JP6257266B2 - 電子部品の製造装置及び製造方法 - Google Patents
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Description
図3と図5とを参照して、本発明に係る電子部品の製造装置及び製造方法の実施例1を説明する。図5に示されるように、本実施例において使用される掻き落とし部材39は、剛性部材からなる、言い換えれば剛性を有する、複数の棒状部材40を有する。棒状部材40は円柱状の形状を有する。複数の棒状部材40同士の間隔は、電子部品29が有する寸法の最小値(通常は厚さ方向(図のZ方向)の寸法である)よりも小さいことが好ましい。複数の部材(本実施例においては複数の棒状部材40)同士の間隔が、電子部品29が有する寸法の最小値よりも小さいことが好ましいことについては、以下の実施例及び変形例においても同様である。「複数の部材同士の間隔」という文言は、複数の部材のうち隣接する部材同士の間における隙間の大きさを意味する。
図3と図6とを参照して、本発明に係る電子部品の製造装置及び製造方法の実施例2を説明する。図6に示されるように、本実施例において使用される掻き落とし部材39は、剛性部材からなる単数の板状部材41を有する。
図3と図7とを参照して、本発明に係る電子部品の製造装置及び製造方法の実施例3を説明する。図7に示されるように、本実施例においては、吸引ポンプ18につながる吸引用配管36に切換弁42を設ける。切換弁42と吸引ポンプ18とを、吸引用配管36を経由して接続する。切換弁42と高圧ガス源(図示なし)とを、噴射用配管43を経由して接続する。本実施例においては、切換弁42と第1搬送機構8との間の吸引用配管36は噴射用配管としても機能する。高圧ガス源としては、電子部品の製造工場が有する用役(用力;utilities )としての高圧空気源を使用することができる。
2 封止済基板(被切断物)
3 切断用移送機構
4 切断用ステージ
5 スピンドル
6 回転刃(切断手段)
7 洗浄機構
8 第1搬送機構(固定手段、移動手段)
9 集合体
10 洗浄ブラシ
11 第2搬送機構
12 検査用カメラ
13 インデックステーブル
14 移送機構
15 トレイ
16,17 搬送レール
18 吸引ポンプ
19 全体基板
20 全体封止樹脂
21 境界線
22 領域
23 半導体チップ
24 ワイヤ
25 凹部
26 吸引路
27 吸気
28 溝
29 電子部品
30 基板
31 封止樹脂
32 不要部
33 収容箱(収容手段)
34 掻き落とし部材
35 ブラシの線材
36 吸引用配管
37 開閉弁
38 廃棄になる電子部品
39 掻き落とし部材(掻き落とし手段)
40 複数の棒状部材(剛性部材、複数の棒状部材)
41 板状部材(剛性部材、単数の板状部材)
42 切換弁(切換手段)
43 噴射用配管
44 高圧空気
45 基部
46 固定用穴
47 複数の小径の棒状部材(剛性部材、複数の棒状部材)
48 複数の角柱状の棒状部材(剛性部材、複数の棒状部材)
49 複数の板状部材(剛性部材、複数の板状部材)
A 切断モジュール
B 払い出しモジュール
C 受け入れ部
D 切断部
E 洗浄部
F 払い出しモジュール(払い出し手段)
G 払い出し部
M1,M2 電子部品の製造装置
CTL 制御部
Claims (14)
- 複数の領域を有する全体基板と該複数の領域にそれぞれ存在し電子デバイスとして機能する機能部とを少なくとも有する被切断物を前記複数の領域の境界線に沿って切断して複数の電子部品を製造する際に使用され、前記被切断物を切断する切断手段と、切断後における前記複数の電子部品が固定される固定手段と、前記固定手段を移動させる移動手段とを備える電子部品の製造装置において、
前記電子部品の製造装置の外部に前記複数の電子部品を払い出す払い出し手段と、
前記固定手段に固定された前記複数の電子部品に接触する掻き落とし手段と、
前記掻き落とし手段の下方に設けられた収容手段と、
前記掻き落とし手段に設けられた剛性部材とを備え、
前記固定手段と前記掻き落とし手段とが相対的に移動することによって前記剛性部材が前記固定手段から前記複数の電子部品を掻き落とし、
掻き落とされた前記複数の電子部品が前記収容手段に収容され、
前記掻き落とし手段に設けられた前記剛性部材が前記複数の電子部品に接触し、
前記剛性部材は導電性を有することを特徴とする電子部品の製造装置。 - 複数の領域を有する全体基板と該複数の領域にそれぞれ存在し電子デバイスとして機能する機能部とを少なくとも有する被切断物を前記複数の領域の境界線に沿って切断して複数の電子部品を製造する際に使用され、前記被切断物を切断する切断手段と、切断後における前記複数の電子部品が固定される固定手段と、前記固定手段を移動させる移動手段とを備える電子部品の製造装置において、
前記電子部品の製造装置の外部に前記複数の電子部品を払い出す払い出し手段と、
前記固定手段に固定された前記複数の電子部品に接触する掻き落とし手段と、
前記掻き落とし手段の下方に設けられた収容手段と、
前記掻き落とし手段に設けられた剛性部材とを備え、
前記固定手段と前記掻き落とし手段とが相対的に移動することによって前記剛性部材が前記固定手段から前記複数の電子部品を掻き落とし、
掻き落とされた前記複数の電子部品が前記収容手段に収容され、
前記剛性部材は複数の棒状部材又は複数の板状部材を含み、
前記複数の棒状部材同士の間隔又は前記複数の板状部材同士の間隔は、前記電子部品が有する寸法の最小値よりも小さいことを特徴とする電子部品の製造装置。 - 請求項1又は2に記載された電子部品の製造装置において、
前記移動手段は切断後における前記複数の電子部品を前記払い出し手段まで搬送することを特徴とする電子部品の製造装置。 - 請求項2に記載された電子部品の製造装置において、
前記掻き落とし手段に設けられた前記剛性部材が前記複数の電子部品に接触し、
前記剛性部材は導電性を有することを特徴とする電子部品の製造装置。 - 複数の領域を有する全体基板と該複数の領域にそれぞれ存在し電子デバイスとして機能する機能部とを少なくとも有する被切断物を前記複数の領域の境界線に沿って切断して複数の電子部品を製造する際に使用され、前記被切断物を切断する切断手段と、切断後における前記複数の電子部品が固定される固定手段と、前記固定手段を移動させる移動手段とを備える電子部品の製造装置において、
前記電子部品の製造装置の外部に前記複数の電子部品を払い出す払い出し手段と、
前記固定手段に固定された前記複数の電子部品に接触する掻き落とし手段と、
前記掻き落とし手段の下方に設けられた収容手段と、
前記掻き落とし手段に設けられた剛性部材とを備え、
前記固定手段と前記掻き落とし手段とが相対的に移動することによって前記剛性部材が前記固定手段から前記複数の電子部品を掻き落とし、
掻き落とされた前記複数の電子部品が前記収容手段に収容され、
切断後における前記複数の電子部品を前記固定手段に吸着するための吸引手段と、
前記固定手段に設けられ前記吸引手段に接続された管路と、
前記固定手段から前記複数の電子部品を離すために前記管路に高圧の気体を供給する気体供給手段と、
前記管路と前記吸引手段との間の接続と前記管路と前記気体供給手段との間の接続とを切り換える切換手段とを備えることを特徴とする電子部品の製造装置。 - 請求項1又は2に記載された電子部品の製造装置において、
前記剛性部材が前記複数の電子部品を押すことを特徴とする電子部品の製造装置。 - 請求項1〜6のいずれか1つに記載された電子部品の製造装置において、
前記切断手段を少なくとも含む切断モジュールと、
前記払い出し手段を少なくとも含む払い出しモジュールとを備え、
前記切断モジュールと前記払い出しモジュールとが着脱されることができることを特徴とする電子部品の製造装置。 - 複数の領域を有する全体基板と該複数の領域にそれぞれ存在し電子デバイスとして機能する機能部とを少なくとも有する被切断物を前記複数の領域の境界線に沿って切断して複数の電子部品を製造する電子部品の製造方法において、
切断手段を使用して前記被切断物を前記境界線に沿って切断する工程と、
切断後における前記複数の電子部品を固定手段に固定する工程と、
固定された前記複数の電子部品を払い出し手段まで搬送する工程と、
掻き落とし手段と前記複数の電子部品とを接触させた状態において前記掻き落とし手段と前記固定手段とを相対的に移動させることによって、前記複数の電子部品を掻き落とす工程と、
掻き落とされた前記複数の電子部品を前記払い出し手段が有する収容手段に収容する工程とを備え、
前記掻き落とす工程では前記掻き落とし手段が有する剛性部材を前記複数の電子部品に接触させ、
前記剛性部材は導電性を有することを特徴とする電子部品の製造方法。 - 複数の領域を有する全体基板と該複数の領域にそれぞれ存在し電子デバイスとして機能する機能部とを少なくとも有する被切断物を前記複数の領域の境界線に沿って切断して複数の電子部品を製造する電子部品の製造方法において、
切断手段を使用して前記被切断物を前記境界線に沿って切断する工程と、
切断後における前記複数の電子部品を固定手段に固定する工程と、
固定された前記複数の電子部品を払い出し手段まで搬送する工程と、
掻き落とし手段と前記複数の電子部品とを接触させた状態において前記掻き落とし手段と前記固定手段とを相対的に移動させることによって、前記複数の電子部品を掻き落とす工程と、
掻き落とされた前記複数の電子部品を前記払い出し手段が有する収容手段に収容する工程とを備え、
前記掻き落とす工程では前記掻き落とし手段が有する剛性部材が含む複数の棒状部材又は複数の板状部材を前記複数の電子部品に接触させ、
前記複数の棒状部材同士の間隔又は前記複数の板状部材同士の間隔は、前記電子部品が有する寸法の最小値よりも小さいことを特徴とする電子部品の製造方法。 - 請求項8又は9に記載された電子部品の製造方法において、
前記搬送する工程は前記掻き落とす工程を含むことを特徴とする電子部品の製造方法。 - 請求項9に記載された電子部品の製造方法において、
前記掻き落とす工程では導電性を有する前記剛性部材が含む複数の棒状部材又は複数の板状部材を前記複数の電子部品に接触させることを特徴とする電子部品の製造方法。 - 複数の領域を有する全体基板と該複数の領域にそれぞれ存在し電子デバイスとして機能する機能部とを少なくとも有する被切断物を前記複数の領域の境界線に沿って切断して複数の電子部品を製造する電子部品の製造方法において、
切断手段を使用して前記被切断物を前記境界線に沿って切断する工程と、
切断後における前記複数の電子部品を固定手段に固定する工程と、
固定された前記複数の電子部品を払い出し手段まで搬送する工程と、
掻き落とし手段と前記複数の電子部品とを接触させた状態において前記掻き落とし手段と前記固定手段とを相対的に移動させることによって、前記複数の電子部品を掻き落とす工程と、
掻き落とされた前記複数の電子部品を前記払い出し手段が有する収容手段に収容する工程とを備え、
前記掻き落とす工程では前記掻き落とし手段が有する剛性部材を前記複数の電子部品に接触させ、
前記固定する工程では前記固定手段が有する管路を経由して前記複数の電子部品を前記固定手段に吸着し、
前記管路を経由して前記複数の電子部品に向かって高圧の気体を供給することによって前記固定手段から前記複数の電子部品を離す工程を備えることを特徴とする電子部品の製造方法。 - 請求項8又は9に記載された電子部品の製造方法において、
前記掻き落とす工程では前記剛性部材が前記複数の電子部品を押すことを特徴とする電子部品の製造方法。 - 請求項8〜13のいずれか1つに記載された電子部品の製造方法において、
前記切断手段を少なくとも含む切断モジュールを準備する工程と、
前記払い出し手段を少なくとも含む払い出しモジュールを準備する工程と、
前記切断モジュールと前記払い出しモジュールとを装着する工程とを備えることを特徴とする電子部品の製造方法。
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