CN114743909A - 加工装置和被加工物的搬出方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供加工装置和被加工物的搬出方法，在搬出加工后的被加工物时，更强力地进行保持面上的排水，更可靠地进行被加工物的搬出。加工装置(1)所具有的保持工作台(10)具有：多孔板(11)，其具有对被加工物(100)进行吸引保持的中央区域(13‑1)；框体(12)，其具有收纳多孔板(11)的凹部(14)；吸引管线(16)，其形成于框体(12)的底面(14‑1)，将中央区域(13‑1)与吸引源(17)连通；以及空气提供管线(18)，其与空气提供源(19)连通，从围绕中央区域(13‑1)的外周区域(13‑2)喷出空气。

Description

加工装置和被加工物的搬出方法
技术领域
本发明涉及从保持工作台搬出被加工物的加工装置和被加工物的搬出方法。
背景技术
已知有如下的加工装置，其对保持工作台所保持的被加工物进行加工，并将加工后的被加工物从保持工作台搬出(例如参照专利文献1、2)。
专利文献1：日本特开2016-127195号公报
专利文献2：日本特许第6309371号公报
在加工后从保持工作台搬出被加工物时，存在由于进入至被加工物与保持工作台的保持面之间的加工用的液体(水)的表面张力而无法搬出的问题。因此，为了排出积存于保持面的水，在被加工物的搬出时，向保持面导入负压，一边对被加工物进行吸引保持一边吸水，由此排出水，解除由表面张力导致的固定，但存在如下的问题：在被加工物与保持面之间成为真空的状态下，无论怎样进行吸引，也无法将残留在保持面的水全部去除，在从保持面搬出被加工物时，有时产生搬送错误。
发明内容
本发明是鉴于该问题点而完成的，其目的在于提供加工装置和被加工物的搬出方法，在将加工后的被加工物搬出时，更强力地进行保持面上的排水，更可靠地进行被加工物的搬出。
为了解决上述课题，实现目的，本发明的加工装置具有：保持工作台，其具有对被加工物进行保持的保持面；加工单元，其对该保持工作台所保持的被加工物进行加工；液体提供喷嘴，其对利用该加工单元进行加工的加工点提供加工用的液体；搬出单元，其从该保持工作台搬出被加工物；以及控制单元，其特征在于，该保持工作台具有：多孔板，其具有对被加工物进行吸引保持的中央区域；框体，其具有对该多孔板进行收纳的凹部；吸引管线，其形成于该框体的底面，将该中央区域与吸引源连通；以及空气提供管线，其与空气提供源连通，从围绕该中央区域的外周区域喷出空气，该控制单元通过该吸引管线使该多孔板与该吸引源连通，利用该中央区域对被加工物进行吸引，将该多孔板与被加工物之间的水去除，并且对该空气提供管线提供空气，从该外周区域喷出空气而使被加工物的外周部从该保持面浮起，解除该多孔板与被加工物之间的水的表面张力，在解除了表面张力的状态下，通过该搬出单元将被加工物从该保持工作台搬出。
为了解决上述课题，实现目的，本发明的被加工物的搬出方法在加工装置中通过搬出单元将被加工物从保持工作台搬出，该加工装置具有：所述保持工作台，其具有对被加工物进行保持的保持面；加工单元，其对该保持工作台所保持的被加工物进行加工；液体提供喷嘴，其对利用该加工单元进行加工的加工点提供加工用的液体；以及所述搬出单元，其从该保持工作台搬出被加工物，其中，该保持工作台具有：多孔板，其具有对被加工物进行吸引保持的中央区域；框体，其具有收纳该多孔板的凹部；吸引管线，其形成于该框体的底面，将该中央区域与吸引源连通；以及空气提供管线，其与空气提供源连通，从围绕该中央区域的外周区域喷出空气，该被加工物的搬出方法具有如下的步骤：外周浮起步骤，通过该吸引管线使该多孔板与该吸引源连通，利用该中央区域对被加工物进行吸引，将该多孔板与被加工物之间的水去除，并且对该空气提供管线提供空气，从该外周区域喷出空气而仅使被加工物的外周部从该保持面浮起，解除该多孔板与被加工物之间的水的表面张力；被加工物保持步骤，通过该搬出单元对被加工物进行保持；以及搬出步骤，在该被加工物保持步骤和该外周浮起步骤之后，将该中央区域对被加工物的吸引切断，使被加工物整体从该保持工作台离开，从该保持工作台搬出被加工物。
本发明在搬出加工后的被加工物时，更强力地进行保持面上的排水，更可靠地进行被加工物的搬出。
附图说明
图1是示出实施方式的加工装置的结构例的立体图。
图2是示出图1的加工装置的主要部分的剖视图。
图3是示出图1的加工装置1的主要部分的立体图。
图4是示出实施方式的被加工物的搬出方法的处理步骤的一例的流程图。
标号说明
1：加工装置；10：保持工作台；11：多孔板；12：框体；13：保持面；13-1：中央区域(吸引区域)；13-2：外周区域(吸引区域的外周部分)；14：凹部；14-1：底面；14-2：内侧面；15-1：中央部分；15-2：外周部分；16：吸引管线；17：吸引源；18：空气提供管线；19：空气提供源；20：加工单元；30：液体提供喷嘴；35：加工用的液体(水)；40：第1搬出单元；50：第2搬出单元；60：控制单元；100：被加工物。
具体实施方式
参照附图，对用于实施本发明的方式(实施方式)进行详细说明。本发明并不被以下实施方式所记载的内容限定。另外，在以下所记载的构成要素中包含本领域技术人员能够容易想到的内容、实质上相同的内容。另外，以下所记载的结构可以适当组合。另外，可以在不脱离本发明的主旨的范围内进行结构的各种省略、置换或变更。
[实施方式]
根据附图，对本发明的实施方式的加工装置1和被加工物的搬出方法进行说明。图1是示出实施方式的加工装置1的结构例的立体图。图2是示出图1的加工装置1的主要部分的剖视图。图3是示出图1的加工装置1的主要部分的立体图。如图1所示，实施方式的加工装置1具有：保持工作台10、加工单元20、液体提供喷嘴30、第1搬出单元40、第2搬出单元50、控制单元60、显示单元70、清洗单元80以及盒载置台90。
在本实施方式中，作为加工装置1进行加工的加工对象的被加工物100例如是以硅、蓝宝石、碳化硅(SiC)、砷化镓、玻璃等作为母材的圆板状的半导体晶片或光器件晶片等。如图1所示，被加工物100在平坦的正面101的由呈格子状形成的多条分割预定线102划分的区域内形成有芯片尺寸的器件103。在本发明中，被加工物100可以不粘贴于粘接带而是以单体的被加工物100进行处理。例如在希望精度良好地实施半切割来形成未完全分割的深度的槽的情况下，为了不受到粘接带的厚度偏差的影响，大多以单体的被加工物100进行加工。另外，被加工物100可以在正面101的背面侧的背面104上粘贴粘接带，并在粘接带的外缘部安装环状框架。另外，被加工物100也可以不安装于环状框架而粘贴于相同形状的粘接带。另外，在本发明中，被加工物100可以是具有多个被树脂密封的器件的矩形状的封装基板、陶瓷板或玻璃板等。
如图2所示，保持工作台10具有：多孔板11、框体12、吸引管线16以及空气提供管线18。多孔板11由具有大量多孔的多孔陶瓷等形成为圆盘形状。框体12由不锈钢等形成为圆盘状，在中央形成有收纳多孔板11的凹部14。多孔板11嵌入至框体12的凹部14中。
保持工作台10具有载置被加工物100并对所载置的被加工物100进行保持的保持面13。保持面13由多孔板11的上表面和框体12的上表面构成。多孔板11的上表面和框体12的上表面配置于同一平面上，并且与作为水平面的XY平面平行地形成。在本实施方式中，保持面13将被加工物100以正面101朝向上方的方式载置，从背面104侧直接保持所载置的被加工物100。在多孔板11的直径比被加工物100小的情况下，框体12的上表面对从多孔板11探出的被加工物100的外周部进行支承。
如图2所示，吸引管线16形成于框体12的凹部14的底面14-1的中央部分15-1，经由吸引阀16-1而将多孔板11的中央区域13-1与吸引源17连通。如图2所示，通过将吸引阀16-1打开而通过吸引管线16对多孔板11的中央区域13-1导入来自吸引源17的负压，从而多孔板11的中央区域13-1成为对所载置的被加工物100进行吸引保持的吸引区域。
如图2所示，空气提供管线18形成于框体12的凹部14的底面14-1的外周部分15-2，经由空气提供阀18-1而使围绕多孔板11的中央区域13-1的外周区域13-2与空气提供源19连通，从围绕中央区域13-1的外周区域13-2喷出空气。这里，多孔板11的上表面具有中央区域13-1和外周区域13-2，外周区域13-2位于中央区域13-1的外周侧。空气提供管线18不限于图2所示的例子，也可以形成为从围绕凹部14的框体12的内侧面14-2或框体12的环状凸部14-3的上表面喷出空气。
这里，在本实施方式中，例如外周部分15-2是指底面14-1的内径的一半的圆的外侧的区域的部分，与底面14-1同心。另外，中央部分15-1是指在底面14-1上比形成有空气提供管线18的位置靠径向内侧的区域的部分。
在保持工作台10中，如图2所示，当将吸引阀16-1打开而通过吸引管线16导入来自吸引源17的负压且将空气提供阀18-1打开而通过空气提供管线18导入来自空气提供源19的空气时，保持面13的中央区域13-1成为一边对保持面13上的被加工物100进行吸引一边将进入至保持面13与被加工物100之间的加工用的液体35吸引而去除的吸引区域，外周区域13-2成为围绕中央区域13-1并在至少1个部位具有喷出空气的空气喷出口从而使保持面13上的被加工物100的外周部从保持面13浮起的喷出区域。
另外，在本实施方式中，多孔板11的上表面的中央区域13-1与外周区域13-2的边界根据形成有吸引管线16和空气提供管线18的位置以及来自吸引管线16的负压的压力值(表压)和来自空气提供管线18的空气的提供量或提供压等而变化。
保持工作台10设置成通过未图示的X轴移动单元在作为水平方向的一个方向的X轴方向上移动自如。保持工作台10通过X轴移动单元沿着X轴方向移动，由此如图1所示，在搬入和搬出被加工物100的搬入搬出区域3与通过加工单元20对被加工物100进行加工的加工区域4之间来来回回。保持工作台10设置成通过未图示的旋转驱动源而绕铅垂方向的与XY平面垂直的Z轴旋转自如。
如图1所示，加工单元20设置于加工区域4，对定位于加工区域4的保持工作台10的保持面13所保持的被加工物100进行加工。在本实施方式中，加工单元20是切削单元，该切削单元具有安装于主轴的前端的切削刀具，利用通过主轴施加了绕与水平方向的另一方向即垂直于X轴方向的Y轴方向平行的轴心的旋转动作的切削刀具，例如沿着分割预定线102对定位于加工区域4的保持工作台10所保持的被加工物100进行切削。
另外，在本发明中，加工单元20不限于这样的切削单元，例如也可以是磨削单元，该磨削单元具有安装于主轴的前端的磨削磨轮，利用通过主轴施加了绕与Z轴方向平行的轴心的旋转动作的磨削磨轮对定位于加工区域4的保持工作台10所保持的被加工物100的例如背面104侧进行磨削。另外，加工单元20也可以是研磨单元，该研磨单元具有安装于主轴的前端的研磨垫，利用通过主轴施加了绕与Z轴方向平行的轴心的旋转动作的研磨垫对定位于加工区域4的保持工作台10所保持的被加工物100的例如背面104侧进行研磨。
液体提供喷嘴30与加工单元20相邻地设置于加工区域4，将从未图示的液体提供源提供的加工用的液体35提供至被加工物100的利用加工单元20进行加工的加工点和加工点的附近的区域。在加工单元20是上述切削单元的情况下，加工点是利用切削刀具对被加工物100进行切削的点。在加工单元20是磨削单元或研磨单元的情况下，加工点是利用磨削磨轮或研磨垫对被加工物100进行磨削或研磨的面上的任意的点。加工用的液体35可以根据加工单元20的加工的种类、条件、规格等而适当地选择使用，在本实施方式中，加工用的液体35是作为切削水、磨削水、研磨水使用的水(纯水)。
如图1和图2所示，第1搬出单元40具有：第1搬出臂41、Y轴移动单元42、Z轴移动单元43、板部件44、槽45、把持部46、空气提供源47以及空气提供管线48。第1搬出臂41是上方侧沿着Z轴方向延伸、下方侧沿着X轴方向延伸的L字状的部件，第1搬出臂41的上方借助Z轴移动单元43而与Y轴移动单元42连接，在第1搬出臂41的下方固定有板部件44。
Y轴移动单元42使第1搬出臂41与Z轴移动单元43一起沿着Y轴方向移动。Z轴移动单元43使第1搬出臂41沿着Z轴方向移动。Y轴移动单元42和Z轴移动单元43例如分别构成为具有：周知的滚珠丝杠，其设置成绕Y轴和Z轴的轴心旋转自如；周知的脉冲电动机，其使滚珠丝杠绕轴心旋转；以及周知的导轨，其将第1搬出臂41支承为在Y轴方向或Z轴方向上移动自如。
如图1和图3所示，板部件44形成为圆板状，板部件44的上方侧支承于第1搬出臂41，在板部件44的下方侧从中央呈放射状形成有多个(在图1和图3所示的例子中为三个)槽45。板部件44设置有把持部46，把持部46在与载置于后述的盒载置台90上的盒95的开口对置的位置对安装于被加工物100的环状框架106进行把持。
如图2和图3所示，槽45经由形成于板部件44的内部的空气提供管线48而与空气提供源47连通。槽45形成为：在与空气提供管线48连接的部分，与槽45延伸的方向垂直的剖面上的槽45的剖面积大于与空气流动的方向垂直的剖面上的空气提供管线48的剖面积。
从空气提供源47提供的空气在槽45内从中央朝向放射方向高速地流动。由于槽45与空气提供管线48的剖面积的关系，从空气提供源47提供的空气在从空气提供管线48流入槽45时加速，一边引入槽45的两侧的周围的空气一边在槽45内流动，因此通过伯努利效应而在槽45的附近产生负压。关于第1搬出单元40的板部件44，通过在该槽45的附近产生的负压，板部件44以非接触的方式对与形成有槽45的那侧对置的保持工作台10的保持面13上的被加工物100进行保持。
在本实施方式中，第1搬出单元40的板部件44利用空气在槽45内流动从而通过伯努利效应产生的负压，以非接触的方式对保持工作台10上的被加工物100进行保持，但在本发明中不限于此，也可以使设置于板部件44的下方侧的吸引垫与被加工物100的正面101接触而通过吸引垫对被加工物100进行吸引保持，可以通过吸引垫对借助粘接带而安装于被加工物100的环状框架的上表面侧进行吸引保持。
第1搬出单元40利用把持部46对载置于盒载置台90上的盒95内的加工前的被加工物100进行把持而取出，在搬入搬出区域3中载置于设置在比保持工作台10的移动区域靠上方的用于暂放被加工物100的一对导轨93上。第1搬出单元40利用通过伯努利效应产生的负压以非接触的方式对载置于一对导轨93上的加工前的被加工物100进行保持，并载置于定位在搬入搬出区域3的保持工作台10的保持面13上。第1搬出单元40利用通过伯努利效应产生的负压以非接触的方式对定位于搬入搬出区域3的保持工作台10的保持面13上的加工后的被加工物100进行保持而搬出，搬送至清洗单元80。第1搬出单元40利用通过伯努利效应产生的负压以非接触的方式对利用清洗单元80进行了清洗的被加工物100进行保持，载置于一对导轨93上。第1搬出单元40利用把持部46对载置于一对导轨93上的加工后和清洗后的被加工物100进行把持而搬送至载置于盒载置台90的盒95内。
第2搬出单元50具有与第1搬出单元40大致同样的结构，如图1和图2所示，第2搬出单元50具有：第2搬出臂51、Y轴移动单元52、Z轴移动单元53、板部件54、槽55、把持部56、空气提供源57以及空气提供管线58。第2搬出臂51、Y轴移动单元52、Z轴移动单元53、板部件54、槽55、把持部56、空气提供源57以及空气提供管线58分别具有与第1搬出臂41、Y轴移动单元42、Z轴移动单元43、板部件44、槽45、把持部46、空气提供源47以及空气提供管线48大致同样的结构。第2搬出单元50利用板部件54利用通过伯努利效应产生的负压以非接触的方式对加工后的被加工物100进行保持，从保持工作台10搬送至清洗单元80。第1搬出单元40和第2搬出单元50一边按照相互不碰撞的方式错开Z轴方向的位置一边交替地搬送被加工物100。在图1所示的例子中，加工装置1具有第1搬出单元40和第2搬出单元50这两个搬出单元，但在本发明中不限于此，可以仅具有任意一方的一个搬出单元，也可以具有三个以上的多个搬出单元。
控制单元60控制加工装置1的各种构成要素的动作而使加工装置1实施被加工物100的加工处理。控制单元60通过控制吸引管线16的吸引阀16-1的开闭和空气提供管线18的空气提供阀18-1的开闭而控制保持面13上的吸引区域和喷出区域的形成。控制单元60通过控制吸引源17而控制从吸引管线16导入至保持面13的负压的压力值(表压)，通过控制空气提供源19而控制来自空气提供管线18的空气的提供量或提供压等。
控制单元60通过控制Y轴移动单元42、52和Z轴移动单元43、53而控制第1、第2搬出单元40、50的第1、第2搬出臂41、51的Y轴方向和Z轴方向上的位置和移动。控制单元60通过控制从空气提供源47、57向槽45、55的空气的提供而控制通过空气在槽45、55内流动而通过伯努利效应产生的负压，从而控制第1搬出单元40、50的板部件44、54对被加工物100的保持。控制单元60通过控制把持部46、56而控制被加工物100的把持。
在本实施方式中，控制单元60包含计算机系统。控制单元60所包含的计算机系统具有：运算处理装置，其具有CPU(central processing unit，中央处理器)那样的微处理器；存储装置，其具有ROM(read only memory，只读存储器)或RAM(random access memory，随机存取存储器)那样的存储器；以及输入输出接口装置。控制单元60的运算处理装置按照存储于控制单元60的存储装置的计算机程序实施运算处理，将用于控制加工装置1的控制信号经由控制单元60的输入输出接口装置而输出至加工装置1的各构成要素。
显示单元70显示：加工装置1的加工条件的设定的画面；加工处理的结果的画面；与基于控制单元60的吸引阀16-1的开闭和空气提供阀18-1的开闭的控制相关的设定的画面；以及与基于控制单元60的第1、第2搬出单元40、50的动作的控制相关的设定的画面等。在本实施方式中，显示单元70由液晶显示装置等构成。显示单元70设置有供操作者输入与加工装置1的各种设定相关的信息等时使用的输入单元。在本实施方式中，设置于显示单元70的输入单元由设置于显示单元70的触摸面板和键盘等中的至少一个构成。另外，在本发明中，加工装置1不限于此，也可以不具有显示单元70。另外，在本发明中，加工装置1不限于此，也可以代替显示单元70而以有线或无线的方式与智能手机、平板电脑、可穿戴设备、计算机等信息设备连接，在信息设备的显示部上进行显示，借助信息设备的输入部进行操作。
清洗单元80对加工后的被加工物100进行清洗，将附着于被加工物100的加工屑等异物去除。盒载置台90是载置作为用于收纳多个被加工物100的收纳器的盒95的载置台，使所载置的盒95在Z轴方向上升降。另外，在本实施方式中，加工装置1具有清洗单元80，该清洗单元80作为第2搬出单元50搬出被加工物100的搬出目的地之一，但在本发明中，不限于此，还可以具有对加工后的被加工物100的品质进行检查的检查装置作为第2搬出单元50搬出被加工物100的搬出目的地，并且可以不具有清洗单元80。
接着，本说明书中，根据附图对实施方式的被加工物的搬出方法进行说明。实施方式的被加工物的搬出方法是通过第1、第2搬出单元40、50将被加工物100从保持工作台10搬出的方法，使用加工装置1来实施。图4是示出实施方式的被加工物的搬出方法的处理步骤的一例的流程图。如图4所示，实施方式的被加工物的搬出方法具有外周浮起步骤1001、被加工物保持步骤1002以及搬出步骤1003。实施方式的被加工物的搬出方法例如在加工单元20的加工后要搬出保持工作台10的保持面13所吸引保持的被加工物100时实施。
外周浮起步骤1001是如下的步骤：通过吸引管线16使多孔板11与吸引源17连通，利用保持面13的中央区域13-1对被加工物100进行吸引，将多孔板11与被加工物100之间的加工用的液体35(水)去除，并且向空气提供管线18提供空气，从围绕中央区域13-1的外周区域13-2喷出空气而仅使被加工物100的外周部从保持面13浮起，解除多孔板11与被加工物100之间的加工用的液体35(水)的表面张力。
在外周浮起步骤1001中，控制单元60将吸引源17的负压的压力值(表压)控制得比利用多孔板11的整个保持面13对被加工物100进行吸引保持时弱，并且将吸引管线16的吸引阀16-1打开，由此通过吸引管线16使多孔板11与吸引源17连通，利用保持面13的中央区域13-1对被加工物100进行吸引，将多孔板11与被加工物100之间的加工用的液体35等水去除。另外，在外周浮起步骤1001中，控制单元60将空气提供管线18的空气提供阀18-1打开，由此对空气提供管线18提供来自空气提供源19的空气，从保持面13的外周区域13-2喷出空气而仅使被加工物100的外周部从保持面13浮起。在外周浮起步骤1001中，如上述这样，使吸引源17的负压的压力值(表压)减弱，使保持面13的中央区域13-1中的基于吸引管线16的吸引和保持面13的外周区域13-2中的基于来自空气提供管线18的空气喷出的被加工物100的外周部的浮起同时实施，由此能够将保持面13上的加工用的液体35(水)与保持面13上的被加工物100的背面104侧强制地拉开，将在多孔板11与被加工物100之间形成的真空状态破坏，解除多孔板11与被加工物100之间的加工用的液体35(水)的表面张力。另外，形成空气喷出口的外周区域13-2可以如图2所示那样是多孔板11的上表面的外周区域，也可以是围绕多孔板11的框体12的上表面。在被加工物100的直径大于多孔板11的情况下，在框体12的上表面上支承被加工物100的外周部，因此优选在框体12的上表面上形成空气喷出口。
被加工物保持步骤1002是如下的步骤：在利用外周浮起步骤1001解除了多孔板11与被加工物100之间的加工用的液体35(水)的表面张力的状态下，通过第1搬出单元40对被加工物100进行保持。在被加工物保持步骤1002中，控制单元60利用使空气在槽45内流动而通过伯努利效应产生的负压，利用第1搬出单元40的板部件44以非接触的方式对在保持面13上解除了与多孔板11之间的加工用的液体35(水)的表面张力的状态的被加工物100进行保持。
搬出步骤1003是如下的步骤：在外周浮起步骤1001和被加工物保持步骤1002之后，将保持面13的中央区域13-1对被加工物100的吸引切断，使被加工物100整体从保持工作台10离开，将被加工物100从保持工作台10搬出。在搬出步骤1003中，控制单元60将吸引管线16的吸引阀16-1关闭，由此将由吸引管线16实现的多孔板11与吸引源17的连通切断，从而将保持面13的中央区域13-1对被加工物100的吸引切断，使被加工物100整体从保持工作台10离开。在搬出步骤1003中，由此，第1搬出单元40的板部件44利用使空气在槽45内流动而通过伯努利效应产生的负压而以非接触的方式对被加工物100进行保持。在搬出步骤1003中，之后控制单元60将通过第1搬出单元40的板部件44以非接触的方式进行保持的被加工物100搬出。
关于第1搬出单元40的板部件44，在被加工物保持步骤1002中的通过伯努利效应产生的负压而实现的非接触方式的吸引力较弱因而无法完全地保持被加工物100的情况下，在通过接下来的搬出步骤1003将保持面13的中央区域13-1对被加工物100的吸引切断而使被加工物100整体从保持工作台10离开时，第1搬出单元40的板部件44完全地保持被加工物100。
另外，在本实施方式中，在被加工物保持步骤1002和搬出步骤1003中，第1搬出单元40的板部件44利用使空气在槽45内流动而通过伯努利效应产生的负压而以非接触的方式对被加工物100进行保持，但在本发明中不限于此，也可以通过设置于板部件44的下方侧的吸引垫直接接触被加工物100而进行吸引保持。
关于具有以上那样的结构的实施方式的加工装置1和被加工物的搬出方法，保持工作台10具有吸引管线16和空气提供管线18，在搬出加工后的被加工物100时，通过吸引管线16在保持面13的中央区域13-1以比较弱的负压吸引被加工物100，将多孔板11与被加工物100之间的加工用的液体35(水)去除，并且通过空气提供管线18使被加工物100的外周部从保持面13浮起，将形成于多孔板11与被加工物100之间的真空状态破坏，解除加工用的液体35(水)的表面张力。因此，实施方式的加工装置1和被加工物的搬出方法能够更强力地进行保持面13上的排水，并且能够解除由于该表面张力而将被加工物100固定于保持面13。另外，实施方式的加工装置1和被加工物的搬出方法起到如下的作用效果：在搬出加工后的被加工物100时，更可靠地进行被加工物100的搬出。
例如在实施将被加工物100沿着分割预定线102进行切削加工而形成被加工物100的厚度以下(例如厚度的一半左右)的深度的切削槽的所谓的半切割的情况下、将被加工物100磨削加工得非常薄的情况下、进行将被加工物100的外周部的整周呈环状切削的边缘修剪加工的情况下，为了防止被加工物100的破损，通过第1搬出单元40利用伯努利效应以非接触的方式对被加工物100进行保持。关于实施方式的加工装置1和被加工物的搬出方法，在这样通过第1搬出单元40利用伯努利效应以非接触的方式以弱的力对被加工物100进行保持的情况下，特别是通过解除多孔板11与被加工物100之间的加工用的液体35(水)的表面张力，能够显著发挥通过能够解除由于该表面张力而将被加工物100固定于保持面13所带来的上述实施方式的效果。
另外，本发明并不限于上述实施方式。即，可以在不脱离本发明的主旨的范围内进行各种变形并实施。

Claims (2)

1.一种加工装置，其具有：
保持工作台，其具有对被加工物进行保持的保持面；
加工单元，其对该保持工作台所保持的被加工物进行加工；
液体提供喷嘴，其对利用该加工单元进行加工的加工点提供加工用的液体；
搬出单元，其从该保持工作台搬出被加工物；以及
控制单元，
其特征在于，
该保持工作台具有：
多孔板，其具有对被加工物进行吸引保持的中央区域；
框体，其具有对该多孔板进行收纳的凹部；
吸引管线，其形成于该框体的底面，将该中央区域与吸引源连通；以及
空气提供管线，其与空气提供源连通，从围绕该中央区域的外周区域喷出空气，
该控制单元通过该吸引管线使该多孔板与该吸引源连通，利用该中央区域对被加工物进行吸引，将该多孔板与被加工物之间的水去除，并且对该空气提供管线提供空气，从该外周区域喷出空气而使被加工物的外周部从该保持面浮起，解除该多孔板与被加工物之间的水的表面张力，在解除了表面张力的状态下，通过该搬出单元将被加工物从该保持工作台搬出。
2.一种被加工物的搬出方法，在加工装置中通过搬出单元将被加工物从保持工作台搬出，
该加工装置具有：
所述保持工作台，其具有对被加工物进行保持的保持面；
加工单元，其对该保持工作台所保持的被加工物进行加工；
液体提供喷嘴，其对利用该加工单元进行加工的加工点提供加工用的液体；以及
所述搬出单元，其从该保持工作台搬出被加工物，
其中，
该保持工作台具有：
多孔板，其具有对被加工物进行吸引保持的中央区域；
框体，其具有收纳该多孔板的凹部；
吸引管线，其形成于该框体的底面，将该中央区域与吸引源连通；以及
空气提供管线，其与空气提供源连通，从围绕该中央区域的外周区域喷出空气，
该被加工物的搬出方法具有如下的步骤：
外周浮起步骤，通过该吸引管线使该多孔板与该吸引源连通，利用该中央区域对被加工物进行吸引，将该多孔板与被加工物之间的水去除，并且对该空气提供管线提供空气，从该外周区域喷出空气而仅使被加工物的外周部从该保持面浮起，解除该多孔板与被加工物之间的水的表面张力；
被加工物保持步骤，通过该搬出单元对被加工物进行保持；以及
搬出步骤，在该被加工物保持步骤和该外周浮起步骤之后，将该中央区域对被加工物的吸引切断，使被加工物整体从该保持工作台离开，从该保持工作台搬出被加工物。
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