JP7382794B2 - 切削装置 - Google Patents

Description

本発明は、切削装置に関する。

半導体ウエーハなどの被加工物をチップサイズに分割する切削装置として、被加工物を保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された被加工物に切削水を供給しながら切削する切削ブレードを有する切削機構と、切削水を受けてドレインに導くウォーターケースと、チャックテーブルを移動する際に装置内に切削水が浸入するのを防ぐための蛇腹構造を備えたものが提案されている（例えば、特許文献１参照）。

特開２０００－２７１８３４号公報

ここで、特許文献１に記載の切削装置においては、ウォーターケースに溜まった切削水に蛇腹の一部が浸漬していることから、チャックテーブルの移動に伴って切削水を飛散させてしまうという課題があった。

しかしながら、蛇腹が切削水に浸漬しない構造にすると、切削装置は、蛇腹とウォーターケースの隙間から切削屑や切削水の噴霧などが入り込み、装置の動作に支障が生じるという別の課題が存在する。

本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、装置内部への切削屑や切削水の浸入を抑制しつつ、チャックテーブルの移動に伴う切削水の飛散も低減することが可能な切削装置を提供することを目的としている。

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の切削装置は、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された該被加工物を切削する切削ブレードが装着される切削手段と、該切削ブレードに切削水を供給する切削水供給手段と、該チャックテーブルの切削移動方向に配設され装置内部に切削水が浸入するのを防止する蛇腹部と、該蛇腹部から流出した切削水を受け止めて排出する排水口を有するウォーターケースと、を備える切削装置であって、該蛇腹部は、該チャックテーブルの移動方向を覆う上面蛇腹部と、該上面蛇腹部の該チャックテーブルの移動方向と直交する方向の両端から垂下する側面蛇腹部と、を有し、該ウォーターケースは、該ウォーターケースの全周に亘って形成され、かつ該蛇腹部から流下した切削水を受け止める上段部と、該切削移動方向と平行な該上段部のみの外周側に設けられ、かつ該上段部より低い位置に形成され、該上段部から流下した切削水を受け止める下段部と、を有するように階段状に形成され、該側面蛇腹部は、該ウォーターケースの下段部に流下する前の上段部に存在する切削水に浸漬してウォーターシールを形成することを特徴とする。

前記切削装置において、該切削ブレードに供給された切削水が該切削ブレードの回転に伴い飛散する側を加工送り方向の下流側、該下流側の反対側を上流側としたとき、該ウォーターケースの下流側において、該上段部から該下段部へと切削水が流下するのを妨害する位置に立ち上がり部が配設され、該立ち上がり部が有る部分における該上段部に存在する水量を、該立ち上がり部がない部分と比較して相対的に増加させても良い。

本願発明は、装置内部への切削屑や切削水の浸入を抑制しつつ、チャックテーブルの移動に伴う切削水の飛散も低減することが可能となるという効果を奏する。

図１は、実施形態１に係る切削装置の構成例を示す斜視図である。 図２は、図１に示された切削ユニットの正面図である。 図３は、図１に示された切削装置のウォーターケースと蛇腹部とを示す斜視図である。 図４は、図３に示されたウォーターケースと蛇腹部とを分解して示す斜視図である。 図５は、図３に示されたウォーターケースを断面で示す側面図である。 図６は、実施形態２に係る切削装置のウォーターケースと蛇腹部とを分解して示す斜視図である。

本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。

〔実施形態１〕
本発明の実施形態１に係る切削装置を図面に基いて説明する。まず、実施形態１に係る切削装置１の構成について説明する。図１は、実施形態１に係る切削装置の構成例を示す斜視図である。

図１に示す切削装置１は、被加工物２００を切削（加工）する装置である。実施形態１では、被加工物２００は、シリコン、サファイア、ガリウムヒ素又はＳｉＣ（炭化ケイ素）などを母材とする円板状の半導体ウエーハや光デバイスウエーハ等のウエーハである。被加工物２００は、表面２０１に格子状に形成された複数の分割予定ライン２０２によって格子状に区画された領域にデバイス２０３が形成されている。

また、本発明の被加工物２００は、中央部が薄化され、外周部に厚肉部が形成された所謂ＴＡＩＫＯ（登録商標）ウエーハでもよく、ウエーハの他に、樹脂により封止されたデバイスを複数有した矩形状のパッケージ基板、セラミックス基板、フェライト基板、又はニッケル及び鉄の少なくとも一方を含む基板、ガラス基板等でも良い。被加工物２００は、裏面２０４が外周縁に環状フレーム２０５が装着された粘着テープ２０６に貼着されて、環状フレーム２０５に支持されている。

図１に示された切削装置１は、被加工物２００をチャックテーブル１０で保持し分割予定ライン２０２に沿って切削ブレード２１で切削（加工に相当）する装置である。切削装置１は、図１に示すように、被加工物２００を保持面１１で吸引保持するチャックテーブル１０と、チャックテーブル１０が保持する被加工物２００をスピンドル２２に装着した切削ブレード２１で切削する切削ユニット２０と、切削ブレード２１に切削水３００（図５に示す）を供給する切削水供給手段である切削水供給ノズル２５と、チャックテーブル１０に保持された被加工物２００を撮影する撮像ユニット３０と、制御ユニット１００とを備える。

また、切削装置１は、図１に示すように、チャックテーブル１０と切削ユニット２０とを相対的に移動させる移動ユニット４０を備える。移動ユニット４０は、チャックテーブル１０を水平方向と平行なＸ軸方向に加工送りするＸ軸移動ユニット４１と、切削ユニット２０を水平方向と平行でかつＸ軸方向に直交するＹ軸方向に割り出し送りするＹ軸移動ユニット４２と、切削ユニット２０をＸ軸方向とＹ軸方向との双方と直交する鉛直方向に平行なＺ軸方向に切り込み送りするＺ軸移動ユニット４３と、チャックテーブル１０をＺ軸方向と平行な軸心回りに回転する回転移動ユニット４４とを少なくとも備える。なお、Ｘ軸方向は、チャックテーブル１０の切削移動方向、移動方向及び加工送り方向である。

Ｘ軸移動ユニット４１は、装置本体４上に設置され、チャックテーブル１０を加工送り方向であるＸ軸方向に移動させることで、チャックテーブル１０と切削ユニット２０とを相対的にＸ軸方向に沿って加工送りするものである。Ｙ軸移動ユニット４２は、切削ユニット２０を割り出し送り方向であるＹ軸方向に移動させることで、チャックテーブル１０と切削ユニット２０とを相対的にＹ軸方向に沿って割り出し送りするものである。Ｚ軸移動ユニット４３は、切削ユニット２０を切り込み送り方向であるＺ軸方向に移動させることで、チャックテーブル１０と切削ユニット２０とを相対的にＺ軸方向に沿って切り込み送りするものである。

Ｘ軸移動ユニット４１、Ｙ軸移動ユニット４２及びＺ軸移動ユニット４３は、軸心回りに回転自在に設けられた周知のボールねじ、ボールねじを軸心回りに回転させる周知のモータ及びチャックテーブル１０又は切削ユニット２０をＸ軸方向、Ｙ軸方向又はＺ軸方向に移動自在に支持する周知のガイドレールを備える。

チャックテーブル１０は、円盤形状であり、被加工物２００を保持する保持面１１がポーラスセラミック等から形成されている。また、チャックテーブル１０は、Ｘ軸移動ユニット４１により切削ユニット２０の下方の加工領域２と、切削ユニット２０の下方から離間して被加工物２００が搬入出される搬入出領域３とに亘ってＸ軸方向に移動自在に設けられ、かつ回転移動ユニット４４によりＺ軸方向と平行な軸心回りに回転自在に設けられている。実施形態１では、チャックテーブル１０は、回転移動ユニット４４によって支持された移動プレート１２上に配設され、回転移動ユニット４４がＸ軸移動ユニット４１によりＸ軸方向に移動される。チャックテーブル１０は、図示しない真空吸引源と接続され、真空吸引源により吸引されることで、被加工物２００を吸引、保持する。また、チャックテーブル１０の周囲には、環状フレーム２０５をクランプするクランプ部１３が複数設けられている。

切削ユニット２０は、チャックテーブル１０に保持された被加工物２００を切削する切削ブレード２１がスピンドル２２の先端に装着される切削手段である。切削ユニット２０は、チャックテーブル１０に保持された被加工物２００に対して、Ｙ軸移動ユニット４２によりＹ軸方向に移動自在に設けられ、かつ、Ｚ軸移動ユニット４３によりＺ軸方向に移動自在に設けられている。

切削ユニット２０は、図１に示すように、Ｙ軸移動ユニット４２及びＺ軸移動ユニット４３などを介して、装置本体４から立設した支持フレーム５に設けられている。切削ユニット２０は、Ｙ軸移動ユニット４２及びＺ軸移動ユニット４３により、チャックテーブル１０の保持面１１の任意の位置に切削ブレード２１を位置付け可能となっている。

次に、切削ユニット２０及び切削水供給ノズル２５の構成を説明する。図２は、図１に示された切削ユニットの正面図である。切削ユニット２０は、切削ブレード２１と、Ｙ軸移動ユニット４２及びＺ軸移動ユニット４３によりＹ軸方向及びＺ軸方向に移動自在に設けられた図２に示すスピンドルハウジング２３と、スピンドルハウジング２３に軸心回りに回転可能に設けられかつ図示しないモータにより回転されるとともに先端に切削ブレード２１が装着されるスピンドル２２と、スピンドルハウジング２３の先端面に固定されたブレードカバー２４とを備える。

切削ブレード２１は、略リング形状を有する極薄の切削砥石である。実施形態１において、切削ブレード２１は、円環状の円形基台２１１と、円形基台２１１の外周縁に配設されて被加工物２００を切削する円環状の切り刃２１２とを備える所謂ハブブレードである。切り刃２１２は、ダイヤモンドやＣＢＮ（Cubic Boron Nitride）等の砥粒と、金属や樹脂等のボンド材（結合材）とからなり所定厚みに形成されている。なお、本発明では、切削ブレード２１は、切り刃２１２のみで構成された所謂ワッシャーブレードでもよい。

スピンドル２２は、モータにより軸心回りに回転することで、切削ブレード２１を図２中の矢印４００方向に回転させる。実施形態１において、スピンドル２２の回転数は、３００００ｒｐｍ以上でかつ１０００００ｒｐｍ以下である。なお、以下、本明細書では、矢印４００で示す方向を切削ブレード２１の回転方向と記す。切削ブレード２１は、スピンドル２２により軸心回りに回転方向４００に回転されるため、被加工物２００を切削する切り刃２１２の下端において、切り刃２１２の下端の回転方向４００に沿って被加工物２００を切削して生じる切削屑とともに切削水３００を飛散する。

実施形態１では、切削ブレード２１は、Ｘ軸方向に沿って図１中の奥側に向けて切削水３００を飛散する。このように、実施形態１では、切削ブレード２１の回転に伴いＸ軸方向に沿って搬入出領域３から加工領域２に向かう方向に切削水３００が飛散する。切削水３００の飛散する側である図１中の奥側に向かう方向３０１（図１中に矢印で示す）を以下、Ｘ軸方向の下流側と記し、以下、Ｘ軸方向に沿って下流側３０１の反対側に向かう方向３０２（図１中に矢印で示す）をＸ軸方向の上流側と記す。なお、スピンドル２２の回転数が、３００００ｒｐｍ以上でかつ１０００００ｒｐｍ以下の高速であるために、切削ブレード２１の切り刃２１２の下端より下流側３０１に向けて飛散される切削水３００は、ミストになった状態で飛散される。

ブレードカバー２４は、切削ブレード２１の外周を覆うものである。ブレードカバー２４は、スピンドルハウジング２３の先端面に固定され、かつ切削ブレード２１の上側を覆うカバー本体２４１と、カバー本体２４１に固定され、かつ切削ブレード２１の搬入出領域３側の前側を覆う前側カバー２４２とを備える。

切削水供給ノズル２５は、前側カバー２４２に設けられたシャワーノズル２５１と、カバー本体２４１に支持された一対のクーラーノズル２５２とを備える。シャワーノズル２５１は、切削ブレード２１の切り刃２１２の刃先とＸ軸方向に対面し、切削中に切削ブレード２１の切り刃２１２の刃先に切削水３００を供給する。クーラーノズル２５２は、Ｘ軸方向と平行に延在し、互いにＹ軸方向に間隔をあけて配置されている。クーラーノズル２５２は、互いの間に切削ブレード２１の切り刃２１２の下端を位置づけており、切削中に切削ブレード２１の切り刃２１２の下端に切削水３００を供給する。

切削ユニット２０のスピンドル２２及び切削ブレード２１の軸心は、Ｙ軸方向と平行に設定されている。

撮像ユニット３０は、切削ユニット２０と一体的に移動するように、切削ユニット２０に固定されている。撮像ユニット３０は、チャックテーブル１０に保持された切削前の被加工物２００の分割すべき領域を撮影する撮像素子を備えている。撮像素子は、例えば、ＣＣＤ（Charge-Coupled Device）撮像素子又はＣＭＯＳ（Complementary MOS）撮像素子である。撮像ユニット３０は、チャックテーブル１０に保持された被加工物２００を撮影して、被加工物２００と切削ブレード２１との位置合わせを行なうアライメントを遂行するため等の画像を得、得た画像を制御ユニット１００に出力する。

また、切削装置１は、チャックテーブル１０のＸ軸方向の位置を検出するため図示しないＸ軸方向位置検出ユニットと、切削ユニット２０のＹ軸方向の位置を検出するための図示しないＹ軸方向位置検出ユニットと、切削ユニット２０のＺ軸方向の位置を検出するためのＺ軸方向位置検出ユニットとを備える。Ｘ軸方向位置検出ユニット及びＹ軸方向位置検出ユニットは、Ｘ軸方向、又はＹ軸方向と平行なリニアスケールと、読み取りヘッドとにより構成することができる。Ｚ軸方向位置検出ユニットは、モータのパルスで切削ユニット２０のＺ軸方向の位置を検出する。Ｘ軸方向位置検出ユニット、Ｙ軸方向位置検出ユニット及びＺ軸方向位置検出ユニットは、チャックテーブル１０のＸ軸方向、切削ユニット２０のＹ軸方向又はＺ軸方向の位置を制御ユニット１００に出力する。なお、実施形態１では、切削装置１の各構成要素のＸ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向の位置は、予め定められた図示しない基準位置を基準とした位置で定められる。

また、切削装置１は、図１に示すように、切削ユニット２０が被加工物２００を切削することにより生じる切削屑を含む切削水３００を受け止めて排出する排水口５１を有するウォーターケース５０と、チャックテーブル１０のＸ軸方向に配設された蛇腹部６０（図３、図４及び図５に示す）とを備える。なお、図１は、蛇腹部６０を省略している。次に、ウォーターケース５０と蛇腹部６０の構成を説明する。図３は、図１に示された切削装置のウォーターケースと蛇腹部とを示す斜視図である。図４は、図３に示されたウォーターケースと蛇腹部とを分解して示す斜視図である。図５は、図３に示されたウォーターケースを断面で示す側面図である。

ウォーターケース５０は、チャックテーブル１０のＸ軸方向の移動経路の周囲を取り囲むように配設され、蛇腹部６０から流出した切削屑を含む切削液を受け止めるケースである。実施形態１において、ウォーターケース５０は、図３、図４及び図５に示すように、装置本体４のＸ軸移動ユニット４１上に設置されて、長手方向がＸ軸方向と平行な枠状に形成されている。ウォーターケース５０は、枠状に形成されているために、開口５２を内側に形成している。開口５２内では、回転移動ユニット４４を含むチャックテーブル１０が移動自在に構成されている。なお、図１、図３及び図４は、ウォーターケース５０の図中手前側の一部分を切り欠いて示している。また、図５は、クランプ部１３を省略している。

蛇腹部６０は、移動プレート１２に取り付けられてウォーターケース５０の内側の開口５２を塞いで、Ｘ軸方向と平行に配設されている。実施形態１では、蛇腹部６０は、２つ設けられている。各蛇腹部６０は、一端が移動プレート１２のＸ軸方向の一端に取り付けられ、他端がウォーターケース５０の一端に取り付けられて、チャックテーブル１０のＸ軸方向の両側に配設されている。蛇腹部６０は、ウォーターケース５０の内側の開口５２を覆って、装置内部であるウォーターケース５０の内側の開口５２内に切削水３００が浸入することを防止する。蛇腹部６０は、可撓性を有して屈曲自在であり、チャックテーブル１０の移動とともに屈曲してチャックテーブル１０のＸ軸方向の移動を許容する。

各蛇腹部６０は、上面蛇腹部６１と、上面蛇腹部６１のチャックテーブル１０のチャックテーブル１０の移動方向と直交する方向であるＹ軸方向の両端から垂下する側面蛇腹部６２と、を有している。上面蛇腹部６１は、チャックテーブル１０のＸ軸方向の両側のウォーターケース５０の内側の開口５２を覆っている。

ウォーターケース５０は、図１、図３及び図４に示すように、Ｘ軸方向と平行に直線状に延びかつ互いに間隔をあけた一対のＸ軸直線部５３と、Ｙ軸方向と平行に直線状に延びかつ互いに間隔をあけているとともにＸ軸直線部５３の端同士を連結した一対のＹ軸直線部５４とを備える。

Ｘ軸直線部５３は、図１、図３、図４及び図５に示すように、上段部５５と、上段部５５の外周側に設けられた下段部５６と、上段部５５の外縁と下段部５６の内縁とを連結する連結部５７と、上段部５５の内縁から立設しかつ蛇腹部６０の側面蛇腹部６２が上側に重なる内周壁５８と、下段部５６の外縁から立設した外周壁５９とを有する。Ｙ軸直線部５４は、図１、図３、及び図４に示すように、上段部５５と、上段部５５の内縁から立設した内周壁５８と、上段部５５の外縁から立設した外周壁５９とを有する。上段部５５は、水平方向に沿って平坦に形成され、蛇腹部６０から流下した切削水３００を受け止める。

下段部５６は、上段部５５よりもＺ軸方向に低い位置に形成され、上段部５５から流下した切削水３００を受け止める。下段部５６は、排水口５１が設けられている。排水口５１は、切削水３００を排出するドレインパイプ５１１（図１に示す）が連結している。実施形態１では、下段部５６は、排水能率の観点から上面が排水口５１に向かって下るように傾斜しているが、本発明では、水平であってもよい。こうして、ウォーターケース５０は、上段部５５と下段部５６とを有して階段状に形成されている。

実施形態１では、上段部５５の幅方向（図５のＹ軸方向）の幅５５１（図５に示す）は、1０ｍｍ以上でかつ３００ｍｍ以下であり、好ましくは５０ｍｍ以上でかつ１５０ｍｍ以下である。上段部５５の幅５５１は、小さすぎると切削水３００がすぐに下段部５６に流下してしまうので蛇腹部６０と上段部５５との間に隙間が出来て切削屑やミストが装置内部に入り込んでしまう。一方、幅５５１は、大きすぎると装置が巨大化してしまうという問題があるからである。また、実施形態１では、上段部５５の上面と下段部の上面とのＺ軸方向の距離５０１は、図５に示すように、８ｍｍ以上でかつ１８ｍｍ以下である。また、実施形態１では、上段部５５の上面と側面蛇腹部６２の先端との間の距離５０２は、図５に示すように、３ｍｍ程度である。

制御ユニット１００は、切削装置１の各構成要素をそれぞれ制御して、被加工物２００に対する加工動作を切削装置１に実施させるものである。なお、制御ユニット１００は、ＣＰＵ（central processing unit）のようなマイクロプロセッサを有する演算処理装置と、ＲＯＭ（read only memory）又はＲＡＭ（random access memory）のようなメモリを有する記憶装置と、入出力インターフェース装置とを有するコンピュータである。制御ユニット１００の演算処理装置は、記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムに従って演算処理を実施して、切削装置１を制御するための制御信号を、入出力インターフェース装置を介して切削装置１の各構成要素に出力する。

制御ユニット１００は、加工動作の状態や画像などを表示する液晶表示装置などにより構成される表示ユニットと、オペレータが加工内容情報などを登録する際に用いる入力ユニットとに接続されている。入力ユニットは、表示ユニットに設けられたタッチパネルと、キーボード等の外部入力装置とのうち少なくとも一つにより構成される。

（切削装置の加工動作）
切削装置１の加工動作を開始する際には、オペレータが、加工内容情報を制御ユニット１００に登録し、切削加工前の被加工物２００をチャックテーブル１０の保持面１１に載置する。その後、切削装置１は、オペレータから加工動作の開始指示があった場合に加工動作を開始する。切削装置１は、加工動作を開始すると、粘着テープ２０６を介して裏面２０４側をチャックテーブル１０の保持面１１に吸引保持するとともに、クランプ部１３で環状フレーム２０５をクランプする。

加工動作では、切削装置１は、Ｘ軸移動ユニット４１がチャックテーブル１０を加工領域２に向かって移動して、撮像ユニット３０が被加工物２００を撮影して、撮像ユニットが撮影して得た画像に基づいて、アライメントを遂行する。切削装置１は、分割予定ライン２０２に沿って被加工物２００と切削ユニット２０とを相対的に移動させ、各ノズル２５１，２５２から切削水３００を供給しながら切削ブレード２１を各分割予定ライン２０２に切り込ませて被加工物２００を個々のデバイス２０３に分割する。なお。実施形態１では、切削水３００は、７Ｌ／ｍｉｎの流量で供給される。

切削装置１は、供給された切削水３００を切削ブレード２１の切り刃２１２の下端からＸ軸方向の下流側３０１に向かって飛散するとともに、各蛇腹部６０の上面蛇腹部６１で受け止める。切削装置１は、切削水３００を上面蛇腹部６１で受け止めた後、上段部５５で受け止め、下段部５６で受け止めた後、排水口５１を通してドレインパイプ５１１から排出する。このために、実施形態１では、各蛇腹部６０の側面蛇腹部６２の先端は、図５に示すように、ウォーターケース５０の下段部５６に流下する前の上段部５５に存在する切削水３００に浸漬してウォーターシールを形成する。

切削装置１は、個々のデバイス２０３に分割された被加工物２００を搬入出領域３に向かって移動して、搬入出領域３において保持面１１の吸引保持及びクランプ部１３のクランプを解除して、加工動作を終了する。

以上のように、実施形態１に係る切削装置１は、蛇腹部６０がウォーターケースの内側の開口５２を覆っているので、開口５２内に切削屑や切削水３００の浸入を抑制することができる。また、切削装置１は、ウォーターケース５０が上段部５５と下段部５６とを有して階段状に形成することで、切削水３００が上段部５５から下段部５６に流れ落ちる構成となっている。これにより、切削装置１は、上段部５５上に切削水３００が溜まり過ぎないため、蛇腹部６０が移動する際に、切削水３００の飛散を抑制することができ、さらに、上段部５５に僅かに存在する切削水３００によって上段部５５と側面蛇腹部６２との間の隙間がウォーターシールされるため、切削屑や切削水３００のミストが装置内部に入り込むことを防止できる。その結果、実施形態１に係る切削装置１は、装置内部への切削屑や切削水３００の浸入を抑制しつつ、チャックテーブル１０の移動に伴う切削水３００の飛散も低減することが可能となるという効果を奏する。

〔実施形態２〕
本発明の実施形態２に係る切削装置を図面に基づいて説明する。図６は、実施形態２に係る切削装置のウォーターケースと蛇腹部とを分解して示す斜視図である。図６は、実施形態１と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。

実施形態２に係る切削装置１－１は、図６に示すように、立ち上がり部７０を備えていること以外、実施形態１と構成が同じである。立ち上がり部７０は、ウォーターケース５０のＸ軸方向の下流側３０１の端部において配設され、上段部５５から下段部５６へと切削水３００が流下するのを妨害するものである。

立ち上がり部７０は、ウォーターケース５０の各Ｘ軸直線部５３のＸ軸方向の下流側３０１の端部の上段部５５の外縁部からＺ軸方向に沿って上方に立設している。実施形態２では、立ち上がり部７０は、上端の上段部５５の上面からの高さ７１が、８ｍｍであり、Ｘ軸方向の幅７２が、７０ｍｍであるが、高さ７１及び幅７２がこれらに限定されない。

実施形態２に係る切削装置１－１は、加工動作時において、立ち上がり部７０を備えているので、切削水３００が各Ｘ軸直線部５３の下流側３０１の端部の上段部５５上から下段部５６上に流下することが抑制される。このために、実施形態２に係る切削装置１－１は、各Ｘ軸直線部５３の下流側３０１の端部の上段部５５上の切削水３００の水量を立ち上がり部７０がない他の部分の上段部５５上の水量、特に各Ｘ軸直線部５３の上流側３０２の端部の上段部５５上の切削水３００の水量と比較して増加させることとなる。

実施形態２に係る切削装置１－１は、実施形態１と同様に、蛇腹部６０がウォーターケースの内側の開口５２を覆い、ウォーターケース５０が上段部５５と下段部５６とを有して階段状に形成しているので、上段部５５上に切削水３００が溜まり過ぎないため、蛇腹部６０が移動する際に、切削水３００の飛散を抑制することができ、さらに、上段部５５に僅かに存在する切削水３００によって上段部５５と側面蛇腹部６２との間の隙間がウォーターシールされる。その結果、切削装置１－１は、実施形態１と同様に、装置内部への切削屑や切削水３００の浸入を抑制しつつ、チャックテーブル１０の移動に伴う切削水３００の飛散も低減することが可能となるという効果を奏する。

また、実施形態２に係る切削装置１－１は、切削水３００のミストが発生しやすいウォーターケース５０の各Ｘ軸直線部５３の下流側３０１の端部に立ち上がり部７０を配設して、各Ｘ軸直線部５３の下流側３０１の端部の上段部５５上の切削水３００の水量を立ち上がり部７０がない他の部分の上段部５５上の水量と比較して増加させる。このために、切削装置１－１は、ウォーターケース５０の下流側３０１の端部において、上段部５５と側面蛇腹部６２との間の隙間をより確実にウォーターシールすることができる。その結果、切削装置１－１は、装置内部への切削屑や切削水３００の浸入を抑制することができる。

なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。

１ 切削装置
１０ チャックテーブル
２０ 切削ユニット
２１ 切削ブレード
２５ 切削水供給ユニット（切削水供給手段）
５０ ウォーターケース
５１ 排水口
５２ 開口（装置内部）
５５ 上段部
５６ 下段部
６０ 蛇腹部
６１ 上面蛇腹部
６２ 側面蛇腹部
７０ 立ち上がり部
２００ 被加工物
３００ 切削水
３０１ 下流側
３０２ 上流側
Ｘ 切削移動方向、移動方向、加工送り方向

Claims (2)

1. 被加工物を保持するチャックテーブルと、
   該チャックテーブルに保持された該被加工物を切削する切削ブレードが装着される切削手段と、
   該切削ブレードに切削水を供給する切削水供給手段と、
   該チャックテーブルの切削移動方向に配設され装置内部に切削水が浸入するのを防止する蛇腹部と、
   該蛇腹部から流出した切削水を受け止めて排出する排水口を有するウォーターケースと、
   を備える切削装置であって、
   該蛇腹部は、
   該チャックテーブルの移動方向を覆う上面蛇腹部と、
   該上面蛇腹部の該チャックテーブルの移動方向と直交する方向の両端から垂下する側面蛇腹部と、を有し、
   該ウォーターケースは、
   該ウォーターケースの全周に亘って形成され、かつ該蛇腹部から流下した切削水を受け止める上段部と、
   該切削移動方向と平行な該上段部のみの外周側に設けられ、かつ該上段部より低い位置に形成され、該上段部から流下した切削水を受け止める下段部と、を有するように階段状に形成され、
   該側面蛇腹部は、
   該ウォーターケースの下段部に流下する前の上段部に存在する切削水に浸漬してウォーターシールを形成することを特徴とする切削装置。
2. 該切削ブレードに供給された切削水が該切削ブレードの回転に伴い飛散する側を加工送り方向の下流側、該下流側の反対側を上流側としたとき、
   該ウォーターケースの下流側において、
   該上段部から該下段部へと切削水が流下するのを妨害する位置に立ち上がり部が配設され、
   該立ち上がり部が有る部分における該上段部に存在する水量を、該立ち上がり部がない部分と比較して相対的に増加させることを特徴とする、請求項１に記載の切削装置。

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