JP2012190932A - 加工装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 加工装置であって、第1及び第2チャックテーブルと、第1及び第2加工手段を含んでいる。第1及び第2チャックテーブルは保持面が連続する合体位置と、離間位置とに位置付け手段により位置付けられる。第1及び第2チャックテーブルを合体位置に位置付けた状態で被加工物を第1及び第2チャックテーブル上に搭載し、分割手段で被加工物を第1及び第2被加工物に分割する。第1被加工物を第1加工手段で加工し、第2被加工物を第2加工手段で加工する。
【選択図】図4
Description
4 第1切削手段(第1切削ユニット)
4a 第2切削手段(第2切削ユニット)
5 撮像ユニット
6 第1チャックテーブル
6a 第2チャックテーブル
8 表示モニタ
10 パッケージ基板
11 第1デバイス領域
11a 第2デバイス領域
12 第1切削ブレード
12a 第2切削ブレード
28 第1加工送り手段
28a 第2加工送り手段
34 第1パッケージ基板
34a 第2パッケージ基板
42 レーザ加工装置
44 第1レーザヘッド
44a 第2レーザヘッド
46 第1チャックテーブル
46a 第2チャックテーブル
48 第1スライダ
48a 第2スライダ
50 マルチスライダリニアモータ
52 マグネットプレート
Claims (3)
- 被加工物を保持するチャックテーブル機構と、該チャックテーブル機構で保持された被加工物に加工を施す加工手段とを備えた加工装置であって、
該チャックテーブル機構は、被加工物を保持する第1保持面を有する第1チャックテーブルと、該第1保持面と同一平面上の第2保持面を有する第2チャックテーブルとを含み、
該第1チャックテーブルと該第2チャックテーブルとが隣接して該第1保持面と該第2保持面とが連続した大保持面を形成する合体位置と、該第1チャックテーブルと該第2チャックテーブルとが離間した離間位置とに該第1チャックテーブルと該第2チャックテーブルとを位置付ける位置付け手段と、
該大保持面で保持された被加工物を分割して該第1保持面で保持される第1被加工物と、該第2保持面で保持される第2被加工物とに分離する分割手段とを具備し、
該加工手段は、該分割手段で分割されて該第1保持面で保持された第1被加工物に加工を施す第1加工手段と、該分割手段で分割されて該第2保持面で保持された第2被加工物に加工を施す第2加工手段とを含み、
該第1チャックテーブルと該第1加工手段とを加工送り方向に相対移動させる第1加工送り手段と、
該第1チャックテーブルと該第1加工手段とを加工送り方向に直交する割り出し送り方向に相対移動させる第1割り出し送り手段と、
該第2チャックテーブルと該第2加工手段とを加工送り方向に相対移動させる第2加工送り手段と、
該第2チャックテーブルと該第2加工手段とを加工送り方向に直交する割り出し送り方向に相対移動させる第2割り出し送り手段と、
を更に具備したことを特徴とする加工装置。 - 前記分割手段は、前記第1加工手段又は前記第2加工手段で兼用され、
前記位置付け手段は、前記第1及び第2加工送り手段又は前記第1及び第2割り出し送り手段で兼用される請求項1記載の加工装置。 - 前記第1加工手段及び前記第2加工手段は、切削ブレード又はレーザビームを照射するレーザヘッドを含む請求項1又は2記載の加工装置。
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