付けられている。

第２Ｙ軸移動ユニット１３５及び第２Ｚ軸移動ユニット１３８は、軸心回りに回転自在に設けられた周知のボールねじ、ボールねじを軸心回りに回転させる周知のモータ、移動プレート又は下方撮像カメラ１５０をＹ軸方向又はＺ軸方向に移動自在に支持する周知のガイドレールとを備える。

下方撮像カメラ１５０は、保持テーブル１に保持された被加工物２００を透明板２越しに下方から撮像する撮像素子を備えている。撮像素子は、例えば、ＣＣＤ（Charge-Coupled Device）撮像素子又はＣＭＯＳ（Complementary MOS）撮像素子である。下方撮像カメラ１５０は、保持テーブル１に保持された被加工物２００を撮像して、得た画像を制御ユニット１９０に出力する。

また、加工装置１００は、保持テーブル１のＸ軸方向の位置を検出するためＸ軸方向位置検出ユニット１５１（図２に示す）と、切削ユニット１２０のＹ軸方向の位置を検出するための図示しないＹ軸方向位置検出ユニットと、切削ユニット１２０のＺ軸方向の位置を検出するためのＺ軸方向位置検出ユニットとを備える。Ｘ軸方向位置検出ユニット１５１及びＹ軸方向位置検出ユニットは、Ｘ軸方向、又はＹ軸方向と平行なリニアスケールと、読み取りヘッドとにより構成することができる。Ｚ軸方向位置検出ユニットは、モータのパルスで切削ユニット１２０のＺ軸方向の位置を検出する。Ｘ軸方向位置検出ユニット１５１、Ｙ軸方向位置検出ユニット及びＺ軸方向位置検出ユニットは、保持テーブル１のＸ軸方向、切削ユニット１２０のＹ軸方向又はＺ軸方向の位置を制御ユニット１９０に出力する。

また、加工装置１００は、下方撮像カメラ１５０のＹ軸方向の位置を検出する第２Ｙ軸方向位置検出ユニット１５５（図２に示す）を備える。第２Ｙ軸方向位置検出ユニット１５５は、Ｙ軸方向と平行なリニアスケールと、読み取りヘッドとにより構成することができる。第２Ｙ軸方向位置検出ユニット１５５は、下方撮像カメラ１５０のＸ軸方向、切削ユニット１２０のＹ軸方向又はＺ軸方向の位置を制御ユニット１９０に出力する。なお、各位置検出ユニット１５１，１５５が検出した各軸方向の保持テーブル１、切削ユニット１２０及び下方撮像カメラの位置は、加工装置１００の予め定められた基準位置を基準として定められる。即ち、実施形態１に係る加工装置１００は、予め定められた基準位置を基準として各位置が定められる。

また、加工装置１００は、切削前後の被加工物２００を複数枚収容するカセット１６０が載置されかつカセット１６０をＺ軸方向に移動させるカセットエレベータ１６１と、切削後の被加工物２００を洗浄する洗浄ユニット１６２と、カセット１６０に被加工物２００を出し入れするとともに被加工物２００を搬送する図示しない搬送ユニットとを備える。

制御ユニット１９０は、加工装置１００の上述した各構成要素をそれぞれ制御して、被加工物２００に対する加工動作を加工装置１００に実施させるものである。なお、制御ユニット１９０は、ＣＰＵ（central processing unit）のようなマイクロプロセッサを有する演算処理装置と、ＲＯＭ（read only memory）又はＲＡＭ（random access memory）のようなメモリを有する記憶装置と、入出力インターフェース装置とを有するコンピュータである。制御ユニット１９０の演算処理装置は、記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムに従って演算処理装置が演算処理を実施して、加工装置１００を制御するための制御信号を入出力インターフェース装置を介して加工装置１００の上述した構成要素に出力する。

また、加工装置１００は、制御ユニット１９０に接続されかつ加工動作の状態や画像などを表示する液晶表示装置などにより構成される図示しない表示ユニットと、制御ユニット１９０に接続されかつオペレータが加工内容情報などを登録する際に用いる入力ユニットとに接続されている。実施形態１において、入力ユニットは、表示ユニットに設けられたタッチパネルと、キーボード等の外部入力装置とのうち少なくとも一つにより構成される。

前述した構成の加工装置１００は、制御ユニット１９０がオペレータにより入力された加工内容情報を受け付けて登録し、切削加工前の被加工物２００を複数収容したカセット１６０がカセットエレベータ１６１に設置される。加工装置１００は、オペレータからの加工動作の開始指示を制御ユニット１９０が受け付けると、加工動作を開始し、制御ユニット１９０が第１バルブ６６を閉じ、第２バルブ６８を開いて、透明板２を環状支持部材３の環状支持面３１に吸引保持する。

実施形態１において、加工動作では、加工装置１００は、制御ユニット１９０が搬送ユニットを制御してカセット１６０から被加工物２００を１枚取り出し、搬入出領域１０３に位置付けられた保持テーブル１の保持面２１に被加工物２００を載置し、フレーム２１０をフレーム保持部５に載置する。加工装置１００は、制御ユニット１９０が、第３バルブ６９を開くなどして、保持テーブル１の保持面２１に被加工物２００を吸引保持するとともに、フレーム保持部５にフレーム２１０を吸引保持する。

加工動作では、加工装置１００は、制御ユニット１９０がＸ軸移動ユニット１３１及び第２Ｙ軸移動ユニット１３５を制御して、保持テーブル１の透明板２に保持された被加工物２００の下方に下方撮像カメラ１５０を位置付ける。加工動作では、加工装置１００は、制御ユニット１９０が下方撮像カメラ１５０で透明板２越しに下方から被加工物２００を撮像し、被加工物２００と切削ブレード１２１との位置合わせを行なうアライメントを遂行するための画像を取得する。

加工動作では、加工装置１００は、制御ユニット１９０が、下方撮像カメラ１５０が撮像して取得した画像から分割予定ライン２０３を検出し、アライメントを遂行する。加工動作では、加工装置１００は、制御ユニット１９０がＸ軸移動ユニット１３１を制御して、保持テーブル１を加工領域１０４まで移動し、制御ユニット１９０が移動ユニット１３０及び切削ユニット１２０を制御して、保持テーブル１と切削ユニット１２０の切削ブレード１２１とを分割予定ライン２０３に沿って相対的に移動させ切削水を切削水ノズル１２４から供給しながら分割予定ライン２０３に切削ブレード１２１をテープ２１１に到達するまで切り込ませて、被加工物２００を分割予定ライン２０３に沿って切削する。

加工動作では、加工装置１００は、保持テーブル１で保持された被加工物２００の全ての分割予定ライン２０３を切削すると、制御ユニット１９０がＸ軸移動ユニット１３１を制御して保持テーブル１を搬入出領域１０３まで移動し、保持テーブル１を搬入出領域１０３に位置付ける。加工動作では、加工装置１００は、保持テーブル１を搬入出領域１０３に位置付けると、制御ユニット１９０が第３バルブ６９を閉じ、第１バルブ６６を開くなどして、保持面２１からエアブローして被加工物２００を保持面２１から離脱させるとともに、フレーム保持部５のフレーム２１０の吸引保持を停止する。

加工装置１００は、制御ユニット１９０が搬送ユニットを制御して被加工物２００を洗浄ユニット１６２に搬送し、洗浄ユニット１６２で洗浄した後、カセット１６０に収容する。加工装置１００は、カセット１６０内の全ての被加工物２００を切削すると加工動作を終了する。

以上説明した実施形態１に係る保持テーブル１は、保持面２１に被加工物２００を吸引保持するための環状溝６１を環状支持部材３の環状支持面３１に形成し、環状支持部材３の環状支持面３１の環状溝６１の内外周の両側に透明板２を吸引保持するとともに透明板２を吸引保持する環状吸引溝７を設けている。よって、保持テーブル１は、環状支持部材３と透明板２との間に浸入した加工液が環状支持部材３の内側に流れ込む前に、一方の環状吸引溝７で吸引でき、下方撮像カメラ１５０に加工液が滴下することが防止できる。その結果、保持テーブル１は、下方撮像カメラ１５０のレンズに加工液が付着することを抑制することができるという効果を奏する。

また、保持テーブル１は、環状支持部材３と押さえ部材４とで透明板２を挟持するだけでなく、透明板２を吸引保持するため、より強固に透明板２を固定ができ、例えばエアブローによって透明板２が浮き上がり保持面２１の高さが変わるおそれがない。また、保持テーブル１は、透明板２を環状支持部材３の環状支持面３１で支持し、環状溝６１の内外周の両側に透明板２を吸引保持する環状吸引溝７を設けて、環状支持部材３と透明板２との間に浸入した加工液が環状支持部材３の内側に流れ込む前に、一方の環状吸引溝７で吸引できるので、透明板２と環状支持部材３の環状支持面３１との間にゴム等の弾性体により構成されたパッキンを設けることなく、下方撮像カメラ１５０に加工液が滴下することが防止できるという効果を奏する。

被加工物２００の搬出時に被加工物２００から滴下した加工液が、次の被加工物２００を吸引保持する際に被加工物用流路６に取り込まれ、エアブロー時に流出するおそれがあるが、実施形態１に係る保持テーブル１は、環状溝６１の両側に環状吸引溝７を設けることで、流出した加工液を環状吸引溝７で吸引できる。

また、保持テーブル１は、環状支持部材３の環状支持面３１の環状溝６１の内外周の両側に環状吸引溝７を設けているので、環状支持部材３と透明板２との間に浸入した加工液が環状支持部材３の外側に流れ込む前に、他方の環状吸引溝７で吸引でき、移動ユニット１３１，１３５に加工液が滴下することが防止できる。その結果、保持テーブル１は、移動ユニット１３１，１３５に加工液が付着することを抑制することができるという効果を奏する。

なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。なお、上記実施形態では、被加工物２００が、表面２０２がテープ２１１に貼着されて、加工装置１００が、下方撮像カメラ１５０で被加工物２００を撮像したが、本発明では、被加工物２００が、裏面２０５がテープ２１１に貼着されて、加工装置１００が、上方撮像カメラ１４０で被加工物２００を撮像しても良い。また、本発明では、加工装置１００は、被加工物２００を切削する切削装置に限定されずに、被加工物２００に切削以外の加工を施す種々の加工装置でも良い。

１ 保持テーブル
２ 透明板
３ 環状支持部材（環状支持部）
４ 押さえ部材（押さえ部）
６ 被加工物用流路
７ 環状吸引溝
２１ 保持面
２３ 吸引溝（保持面側開口）
２４ 背面
２５ 背面側開口
２６ 透明板流路
３１ 環状支持面
６１ 環状溝
６２ エアー供給源
６４ エジェクタ（吸引源）
６６ 第１バルブ（バルブ）
６８ 第２バルブ（バルブ）
６９ 第３バルブ（バルブ）
１００ 加工装置
１２０ 切削ユニット（加工手段）
１２４ 切削水ノズル（加工液供給手段）
１５０ 下方撮像カメラ（撮像手段）
２００ 被加工物

Claims (1)

1. 被加工物を保持する保持テーブルと、該保持テーブルで保持された被加工物に加工を施す加工手段と、被加工物に加工液を供給する加工液供給手段と、該保持テーブルを介して被加工物の下面側を撮像する撮像手段と、を備えた加工装置で使用される該保持テーブルであって、
   被加工物を保持する保持面を含む透明板と、
   該透明板を支持する環状支持面を含む環状支持部と、
   該環状支持部に支持された該透明板の外周を該環状支持部とともに挟持する押さえ部と、を備え、
   該透明板には、該保持面に開口した保持面側開口と、該保持面の背面の背面側開口と、該保持面側開口から該背面側開口に至る透明板流路が形成され、
   該環状支持部には、該透明板の該背面側開口に接続するよう形成され該環状支持面に開口するとともに吸引源とエアー供給源とに切り替え自在にバルブを介して接続される環状溝が形成され、
   該環状溝は該透明板流路とともに被加工物を吸引またはエアブローする被加工物用流路を構成し、
   該環状支持面には、該環状溝の両側に形成され該環状支持面に開口するとともに吸引源に接続されて該透明板を吸引保持する一対の環状吸引溝が形成される、保持テーブル。

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