JP5264525B2 - 研削装置 - Google Patents
研削装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5264525B2 JP5264525B2 JP2009010879A JP2009010879A JP5264525B2 JP 5264525 B2 JP5264525 B2 JP 5264525B2 JP 2009010879 A JP2009010879 A JP 2009010879A JP 2009010879 A JP2009010879 A JP 2009010879A JP 5264525 B2 JP5264525 B2 JP 5264525B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- grinding
- wafer
- workpiece
- air
- holding
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Description
[1]半導体ウェーハ(ワーク)
一実施形態では、図1に示す円板状の半導体ウェーハ(以下、ウェーハ)1を研削対象物であるワークとしている。ウェーハ1はシリコンウェーハ等であって、研削前の厚さは例えば700μm程度である。このウェーハ1の表面には格子状の分割予定ライン2によって複数の矩形状のチップ3が区画されている。これらチップ3の表面には、ICやLSI等の図示せぬ電子回路が形成されている。また、ウェーハ1の周面の所定箇所には、半導体の結晶方位を示すV字状の切欠き(ノッチ)4が形成されている。
図2に示す研削装置10は、上記ウェーハ1を負圧吸着式のチャックテーブル(保持手段)30に吸着して保持し、2台の研削ユニット(粗研削用と仕上げ研削用)40A,40Bによりウェーハ1に対し粗研削と仕上げ研削を順次行ってウェーハ1を薄化加工するものである。以下、研削装置10の構成ならびに動作を説明する。
以上が研削装置10の構成ならびに動作であり、続いて、本発明に係る上記エアブロー手段90を詳述する。図3に示すように、エアブロー手段90は、加工ステージ11における、上記回収手段70によりチャックテーブル30からスピンナ式洗浄装置80まで水平に搬送されるウェーハ1の搬送経路の下方に配設されている。
続いて、上記エアブロー手段90によってウェーハ1の下面にエアを噴射して該下面に付着している研削液Lを除去する作用を説明する。
10…研削装置
30…チャックテーブル(保持手段)
32a…研削保持面
40A,40B…研削ユニット(研削手段)
41…スピンドルハウジング(スピンドル部)
45…砥石ホイール(研削工具)
54…送り機構(研削送り部)
70…回収手段(搬送手段)
71…回転軸(駆動手段)
73a…吸着面(搬送保持面)
90…エアブロー手段
91a…ブロックの側面(第2の平面部)
91c…曲面部
92a…プレートの内面(第1の平面部)
93…直進部(隙間)
94…噴射経路
d…エアブロー距離
L…研削液
R…搬送方向
Claims (2)
- 板状ワークの研削時に該ワークの一の面を保持する研削保持面を有する保持手段と、
該保持手段に保持された前記ワークを研削する研削工具、該研削工具を回転可能に支持するスピンドル部、および該スピンドル部を前記研削保持面に略直交する第1の方向に進退可能に支持する研削送り部とを有する研削手段と、
該研削手段によって前記ワークを研削する際に、該ワークの前記一の面とは反対側の被研削面に研削液を供給する研削液供給手段と、
前記ワークの前記被研削面を保持する搬送保持面を有し、前記研削手段で研削された前記ワークを、前記一の面が露出する状態で、該一の面に沿う方向に移動させて所定箇所まで搬送する搬送手段と、
該搬送の過程において、前記搬送手段の前記搬送保持面に保持された前記ワークの前記一の面にエアを噴射して該一の面に付着している前記研削液を除去するエアブロー手段と、を含む研削装置であって、
前記搬送手段は、前記搬送保持面に直交する第2の方向に該搬送手段を移動させて該搬送保持面を前記エアブロー手段に対して進退させる駆動手段を有しており、該搬送保持面に保持した研削後の前記ワークの研削量に基づいて、該ワークの前記一の面と該エアブロー手段との間の前記第2の方向における距離が調整されることを特徴とする研削装置。 - 前記エアブロー手段は、前記ワークの前記一の面に噴射するエアを供給するエア供給源と、
前記搬送の過程において前記ワークの搬送方向に対向する方向にエアを導いて噴射する噴射経路とを備え、
該噴射経路は、
前記ワークの前記搬送方向に対向する第1の平面部と、該第1の平面部に対向する第2の平面部との間に形成される隙間からなり、前記第2の方向に沿って該ワークの前記一の面に向かう方向に前記エアを直線的に流動させる直進部と、
前記第2の平面部に連続して形成され、前記搬送手段の前記搬送保持面に近付くにつれて前記第1の平面部から前記搬送方向に対向する方向にしだいに離間し、前記エアを該搬送方向に円弧状に屈曲させる曲面部と、を含むことを特徴とする請求項1に記載の研削装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009010879A JP5264525B2 (ja) | 2009-01-21 | 2009-01-21 | 研削装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009010879A JP5264525B2 (ja) | 2009-01-21 | 2009-01-21 | 研削装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010167519A JP2010167519A (ja) | 2010-08-05 |
JP5264525B2 true JP5264525B2 (ja) | 2013-08-14 |
Family
ID=42700134
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009010879A Active JP5264525B2 (ja) | 2009-01-21 | 2009-01-21 | 研削装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5264525B2 (ja) |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3476691B2 (ja) * | 1998-11-20 | 2003-12-10 | シャープ株式会社 | 基板反転装置および基板格納装置 |
JP2002050597A (ja) * | 2000-08-03 | 2002-02-15 | Okamoto Machine Tool Works Ltd | 基板の裏面研削装置 |
JP3544649B2 (ja) * | 2001-06-18 | 2004-07-21 | 東海合金工業株式会社 | スリットノズル |
-
2009
- 2009-01-21 JP JP2009010879A patent/JP5264525B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2010167519A (ja) | 2010-08-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4980140B2 (ja) | ウェーハの研削加工方法 | |
JP4790322B2 (ja) | 加工装置および加工方法 | |
JP5064102B2 (ja) | 基板の研削加工方法および研削加工装置 | |
JP2010199227A (ja) | 研削装置 | |
JP2009004406A (ja) | 基板の加工方法 | |
JP5137747B2 (ja) | ワーク保持機構 | |
JP2009043931A (ja) | ウェーハの裏面研削方法 | |
JP2008155292A (ja) | 基板の加工方法および加工装置 | |
JP2009107097A (ja) | 加工装置 | |
JP2007059523A (ja) | 基板の加工方法および加工装置 | |
KR101757932B1 (ko) | 웨이퍼 반송 기구 | |
JP5072020B2 (ja) | 研削部材のドレス方法および研削装置 | |
JP5357477B2 (ja) | 研削方法および研削装置 | |
JP5230982B2 (ja) | 板状物加工用トレイおよび加工装置 | |
JP2010118424A (ja) | 薄板状ワークの搬送装置 | |
JP2011054808A (ja) | ウエーハの加工方法及び該加工方法により加工されたウエーハ | |
JP2011108746A (ja) | ウエーハの加工方法 | |
JP4916995B2 (ja) | ウェーハの洗浄装置および研削装置 | |
JP5121390B2 (ja) | ウェーハの加工方法 | |
JP2009160705A (ja) | ウェーハの研削方法および研削加工装置 | |
JP2010021330A (ja) | ウエーハの加工方法 | |
JP2018192412A (ja) | 加工装置 | |
JP5264525B2 (ja) | 研削装置 | |
JP6208587B2 (ja) | 切削装置 | |
JP2022157038A (ja) | 加工装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20111212 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130411 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130418 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130430 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 5264525 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |