JP2010087193A - 電子部品製造用の切削装置及び切削方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】封止済基板を効率よく個片化し、設置面積の小さい個片化装置を提供する。
【解決手段】切削モジュール1に、テーブル用移動機構2L、2Rにより各々Y方向に移動自在で偏心して回動する回動機構4L、4Rと、回動機構4L、4Rに各々固定されたテーブル4L、4Rと、X方向に移動自在な回転機構8L、8Rと、回転機構8L、8Rに各々取り付けられた複数の回転刃10L、10Rとを備え、複数の回転刃10L、10Rが、テーブル4L、4Rに各々固定された樹脂封止体5L、5Rを境界線6、7に沿って切削する。短手方向に沿う境界線6の間隔Pは複数の回転刃10Lの間隔に等しく、長手方向に沿う境界線7の間隔Qは複数の回転刃10Rの間隔に等しい。樹脂封止体5L(5R)は、回転刃10Lによって境界線6に沿って切削され、テーブル4L(4R)が−90°(+90°)回動した後に回転刃10Rによって境界線7に沿って切削される。
【選択図】図4
【解決手段】切削モジュール1に、テーブル用移動機構2L、2Rにより各々Y方向に移動自在で偏心して回動する回動機構4L、4Rと、回動機構4L、4Rに各々固定されたテーブル4L、4Rと、X方向に移動自在な回転機構8L、8Rと、回転機構8L、8Rに各々取り付けられた複数の回転刃10L、10Rとを備え、複数の回転刃10L、10Rが、テーブル4L、4Rに各々固定された樹脂封止体5L、5Rを境界線6、7に沿って切削する。短手方向に沿う境界線6の間隔Pは複数の回転刃10Lの間隔に等しく、長手方向に沿う境界線7の間隔Qは複数の回転刃10Rの間隔に等しい。樹脂封止体5L(5R)は、回転刃10Lによって境界線6に沿って切削され、テーブル4L(4R)が−90°(+90°)回動した後に回転刃10Rによって境界線7に沿って切削される。
【選択図】図4
Description
本発明は、複数の領域を有する封止済基板をそれらの領域の境界線に沿って切削し、領域毎に個片化することによって複数の電子部品を製造する際に使用される、電子部品製造用の切削装置及び切削方法に関するものである。
複数の電子部品を効率よく製造する目的で従来から実施されている方式の1つに、封止済基板を個片化する方式がある。個片化の対象物である封止済基板について説明する。封止済基板は、リードフレームやプリント基板等からなる基板と、基板の片方の面において形成された封止樹脂とを有する。基板は、それぞれ仮想的に設けられたX方向における境界線とY方向における境界線とによって、格子状の複数の領域に区切られている。各領域には、それぞれ1又は複数の半導体チップ等からなるチップ状部品(以下、適宜チップという。)が装着されている。各領域において、複数のチップは平面的に配置されていてもよく、積層されて(スタックされて)いてもよい。
ここで、封止済基板から複数の電子部品を製造する方式について説明する。まず、基板において格子状に設けられた複数の領域に各々1又は複数のチップを装着する。次に、基板に装着された複数のチップを、封止樹脂によって一括して樹脂封止する。これにより、封止済基板が完成する。次に、その封止済基板を、各境界線に沿って切断する。これによって、封止済基板が、複数の領域にそれぞれ対応する複数の電子部品に個片化される。チップと封止樹脂とを有する個片化された電子部品は、しばしばパッケージと呼ばれる。
なお、個片化は、通常、封止済基板を完全に切断する(フルカットする)ことによって行われる。しかし、個片化は、封止済基板を厚さ方向に部分的に切削する(ハーフカットする)工程を実行した後に封止済基板を割断する(ブレークする)ことによっても行われる。そこで、封止済基板を個片化する際の用語として、「切削」という用語を適宜使用する。
封止済基板を切断する(個片化する)工程においては、個片化装置として、回転刃(ダイシングブレード)を使用する切削装置(ダイサ)が使用されている。そして、個片化工程の効率化を図るために、1本の回転軸に複数の回転刃を固定した回転刃ユニットが提案されている(例えば、特許文献1参照)。
また、個片化工程のよりいっそうの効率化を図るために、上述した1本の回転軸を有する回転機構(スピンドル)が2個備えられた切削装置が提案されている(例えば、特許文献2、3参照)。これらによれば、複数の回転刃を有する1個の回転機構を使用して、複数の切断線(複数の境界線)に沿って同時に封止済基板が切断される。加えて、それぞれ封止済基板における1方向の境界線と他方向の境界線とに沿って封止済基板を切削するに当り、一方の回転機構を1方向の境界線に沿う切削に使用し、その一方の回転機構の下から他方の回転機構の下まで封止済基板を移動させ、その他方の回転機構を他方向の境界線に沿う切削に使用することができる。
しかしながら、上述した従来の個片化装置によれば、次のような問題がある。第1の問題は、一方の回転機構の下から他方の回転機構の下まで封止済基板を移動させることにより、切削装置の設置面積が大きくなるということである。第2の問題は、テーブル上に固定された封止済基板が2個の回転機構の下を順次通過することによって切断(切削)されるので、個片化工程の効率化を十分に図ることができないということである。言い換えれば、2個の回転機構のうち一方の回転機構を使用する場合には、他方の回転機構が完全に「待ち」の状態になるとともに、他方の回転機構の下において封止済基板を搬出入する機構が塞がってしまうので、個片化工程の効率化に限界がある。
本発明が解決しようとする課題は、個片化工程の効率化を図ろうとした場合に切削装置の設置面積が大きくなるということ、及び、個片化工程の効率化を十分に図ることができないということである。
以下の説明における()内の数字・記号は、図面における符号を示しており、説明における用語と図面に示された構成要素とを対比しやすくする目的で記載されたものである。また、これらの数字は、「説明における用語を、図面に示された構成要素に限定して解釈すること」を意味するものではない。
上述の課題を解決するために、本発明に係る電子部品製造用の切削装置は、基板に格子状に設けられた複数の領域(D)に各々装着された1又は複数のチップを樹脂封止することによって封止済基板(5L、5R)を形成し、該封止済基板(5L、5R)を領域(D)毎に個片化することによって複数の電子部品を製造する際に使用され、第1の回転軸(9L)を有する第1の回転機構(8L、12L)及び第2の回転軸(9R)を有する第2の回転機構(8R、12R)と、第1の回転機構(8L、12L)及び第2の回転機構(8R、12R)をX方向に沿って各々移動させる回転機構用移動機構と、第1の回転軸(9L)と第2の回転軸(9R)とに各々取り付けられた複数の回転刃(10L、10R)と、封止済基板(5L、5R)が各々固定される第1のテーブル(4L)及び第2のテーブル(4R)とを備える電子部品製造用の切削装置であって、第1のテーブル(4L)及び第2のテーブル(4R)を各々回動させる回動機構(3L、3R)と、第1のテーブル(4L)及び第2のテーブル(4R)をY方向に沿って各々移動させるテーブル用移動機構(2L、2R)とを備えるとともに、封止済基板(5L、5R)は、第1の回転機構(8L、12L)が有する複数の回転刃(10L)によって複数の領域(D)を区切る境界線のうち一の方向に伸びる第1の境界線(6)に沿って切削され、かつ、第2の回転機構(8R、12R)が有する複数の回転刃(10R)によって境界線のうち他の方向に伸びる第2の境界線(7)に沿って切削され、第1の回転機構(8L、12L)及び第2の回転機構(8R、12R)が各々X方向に沿って移動する経路は重なっていることを特徴とする。
また、本発明に係る電子部品製造用の切削装置は、上述の切削装置において、第1のテーブル(4L)と第2のテーブル(4R)とのうち一方のテーブル(4L、4R)に封止済基板(5L、5R)が固定された状態において、一方のテーブル(4L、4R)が直角に回動した場合に封止済基板(5L、5R)の中心に対して一方のテーブル(4L、4R)の回動の中心が他方のテーブル(4R、4L)が移動可能である側とは反対側に偏心して位置するようにして、第1のテーブル(4L)と第2のテーブル(4R)とが配置されていることを特徴とする。
また、本発明に係る電子部品製造用の切削装置は、上述の切削装置において、第1の回転軸(9L)と第2の回転軸(9R)とは平行に位置しているとともに、第1の回転機構(8L)が有する複数の回転刃(10L)と第2の回転機構(8R)が有する複数の回転刃(10R)とは第1の回転機構(8L)及び第2の回転機構(8R)の各々において同じ側に取り付けられていることを特徴とする。
また、本発明に係る電子部品製造用の切削装置は、上述の切削装置において、第1の回転軸(9L)と第2の回転軸(9R)とは同一直線上に又は平行に位置しているとともに、第1の回転機構(12L)が有する複数の回転刃(10L)と第2の回転機構(12R)が有する複数の回転刃(10R)とは相対向していることを特徴とする。
また、本発明に係る電子部品製造用の切削装置は、上述の切削装置において、第1の回転機構(8L、12L)が有する複数の回転刃(10L)同士は第1の間隔を空けて取り付けられ、第2の回転機構(8R、12R)が有する複数の回転刃(10R)同士は第2の間隔を空けて取り付けられているとともに、第1の間隔は領域(D)における一方の辺の長さ(P)に等しく、かつ、第2の間隔は領域(D)における他方の辺の長さ(Q)に等しいことを特徴とする。
また、本発明に係る電子部品製造用の切削方法は、基板に格子状に設けられた複数の領域(D)に各々装着された1又は複数のチップを樹脂封止することによって封止済基板(5L、5R)を形成し、該封止済基板(5L、5R)を領域(D)毎に個片化することによって複数の電子部品を製造する際に使用され、各々Y方向に沿って移動可能な第1のテーブル(4L)及び第2のテーブル(4R)に各々封止済基板(5L、5R)を固定する工程と、X方向に沿って各々移動可能な第1の回転機構(8L、12L)及び第2の回転機構(8R、12R)のうち一方の回転機構と第1のテーブル(4L)及び第2のテーブル(4R)のうち一方のテーブル(4L、4R)とが重なるように一方の回転機構と一方のテーブル(4L、4R)とを移動させる工程と、第1の回転機構(8L、12L)と第2の回転機構(8R、12R)とが各々有する複数の回転刃(10L、10R)を使用して、一方のテーブル(4L、4R)に固定された封止済基板(5L、5R)を複数の領域(D)を区切る境界線に沿って切削する工程とを備える電子部品製造用の切削方法であって、第1の回転機構(8L、12L)及び第2の回転機構(8R、12R)を各々X方向に沿って移動させる経路が重なっているとともに、切削する工程は以下の(A)〜(C)の工程を含むことを特徴とする。
(A)第1の回転機構(8L、12L)が有する第1の回転軸(9L)に第1の間隔を空けて取り付けられた複数の回転刃(10L)を使用して、一方のテーブル(4L、4R)に固定された封止済基板(5L、5R)を境界線のうち一の方向に伸びる第1の境界線(6)に沿って切削する工程。
(B)一方のテーブル(4L、4R)を直角に回動させる工程。
(C)第2の回転機構(8R、12R)が有する第2の回転軸(9R)に第2の間隔を空けて取り付けられた複数の回転刃(10R)を使用して、一方のテーブル(4L、4R)に固定された封止済基板(5L、5R)を境界線のうち他の方向に伸びる第2の境界線(7)に沿って切削する工程。
(A)第1の回転機構(8L、12L)が有する第1の回転軸(9L)に第1の間隔を空けて取り付けられた複数の回転刃(10L)を使用して、一方のテーブル(4L、4R)に固定された封止済基板(5L、5R)を境界線のうち一の方向に伸びる第1の境界線(6)に沿って切削する工程。
(B)一方のテーブル(4L、4R)を直角に回動させる工程。
(C)第2の回転機構(8R、12R)が有する第2の回転軸(9R)に第2の間隔を空けて取り付けられた複数の回転刃(10R)を使用して、一方のテーブル(4L、4R)に固定された封止済基板(5L、5R)を境界線のうち他の方向に伸びる第2の境界線(7)に沿って切削する工程。
また、本発明に係る電子部品製造用の切削方法は、上述の切削方法において、切削する工程において、一方のテーブル(4L、4R)を直角に回動させた場合に一方のテーブル(4L、4R)に固定された封止済基板(5L、5R)の中心に対して一方のテーブル(4L、4R)の回動の中心が他方のテーブル(4R、4L)が移動可能である側とは反対側に偏心して位置することを特徴とする。
また、本発明に係る電子部品製造用の切削方法は、上述の切削方法において、第1の回転軸(9L)と第2の回転軸(9R)とは平行に位置しているとともに、第1の回転機構(8L)が有する複数の回転刃(10L)と第2の回転機構(8R)が有する複数の回転刃(10R)とは第1の回転機構(8L)及び第2の回転機構(8R)の各々において同じ側に取り付けられていることを特徴とする。
また、本発明に係る電子部品製造用の切削方法は、上述の切削方法において、第1の回転軸(9L)と第2の回転軸(9R)とは同一直線上に又は平行に位置しているとともに、第1の回転機構(12L)が有する複数の回転刃(10L)と第2の回転機構(12R)が有する複数の回転刃(10R)とは相対向していることを特徴とする。
また、本発明に係る電子部品製造用の切削方法は、上述の切削方法において、第1の間隔は領域(D)における一方の辺の長さ(P)に等しく、かつ、第2の間隔は領域(D)における他方の辺の長さ(Q)に等しいことを特徴とする。
本発明によれば、第1のテーブル(4L)及び第2のテーブル(4R)を各々回動させる回動機構(3L、3R)と、第1のテーブル(4L)及び第2のテーブル(4R)をY方向に沿って各々移動させるテーブル用移動機構(2L、2R)とを備える。これにより、第1のテーブル(4L)及び第2のテーブル(4R)にそれぞれ封止済基板(5L、5R)を固定して、それらの封止済基板(5L、5R)を独立して回動させ、かつ、移動させることができる。したがって、第1のテーブル(4L)と第2のテーブル(4R)とのうち一方のテーブル(4L、4R)に固定された封止済基板(5L、5R)が切削される間に、別の封止済基板が他方のテーブル(4R、4L)に搬入され得る。また、一方のテーブル(4L、4R)に固定された封止済基板(5L、5R)が切削される間に、別の封止済基板が切削されて既に形成された複数の電子部品が他方のテーブル(4R、4L)から搬出され得る。これらにより、個片化工程の効率化を十分に図ることができる。
また、本発明によれば、第1の回転機構(8L、12L)及び第2の回転機構(8R、12R)はX方向に沿って各々移動し、それらの移動経路は重なっている。したがって、X方向及びY方向における切削装置の寸法を小さくすることができる。
また、本発明によれば、第1のテーブル(4L)と第2のテーブル(4R)とのうち一方のテーブル(4L、4R)に封止済基板(5L、5R)が固定された状態において、一方のテーブル(4L、4R)が直角に回動した場合にその封止済基板(5L、5R)の中心に対して一方のテーブル(4L、4R)の回動の中心が他方のテーブル(4R、4L)が移動可能である側とは反対側に偏心して位置するようにして、第1のテーブル(4L)と第2のテーブル(4R)とが配置される。これにより、第1のテーブル(4L)と第2のテーブル(4R)とがY方向に移動してすれ違う際に必要な最小限の間隔を空けるようにして、第1のテーブル(4L)と第2のテーブル(4R)とを配置することができる。したがって、X方向における切削装置の寸法を小さくすることができる。
また、本発明によれば、第1の回転軸(9L)と第2の回転軸(9R)とは平行に位置しているとともに、第1の回転機構(8L)が有する複数の回転刃(10L)と第2の回転機構(8R)が有する複数の回転刃(10R)とは第1の回転機構(8L)及び第2の回転機構(8R)の各々において同じ側に取り付けられている。加えて、第1のテーブル(4L)及び第2のテーブル(4R)はY方向に沿って各々移動する。これらにより、X方向及びY方向における切削装置の寸法を小さくすることができる。
また、本発明によれば、第1の回転軸(9L)と第2の回転軸(9R)とは同一直線上に又は平行に位置しているとともに、第1の回転機構(12L)が有する複数の回転刃(10L)と第2の回転機構(12R)が有する複数の回転刃(10R)とは相対向している。また、第1のテーブル(4L)及び第2のテーブル(4R)はY方向に沿って各々移動する。これらにより、X方向及びY方向における切削装置の寸法を小さくすることができる。
また、本発明によれば、第1の回転機構(8L、12L)が有する複数の回転刃(10L)同士における第1の間隔と第2の回転機構(8R、12R)が有する複数の回転刃(10R)同士における第2の間隔とは、第1の間隔が領域(D)における一方の辺の長さ(P)に等しく、かつ、第2の間隔が領域(D)における他方の辺の長さ(Q)に等しくなるようにして、定められている。これにより、第1の回転機構(8L、12L)が有する複数の回転刃(10L)が、領域(D)の他方の辺に沿って封止済基板(5L、5R)を切削する。また、第2の回転機構(8R、12R)が有する複数の回転刃(10R)が、領域(D)の一方の辺に沿って封止済基板(5L、5R)を切削する。これにより、基板に設けられた各領域(D)において辺の長さが同じであるか異なるかを問わず、第1の回転機構(8L、12L)と第2の回転機構(8R、12R)とを使用して、1台の切削装置によって封止済基板(5L、5R)を領域(D)毎に個片化することができる。
電子部品製造用の切削装置が有する切削モジュール(1)に、テーブル用移動機構(2L、2R)を使用して各々Y方向に移動自在で偏心して回動する回動機構(3L、3R)と、回動機構(3L、3R)に各々固定されたテーブル(4L、4R)と、X方向に移動自在な回転機構(8L、8R)と、回転機構(8L、8R)に各々取り付けられた複数の回転刃(10L、10R)とを備える。樹脂封止体(5L、5R)がテーブル(4L、4R)に各々固定される。一方のテーブル(4L、4R)が直角に回動した場合に封止済基板(5L、5R)の中心に対して一方のテーブル(4L、4R)の回動の中心が他方のテーブル(4R、4L)が移動可能である側とは反対側に偏心して位置するようにして、テーブル(4L、4R)が配置されている。複数の回転刃(10L)と複数の回転刃(10R)とが、テーブル(4L、4R)に各々固定された樹脂封止体(5L、5R)を、樹脂封止体(5L、5R)が有する複数の領域(D)の境界線(6、7)に沿って切削する。短手方向に沿う境界線(6)の間隔(P)は複数の回転刃(10L)同士の間隔に等しく、長手方向に沿う境界線(7)の間隔(Q)は複数の回転刃(10R)同士の間隔に等しい。樹脂封止体(5L、5R)は、複数の回転刃(10L)によって境界線(6)に沿って切削され、テーブル(4L、4R)が直角(−90°、+90°)に回動した後に複数の回転刃(10R)によって境界線(7)に沿って切削される。
本発明に係る電子部品製造用の切削装置及び切削方法の実施例1を、図1〜図5を参照して説明する。図1は、本実施例に係る電子部品製造用の切削装置における初期状態の要部を示す、概略平面図である。図2は、図1の切削装置が封止済基板の短手方向に沿ってその封止済基板の切削を開始した直後の状態を示す、概略平面図である。図3は、図1の切削装置が封止済基板の短手方向に沿ってその封止済基板の切削を完了する直前の状態を示す、概略平面図である。図4は、−90°回動させた封止済基板の長手方向に沿って図1の切削装置がその封止済基板の切削を開始する直前の状態を示す、概略平面図である。図5は、−90°回動させた封止済基板の長手方向に沿って図1の切削装置がその封止済基板の切削を完了した直後の状態を示す、概略平面図である。なお、本出願書類に含まれるいずれの図についても、わかりやすくするために、適宜省略し又は誇張して模式的に描かれている。
本実施例に係る切削装置の要部は、図1に示されている切削モジュール1である。切削モジュール1は、例えば、受け入れモジュール、払い出しモジュール、位置合わせモジュール、洗浄モジュール(乾燥機能を含んでもよい。以下同じ。)、検査モジュール等の他のモジュールに対して着脱自在に構成される。具体的には、図1において切削モジュール1の−X方向(図の左方向)の側に位置合わせモジュール又は受け入れモジュールを、+X方向(図の右方向)の側に洗浄モジュール又は払い出しモジュールを、それぞれ連結することができる。また、図1において切削モジュール1の+Y方向(図の上方向)の側又は−Y方向(図の下方向)の側に、洗浄モジュール又は検査モジュールの少なくともいずれかを連結することができる。切削モジュール1と上述した他のモジュールとが適宜組み合わされることによって、ユーザーの要求仕様に適合した切削装置が構成される。
図1に示されているように、切削モジュール1には、ボールねじ等からなるテーブル用移動機構2L、2RがY方向に沿って、かつ、互いに平行になるようにして、設けられている。テーブル用移動機構2L、2Rには、それぞれ回動機構3L、3Rがθ方向に回動自在に取り付けられている。そして、テーブル用移動機構2L、2Rは、それぞれモータ(図示なし)等の駆動機構を使用して、回動機構3L、3Rを独立してY方向に移動させる。また、回動機構3L、3Rは、それぞれモータ(図示なし)等の駆動機構によって独立してθ方向に回動する。ここで、単なる「X方向」、「Y方向」、「Z方向」、及び「θ方向」という文言を使用した場合には、それぞれ「±X方向」、「±Y方向」、「±Z方向」、及び「±θ方向」を意味する。
回動機構3L、3Rの上には、それぞれテーブル4L、4Rが固定されている。テーブル4L、4Rの上には、吸着、粘着、クランプ等の周知の方式によってそれぞれ封止済基板5L、5Rが固定されている。テーブル4L、4R及び封止済基板5L、5Rの平面形状は正方形以外の長方形である。また、封止済基板5L、5Rは、いずれも格子状に設けられた複数の領域Dを有している。そして、それら複数の領域Dの境界線は、封止済基板5L、5Rの短手方向に沿う境界線6と長手方向に沿う境界線7とによって構成される。図1においては、短手方向に沿う境界線6同士の間隔がPで、長手方向に沿う境界線7同士の間隔がQで、それぞれ示されている。言い換えれば、各領域Dにおける一方の辺(図1では長辺)の長さがPで、他方の辺(図1では短辺)の長さがQで、それぞれ示されている。また、封止済基板5L、5Rにおいては、境界線6が12本、境界線7が5本、それぞれ設けられている。
テーブル4L、4Rは、テーブル4L、4Rの上に封止済基板5L、5Rが固定された状態でテーブル4L、4RがY方向に沿ってすれ違って移動することができる適当な間隔を空けて設けられている。また、この間隔は必要かつ十分な間隔であることが好ましい。詳しくいえば、この間隔は、回動機構3Lとテーブル4Lと封止済基板5Lとが+Y(−Y)方向に沿って移動し、かつ、回動機構3Rとテーブル4Rと封止済基板5Rとが−Y(+Y)方向に沿って移動する際に、すれ違うことができる最小の間隔であることが好ましい。
ここで、テーブル4L、4Rが、Y方向に沿ってすれ違って移動することができる最小の間隔を空けて設けられる。このことを可能にする目的で、回動機構3L、3Rとテーブル4L、4Rとそれらの上に固定されている封止済基板5L、5Rとは、次の2つの位置関係のうち少なくともいずれかを満たしている。第1に、回動機構3Lを−90°回動させた(−θ方向に直角に回動させた)状態において、封止済基板5Lを平面視した場合の幾何学的な中心に対して回動機構3Lの回動の中心が、−X方向の側に偏心して、言い換えれば回動機構3RがY方向に沿って移動可能である側とは反対側に偏心して位置することである(図4参照)。第2に、回動機構3Rを+90°回動させた(+θ方向に直角に回動させた)状態において、封止済基板5Rを平面視した場合の幾何学的な中心に対して回動機構3Rの回動の中心が、+X方向の側に偏心して、言い換えれば回動機構3LがY方向に沿って移動可能である側とは反対側に偏心して位置することである。
また、切削モジュール1には、それぞれスピンドルからなる回転機構8L、8Rが、X方向に移動自在に、かつ平行に設けられている。回転機構8L、8Rは、ボールねじ等の移動機構及びモータ等の駆動機構(いずれも図示なし)によって、それぞれ独立してX方向とZ方向とに移動可能である。そして、回転機構8L、8RがX方向に移動する移動経路は、平面視した場合に重なっている。回転機構8L、8RはそれぞれY方向に沿う回転軸9L、9Rを有し、回転軸9Lと回転軸9Rとは平行している。回転軸9L、9Rは、それぞれ所定の方向に回転する。回転軸9Lには複数の回転刃(回転ブレード)10Lが所定の間隔を空けて取り付けられている。また、回転軸9Rには複数の回転刃(回転ブレード)10Rが所定の間隔を空けて取り付けられている。そして、回転機構8L、8Rのそれぞれにおいて、複数の回転刃10L、10Rは同じ側(−Y方向の側)に取り付けられている。
ここで、図1では、複数の回転刃10Lは4枚、複数の回転刃10Rは5枚、それぞれ設けられている。そして、複数の回転刃10L同士の間隔と複数の回転刃10R同士の間隔とは、次のように設定されている。図1の切削モジュール1では、複数の回転刃10L同士の間隔は封止済基板5L、5Rの短手方向に沿う境界線6同士の間隔Pに等しく、複数の回転刃10R同士の間隔は封止済基板5L、5Rの長手方向に沿う境界線7同士の間隔Qに等しい。
以下、本実施例に係る電子部品製造用の切削装置の動作を、封止済基板5Lをフルカットする場合について説明する。まず、図1に示されているように、回転機構8L、8R及びテーブル4L、4R(すなわち回動機構3L、3R)が初期位置にあるとともにテーブル4L、4Rの長手方向がY方向に沿っている状態(初期状態)において、各テーブル4L、4Rの上に封止済基板5L、5Rを固定する。また、回転機構8L、8Rの回転軸9L、9Rをそれぞれ所定の方向に回転させる。
次に、図2に示されているように、回動機構3Lを+Y方向に移動させることによってテーブル4Lを+Y方向に移動させ所定の位置に停止させた後に、回転機構8Lを−Z方向(紙面の向こう側に向く方向)に適当な移動量だけ移動させ、更に+X方向に移動させる。ここで、封止済基板5Lにおいて最も+Y方向に位置する4本の境界線6の全長にわたって、複数の回転刃10Lが封止済基板5Lに接触するようにする。ここまでの工程により、封止済基板5Lにおいて最も+Y方向に位置する4本の境界線6において封止済基板5Lがフルカットされる。なお、各図において境界線6、7は、切削される前には細い破線によって、切削された後には太い実線によって、それぞれ示されている。
ここで、図2においてテーブル4Lを+Y方向に移動させた後の「所定の位置」は、回転機構8Lが有する複数の回転刃10Lと封止済基板5Lの短手方向に沿う境界線6とが重なる位置(同じY座標の値を有する位置)である。図2では、回転機構8Lが有する4枚の回転刃10Lと、封止済基板5Lにおいて最も+Y方向に位置する4本の境界線6とが、同じY座標の値を有するように位置している。また、回転機構8Lに関する−Z方向の「適当な移動量」は、封止済基板5Lをフルカットするために必要な切り込み深さである。なお、封止済基板5Lをハーフカットする場合には、ハーフカットに応じた必要な切り込み深さだけ、回転機構8Lを−Z方向に移動させればよい。
次に、図2に示されている状態からテーブル4Lを+Y方向に移動させて所定の位置に停止させた後に、回転機構8Lを−X方向に移動させる。テーブル4Lを+Y方向に移動させる移動量は、短手方向に沿う境界線6同士の間隔Pの4倍(4*P)である。したがって、ここでいう「所定の位置」は、既に切断された4本の境界線6に隣接して−Y方向の側に位置する4本の境界線6に対して複数(4枚)の回転刃10Lが同じY座標の値を有する位置になる。これにより、既に切断された4本の境界線6に隣接して下方に位置する4本の境界線6において封止済基板5Lがフルカットされる。
次に、図3に示されているように、テーブル4Lを+Y方向に距離4*Pだけ移動させて所定の位置に停止させた後に、回転機構8Lを+X方向に移動させる。したがって、ここでいう「所定の位置」は、既に切断された8本の境界線6に隣接して−Y方向の側に位置する4本の境界線6に対して複数(4枚)の回転刃10Lが同じY座標の値を有する位置になる。これにより、既に切断された8本の境界線6に隣接して下方に位置する4本の境界線6において封止済基板5Lがフルカットされる。ここまでの工程により、封止済基板5Lは、短手方向に沿う境界線6のすべてに沿ってフルカットされる。
次に、図4に示されているように、切削モジュール1は、次の2つの動作を並行して又は相前後して行う。第1の動作は、回転機構8Lを+Z方向(紙面の手前側に向く方向)に適当な移動量だけ移動させた後に、−X方向に移動させるという動作である。これらにより、回転機構8Lは初期位置に復帰する。第2の動作は、テーブル4Lを−Y方向に移動させて所定の位置に停止させた後に、回動機構3Lを−90°回動させる(−θ方向に直角に回動させる)という動作である。
ここで、図3〜図4にかけてテーブル4Lを−Y方向に移動させた後の「所定の位置」は、回動機構3Lの回動の中心が次の条件を満たすY方向の位置である。その条件とは、回動機構3Lを−90°回動させた後に回転機構8Rが有する複数の回転刃10Rと封止済基板5Lの長手方向に沿う境界線7とが重なる(同じY座標の値を有する)ようになることである。回動機構3Lを回動させる中心がこの条件を満たすことによって、回動機構3Lを−90°回動させた後に複数の回転刃10Rと封止済基板5Lの長手方向に沿う境界線7とが同じY座標の値を有する位置になる(図4参照)。
次に、図4に示されているように、回転機構8Rを−Z方向に適当な移動量だけ移動させ、更に−X方向に移動させる。ここで、封止済基板5Lにおける5本の境界線7の全長にわたって、複数(5枚)の回転刃10Lが封止済基板5Lに接触するようにする。ここまでの工程により、封止済基板5Lは、長手方向に沿う境界線7のすべてに沿って一括してフルカットされる(図5参照)。したがって、封止済基板5Lは境界線6、7のすべてに沿ってフルカットされたことになる。
次に、図5に示されているように、切削モジュール1は、次の2つの動作を並行して又は相前後して行う。第1の動作は、回転機構8Rを+Z方向に適当な移動量だけ移動させた後に、+X方向に移動させるという動作である。これらにより、回転機構8Rは初期位置に復帰する。第2の動作は、回動機構3Lを+90°回動させた後に(+θ方向に直角に回動させた後に)、回動機構3Lを−Y方向に移動させることによってテーブル4Lを−Y方向に移動させて初期位置に停止させるという動作である。ここまでの工程により、図1における個片化前の封止済基板5Lに代えて個片化後の封止済基板5Lがテーブル4Lに固定された状態になる。なお、回動機構3Lを−Y方向に移動させる工程は図5には示されていない。
その後に、回動機構3Rを+Y方向に移動させることによってテーブル4Rを+Y方向に移動させ所定の位置に停止させた後に、回転機構8Lを−Z方向に適当な移動量だけ移動させ、更に+X方向に移動させる。このことにより、封止済基板5Rにおいて最も+Y方向に位置する4本の境界線6において封止済基板5Rがフルカットされる。以下、封止済基板5Lを個片化する工程と同様の工程を実行して、封止済基板5Rを個片化することができる。なお、封止済基板5Rを個片化する場合には、封止済基板5Lを個片化する場合に比較して、回動機構3Rを回動する場合のθ方向の正負が逆になる。
そして、封止済基板5Rを個片化する工程の間に、封止済基板5Lが個片化された複数のパッケージに対して次の工程を実行することができる。それは、複数のパッケージを洗浄する工程、検査する工程、次工程に払い出す(搬出する)工程等である。また、次に個片化する対象である新たな封止済基板をテーブル4Lに受け入れることもできる。
ここまで説明した通り、本実施例によれば、封止済基板5R(5L)を個片化する工程に並行して、複数のパッケージを洗浄する工程、検査する工程、次工程に払い出す(搬出する)工程、次に個片化する対象である封止済基板を受け入れる工程等を実行する。したがって、封止済基板5L、5Rを個片化する工程の効率化を十分に図ることができる。
また、本実施例によれば、テーブル4L、4Rのうち一方のテーブル4L(4R)に封止済基板5L(5R)が固定されそのテーブル4L(4R)が−90°(+90°)回動した場合において、封止済基板5L(5R)の幾何学的な中心に対してテーブル4L(4R)の回動の中心が偏心している。詳細に説明すれば、封止済基板5L(5R)の中心に対してテーブル4L(4R)の回動の中心が他方のテーブル4R(4L)が移動可能である側とは反対側である−X方向(+X方向)の側に偏心して位置するようにして、テーブル4Lとテーブル4Rとが配置される。これにより、テーブル4Lとテーブル4RとがY方向に移動してすれ違う際に必要な最小限の間隔を空けるようにして、テーブル4Lとテーブル4Rとを配置することができる。したがって、X方向における切削モジュール1の寸法、ひいては切削装置の寸法を小さくすることができる。
また、本実施例によれば、回転機構8L及び回転機構8Rは独立してX方向のみに沿ってそれぞれ移動可能であるとともに、それらのX方向の移動経路は平面視した場合に重なっている。したがって、X方向及びY方向における切削モジュール1の寸法、ひいては切削装置の寸法を小さくすることができる。
また、本実施例によれば、それぞれY方向に沿う回転軸9Lと回転軸9Rとは平行しているとともに、回転機構8L、8Rのそれぞれにおいて複数の回転刃10Lと複数の回転刃10Rとはいずれも同じ側(−Y方向の側)に取り付けられている。加えて、テーブル4L及びテーブル4RはY方向のみに沿ってそれぞれ移動する。これらにより、X方向及びY方向における切削モジュール1の寸法、ひいては切削装置の寸法を小さくすることができる。
また、本実施例によれば、回転機構8Lが有する複数の回転刃10L同士の間隔は封止済基板5Lの短手方向に沿う境界線6同士の間隔Pに等しく、複数の回転刃10R同士の間隔は封止済基板5Lの長手方向に沿う境界線7同士の間隔Qに等しい。これにより、封止済基板5L、5Rの各領域Dにおいて辺の長さが異なる場合に、長辺と短辺とを異なる回転機構8L、8Rによって切削することができる。したがって、封止済基板5L、5Rにおける各領域Dの形状が正方形以外の長方形である場合であっても、回転機構8Lを使用して各領域Dの他方の辺(長さQ)に沿って封止済基板5L、5Rを切削し、回転機構8Rを使用して各領域Dの一方の辺(長さP)に沿って封止済基板5L、5Rを切削することができる。これにより、封止済基板5L、5Rの各領域Dにおいて辺の長さが異なる場合においても、1台の切削装置で封止済基板5L、5Rを領域D毎に個片化することができる。
本発明に係る電子部品製造用の切削装置及び切削方法の実施例2を、図6〜図12を参照しながら説明する。図6は、本実施例に係る電子部品製造用の切削装置における初期状態の要部を示す、概略平面図である。図7は、図6の切削装置が封止済基板の長手方向に沿ってその封止済基板の切削を完了した直後の状態を示す、概略平面図である。図8は、図6の切削装置が封止済基板の長手方向に沿ってその封止済基板の切削を完了した後に、封止済基板が−90°回動する直前の状態を示す、概略平面図である。図9は、−90°回動させた封止済基板の短手方向に沿って図6の切削装置がその封止済基板の切削を開始する直前の状態を示す、概略平面図である。図10は、−90°回動させた封止済基板の短手方向に沿って図6の切削装置がその封止済基板の切削を開始した直後の状態を示す、概略平面図である。図11は、−90°回動させた封止済基板の短手方向に沿って図6の切削装置がその封止済基板の切削を完了した直後の状態を示す、概略平面図である。図12は、−90°回動させた封止済基板の短手方向に沿って図6の切削装置がその封止済基板の切削を完了した後に、封止済基板を+90°回動させた直後の状態を示す、概略平面図である。
本実施例に係る切削装置の要部は、図6に示されている切削モジュール11である。切削モジュール11は、例えば、受け入れモジュール、払い出しモジュール、位置合わせモジュール、洗浄モジュール、検査モジュール等の他のモジュールに対して着脱自在に構成される。この点については、実施例1で説明した切削モジュール1と同様である(図1参照)。
切削モジュール11は、次の2つの特徴を有する。第1の特徴は、それぞれスピンドルからなる回転機構12L、12Rが、それぞれ独立してX方向とZ方向とに移動可能に、かつ同一直線上に設けられていることである。第2の特徴は、平面視した場合に、X方向における回転機構12L、12Rの移動経路が重なっていることである。第3の特徴は、回転機構12L、12Rがそれぞれ有する複数の回転刃10L、10Rが、相対向するようにして設けられていることである。
以下、本実施例に係る電子部品製造用の切削装置の動作を、封止済基板5Lをフルカットする場合について説明する。まず、図6に示されているように、回転機構12L、12R及びテーブル4L、4R(すなわち回動機構3L、3R)が初期位置にあるとともにテーブル4L、4Rの長手方向がY方向に沿っている状態(初期状態)において、各テーブル4L、4Rの上に封止済基板5L、5Rを固定する。また、回転機構12L、12Rの回転軸9L、9Rをそれぞれ所定の方向に回転させる。
次に、図7に示されているように、回転機構12Rを、−Z方向に適当な移動量だけ移動させ、更に−X方向に移動させることによって所定の位置に停止させる。その後に、回動機構3Lを+Y方向に移動させることによってテーブル4Lを+Y方向に移動させる。ここまでの工程により、封止済基板5Lの5本の境界線7において封止済基板5Lを一括してフルカットする。
ここで、図6〜図7において回転機構12Rを−X方向に移動させた後の「所定の位置」は、回転機構12Rが有する複数(5枚)の回転刃10Rと封止済基板5Lの長手方向に沿う境界線7とが重なる位置(同じX座標の値を有する位置)である。図7では、回転機構12Rが有する5枚の回転刃10Rと、封止済基板5Lの5本の境界線7とが、同じX座標の値を有するように位置している。
次に、図8に示されているように、テーブル4Lを−Y方向に移動させて所定の位置に停止させる。
ここで、図8においてテーブル4Lを−Y方向に移動させた後の「所定の位置」は、回動機構3Lの回動の中心が次の条件を満たすY方向の位置である。その条件とは、回動機構3Lを−90°回動させた後に回転機構12Lが有する複数の回転刃10Lと封止済基板5Lの短手方向に沿う境界線6とが重なる(同じX座標の値を有する)ようになることである。回動機構3Lを回動させる中心がこの条件を満たすことによって、回動機構3Lを−90°回動させた後に複数の回転刃10Lと封止済基板5Lの短手方向に沿う境界線6とが同じX座標の値を有するような位置になる(図9参照)。
次に、図9に示されているように、回動機構3Lを−90°回動させた後に、回転機構12Lを−Z方向に適当な移動量だけ移動させ、更に+X方向に移動させ所定の位置に停止させる。
ここで、図9において回転機構8Lを+X方向に移動させた後の「所定の位置」は、回転機構12Lが有する複数の回転刃10Lと封止済基板5Lの短手方向に沿う境界線6とが重なる位置(同じX座標の値を有する位置)である。図9においては、回転機構8Lが有する4枚の回転刃10Lと、封止済基板5Lにおいて最も−X方向に位置する4本の境界線6とが、同じX座標の値を有するように位置している。
次に、図10に示されているように、テーブル4Lを+Y方向に移動させる。ここで、封止済基板5Lにおいて最も−X方向に位置する4本の境界線6の全長にわたって、複数の回転刃10Lが封止済基板5Lに接触するようにする。ここまでの工程により、封止済基板5Lにおいて最も−X方向に位置する4本の境界線6において封止済基板5Lがフルカットされる。
次に、図10に示されている状態から、回転機構12Lを+X方向に移動させ所定の位置に停止させる。回転機構12Lの移動量は、短手方向に沿う境界線6同士の間隔Pの4倍(4*P)である。その後に、テーブル4Lを−Y方向に移動させる。これにより、既に切断された4本の境界線6に隣接して+X方向に位置する4本の境界線6において封止済基板5Lがフルカットされる。
次に、図11に示されているように、回転機構12Lを+X方向に移動させ所定の位置に停止させる。回転機構12Lの移動量は、短手方向に沿う境界線6同士の間隔Pの4倍(4*P)である(図10参照)。その後に、テーブル4Lを+Y方向に移動させる。これによって、既に切断された8本の境界線6に隣接して+X方向に位置する4本の境界線6において封止済基板5Lがフルカットされる。ここまでの工程により、封止済基板5Lは、短手方向に沿う境界線6のすべてに沿ってフルカットされる。したがって、封止済基板5Lは境界線6、7のすべてに沿ってフルカットされたことになる。
次に、図12に示されているように、切削モジュール1は、次の2つの動作を並行して又は相前後して行う。第1の動作は、回転機構12Lを+Z方向に適当な移動量だけ移動させた後に、−X方向に移動させるという動作である。これらにより、回転機構12Lは初期位置に復帰する。第2の動作は、回動機構3Lを+90°回動させる(+θ方向に直角に回動させる)という動作である。
次に、図12に示されている状態から、回動機構3Lを−Y方向に移動させることによってテーブル4Lを−Y方向に移動させて初期位置に停止させる。ここまでの工程によって、図6における個片化前の封止済基板5Lに代えて個片化後の封止済基板5Lがテーブル4Lに固定された状態になる。
次に、回転機構12Rを、−Z方向に適当な移動量だけ移動させ、更に−X方向に移動させることによって所定の位置に停止させる。その後に、回動機構3Rを+Y方向に移動させることによってテーブル4Rを+Y方向に移動させる。このことにより、封止済基板5Rの5本の境界線7において封止済基板5Rを一括してフルカットする。以下、封止済基板5Lを個片化する工程と同様の工程を実行して、封止済基板5Rを個片化することができる。なお、封止済基板5Rを個片化する場合には、封止済基板5Lを個片化する場合に比較して、回動機構3Rを回動する場合のθ方向の正負が逆になる。
そして、実施例1の場合と同様に、封止済基板5Rを個片化する工程の間に、封止済基板5Lが個片化された複数のパッケージに対して次の工程を実行することができる。それは、複数のパッケージを洗浄する工程、検査する工程、次工程に払い出す(搬出する)工程等である。また、次に個片化する対象である新たな封止済基板をテーブル4Lに受け入れることもできる。
ここまで説明した通り、本実施例によれば、実施例1と同様に次の効果が得られる。第1の効果として、封止済基板5R(5L)を個片化する工程に並行して他の工程を実行することによって、封止済基板5L、5Rを個片化する工程の効率化を十分に図ることができる。
第2の効果として、封止済基板5L(5R)の中心に対してテーブル4L(4R)の回動の中心が偏心して位置するようにしてテーブル4Lとテーブル4Rとが配置されることによって、X方向における切削モジュール1の寸法、ひいては切削装置の寸法を小さくすることができる。
第3の効果として、封止済基板5L、5Rにおける各領域Dの形状が正方形以外の長方形である場合であっても、異なる回転機構8L、8Rを使用して各領域Dの長辺と短辺とに沿ってそれぞれ切削することによって、1台の切削装置で封止済基板5L、5Rを領域D毎に個片化することができる。
また、本実施例によれば、回転機構12L及び回転機構12Rは独立してX方向のみに沿ってそれぞれ移動可能であるとともに、それらのX方向の移動経路は平面視した場合に重なっている。したがって、X方向及びY方向における切削モジュール1の寸法、ひいては切削装置の寸法を小さくすることができる。
また、本実施例によれば、回転軸9Lと回転軸9RとはX方向に沿って同一直線上に位置しているとともに、回転機構12Lが有する複数の回転刃10Lと回転機構12Rが有する複数の回転刃10Rとが相対向している。加えて、テーブル4L及びテーブル4RはY方向のみに沿ってそれぞれ移動する。これらによって、X方向及びY方向における切削モジュール1の寸法、ひいては切削装置の寸法を小さくすることができる。
なお、本実施例では、回転機構12L、12RがそれぞれX方向に独立して移動自在にかつ同一直線上に設けられているとともに、複数の回転刃10L、10Rが相対向するようにして設けられていることとした。これに限らず、回転機構12L、12Rが同一直線上ではなくてずれた位置関係にあり、かつ、回転軸9Lと回転軸9Rとが平行になる(それらの延長線が平行になる)ようにして、回転機構12L、12Rを設けてもよい。この場合には、回転軸9Lと回転軸9Rとが平行に位置するとともに複数の回転刃10L、10Rが相対向するようにして、回転機構12L、12Rが設けられていることになる。そして、回転機構12L及び回転機構12RがX方向に移動する移動経路は、Y方向に見た場合に重なっている。したがって、X方向における切削モジュール1の寸法、ひいては切削装置の寸法を小さくすることができる。
なお、ここまでの各実施例では、切削モジュール1、11と他のモジュールとが着脱自在に構成されている例を説明した。これに限らず、切削モジュール1、11の内部に受け入れ、払い出し、位置合わせ、洗浄、検査等の機能を有する部分を取り込んでもよい。
また、短手方向に沿う境界線6の数が複数の回転刃10Lの数の整数倍に等しい場合、及び、長手方向に沿う境界線7の数が複数の回転刃10Rの数に等しい場合について説明した。これ以外の場合においては、複数の回転刃10L、10Rのうちで対応する境界線6、7を持たない回転刃が封止済基板5L、5Rに接触しないようにすればよい。あるいは、複数の回転刃10L、10Rのうちで対応する境界線6、7を持たない回転刃が封止済基板5L、5Rの不要な部分を切削するようにしてもよい。
また、封止済基板5L、5Rに複数の島状の部分が形成され、それらの島状の部分のそれぞれにおいて、複数の領域Dが形成されていてもよい。この場合には、島状の部分のそれぞれにおいて本発明が適用される。
また、封止済基板5L、5Rにおける複数の領域Dの形状がそれぞれ正方形である場合には、複数の回転刃10L同士の間隔と複数の回転刃10R同士の間隔とを、いずれも正方形の辺に等しくすればよい。
また、回転機構8Lと回転機構8Rとがそれぞれ独立してZ方向に移動可能であることとした。これに代えて、テーブル4Lとテーブル4Rとがそれぞれ独立してZ方向に移動可能であることとしてもよい。
また、封止済基板5L、5Rを切削する際には、短手方向に沿う境界線6を切削すること、及び、長手方向に沿う境界線7を切削することの順番を入れ替えてもよい。
また、回転機構8L、8R、12L、12Rが初期位置にある場合において、回転機構8L、8R、12L、12Rの一部が切削モジュール1、11に隣接する他のモジュールの上方に位置するようにしてもよい。これにより、X方向における切削モジュール1、11の寸法、ひいては切削装置の寸法をいっそう小さくすることができる。
また、本発明は、上述の各実施例に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内で、必要に応じて、任意にかつ適宜に組み合わせ、変更し、又は選択して採用できるものである。
1、11 切削モジュール
2L、2R テーブル用移動機構
3L、3R 回動機構
4L、4R テーブル
5L、5R 封止済基板
6、7 境界線
8L、8R、12L、12R 回転機構
9L、9R 回転軸
10L、10R 複数の回転刃
11 切削モジュール
D 領域
P、Q 間隔
2L、2R テーブル用移動機構
3L、3R 回動機構
4L、4R テーブル
5L、5R 封止済基板
6、7 境界線
8L、8R、12L、12R 回転機構
9L、9R 回転軸
10L、10R 複数の回転刃
11 切削モジュール
D 領域
P、Q 間隔
Claims (10)
- 基板に格子状に設けられた複数の領域に各々装着された1又は複数のチップを樹脂封止することによって封止済基板を形成し、該封止済基板を前記領域毎に個片化することによって複数の電子部品を製造する際に使用され、第1の回転軸を有する第1の回転機構及び第2の回転軸を有する第2の回転機構と、前記第1の回転機構及び前記第2の回転機構をX方向に沿って各々移動させる回転機構用移動機構と、前記第1の回転軸と前記第2の回転軸とに各々取り付けられた複数の回転刃と、前記封止済基板が各々固定される第1のテーブル及び第2のテーブルとを備える電子部品製造用の切削装置であって、
前記第1のテーブル及び前記第2のテーブルを各々回動させる回動機構と、
前記第1のテーブル及び前記第2のテーブルをY方向に沿って各々移動させるテーブル用移動機構とを備えるとともに、
前記封止済基板は、前記第1の回転機構が有する前記複数の回転刃によって前記複数の領域を区切る境界線のうち一の方向に伸びる第1の境界線に沿って切削され、かつ、前記第2の回転機構が有する前記複数の回転刃によって前記境界線のうち他の方向に伸びる第2の境界線に沿って切削され、
前記第1の回転機構及び前記第2の回転機構が各々X方向に沿って移動する経路は重なっていることを特徴とする電子部品製造用の切削装置。 - 請求項1に記載された電子部品製造用の切削装置において、
前記第1のテーブルと前記第2のテーブルとのうち一方のテーブルに前記封止済基板が固定された状態において、前記一方のテーブルが直角に回動した場合に前記封止済基板の中心に対して前記一方のテーブルの回動の中心が前記他方のテーブルが移動可能である側とは反対側に偏心して位置するようにして、前記第1のテーブルと前記第2のテーブルとが配置されていることを特徴とする電子部品製造用の切削装置。 - 請求項1又は2に記載された電子部品製造用の切削装置において、
前記第1の回転軸と前記第2の回転軸とは平行に位置しているとともに、
前記第1の回転機構が有する前記複数の回転刃と前記第2の回転機構が有する前記複数の回転刃とは前記第1の回転機構及び前記第2の回転機構の各々において同じ側に取り付けられていることを特徴とする電子部品製造用の切削装置。 - 請求項1又は2に記載された電子部品製造用の切削装置において、
前記第1の回転軸と前記第2の回転軸とは同一直線上に又は平行に位置しているとともに、
前記第1の回転機構が有する前記複数の回転刃と前記第2の回転機構が有する前記複数の回転刃とは相対向していることを特徴とする電子部品製造用の切削装置。 - 請求項1〜4のいずれかに記載された電子部品製造用の切削装置において、
前記第1の回転機構が有する前記複数の回転刃同士は第1の間隔を空けて取り付けられ、
前記第2の回転機構が有する前記複数の回転刃同士は第2の間隔を空けて取り付けられているとともに、
前記第1の間隔は前記領域における一方の辺の長さに等しく、かつ、前記第2の間隔は前記領域における他方の辺の長さに等しいことを特徴とする電子部品製造用の切削装置。 - 基板に格子状に設けられた複数の領域に各々装着された1又は複数のチップを樹脂封止することによって封止済基板を形成し、該封止済基板を前記領域毎に個片化することによって複数の電子部品を製造する際に使用され、各々Y方向に沿って移動可能な第1のテーブル及び第2のテーブルに各々前記封止済基板を固定する工程と、X方向に沿って各々移動可能な第1の回転機構及び第2の回転機構のうち一方の回転機構と前記第1のテーブル及び前記第2のテーブルのうち一方のテーブルとが重なるように前記一方の回転機構と前記一方のテーブルとを移動させる工程と、前記第1の回転機構と前記第2の回転機構とが各々有する複数の回転刃を使用して、前記一方のテーブルに固定された前記封止済基板を前記複数の領域を区切る境界線に沿って切削する工程とを備える電子部品製造用の切削方法であって、
前記第1の回転機構及び前記第2の回転機構を各々X方向に沿って移動させる経路が重なっているとともに、
前記切削する工程は以下の(A)〜(C)の工程を含むことを特徴とする電子部品製造用の切削方法。
(A)前記第1の回転機構が有する第1の回転軸に第1の間隔を空けて取り付けられた前記複数の回転刃を使用して、前記一方のテーブルに固定された前記封止済基板を前記境界線のうち一の方向に伸びる第1の境界線に沿って切削する工程。
(B)前記一方のテーブルを直角に回動させる工程。
(C)前記第2の回転機構が有する第2の回転軸に第2の間隔を空けて取り付けられた前記複数の回転刃を使用して、前記一方のテーブルに固定された前記封止済基板を前記境界線のうち他の方向に伸びる第2の境界線に沿って切削する工程。 - 請求項6に記載された電子部品製造用の切削方法において、
前記切削する工程において、前記一方のテーブルを直角に回動させた場合に前記一方のテーブルに固定された前記封止済基板の中心に対して前記一方のテーブルの回動の中心が前記他方のテーブルが移動可能である側とは反対側に偏心して位置することを特徴とする電子部品製造用の切削方法。 - 請求項6又は7に記載された電子部品製造用の切削方法において、
前記第1の回転軸と前記第2の回転軸とは平行に位置しているとともに、
前記第1の回転機構が有する前記複数の回転刃と前記第2の回転機構が有する前記複数の回転刃とは前記第1の回転機構及び前記第2の回転機構の各々において同じ側に取り付けられていることを特徴とする電子部品製造用の切削方法。 - 請求項6又は7に記載された電子部品製造用の切削方法において、
前記第1の回転軸と前記第2の回転軸とは同一直線上に又は平行に位置しているとともに、
前記第1の回転機構が有する前記複数の回転刃と前記第2の回転機構が有する前記複数の回転刃とは相対向していることを特徴とする電子部品製造用の切削方法。 - 請求項6〜9のいずれかに記載された電子部品製造用の切削方法において、
前記第1の間隔は前記領域における一方の辺の長さに等しく、かつ、前記第2の間隔は前記領域における他方の辺の長さに等しいことを特徴とする電子部品製造用の切削方法。
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JP2008254042A JP2010087193A (ja) | 2008-09-30 | 2008-09-30 | 電子部品製造用の切削装置及び切削方法 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2012019100A (ja) * | 2010-07-08 | 2012-01-26 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置 |
JP2012190932A (ja) * | 2011-03-09 | 2012-10-04 | Disco Abrasive Syst Ltd | 加工装置 |
JP2015088558A (ja) * | 2013-10-29 | 2015-05-07 | Towa株式会社 | 電子部品の製造装置及び製造方法 |
CN104752298A (zh) * | 2013-12-28 | 2015-07-01 | 东和株式会社 | 电子部件制造用切断装置及切断方法 |
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2008
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Cited By (5)
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JP2012019100A (ja) * | 2010-07-08 | 2012-01-26 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置 |
JP2012190932A (ja) * | 2011-03-09 | 2012-10-04 | Disco Abrasive Syst Ltd | 加工装置 |
JP2015088558A (ja) * | 2013-10-29 | 2015-05-07 | Towa株式会社 | 電子部品の製造装置及び製造方法 |
CN104752298A (zh) * | 2013-12-28 | 2015-07-01 | 东和株式会社 | 电子部件制造用切断装置及切断方法 |
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