JP7483369B2 - 切削装置 - Google Patents
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Description
本発明の実施形態1に係る切削装置を図面に基づいて説明する。図1は、実施形態1に係る切削装置の構成例を示す斜視図である。図2は、図1に示された切削装置のチャックテーブル機構とフレームユニットの平面図である。図3は、図1に示された切削装置の切削加工中を一部断面で示す側面図である。
本発明の実施形態2に係る切削装置を図面に基づいて説明する。図4は、実施形態2に係る切削装置の切削加工中を一部断面で示す側面図である。なお、図4は、実施形態1と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。
本発明の実施形態1及び実施形態2の変形例に係る切削装置を図面に基づいて説明する。図5は、実施形態1及び実施形態2の変形例に係る切削装置のエアー噴射ユニットの平面図である。なお、図5は、実施形態1及び実施形態2と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。
10,10-2 チャックテーブル機構
11 チャックテーブル本体
15 吸着面
18 フレーム保持ユニット
21 エアー噴射ユニット
24 エアー噴射口
25 エアー
30 切削ユニット
31 切削ブレード
200 被加工物
205 フレーム
206 テープ
207 開口
208 フレームユニット
209 下面
Claims (2)
- 環状のフレームの開口を覆うテープに被加工物が貼着されて形成されたフレームユニットを保持するチャックテーブル機構と、該チャックテーブル機構に保持された該フレームユニットの被加工物に切削液を供給しながら、該被加工物を切削ブレードで切削する切削ユニットと、を含む切削装置であって、
該チャックテーブル機構は、
該テープを介して該被加工物の裏面全体を吸引保持する吸着面を有するチャックテーブル本体と、
該チャックテーブル本体の外周に配置されて該チャックテーブル本体を囲繞し該吸着面より低い位置に配置されたエアー噴射口から、上方に向かうにしたがって徐々に該チャックテーブル機構の外周に向かって鉛直方向に対して傾いた角度でエアーを噴射して、該チャックテーブル本体の外周にはみ出した該フレームユニットの該テープの下面にエアーを噴射するエアー噴射ユニットと、を備え、
該テープの下面に該切削液が付着するのが抑制されることを特徴とする切削装置。 - 該チャックテーブル機構は、該エアー噴射ユニットより該チャックテーブル本体の外周に設置され、該吸着面より低い高さで該フレームユニットの該フレームを保持するフレーム保持ユニットを備える請求項1に記載の切削装置。
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