JP5975703B2 - 切削装置 - Google Patents
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図1は、実施形態に係る切削装置の全体の構成例を示す図である。図2は、実施形態に係る切削装置の側面を示す図である。図3は、実施形態に係る切削装置のチャックテーブル及び被加工物としてのパッケージ基板などを示す斜視図である。図4は、実施形態に係る切削装置の平面を示す図である。図5は、実施形態に係る切削装置の分割加工中の加工手段とチャックテーブルなどの要部を示す正面図である。図6は、実施形態に係る切削装置の分割加工中の加工手段とチャックテーブルなどの要部を示す側面図である。図7は、実施形態に係る切削装置の個々に分割されたチップをチャックテーブルから離脱させるチャックテーブルなどの要部の構成を示す図である。図8は、実施形態に係る切削装置の個々に分割されたチップをチップケースに収容する状態の要部を示す図である。
2 静止基台
2a 上面
4 切削ユニット
10 チャックテーブル
10a 表面(保持面)
20 加工手段
21 切削ブレード
35 飛散端材ケース
40 端材移動手段
41 端材飛ばしノズル
42 端材ケース
50 チップ移動手段
51 チップ飛ばしノズル
52 チップケース
70 X軸移動手段(加工送り手段)
80 Y軸移動手段(割り出し送り手段)
X,XA 加工送り方向
YA 割り出し送り方向
O 搬出入領域
P 加工領域
K 加工液
F1,F2 水(流体)
W パッケージ基板(被加工物)
T チップ
E 端材
Claims (6)
- 板状の被加工物を個々のチップに分割してチップケースに収容する切削装置であって、
該被加工物を保持面で吸引保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルで保持された該被加工物に加工液を供給しつつ切削ブレードで分割加工する加工手段と、該被加工物を搬出入する搬出入領域と該被加工物を分割加工する加工領域との間で該チャックテーブルを加工送り方向に移動させる加工送り手段と、該加工手段を該加工送り方向に直交する割り出し送り方向に移動させる割り出し送り手段と、個々に分割された該チップに流体を吹き付けて該チャックテーブルから該チップケースに収容するチップ移動手段と、を備え、
該チップ移動手段は、
該搬出入領域に配設され、該チャックテーブルからの吸引が停止された分割後の該チップに該割り出し送り方向に移動しつつ斜め上方から移動方向前方に向かって流体を吹き付け、該チップを該チャックテーブルから吹き飛ばすチップ飛ばしノズルと、
該搬出入領域に配設され、該チップ飛ばしノズルの移動方向前方で該加工送り手段の脇に配設され、該チャックテーブルの保持面より低い位置に開口して、該チップ飛ばしノズルで吹き飛ばされた該チップを収容する着脱可能なチップケースと、
を備えていることを特徴とする切削装置。 - 前記チップ飛ばしノズルは、前記チャックテーブルの前記保持面に帯状に流体を噴出し、該流体の幅の少なくとも両端部を該流体の幅の中央に向かって噴出して、前記チップを散らばることなく前記チップケースへと誘導する、請求項1記載の切削装置。
- 前記チャックテーブルは、個々に分割された該チップを離脱する際、該保持面からの吸引を停止した後、該保持面に流体を間欠的に供給して該保持面から噴出させ、該チャックテーブルから確実に該チップを離脱させる請求項1又は2記載の切削装置。
- 前記加工領域に配設され、分割加工によって前記被加工物から生じかつ前記切削ブレードの回転により飛散した端材を収容する着脱可能な飛散端材ケースを備える請求項1、2又は3に記載の切削装置。
- 前記加工領域に配設され前記切削ブレードによって前記被加工物から切り離された直後の端材に流体を吹き付けて該端材を端材ケースに収容する端材移動手段をさらに備え、
該端材移動手段は、
前記加工手段に配設され前記割り出し送り方向に流体を吹き付ける端材飛ばしノズルと、
該端材飛ばしノズルの吹き付け方向前方に配設され吹き飛ばされた該端材を収容する着脱可能な端材ケースと、を備えている請求項1〜4のいずれか1つに記載の切削装置。 - 前記チャックテーブルと、前記加工手段と、前記加工送り手段と、前記割り出し送り手段と、前記チップ移動手段と、を少なくとも含む切削ユニットが静止基台の平坦な上面に配設され、
該切削ユニットは、該チャックテーブルが低くなるように前記加工送り方向を支点にして前記割り出し送り方向に傾斜している請求項1〜5のいずれか1つに記載の切削装置。
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